專利名稱：抗蝕劑剝離廢液再生方法和再生裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及抗蝕劑剝離廢液再生方法和再生裝置，特別涉及下述的抗蝕劑剝離廢液再生方法和再生裝置，所述再生方法是對含有水、抗蝕劑、胺化合物、有機(jī)溶劑的抗蝕劑剝離廢液進(jìn)行再生的方法，該方法特別適于經(jīng)濟(jì)性較好地對使用含各種專門的胺化合物的剝離液的剝離工序時以及使用各種抗蝕劑和剝離液時所產(chǎn)生的抗蝕劑剝離廢液進(jìn)行再生。
背景技術(shù)：
為了制造集成電路(IC)、高集成電路(LSI)、超高集成電路(VLSI)等半導(dǎo)體元件和液晶顯示元件等顯示裝置，要反復(fù)實施多階段的光蝕刻工序和抗蝕劑剝離工序，由此產(chǎn)生大量的抗蝕劑剝離廢液。特別是由于液晶顯示元件等顯示器基板面積的急速大型化，剝離液的用量大幅度增大，進(jìn)一步提出了對于剝離廢液的再利用的要求。
經(jīng)抗蝕劑剝離工序使用后的的剝離液廢液含有抗蝕劑、水分、各種有機(jī)胺化合物和有機(jī)溶劑。以往作為對該剝離液廢液進(jìn)行廢棄處理的方法通常采用焚燒處理的方法，但是由于該方法將焚燒氣體釋放于大氣中，不僅對環(huán)境有不良影響，而且剝離液廢液中的能夠再利用的成分也被廢棄掉，所以在經(jīng)濟(jì)性方面不是優(yōu)選的，因而對于剝離廢液的再生進(jìn)行了大量的研究。
此外，最近，由于在半導(dǎo)體和顯示器制造工序中進(jìn)一步要求精密度和特性化，所以多進(jìn)行最適于各個工序的光致抗蝕劑的細(xì)分化，對于各個剝離工序中所使用的抗蝕劑剝離液的成分，在使用中各種有機(jī)胺和有機(jī)溶劑的種類以及含量也被細(xì)分化。
作為對再生抗蝕劑剝離廢液進(jìn)行嘗試的一個例子，下述專利文獻(xiàn)1(韓國專利申請第10-2002-0075235號)中，公開了一種抗蝕劑剝離廢液的再生裝置，該抗蝕劑剝離廢液的再生裝置是對含有烷醇胺、有機(jī)溶劑和抗蝕劑的抗蝕劑剝離廢液進(jìn)行再生的再生裝置，該再生裝置具有膜分離裝置、濃度調(diào)整罐、烷醇胺供給單元、有機(jī)溶劑供給單元；所述膜分離裝置具有截留分子量為100～1500的膜，使用上述膜將上述抗蝕劑剝離廢液分離為濃縮液和透過液；所述濃度調(diào)整罐貯存上述透過液，用于調(diào)整上述透過液中的烷醇胺和有機(jī)溶劑的濃度；所述烷醇胺供給單元用于向上述濃度調(diào)整罐供給烷醇胺；所述有機(jī)溶劑供給單元用于向上述濃度調(diào)整罐供給有機(jī)溶劑。上述方法是利用抗蝕劑剝離廢液中所含有的烷醇胺和有機(jī)溶劑透過納米膜而抗蝕劑不透過納米膜的性質(zhì)而對剝離液進(jìn)行再生的方法。
此外還通過其它的途徑對抗蝕劑剝離廢液的再生進(jìn)行了各種嘗試，但是由于一次性分離有機(jī)溶劑和各種胺化合物，所以不適于對使用專門的胺化合物的各種被細(xì)分化的光致抗蝕劑以及剝離工序中所產(chǎn)生的剝離廢液進(jìn)行再生，并且在半導(dǎo)體和顯示器制造工序中使用多種抗蝕劑和剝離液時，由于現(xiàn)有的抗蝕劑剝離液再生方法中采用的是對有機(jī)溶劑和各種胺化合物進(jìn)行一次性分離的方式，因而其利用是受到限制的，進(jìn)一步要求可以除去抗蝕劑剝離廢液中的抗蝕劑、水分和有機(jī)胺化合物而僅經(jīng)濟(jì)地對有機(jī)溶劑進(jìn)行再生的方法。
韓國專利申請第10-2002-0075235號發(fā)明內(nèi)容為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，本發(fā)明的目的在于，提供一種抗蝕劑剝離廢液再生方法和再生裝置，所述再生方法與抗蝕劑剝離液中所含有的胺化合物的種類無關(guān)，通過對價格高的有機(jī)溶劑進(jìn)行再生并使其再次用于抗蝕劑剝離液，可以進(jìn)一步減輕由于抗蝕劑剝離廢液所導(dǎo)致的環(huán)境污染，通過對價格高的有機(jī)溶劑進(jìn)行再次使用，可以進(jìn)一步節(jié)減費用。
本發(fā)明的其它目的在于，提供一種抗蝕劑剝離廢液的再生方法和再生裝置，所述再生方法適于在經(jīng)濟(jì)性較好的同時對使用含各種專門的胺化合物的剝離液的剝離工序時以及使用各種抗蝕劑和剝離液時所產(chǎn)生的抗蝕劑剝離廢液進(jìn)行再生。
為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種抗蝕劑剝離廢液的再生方法，其是對含有水、抗蝕劑、胺化合物、有機(jī)溶劑的抗蝕劑剝離廢液進(jìn)行再生的方法，該方法的特征在于，其含有(a)添加酸的工序，所述酸與抗蝕劑剝離廢液的胺化合物發(fā)生反應(yīng)，使胺化合物形成在有機(jī)溶劑蒸餾時不被蒸餾的胺-酸化合物；和(b)使上述(a)工序的反應(yīng)產(chǎn)物分別蒸餾，僅獲取有機(jī)溶劑的工序。
本發(fā)明還提供一種抗蝕劑剝離廢液再生裝置，該再生裝置的特征在于，其含有(a)含有水、抗蝕劑、胺化合物、有機(jī)溶劑的待處理抗蝕劑剝離廢液的貯存罐；(b)酸貯存罐；(c)將由上述酸貯存罐輸送的酸添加到由上述待處理抗蝕劑剝離廢液的貯存罐輸送的剝離廢液中，使剝離廢液的胺化合物與酸進(jìn)行反應(yīng)的反應(yīng)罐；(d)對由上述反應(yīng)罐輸送的剝離廢液進(jìn)行分別蒸餾的蒸餾罐；以及(e)對用上述分別蒸餾罐分別蒸餾出的有機(jī)溶劑進(jìn)行捕集并貯存的有機(jī)溶劑貯存罐。
基于本發(fā)明的抗蝕劑剝離液再生方法和再生裝置具有如下效果其不受抗蝕劑剝離液中所含有的胺化合物的種類的影響，通過對價格高的有機(jī)溶劑進(jìn)行再生并使其再次用于抗蝕劑剝離液，可以進(jìn)一步減輕由于抗蝕劑剝離廢液所導(dǎo)致的環(huán)境污染；通過對價格高的有機(jī)溶劑進(jìn)行再次使用，可以進(jìn)一步節(jié)減費用；特別適于在經(jīng)濟(jì)性較好的同時對使用含各種專門的胺化合物的剝離液的剝離工序中以及使用各種抗蝕劑和剝離液時所產(chǎn)生的抗蝕劑剝離廢液進(jìn)行再生。


圖1是基于本發(fā)明的一個實施方式的抗蝕劑剝離廢液再生裝置的示意圖。
符號說明10待處理抗蝕劑剝離廢液貯存罐11泵12自動調(diào)節(jié)閥20酸貯存罐21泵22自動調(diào)節(jié)閥30反應(yīng)罐31泵32自動調(diào)節(jié)閥40蒸餾罐43一次蒸餾罐44二次蒸餾罐45三次蒸餾罐46殘留成分排出罐47減壓裝置50有機(jī)溶劑貯存罐53冷凝器60胺化合物罐具體實施方式
下文對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的說明。
本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，在現(xiàn)有的抗蝕劑剝離廢液再生方法中，若將有機(jī)胺化合物與有機(jī)溶劑同時進(jìn)行回收來對使用含有各種專門的胺化合物的剝離液的剝離工序時以及使用各種抗蝕劑和剝離液時所產(chǎn)生的抗蝕劑剝離廢液進(jìn)行再生，則由于所回收的有機(jī)胺化合物與實際使用的有機(jī)胺化合物不同而不能用作剝離液；對與此相應(yīng)的經(jīng)濟(jì)的再生方法進(jìn)行研究后發(fā)現(xiàn)，若利用經(jīng)濟(jì)的方法，除去抗蝕劑剝離廢液中的抗蝕劑、水分和有機(jī)胺化合物，然后僅捕集有機(jī)溶劑，隨后再將適于各種專門的剝離液的有機(jī)胺化合物添加于再生的有機(jī)溶劑中來制造抗蝕劑剝離液，則此時可以解決全部問題，從而完成本發(fā)明。
本發(fā)明是對含有水、抗蝕劑、胺化合物、有機(jī)溶劑的抗蝕劑剝離廢液進(jìn)行再生的方法，該方法的特征在于，其含有(a)添加酸的工序，所述酸與抗蝕劑剝離廢液的胺化合物發(fā)生反應(yīng)，使胺化合物形成在有機(jī)溶劑蒸餾時不被蒸餾的胺-酸化合物；和(b)對上述(a)工序的反應(yīng)產(chǎn)物進(jìn)行分別蒸餾而僅獲取有機(jī)溶劑的工序。
上述抗蝕劑剝離廢液可以隨使用剝離液的各個工序的不同而含有各種有機(jī)胺化合物或各種有機(jī)溶劑。上述有機(jī)胺化合物可以為伯胺、仲胺或叔胺，可以是脂肪胺、脂環(huán)胺、芳香胺、雜環(huán)胺、羥胺。此外，上述有機(jī)溶劑可以含有二元醇類的乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丁醚、乙二醇單苯醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單丙醚或二丙二醇單丁醚，可以含有二甲基亞砜、二甲基乙酰胺、二甲基甲酰胺、二甲基咪唑啉酮、環(huán)丁砜、或N-甲基吡咯烷酮等烷基吡咯烷酮。
在本發(fā)明的抗蝕劑剝離廢液再生方法中，作為上述(a)工序中使用的酸，其只要與剝離廢液中的胺化合物發(fā)生反應(yīng)而使剝離廢液的胺化合物形成在有機(jī)溶劑蒸餾時不被蒸餾的胺-酸化合物即可，無特別限定，可以單獨或混合使用苯甲酸、檸檬酸、甲酸、馬來酸、蘋果酸、水楊酸、酒石酸、乙酸、草酸、磷酸、硝酸、鹽酸、硫酸和高氯酸等。對于酸的用量，至少需添加與剝離廢液中所含有的胺化合物的當(dāng)量相同的等當(dāng)量的或高于等當(dāng)量的酸，優(yōu)選進(jìn)行過量添加以使得胺化合物無殘留。進(jìn)一步優(yōu)選使用在有機(jī)溶劑分別蒸餾時酸與胺的反應(yīng)產(chǎn)物、殘存的酸不會混入其中的酸。
通過上述(a)工序，待處理的抗蝕劑剝離廢液的成分含有抗蝕劑、水分、胺與酸的反應(yīng)產(chǎn)物、殘存的酸以及有機(jī)溶劑。
本發(fā)明的抗蝕劑剝離廢液的再生方法含有對上述(a)工序的反應(yīng)產(chǎn)物進(jìn)行分別蒸餾而僅捕集有機(jī)溶劑的工序作為(b)工序。本工序中，通過分別蒸餾，水分、酸和有機(jī)溶劑被分別蒸餾出，可以僅捕集有機(jī)溶劑，未蒸餾的抗蝕劑以及酸和胺的反應(yīng)產(chǎn)物通過其它途徑分離。
上述分別捕集的有機(jī)溶劑通過冷凝器可以再次形成液體，從而可以在上述有機(jī)溶劑中添加特別要求的胺化合物，再次用作剝離液。
本發(fā)明的剝離廢液再生方法不受胺化合物的種類的影響，通過對價格高的有機(jī)溶劑進(jìn)行再生并使其再次用于抗蝕劑剝離液，可以進(jìn)一步減輕由于抗蝕劑剝離廢液所導(dǎo)致的環(huán)境污染；通過對價格高的有機(jī)溶劑進(jìn)行再次使用，可以進(jìn)一步節(jié)減費用。
下文中，作為本發(fā)明的一個具體的實施方式，對使用乙酸作為酸成分以使得下述剝離廢液再生的方法進(jìn)行說明；所述剝離廢液是由各個抗蝕劑剝離工序產(chǎn)生的，其由胺化合物、有機(jī)溶劑、水分和抗蝕劑構(gòu)成，所述胺化合物中含有MEA(單乙醇胺)、MIPA(單異丙醇胺)、n-MEA(N-甲基乙醇胺)，所述有機(jī)溶劑中含有二元醇和烷基吡咯烷酮。
在由胺化合物(其含有MEA、MIPA、n-MEA)、有機(jī)溶劑(其含有二元醇和烷基吡咯烷酮)、水分和抗蝕劑構(gòu)成的剝離廢液中添加相對于上述胺化合物的總當(dāng)量為過量的乙酸。通過添加乙酸，乙酸和胺化合物發(fā)生反應(yīng)生成胺-乙酸反應(yīng)產(chǎn)物，未參與反應(yīng)的乙酸以液體狀態(tài)殘留于剝離廢液中。然后對抗蝕劑、胺-乙酸反應(yīng)產(chǎn)物、水分、未參與反應(yīng)的殘存乙酸、有機(jī)溶劑的混合物進(jìn)行分別蒸餾，首先蒸餾出水分，其次蒸餾出乙酸，然后有機(jī)溶劑的二元醇和烷基吡咯烷酮與未發(fā)生蒸餾而殘留的抗蝕劑和胺-乙酸反應(yīng)產(chǎn)物被分離，通過蒸餾僅捕集目的有機(jī)溶劑。然后，可以在所捕集的有機(jī)溶劑中選擇性地添加特別要求的胺化合物如MEA、MIPA或n-MEA等，再次用作剝離液。
此外，下文中，作為本發(fā)明的一個具體的實施方式，對使用草酸(C2H2O4)作為酸成分以使得下述剝離廢液再生的方法進(jìn)行說明；所述剝離廢液是由各個抗蝕劑剝離工序產(chǎn)生的，其由胺化合物、有機(jī)溶劑、水分和抗蝕劑構(gòu)成，所述胺化合物中含有MEA、MIPA、n-MEA，所述有機(jī)溶劑中含有二元醇和烷基吡咯烷酮。由于所述草酸在常溫下以二水合物的形式存在，因而使用草酸二水合物(C2H2O4H2O)。
在由胺化合物(其含有MEA、MIPA、n-MEA)、有機(jī)溶劑(其含有二元醇和烷基吡咯烷酮)、水分和抗蝕劑構(gòu)成的剝離廢液中添加相對于上述胺化合物的總當(dāng)量為過量的草酸二水合物。通過添加草酸二水合物，草酸二水合物和胺化合物發(fā)生反應(yīng)生成胺-草酸反應(yīng)產(chǎn)物，未參與反應(yīng)的草酸二水合物殘留于剝離廢液中。然后，對抗蝕劑、胺-草酸反應(yīng)產(chǎn)物、水分、未參與反應(yīng)的殘存的草酸二水合物、有機(jī)溶劑的混合物進(jìn)行分別蒸餾，首先蒸餾出水分和草酸二水合物分解而形成的甲酸、二氧化碳、一氧化碳，其次將有機(jī)溶劑中的二元醇和烷基吡咯烷酮與殘留的抗蝕劑、胺-草酸反應(yīng)產(chǎn)物和未分解的草酸二水合物分離，通過蒸餾，僅捕集目的有機(jī)溶劑。然后，可以在所捕集的有機(jī)溶劑中選擇性地添加特別要求的胺化合物如MEA、MIPA或n-MEA等，使其再次用作剝離液。
此外，本發(fā)明提供抗蝕劑剝離廢液再生裝置，該再生裝置的特征在于，其含有(a)含有水、抗蝕劑、胺化合物、有機(jī)溶劑的待處理抗蝕劑剝離廢液的貯存罐；(b)酸貯存罐；(c)將由上述酸貯存罐輸送的酸添加到由上述待處理抗蝕劑剝離廢液的貯存罐輸送的剝離廢液中，使剝離廢液的胺化合物與酸進(jìn)行反應(yīng)的反應(yīng)罐；(d)對由上述反應(yīng)罐輸送的剝離廢液進(jìn)行分別蒸餾的蒸餾罐；以及(e)對在上述分別蒸餾罐中被分別蒸餾的有機(jī)溶劑進(jìn)行捕集并貯存的有機(jī)溶劑貯存罐。
下文通過本發(fā)明抗蝕劑剝離廢液再生裝置的一個實施方式的圖1所示的示意圖，對本發(fā)明進(jìn)行具體的說明。將在各個抗蝕劑剝離工序中得到的待處理抗蝕劑剝離液貯存于待處理抗蝕劑剝離廢液貯存罐10中。上述待處理抗蝕劑剝離廢液含有抗蝕劑，并含有MEA、MIPA、n-MEA等各種胺化合物，還含有水分和有機(jī)溶劑。將上述貯存于待處理抗蝕劑剝離廢液貯存罐10中的待處理抗蝕劑剝離廢液通過泵11沿著配管輸送至反應(yīng)罐30中。為了在輸送上述剝離廢液時調(diào)節(jié)剝離廢液的量，可以在配管的規(guī)定部分設(shè)置自動調(diào)節(jié)閥12。該裝置另外還具有酸貯存罐20，其用于貯存與抗蝕劑剝離廢液中所含有的胺化合物進(jìn)行反應(yīng)的酸。上述酸優(yōu)選為乙酸或草酸二水合物。將酸從上述酸貯存罐20通過泵21沿著配管輸送至反應(yīng)罐30中。為了在輸送上述剝離廢液時調(diào)節(jié)酸的量，可以在配管的規(guī)定部分設(shè)置自動調(diào)節(jié)閥22。在輸送時，優(yōu)選被輸送的酸的量為至少與剝離廢液中所含有的胺化合物的總當(dāng)量相等的等當(dāng)量或為過量。由待處理抗蝕劑剝離廢液貯存罐10輸送的剝離廢液和由酸貯存罐20輸送的酸在反應(yīng)罐30中發(fā)生反應(yīng)，形成胺-酸反應(yīng)產(chǎn)物(例如，胺-乙酸反應(yīng)產(chǎn)物或胺-草酸反應(yīng)產(chǎn)物)，未參與反應(yīng)的酸仍存在于剝離廢液中，此時，剝離廢液中含有抗蝕劑、酸-堿反應(yīng)產(chǎn)物、水分、未參與反應(yīng)的酸、有機(jī)溶劑。將結(jié)束上述反應(yīng)的剝離廢液從反應(yīng)罐30通過泵31沿著配管輸送至蒸餾罐40。為了在輸送上述剝離廢液時調(diào)節(jié)剝離廢液的量，可以在配管的規(guī)定部分設(shè)有自動調(diào)節(jié)閥32。在蒸餾罐40中通過升高溫度分別蒸餾出剝離廢液中所含有的成分并進(jìn)行捕集。優(yōu)選上述蒸餾罐40在設(shè)置中分成用于捕集水分的一次蒸餾罐43、用于捕集酸的二次蒸餾罐44、用于捕集有機(jī)溶劑的三次蒸餾罐45以及殘留成分排出罐46。使用乙酸作為酸時，剝離廢液內(nèi)所含有的水分通過一次蒸餾罐43被捕集，未參與反應(yīng)的乙酸通過二次蒸餾罐44被捕集，有機(jī)溶劑通過三次蒸餾罐45被捕集，抗蝕劑和胺-乙酸的反應(yīng)產(chǎn)物未發(fā)生蒸餾被排到殘留成分排出罐46。優(yōu)選上述蒸餾罐40可以另外設(shè)有減壓裝置47，此時可以降低蒸餾溫度。將通過上述三次蒸餾罐45被捕集的有機(jī)溶劑輸送至有機(jī)溶劑貯存罐50。上述有機(jī)溶劑貯存罐50具有冷凝器53，可以使被捕集的有機(jī)溶劑成為液體狀態(tài)。優(yōu)選上述有機(jī)溶劑貯存罐50與能夠添加規(guī)定的胺化合物的胺化合物罐60相連接，可以通過添加規(guī)定的胺化合物來添加僅適于個別抗蝕劑剝離工序的胺化合物，由此制造再生剝離液。
下文為了理解本發(fā)明而舉出優(yōu)選的實施例，但是實施例僅用于對本發(fā)明進(jìn)行示例，本發(fā)明的范圍并不限于下述實施例。
實施例1在由各個抗蝕劑剝離工序得到的含有3重量份抗蝕劑、5重量份胺化合物MEA、5重量份胺化合物MIPA、5重量份胺化合物n-MEA、10重量份水分、72重量份有機(jī)溶劑(50重量份的二元醇和22重量份的烷基吡咯烷酮)的剝離廢液中添加10重量份乙酸，形成胺-乙酸化合物。對上述形成有胺-乙酸化合物的剝離廢液進(jìn)行分別蒸餾，依次捕集水分和殘留的乙酸以及有機(jī)溶劑，將殘留的抗蝕劑和胺-乙酸分離排出。將上述捕集的有機(jī)溶劑冷卻使其形成液體，對形成液體的有機(jī)溶劑的成分進(jìn)行分析后可知，100重量份有機(jī)溶劑中的二元醇為61.4重量份、烷基吡咯烷酮為38.6重量份、水分小于0.1重量份、總的胺化合物小于0.1重量份、未檢出樹脂。
實施例2在由各個抗蝕劑剝離工序得到的含有3重量份抗蝕劑、4重量份胺化合物MEA、4重量份胺化合物MIPA、4重量份胺化合物n-MEA、20重量份水分、65重量份有機(jī)溶劑(45重量份二元醇和20重量份烷基吡咯烷酮)的剝離廢液中添加8重量份乙酸，形成胺-乙酸化合物。對上述形成有胺-乙酸化合物的剝離廢液進(jìn)行分別蒸餾，依次捕集水分和殘留的乙酸以及有機(jī)溶劑，將殘留的抗蝕劑和胺-乙酸分離排出。將上述捕集的有機(jī)溶劑冷卻使其液體化，對液體化的有機(jī)溶劑的成分進(jìn)行分析后可知，100重量份有機(jī)溶劑中的二元醇為61.8重量份、烷基吡咯烷酮為38.2重量份、水分小于0.1重量份、總的胺化合物小于0.1重量份、未檢出樹脂。
實施例3在由各個抗蝕劑剝離工序得到的含有2重量份抗蝕劑、2重量份胺化合物MEA、2重量份胺化合物MIPA、2重量份胺化合物n-MEA、40重量份水分、52重量份有機(jī)溶劑(36重量份二元醇和16重量份烷基吡咯烷酮)的剝離廢液中添加4重量份乙酸，形成胺-乙酸化合物。對上述形成有胺-乙酸化合物的剝離廢液進(jìn)行分別蒸餾，依次捕集水分和殘留的乙酸以及有機(jī)溶劑，將殘留的抗蝕劑和胺-乙酸分離排出。將上述捕集的有機(jī)溶劑冷卻使其液體化，對液體化的有機(jī)溶劑的成分進(jìn)行分析后可知，100重量份有機(jī)溶劑中的二元醇為58.9重量份、烷基吡咯烷酮為41.1重量份、水分小于0.1重量份、總的胺化合物小于0.1重量份、未檢出樹脂。
實施例4在由各個抗蝕劑剝離工序得到的含有3重量份抗蝕劑、5重量份胺化合物MEA、5重量份胺化合物MIPA、5重量份胺化合物n-MEA、10重量份水分、72重量份有機(jī)溶劑(50重量份二元醇和22重量份烷基吡咯烷酮)的剝離廢液中添加10.6重量份草酸二水合物，形成胺-草酸化合物。未參與反應(yīng)的草酸二水合物以固體成分形式殘留于剝離廢液中。對上述形成有胺-草酸化合物的剝離廢液進(jìn)行分別蒸餾，捕集水分、草酸分解而形成的物質(zhì)(甲酸、一氧化碳、二氧化碳等)、以及有機(jī)溶劑，將殘留的抗蝕劑和胺-草酸以及未分解的草酸二水合物分離排出。將上述捕集的有機(jī)溶劑冷卻使其液體化，對液體化的有機(jī)溶劑的成分進(jìn)行分析后可知，100重量份有機(jī)溶劑中的二元醇為62.2重量份、烷基吡咯烷酮為37.8重量份、水分小于0.1重量份、總的胺化合物小于0.1重量份、未檢出樹脂。
實施例5在由各個抗蝕劑剝離工序得到的含有3重量份抗蝕劑、4重量份胺化合物MEA、4重量份胺化合物MIPA、4重量份胺化合物n-MEA、20重量份水分、65重量份有機(jī)溶劑(45重量份二元醇和20重量份烷基吡咯烷酮)的剝離廢液中添加8.5重量份草酸二水合物，形成胺-草酸化合物。未參與反應(yīng)的草酸二水合物以固體成分形式殘留于剝離廢液中。對上述形成有胺-草酸化合物的剝離廢液進(jìn)行分別蒸餾，捕集水分、草酸分解而形成的物質(zhì)(甲酸、一氧化碳、二氧化碳等)、以及有機(jī)溶劑，將殘留的抗蝕劑和胺-草酸以及未分解的草酸二水合物分離排出。將上述捕集的有機(jī)溶劑冷卻使其液體化，對液體化的有機(jī)溶劑的成分進(jìn)行分析后可知，100重量份有機(jī)溶劑中的二元醇為58.3重量份、烷基吡咯烷酮為41.7重量份、水分小于0.1重量份、總的胺化合物小于0.1重量份、未檢出樹脂。
實施例6在由各個抗蝕劑剝離工序得到的含有2重量份抗蝕劑、2重量份胺化合物MEA、2重量份胺化合物MIPA、2重量份胺化合物n-MEA、40重量份水分、52重量份有機(jī)溶劑(36重量份二元醇和16重量份烷基吡咯烷酮)的剝離廢液中添加4.3重量份草酸二水合物，形成胺-草酸化合物。未參與反應(yīng)的草酸二水合物以固體成分形式殘留于剝離廢液中。對上述形成有胺-草酸化合物的剝離廢液進(jìn)行分別蒸餾，捕集水分、草酸分解而形成的物質(zhì)(甲酸、一氧化碳、二氧化碳等)、以及有機(jī)溶劑，將殘留的抗蝕劑和胺-草酸以及未分解的草酸二水合物分離排出。將上述捕集的有機(jī)溶劑冷卻使其液體化，對液體化的有機(jī)溶劑的成分進(jìn)行分析后可知，100重量份有機(jī)溶劑中的二元醇為62.8重量份、烷基吡咯烷酮為37.2重量份、水分小于0.1重量份、總胺化合物小于0.1重量份、未檢出樹脂。
權(quán)利要求
1.一種抗蝕劑剝離廢液的再生方法，其是對含有水、抗蝕劑、胺化合物、有機(jī)溶劑的抗蝕劑剝離廢液進(jìn)行再生的方法，該方法的特征在于，其含有(a)添加酸的工序，所述酸與抗蝕劑剝離廢液的胺化合物發(fā)生反應(yīng)而使得胺化合物形成在有機(jī)溶劑蒸餾時不被蒸餾的胺-酸化合物；和(b)對上述(a)工序的反應(yīng)產(chǎn)物進(jìn)行分別蒸餾而僅獲取有機(jī)溶劑的工序。
2.如權(quán)利要求1所述的抗蝕劑剝離廢液的再生方法，其特征在于，所述酸的添加量采用至少與剝離廢液中所含有的胺化合物的當(dāng)量相等的等當(dāng)量或高于該等當(dāng)量的量。
3.如權(quán)利要求1所述的抗蝕劑剝離廢液的再生方法，其特征在于，所述酸為選自由苯甲酸、檸檬酸、甲酸、馬來酸、蘋果酸、水楊酸、酒石酸、乙酸、草酸、磷酸、硝酸、鹽酸、硫酸和高氯酸組成的組中的至少1種。
4.一種抗蝕劑剝離廢液再生裝置，該再生裝置的特征在于，其含有(a)含有水、抗蝕劑、胺化合物、有機(jī)溶劑的待處理抗蝕劑剝離廢液的貯存罐；(b)酸貯存罐；(c)將由上述酸貯存罐輸送的酸添加到由上述待處理抗蝕劑剝離廢液的貯存罐輸送的剝離廢液中，使剝離廢液的胺化合物與酸進(jìn)行反應(yīng)的反應(yīng)罐；(d)對由上述反應(yīng)罐輸送的剝離廢液進(jìn)行分別蒸餾的蒸餾罐；以及(e)對在上述分別蒸餾罐中被分別蒸餾的有機(jī)溶劑進(jìn)行接收并貯存的有機(jī)溶劑貯存罐。
5.如權(quán)利要求4所述的抗蝕劑剝離廢液再生裝置，其特征在于，所述蒸餾罐包含用于捕集水分的一次蒸餾罐、用于捕集酸的二次蒸餾罐、用于捕集有機(jī)溶劑的三次蒸餾罐。
6.如權(quán)利要求4所述的抗蝕劑剝離廢液再生裝置，其特征在于，所述蒸餾罐具有減壓裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種抗蝕劑剝離廢液再生方法和再生裝置，所述再生方法和再生裝置特別適于經(jīng)濟(jì)性較好地對使用含有各種專門的胺化合物的剝離液的剝離工序時以及使用各種抗蝕劑和剝離液時所產(chǎn)生的抗蝕劑剝離廢液進(jìn)行再生。本發(fā)明的再生裝置適用于該再生方法。本發(fā)明的抗蝕劑剝離廢液的再生方法是對含有水、抗蝕劑、胺化合物、有機(jī)溶劑的抗蝕劑剝離廢液進(jìn)行再生的方法，該方法的特征在于，其含有(a)添加酸的工序，所述酸與抗蝕劑剝離廢液的胺化合物發(fā)生反應(yīng)而使得胺化合物形成在有機(jī)溶劑蒸餾時不被蒸餾的胺－酸化合物；和(b)對上述(a)工序的反應(yīng)產(chǎn)物進(jìn)行分別蒸餾而僅獲取有機(jī)溶劑的工序。
文檔編號C02F9/04GK101030047SQ20071008616
公開日2007年9月5日 申請日期2007年3月5日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月3日
發(fā)明者李騏范, 金柄郁, 樸美仙, 洪振燮, 任潤吉, 尹錫壹 申請人:東進(jìn)世美肯株式會社