本實用新型屬于腐蝕清洗槽自動蓋板領(lǐng)域，更具體的說，它涉及腐蝕清洗槽自動蓋板。

背景技術(shù)：

當(dāng)前的芯片制造過程中，國產(chǎn)設(shè)備的腐蝕槽和清洗槽都是手動蓋板，沒辦法配合全自動和半自動機械手的自動行程生產(chǎn)工藝要求，人工消耗大，人工操作不確定性因素高，人身安全系數(shù)低。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種能夠自動開合蓋板的腐蝕清洗槽。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了如下技術(shù)方案：一種腐蝕清洗槽自動蓋板，包括清洗槽，所述清洗槽上設(shè)有左蓋板與右蓋板，所述左蓋板上設(shè)有與左蓋板垂直設(shè)置的第一調(diào)節(jié)桿，所述清洗槽的內(nèi)壁上設(shè)有第一轉(zhuǎn)軸，所述第一調(diào)節(jié)桿的一端與第一轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接，另一端與左蓋板固定連接，所述右蓋板上設(shè)有與右蓋板垂直設(shè)置的第二調(diào)節(jié)桿，所述清洗槽的內(nèi)壁上設(shè)有第二轉(zhuǎn)軸，所述第二調(diào)節(jié)桿的一端與第二轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接，另一端與右蓋板固定連接，所述清洗槽上設(shè)有用于轉(zhuǎn)動第一調(diào)節(jié)桿的第一轉(zhuǎn)動裝置，用于轉(zhuǎn)動第二調(diào)節(jié)桿的第二轉(zhuǎn)動裝置。

進一步設(shè)置為：所述第一轉(zhuǎn)動裝置包括第一氣缸與第一轉(zhuǎn)動桿，所述第一氣缸與清洗槽的內(nèi)壁固定連接，所述第一轉(zhuǎn)動桿的一端與第一氣缸轉(zhuǎn)動連接，另一端與第一轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接，且第一轉(zhuǎn)動桿與第一調(diào)節(jié)桿固定連接。

進一步設(shè)置為：所述第二轉(zhuǎn)動裝置包括第二氣缸與第二轉(zhuǎn)動桿，所述第二氣缸與清洗槽的內(nèi)壁固定連接，所述第二轉(zhuǎn)動桿的一端與第二氣缸轉(zhuǎn)動連接，另一端與第二轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接，且第二轉(zhuǎn)動桿與第二調(diào)節(jié)桿固定連接。

進一步設(shè)置為：所述第一氣缸與第一轉(zhuǎn)動桿連接的一端為第一調(diào)節(jié)端，第一氣缸遠離第一轉(zhuǎn)動桿的一端為第一固定端，所述第二氣缸與第二轉(zhuǎn)動桿連接的一端為第二調(diào)節(jié)端，第二氣缸遠離第二轉(zhuǎn)動桿的一端為第二固定端，所述第一調(diào)節(jié)端與第二調(diào)節(jié)端之間距離小于第一固定端與第二固定端之間的距離。

進一步設(shè)置為：所述左蓋板與右蓋板閉合的時候，第一氣缸與第一轉(zhuǎn)動桿的夾角為150度。

進一步設(shè)置為：所述左蓋板與右蓋板閉合的時候，第二氣缸與第二轉(zhuǎn)動桿的夾角為150度。

本實用新型的有益效果是：在需要打開左蓋板與右蓋板的時候，第一氣缸推動第一轉(zhuǎn)動桿，第一轉(zhuǎn)動桿在第一轉(zhuǎn)軸上轉(zhuǎn)動，能夠帶動第一調(diào)節(jié)桿，能夠?qū)⒆笊w板打開，第二氣缸推動第二轉(zhuǎn)動桿，第二轉(zhuǎn)動桿在第二轉(zhuǎn)軸上轉(zhuǎn)動，能夠帶動第二調(diào)節(jié)桿，能夠?qū)⒂疑w板打開，在蓋板與右蓋板需要蓋上的時候，第一氣缸拉動第一轉(zhuǎn)動桿，第一轉(zhuǎn)動桿在第一轉(zhuǎn)軸上轉(zhuǎn)動，能夠帶動第一調(diào)節(jié)桿，能夠?qū)⒆笊w板蓋上，第二氣缸拉動動第二轉(zhuǎn)動桿，第二轉(zhuǎn)動桿在第二轉(zhuǎn)軸上轉(zhuǎn)動，能夠帶動第二調(diào)節(jié)桿，能夠?qū)⒂疑w板蓋上，根據(jù)指令要求左蓋板與右蓋板實現(xiàn)自動開啟和閉合，配合機械手的工作要求，自動蓋板有效的配合槽內(nèi)溫度控制的要求，自動蓋板有效控制了槽內(nèi)液體的揮發(fā)。

附圖說明

圖1為本實用新型一種腐蝕清洗槽自動蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖一；

圖2為本實用新型一種腐蝕清洗槽自動蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖二；

圖3為本實用新型一種腐蝕清洗槽自動蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖三。

圖中： 1、清洗槽；2、左蓋板；3、右蓋板；4、第一調(diào)節(jié)桿；5、第一轉(zhuǎn)軸；6、第二調(diào)節(jié)桿；7、第二轉(zhuǎn)軸；8、第一氣缸；9、第一轉(zhuǎn)動桿；10、第二氣缸；11、第二轉(zhuǎn)動桿；12、第一調(diào)節(jié)端；13、第一固定端；14、第二調(diào)節(jié)端；15、第二固定端。

具體實施方式

參照圖1至圖3所示，本案例實施的一種腐蝕清洗槽自動蓋板，包括清洗槽1，所述清洗槽1上設(shè)有左蓋板2與右蓋板3，所述左蓋板2上設(shè)有與左蓋板2垂直設(shè)置的第一調(diào)節(jié)桿4，所述清洗槽1的內(nèi)壁上設(shè)有第一轉(zhuǎn)軸5，所述第一調(diào)節(jié)桿4的一端與第一轉(zhuǎn)軸5轉(zhuǎn)動連接，另一端與左蓋板2固定連接，所述右蓋板3上設(shè)有與右蓋板3垂直設(shè)置的第二調(diào)節(jié)桿6，所述清洗槽1的內(nèi)壁上設(shè)有第二轉(zhuǎn)軸7，所述第二調(diào)節(jié)桿6的一端與第二轉(zhuǎn)軸7轉(zhuǎn)動連接，另一端與右蓋板3固定連接，所述清洗槽1上設(shè)有用于轉(zhuǎn)動第一調(diào)節(jié)桿4的第一轉(zhuǎn)動裝置，用于轉(zhuǎn)動第二調(diào)節(jié)桿6的第二轉(zhuǎn)動裝置；

所述第一轉(zhuǎn)動裝置包括第一氣缸8與第一轉(zhuǎn)動桿9，所述第一氣缸8與清洗槽1的內(nèi)壁固定連接，所述第一轉(zhuǎn)動桿9的一端與第一氣缸8轉(zhuǎn)動連接，另一端與第一轉(zhuǎn)軸5轉(zhuǎn)動連接，且第一轉(zhuǎn)動桿9與第一調(diào)節(jié)桿4固定連接，所述第二轉(zhuǎn)動裝置包括第二氣缸10與第二轉(zhuǎn)動桿11，所述第二氣缸10與清洗槽1的內(nèi)壁固定連接，所述第二轉(zhuǎn)動桿11的一端與第二氣缸10轉(zhuǎn)動連接，另一端與第二轉(zhuǎn)軸7轉(zhuǎn)動連接，且第二轉(zhuǎn)動桿11與第二調(diào)節(jié)桿6固定連接；

所述第一氣缸8與第一轉(zhuǎn)動桿9連接的一端為第一調(diào)節(jié)端12，第一氣缸8遠離第一轉(zhuǎn)動桿9的一端為第一固定端13，所述第二氣缸10與第二轉(zhuǎn)動桿11連接的一端為第二調(diào)節(jié)端14，第二氣缸10遠離第二轉(zhuǎn)動桿11的一端為第二固定端15，所述第一調(diào)節(jié)端12與第二調(diào)節(jié)端14之間距離小于第一固定端13與第二固定端15之間的距離，所述左蓋板2與右蓋板3閉合的時候，第一氣缸8與第一轉(zhuǎn)動桿9的夾角為150度，所述左蓋板2與右蓋板3閉合的時候，第二氣缸10與第二轉(zhuǎn)動桿11的夾角為150度。

在需要打開左蓋板2與右蓋板3的時候，第一氣缸8推動第一轉(zhuǎn)動桿9，第一轉(zhuǎn)動桿9在第一轉(zhuǎn)軸5上轉(zhuǎn)動，能夠帶動第一調(diào)節(jié)桿4，能夠?qū)⒆笊w板2打開，第二氣缸10推動第二轉(zhuǎn)動桿11，第二轉(zhuǎn)動桿11在第二轉(zhuǎn)軸7上轉(zhuǎn)動，能夠帶動第二調(diào)節(jié)桿6，能夠?qū)⒂疑w板3打開，在蓋板與右蓋板3需要蓋上的時候，第一氣缸8拉動第一轉(zhuǎn)動桿9，第一轉(zhuǎn)動桿9在第一轉(zhuǎn)軸5上轉(zhuǎn)動，能夠帶動第一調(diào)節(jié)桿4，能夠?qū)⒆笊w板2蓋上，第二氣缸10拉動動第二轉(zhuǎn)動桿11，第二轉(zhuǎn)動桿11在第二轉(zhuǎn)軸7上轉(zhuǎn)動，能夠帶動第二調(diào)節(jié)桿6，能夠?qū)⒂疑w板3蓋上，根據(jù)指令要求左蓋板2與右蓋板3實現(xiàn)自動開啟和閉合，配合機械手的工作要求，自動蓋板有效的配合槽內(nèi)溫度控制的要求，自動蓋板有效控制了槽內(nèi)液體的揮發(fā)

以上所述的實施例只是本實用新型的一種較佳的方案，并非對本實用新型作任何形式上的限制，在不超出權(quán)利要求所記載的技術(shù)方案的前提下還有其它的變體及改型。