本實用新型涉及一種清洗半導(dǎo)體器件的清洗槽。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體器件在安裝前需進行表面去除雜質(zhì)工作，所以半導(dǎo)體器件清洗是安裝加工的第一步，為了保證半導(dǎo)體器件干凈需要至少一次清洗和一次浸泡，由于目前的清洗流程分為不同的小工序，清洗時需要人工站在清洗槽旁拿著攪拌工具進行攪拌清除半導(dǎo)體器件表面的雜質(zhì)及污垢，清除污垢后需要人工使用工具撈出，使清洗比較麻煩，工作效率比較低，同時清洗槽中的清洗液不易更換，這會出現(xiàn)對后續(xù)的半導(dǎo)體器件清洗不干凈及造成二次污染。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種解決上述問題的清洗半導(dǎo)體器件的清洗槽。

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型通過下述技術(shù)方案得以解決：

一種清洗半導(dǎo)體器件的清洗槽，包括槽體，所述槽體的頂端一側(cè)內(nèi)邊緣上固結(jié)有支撐架，所述槽體的一側(cè)面底端上固結(jié)有出液管，所述槽體的一側(cè)面中間部位固結(jié)有循環(huán)進液管和循環(huán)出液管，所述循環(huán)進液管置于循環(huán)出液管的斜上方，所述循環(huán)進液管和循環(huán)出液管通過液壓泵連接成一體。

所述支撐架上開有進液管，所述進液管和抽水泵連接在一起。

所述循環(huán)出液管在槽體的內(nèi)側(cè)形成有向下彎曲的彎管。

有益效果：本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比較，其具有以下有益效果：

本實用新型清洗半導(dǎo)體器件的清洗槽的循環(huán)進液管和循環(huán)出液管通過液壓泵使槽體內(nèi)的清洗液流動起來，并對半導(dǎo)體器件進行全方位的沖洗，達到安裝前清洗去除雜質(zhì)的目的，清洗完畢后打開出液管并沖洗槽體的內(nèi)壁，使槽體的內(nèi)壁達到干凈無雜質(zhì)，避免對后續(xù)的半導(dǎo)體器件清洗不干凈及造成二次污染。

附圖說明

圖1為清洗半導(dǎo)體器件的清洗槽的結(jié)構(gòu)圖。

具體實施方式

參閱圖1，一種清洗半導(dǎo)體器件的清洗槽，包括槽體1，槽體1的材質(zhì)為聚氯乙烯，聚氯乙烯具有較好的機械性能，抗張強度60MPa左右，沖擊強度5～10kJ/m2，有優(yōu)異的介電性能，所以槽體1可長期使用而不會出現(xiàn)彎曲變形，槽體1的頂端一側(cè)內(nèi)邊緣上固結(jié)有支撐架11，支撐架11上開有進液管111，槽體1的一側(cè)面底端上固結(jié)有出液管12，槽體1的一側(cè)面中間部位固結(jié)有循環(huán)進液管13和循環(huán)出液管14，循環(huán)進液管13置于循環(huán)出液管14的斜上方，循環(huán)出液管14在槽體1的內(nèi)側(cè)形成有向下彎曲的彎管（圖未示），進液管111和抽水泵連接在一起，循環(huán)進液管13和循環(huán)出液管14通過液壓泵連接成一體，半導(dǎo)體器件在安裝前需要用專用清洗液進行浸泡和清洗，把半導(dǎo)體器件表面的有機物雜質(zhì)清除干凈，才能進行后續(xù)的安裝工序，所以先將半導(dǎo)體器件放置在槽體1內(nèi)，同時打開抽水泵通過進液管111往槽體1注入清洗液，當清洗液完全浸入半導(dǎo)體器件后，抽水泵停止工作，半導(dǎo)體器件在清洗液中浸泡5分鐘，之后液壓泵開始工作，并通過循環(huán)進液管13和循環(huán)出液管14共同作用使槽體1內(nèi)的清洗液流動起來，流動的清洗液對半導(dǎo)體器件進行全方位的沖洗且清洗時間為10～15分鐘，流動的清洗液帶走半導(dǎo)體器件表面浸泡松軟的有機物雜質(zhì)，較重的有機物雜質(zhì)直接沉淀到槽體1的底部，同時循環(huán)出液管14的彎管可減少有機物雜質(zhì)的吸入，達到安裝前清洗去除雜質(zhì)的目的，當清洗一定量的半導(dǎo)體器件后，有機物雜質(zhì)的堆積造成槽體1內(nèi)的清洗液會出現(xiàn)渾濁，為了避免對半導(dǎo)體器件清洗不干凈及造成二次污染，需更換槽體1內(nèi)的清洗液，這時需打開出液管12，同時液壓泵同步工作，讓清洗液流出時也同時沖洗槽體1的內(nèi)壁，使槽體1的內(nèi)壁達到干凈無雜質(zhì)，利于后續(xù)的半導(dǎo)體器件的清洗工作。

上面所述的實施例僅僅是對本實用新型的優(yōu)選實施方式進行描述，并非對本實用新型的構(gòu)思和范圍進行限定。在不脫離本實用新型設(shè)計構(gòu)思的前提下，本領(lǐng)域普通人員對本實用新型的技術(shù)方案做出的各種變型和改進，均應(yīng)落入到本實用新型的保護范圍，本實用新型請求保護的技術(shù)內(nèi)容，已經(jīng)全部記載在權(quán)利要求書中。