本發(fā)明涉及半導體清洗設備技術領域，更具體地，涉及一種石英管清洗機的分類回收管線系統(tǒng)及分類回收方法。
背景技術：
在半導體制程工藝中，對石英管的潔凈度要求極高，但是制程工藝中常會有雜質沉積在石英管管壁上，從而對后續(xù)的工藝有很大的影響。因此，需要對石英管進行定期清洗，以保證其潔凈度。
在現有的半自動或自動化清洗機臺中，相對于過去的手工清洗石英管方式已經有很大的進步，但是現有清洗機臺對清洗液的分類回收工作做得仍不徹底。
公開號為CN1482071A的中國發(fā)明專利申請公開了一種石英管清洗臺的超純水回收管線系統(tǒng)，其回收管線已經初步實現了對超純水的分類回收，但是仍未實現對化學清洗槽內的清洗液進行分類回收。
如果將化學清洗槽內的清洗廢液不加區(qū)分直接排放至酸堿中和系統(tǒng)，既會造成處理過程中的大量浪費，又會大量增加回收系統(tǒng)的負荷，使得回收效果仍達不到理想的狀況。
技術實現要素：
本發(fā)明的目的在于克服現有技術存在的上述缺陷，提供一種石英管清洗機的分類回收管線系統(tǒng)及分類回收方法，以實現對石英管清洗機的各類清洗液進行分類回收。
為實現上述目的，本發(fā)明的技術方案如下：
一種石英管清洗機的分類回收管線系統(tǒng)，包括：
超純水工藝槽，用于容納超純水以清洗石英管；
超純水工藝外槽，用于容納超純水工藝槽以收集來自超純水工藝槽的溢流或外漏液體；
第一、第二化學工藝槽，用于各容納一種化學清洗液以清洗石英管；
化學工藝外槽，用于同時容納第一、第二化學工藝槽以收集來自第一、第二化學工藝槽的溢流或外漏液體；
排液管線，包括：
第一排液管，其一端連接超純水工藝外槽，另一端引至超純水回收處理系統(tǒng)；
第二排液管，其一端連接化學工藝外槽，另一端引至稀酸回收處理系統(tǒng)；
第一氣動閥，其一端連接至超純水工藝槽，另一端引至超純水回收處理系統(tǒng)；
第二氣動閥，其一端連接至超純水工藝槽，另一端引至超純水回收處理系統(tǒng)；
第三氣動閥，其一端連接至超純水工藝槽，另一端引至稀酸回收處理系統(tǒng)；
第四氣動閥，其一端連接至第一化學工藝槽，另一端引至稀酸回收處理系統(tǒng)；
第五氣動閥，其一端連接至第一化學工藝槽，另一端引至濃酸回收處理系統(tǒng)；
第六氣動閥，其一端連接至第二化學工藝槽，另一端引至稀酸回收處理系統(tǒng)；
第七氣動閥，其一端連接至第二化學工藝槽，另一端引至濃酸回收處理系統(tǒng)；
其中，通過控制第一-第七氣動閥擇一開啟，以對超純水工藝槽、第一、第二化學工藝槽內不同工藝后狀態(tài)的廢液進行分類排放及回收。
優(yōu)選地，通過控制所述第一氣動閥開啟，并關閉第二-第七氣動閥，以將超純水工藝槽內的廢液通過第一氣動閥所在排液管線排放至超純水回收處理系統(tǒng)。
優(yōu)選地，通過控制所述第二氣動閥開啟，并關閉第一氣動閥、第三-第七氣動閥，以將超純水工藝槽內的廢液通過第二氣動閥所在排液管線排放至超純水回收處理系統(tǒng)。
優(yōu)選地，通過控制所述第三氣動閥開啟，并關閉第一-第二氣動閥、第四-第七氣動閥，以將超純水工藝槽內的廢液通過第三氣動閥所在排液管線排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
優(yōu)選地，通過控制所述第四氣動閥開啟，并關閉第一-第三氣動閥、第五-第七氣動閥，以將第一化學工藝槽內的廢液通過第四氣動閥所在排液管線排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
優(yōu)選地，通過控制所述第五氣動閥開啟，并關閉第一-第四氣動閥、第六-第七氣動閥，以將第一化學工藝槽內的廢液通過第五氣動閥所在排液管線排放至濃酸回收處理系統(tǒng)。
優(yōu)選地，通過控制所述第六氣動閥開啟，并關閉第一-第五氣動閥、第七氣動閥，以將第二化學工藝槽內的廢液通過第六氣動閥所在排液管線排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
優(yōu)選地，通過控制所述第七氣動閥開啟，并關閉第一-第六氣動閥，以將第二化學工藝槽內的廢液通過第七氣動閥所在排液管線排放至濃酸回收處理系統(tǒng)。
優(yōu)選地，通過第一排液管及其所在排液管線直接將超純水工藝外槽內的溢流或外漏液體廢液排放至超純水回收處理系統(tǒng)，并通過第二排液管及其所在排液管線直接將化學工藝外槽內的溢流或外漏液體廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
一種石英管清洗機的分類回收方法，采用上述的石英管清洗機的分類回收管線系統(tǒng)，包括以下步驟：
步驟S01：向超純水工藝槽內注入超純水，將石英管放置于超純水工藝槽中進行預清洗；
步驟S02：使第一氣動閥唯一開啟，將超純水工藝槽內預清洗后的廢液通過第一氣動閥所在排液管線排放至超純水回收處理系統(tǒng)；
步驟S03：將預清洗后的石英管分別放置于第一化學工藝槽和/或第二化學工藝槽中進行化學清洗；
步驟S04：向超純水工藝槽內注入超純水，將化學清洗后的石英管放置于超純水工藝槽中進行第一次超純水清洗；
步驟S05：使第三氣動閥唯一開啟，將超純水工藝槽內第一次超純水清洗后的廢液通過第三氣動閥所在排液管線排放至稀酸回收處理系統(tǒng)；
步驟S06：向超純水工藝槽內注入超純水，將第一次超純水清洗后的石英管放置于超純水工藝槽中進行第二次超純水清洗；
步驟S07：使第二氣動閥唯一開啟，將超純水工藝槽內第二次超純水清洗后的廢液通過第二氣動閥所在排液管線排放至超純水回收處理系統(tǒng)；
步驟S08：向超純水工藝槽內注入超純水，將第二次超純水清洗后的石英管放置于超純水工藝槽中進行第三次超純水清洗；
步驟S09：使第一氣動閥唯一開啟，將超純水工藝槽內第三次超純水清洗后的廢液通過第一氣動閥所在排液管線排放至超純水回收處理系統(tǒng)；
步驟S10：重復步驟S01-步驟S09，對規(guī)定數量的石英管分別進行預清洗、化學清洗及第一-第三次超純水清洗；以及
步驟S11：當第一、第二化學工藝槽內化學清洗液到達使用壽命時，分別使第五、第七氣動閥唯一開啟，將第一、第二化學工藝槽中的廢液分別經第五、第七氣動閥所在排液管線排放至濃酸回收處理系統(tǒng)；
步驟S12：向第一、第二化學工藝槽內分別注入超純水，對第一、第二化學工藝槽進行清洗，并使第四、第六氣動閥唯一開啟，將第一、第二化學工藝槽中的廢液分別經第四、第六氣動閥所在排液管線排放至稀酸回收處理系統(tǒng)；
步驟S13：向第一、第二化學工藝槽內分別注入新的化學清洗液，開始對新的規(guī)定數量的石英管分別進行化學清洗；
上述步驟中，通過第一排液管及其所在排液管線直接將超純水工藝外槽內由超純水工藝槽溢流出的液體廢液或由于超純水工藝槽結構性損壞而導致外漏的液體廢液排放至超純水回收處理系統(tǒng)，并通過第二排液管及其所在排液管線直接將化學工藝外槽內由第一、第二化學工藝槽溢流出的液體廢液或由于第一、第二化學工藝槽結構性損壞而導致外漏的液體廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
從上述技術方案可以看出，本發(fā)明通過在超純水工藝槽外圍設置超純水工藝外槽及在第一、第二化學工藝槽外圍設置化學工藝外槽，可分別通過排液管直接將超純水工藝外槽內的溢流或外漏廢液排放至超純水回收處理系統(tǒng)、將化學工藝外槽內的溢流或外漏廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)，不但可防止廢液外泄污染環(huán)境，還可加以分類回收；并針對超純水工藝槽及第一、第二化學工藝槽所處的不同工藝狀態(tài)，通過控制分別設置的第一-第七氣動閥擇一開啟，并通過對應排液管線對超純水工藝槽、第一、第二化學工藝槽內不同工藝后狀態(tài)的廢液進行分類排放及回收，可全面實現對石英管清洗機包括超純水及化學清洗液在內的各類廢液進行細致的分類回收，從而減少了廢液處理過程中的大量浪費，并有效降低了回收系統(tǒng)的負荷，因此節(jié)省了回收成本。
附圖說明
圖1是本發(fā)明一較佳實施例的一種石英管清洗機的分類回收管線系統(tǒng)結構原理圖；
圖中：1、超純水工藝外槽，2、化學工藝外槽，11、超純水工藝槽，21、第一化學工藝槽，22、第二化學工藝槽，31、第一排液管，32、第二排液管，33、第三排液管，34、第四排液管，35、第五排液管，36、第六排液管，37、第七排液管，38、第八排液管，39、第九排液管，41、第一氣動閥，42、第二氣動閥，43、第三氣動閥，44、第四氣動閥，45、第五氣動閥，46、第六氣動閥，47、第七氣動閥。
具體實施方式
下面結合附圖，對本發(fā)明的具體實施方式作進一步的詳細說明。
需要說明的是，在下述的具體實施方式中，在詳述本發(fā)明的實施方式時，為了清楚地表示本發(fā)明的結構以便于說明，特對附圖中的結構不依照一般比例繪圖，并進行了局部放大、變形及簡化處理，因此，應避免以此作為對本發(fā)明的限定來加以理解。
在以下本發(fā)明的具體實施方式中，請參閱圖1，圖1是本發(fā)明一較佳實施例的一種石英管清洗機的分類回收管線系統(tǒng)結構原理圖。如圖1所示，本發(fā)明的一種石英管清洗機的分類回收管線系統(tǒng)，包括：超純水工藝槽11，超純水工藝外槽1，第一化學工藝槽21，第二化學工藝槽22，化學工藝外槽2，以及排液管線；排液管線包括：第一-第九排液管31-39，設置在對應排液管線上的第一-第七氣動閥41-47。
請參閱圖1。超純水工藝槽11用于容納注入的潔凈超純水，以清洗放置于其中的石英管。超純水工藝槽11位于超純水工藝外槽1之內。超純水工藝外槽1位于超純水工藝槽11外，且將超純水工藝槽包圍，以將超純水工藝槽容納其中；超純水工藝外槽1用于收集從超純水工藝槽11溢流出來的液體，或者是收集由于超純水工藝槽發(fā)生結構性損壞等問題而導致外漏的液體。
第一、第二化學工藝槽21、22用于各容納一種用于清洗石英管的化學清洗液，如HF、HNO3或兩者混合液等；第一、第二化學工藝槽21、22可并列設置在超純水工藝槽11一側，并位于化學工藝外槽2之內?；瘜W工藝外槽2位于第一化學工藝槽和第二化學工藝槽21和22外，且將第一、第二化學工藝槽包圍，以將第一、第二化學工藝槽同時容納其中；化學工藝外槽2用于收集從第一、第二化學工藝槽21、22溢流出來的液體，或者是收集由于第一、第二化學工藝槽發(fā)生結構性損壞等問題而導致外漏的液體。
在上述的排液管線中，所述第一排液管31一端連接于超純水工藝外槽1，另一端可通過其所在排液管線例如排液管39連接至超純水回收處理系統(tǒng)。所述第二排液管32一端連接于化學工藝外槽2，另一端可通過排液管37連接至稀酸回收處理系統(tǒng)。
所述第一氣動閥41可臨近于第一排液管31設置，其一端可通過其所在排液管線例如排液管33連接于超純水工藝槽11，另一端可通過排液管路39連接至超純水回收處理系統(tǒng)。所述第二氣動閥42可臨近于第一氣動閥41設置，其一端可通過排液管33連接于超純水工藝槽11，另一端可通過排液管38連接至超純水回收處理系統(tǒng)；所述第三氣動閥43可臨近于第二氣動閥42設置，其一端可通過排液管33連接于超純水工藝槽11，另一端可通過排液管37連接至稀酸回收處理系統(tǒng)。
所述第四氣動閥44一端可通過排液管34連接于第一化學工藝槽21，另一端可通過排液管路37連接至稀酸回收處理系統(tǒng)。所述第五氣動閥45可臨近于第四氣動閥44設置，其一端可通過排液管34連接于第一化學工藝槽21，另一端可通過排液管36連接至濃酸回收處理系統(tǒng)。所述第六氣動閥46一端可通過排液管路35連接于第二化學工藝槽22，另一端可通過排液管37連接至稀酸回收處理系統(tǒng)。所述第七氣動閥47可臨近于第六氣動閥46設置，其一端可通過排液管35連接于第二化學工藝槽21，另一端可通過排液管36連接至濃酸回收處理系統(tǒng)。
請繼續(xù)參閱圖1?？赏ㄟ^控制第一-第七氣動閥41-47的擇一開啟，來實現對超純水工藝槽11、第一、第二化學工藝槽21、22內不同工藝后狀態(tài)的廢液進行分類排放及回收。具體可采用如下方式：
當所述第一氣動閥41開啟，而第二-第七氣動閥關閉時，通過第一氣動閥所在排液管線即排液管33和39，可以將超純水工藝槽11內的廢液排放至超純水回收處理系統(tǒng)。
當所述第二氣動閥42開啟，而第一氣動閥、第三-第七氣動閥關閉時，通過第二氣動閥所在排液管33和38，可以將超純水工藝槽11內的廢液排放至超純水回收處理系統(tǒng)。
當所述第三氣動閥43開啟，而第一-第二氣動閥、第四-第七氣動閥關閉時，通過第三氣動閥所在排液管33和37，可以將超純水工藝槽11內的廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
當所述第四氣動閥44開啟，而第一-第三氣動閥、第五-第七氣動閥關閉時，通過第四氣動閥所在排液管34和37，可以將第一化學工藝槽21內的廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
當所述第五氣動閥45開啟，而第一-第四氣動閥、第六-第七氣動閥關閉時，通過第五氣動閥所在排液管34和36，可以將第一化學工藝槽21內的廢液排放至濃酸回收處理系統(tǒng)。
當所述第六氣動閥46開啟，而第一-第五氣動閥、第七氣動閥關閉時，通過第六氣動閥所在排液管35和37，可以將第二化學工藝槽22內的廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
當所述第七氣動閥47開啟，而第一-第六氣動閥關閉時，通過第七氣動閥所在排液管35和36，可以將第二化學工藝槽22內的廢液排放至濃酸回收處理系統(tǒng)。
并且，可通過第一排液管31及排液管39直接將超純水工藝外槽1內的溢流或外漏液體廢液排放至超純水回收處理系統(tǒng)，并可通過第二排液管32及排液管37直接將化學工藝外槽2內的溢流或外漏液體廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
下面結合具體實施方式及附圖，對本發(fā)明的一種石英管清洗機的分類回收方法進行詳細說明。
本發(fā)明的一種石英管清洗機的分類回收方法，采用上述的石英管清洗機的分類回收管線系統(tǒng)，可包括以下步驟：
首先，向超純水工藝槽11內注入超純水，然后，將一個規(guī)定數量清洗批次中的第一個待清洗石英管放置于超純水工藝槽11中進行超純水預清洗。預清洗時可伴隨溢流和鼓氮等工藝。
在完成預清洗后，將第一氣動閥41打開，并將其它氣動閥關閉；這時，超純水工藝槽11內預清洗后的廢液將通過第一氣動閥41所在排液管33和39排放至超純水回收處理系統(tǒng)，以利回收使用。
接著，將預清洗后的該石英管分別放置于第一化學工藝槽21和/或第二化學工藝槽22中進行化學清洗；清洗完后，將石英管移向超純水工藝槽11。
此時的超純水工藝槽11內已注入新的超純水，即可將化學清洗后的石英管放置于超純水工藝槽11中進行第一次超純水清洗。由于在第一次超純水清洗時，剛從化學工藝槽中取出的石英管含酸量較大，所以在對其進行第一次超純水清洗完畢后，將第三氣動閥43打開，并將其它氣動閥關閉；這時，超純水工藝槽11內第一次超純水清洗后的廢液將通過第三氣動閥43所在排液管33和37排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
接著，向超純水工藝槽11內再次注入新的超純水，將經過第一次超純水清洗后的石英管放置于超純水工藝槽11中進行第二次超純水清洗。此時由于石英管已經過了第一次的超純水清洗，含酸量已降低很多；因此，在第二次超純水清洗完后，可將第二氣動閥42打開，并將其它氣動閥關閉；超純水工藝槽11內第二次超純水清洗后的廢液即可通過第二氣動閥42所在排液管33和38排放至超純水回收處理系統(tǒng)。
最后，再次將超純水工藝槽11注滿新的超純水，將經第二次超純水清洗后的石英管放置于超純水工藝槽11中，進行第三次也是最后一次超純水清洗。此時的石英管表面已基本不含酸；因此，第三次清洗完后，可將第一氣動閥41打開，并將其它氣動閥關閉；這時，超純水工藝槽11內第三次超純水清洗后的廢液將通過第一氣動閥41所在排液管33和39排放至超純水回收處理系統(tǒng)。
在對上述第一個待清洗石英管進行完整步驟的清洗后，即可對規(guī)定數量的該批次后續(xù)石英管按照上述步驟重復進行預清洗、化學清洗及第一-第三次超純水清洗及廢液分類排放回收作業(yè)。
在各批次清洗過程中，當遇到第一、第二化學工藝槽21、22內化學清洗液到達使用壽命的情況時，即需要對第一、第二化學工藝槽21、22內的化學清洗液進行更新。
這時，需要分別對第一化學工藝槽21或第二化學工藝槽22內的化學清洗液進行排放；可將第五氣動閥45或第七氣動閥47打開，并將其它氣動閥關閉；此時，第一化學工藝槽21中的廢液可經第五氣動閥45所在排液管34和36排放至濃酸回收處理系統(tǒng)；或者第二化學工藝槽22中的廢液可經第七氣動閥47所在排液管35和36排放至濃酸回收處理系統(tǒng)。
接著，需要先對第一化學工藝槽21或第二化學工藝槽22進行清洗，然后才能注入新的化學清洗液?？上虻谝换瘜W工藝槽21或第二化學工藝槽22內分別注入超純水對槽壁進行清洗；然后分別打開第四氣動閥44或第六氣動閥46，并將其它氣動閥關閉；這樣，第一化學工藝槽21或第二化學工藝槽22中的廢液就可分別經第四氣動閥44所在排液管34和37或第六氣動閥46所在排液管35和37排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。之后，再向第一化學工藝槽21或第二化學工藝槽22內分別注入新的化學清洗液，即可開始對新的規(guī)定數量的石英管批次分別進行化學清洗。
在上述過程中，可通過第一排液管31及排液管39直接將超純水工藝外槽1內由超純水工藝槽11溢流出的液體廢液或由于超純水工藝槽結構性損壞而導致外漏的液體廢液排放至超純水回收處理系統(tǒng)，并可通過第二排液管32及排液管37直接將化學工藝外槽2內由第一、第二化學工藝槽21、22溢流出的液體廢液或由于第一、第二化學工藝槽結構性損壞而導致外漏的液體廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
綜上所述，本發(fā)明通過在超純水工藝槽外圍設置超純水工藝外槽及在第一、第二化學工藝槽外圍設置化學工藝外槽，可分別通過排液管直接將超純水工藝外槽內的溢流或外漏廢液排放至超純水回收處理系統(tǒng)、將化學工藝外槽內的溢流或外漏廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)，不但可防止廢液外泄污染環(huán)境，還可加以分類回收；并針對超純水工藝槽及第一、第二化學工藝槽所處的不同工藝狀態(tài)，通過控制分別設置的第一-第七氣動閥擇一開啟，并通過對應排液管線對超純水工藝槽、第一、第二化學工藝槽內不同工藝后狀態(tài)的廢液進行分類排放及回收，可全面實現對石英管清洗機包括超純水及化學清洗液在內的各類廢液進行細致的分類回收，從而減少了廢液處理過程中的大量浪費，并有效降低了回收系統(tǒng)的負荷，因此節(jié)省了回收成本。
以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例，所述實施例并非用以限制本發(fā)明的專利保護范圍，因此凡是運用本發(fā)明的說明書及附圖內容所作的等同結構變化，同理均應包含在本發(fā)明的保護范圍內。