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一種基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備的制造方法

文檔序號:10821839閱讀:529來源:國知局
一種基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備,包括制冷電機(jī)和制冷機(jī)身,制冷機(jī)身包括冷頭、抽真空裝置和保溫裝置,制冷電機(jī)、抽真空裝置和保溫裝置從上到下依次設(shè)置,且抽真空裝置與保溫裝置連接,冷頭的第一端與制冷電機(jī)相連,冷頭的第二端伸入抽真空裝置中并連接有一端伸入保溫裝置內(nèi)部的導(dǎo)冷線;保溫裝置內(nèi)設(shè)置有高溫超導(dǎo)體,且高溫超導(dǎo)體的周圍填充有固氮。在抽真空裝置和制冷電機(jī)的雙重作用下可使保溫裝置內(nèi)的溫度降低,完成制冷。制冷結(jié)束后,利用保溫裝置內(nèi)部固氮的高熱容可大量吸收高溫超導(dǎo)體的熱量從而降低其溫度,確保其正常工作。本實用新型的制冷和保溫效果好,且成本低、操作過程方便、適用性強(qiáng)。
【專利說明】
一種基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及制冷裝置的技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]超導(dǎo)現(xiàn)象是指當(dāng)溫度降低到一定程度,金屬的電阻會突然消失變?yōu)榱愕默F(xiàn)象,將具有這種臨界溫度的材料稱為高溫超導(dǎo)體。高溫超導(dǎo)的發(fā)現(xiàn)和應(yīng)用在眾多領(lǐng)域中具有非常突出的優(yōu)點和不可取代的作用。但是由于高溫超導(dǎo)的應(yīng)用需使得高溫超導(dǎo)體處于接近絕對零度的環(huán)境中才可應(yīng)用,故其應(yīng)用會遇到制冷的問題。
[0003]傳統(tǒng)的高溫超導(dǎo)體在使用過程中的制冷技術(shù)一般采用兩種方式進(jìn)行制冷。一種方式為直接采用大功率的GM制冷機(jī)進(jìn)行持續(xù)制冷以保持高溫超導(dǎo)體的工作溫度,但在持續(xù)制冷的過程中成本較高,不利于廣泛使用。另一種方式為通過采用液氮的加注來制冷,但在使用液氮進(jìn)行制冷的過程中,需對液氮進(jìn)行周期性加入,使用過程繁瑣不便,同樣也不利于廣泛使用。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的在于提供一種基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備,用于解決高溫超導(dǎo)體在使用過程中傳統(tǒng)的制冷技術(shù)成本較高或使用過程繁瑣而適用范圍受到局限的問題。
[0005]為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供如下技術(shù)方案:一種基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備,所述基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備包括制冷電機(jī)和制冷機(jī)身,所述制冷電機(jī)設(shè)置在所述制冷機(jī)身的頂部,其中,
[0006]所述制冷機(jī)身包括冷頭、抽真空裝置和保溫裝置,所述抽真空裝置設(shè)置在所述制冷電機(jī)的底部,所述保溫裝置與所述抽真空裝置連接并設(shè)置在所述抽真空裝置的底部,所述冷頭的第一端與所述制冷電機(jī)連接,所述冷頭的第二端伸入所述抽真空裝置中設(shè)置,且所述冷頭的第二端還連接有導(dǎo)冷線,所述導(dǎo)冷線伸入所述保溫裝置的內(nèi)部;
[0007]所述保溫裝置內(nèi)設(shè)置有高溫超導(dǎo)體,所述保溫裝置內(nèi)的高溫超導(dǎo)體周圍填充有固氮。
[0008]優(yōu)選地,所述保溫裝置包括保溫瓶以及設(shè)置在所述保溫瓶內(nèi)部的一級儲熱器和二級儲熱器,所述一級儲熱器的外壁上覆蓋有防輻射屏,所述二級儲熱器設(shè)置在所述一級儲熱器的正上方,所述一級儲熱器和所述二級儲熱器均與所述保溫瓶的內(nèi)壁之間形成空腔,所述空腔與所述抽真空裝置的內(nèi)腔連通,
[0009]所述一級儲熱器內(nèi)填充有固氮,所述二級儲熱器內(nèi)填充有冷凝體,
[0010]所述導(dǎo)冷線包括第一導(dǎo)冷線和第二導(dǎo)冷線,所述第一導(dǎo)冷線伸入所述一級儲熱器中設(shè)置,所述第二導(dǎo)冷線伸入所述二級儲熱器中設(shè)置,位于所述冷頭和所述一級儲熱器之間的部分所述第一導(dǎo)冷線包裹有絕熱層。
[0011]進(jìn)一步地,所述防輻射屏的表面還覆蓋由絕熱支撐材料制成的支撐板。
[0012]優(yōu)選地,所述保溫瓶為杜瓦瓶,所述二級儲熱器中的冷凝體為冰。
[0013]進(jìn)一步地,所述基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備還包括保溫基座,所述保溫基座與所述一級儲熱器連接且設(shè)置在所述一級儲熱器的正下方,所述保溫基座呈梯形,所述保溫基座的內(nèi)腔中填充有蜂窩狀絕熱材料。
[0014]進(jìn)一步地,所述一級儲熱器上還設(shè)置有溫度傳感器,所述溫度傳感器與所述制冷電機(jī)連接。
[0015]優(yōu)選地,所述抽真空裝置包括抽真空上部件和抽真空下部件,所述抽真空上部件和所述抽真空下部件通過真空密封件進(jìn)行連接,以形成抽真空裝置封閉的內(nèi)部腔體,所述抽真空上部件的外壁上設(shè)置有與內(nèi)部腔體連通的抽真空管。
[0016]進(jìn)一步地,所述制冷電機(jī)通過支撐件固定在所述抽真空裝置的頂端,所述支撐件包括支撐柱和支撐塊,所述支撐柱連接所述支撐塊和所述抽真空裝置,所述制冷電機(jī)安裝在所述支撐塊上,所述支撐塊和所述抽真空裝置之間還設(shè)置有緩沖件。
[0017]相對于現(xiàn)有技術(shù),本實用新型所述的基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備具有以下優(yōu)勢:本實用新型基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備包括抽真空裝置和保溫裝置,在抽真空裝置的作用下可使抽真空裝置的內(nèi)腔及保溫裝置的內(nèi)腔均呈真空狀態(tài),保溫裝置中的空氣變少,則保溫裝置內(nèi)部的溫度也隨之下降,且由于真空狀態(tài)會使傳熱變慢,故減少了外界熱量對保溫裝置內(nèi)部的影響。隨后開啟制冷電機(jī),使得G-M制冷機(jī)對本實用新型中的保溫裝置進(jìn)行繼續(xù)降溫,降溫結(jié)束,便能通過固氮的保護(hù)來維持保溫裝置內(nèi)部高溫超導(dǎo)體所需的工作溫度,G-M制冷機(jī)停止使用,由于G-M制冷機(jī)的使用時間較短,故成本得到節(jié)省。由于保溫裝置內(nèi)部的固氮在低溫條件下有很高的熱容,利用固氮的高熱容可大量吸收高溫超導(dǎo)體的熱量從而降低高溫超導(dǎo)體的溫度,且固氮在工業(yè)上制備簡單,價格便宜,故本實用新型基于固氮保護(hù)的制冷裝置不僅制冷和保溫效果好,而且操作過程方便快捷,適用性強(qiáng)。
【附圖說明】
[0018]通過閱讀下文優(yōu)選實施方式的詳細(xì)描述,各種其他的優(yōu)點和益處對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將變得清楚明了。附圖僅用于示出優(yōu)選實施方式的目的,而并不認(rèn)為是對本實用新型的限制。而且在整個附圖中,用相同的參考符號表示相同的部件。在附圖中:
[0019]圖1示出了根據(jù)本實用新型一種優(yōu)選實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]附圖標(biāo)記:
[0021]1-制冷電機(jī),2-制冷機(jī)身,
[0022]21-冷頭,22-抽真空裝置,
[0023]221-抽真空上部件, 222-抽真空下部件,
[0024]223-真空密封件,224-抽真空管,
[0025]23-保溫裝置,231-保溫瓶,
[0026]232-—級儲熱器,233-二級儲熱器,
[0027]234-空腔,235-防輻射屏,
[0028]236-支撐板,237-高溫超導(dǎo)體,
[0029]24-導(dǎo)冷線,241-第一導(dǎo)冷線,
[0030]242-第二導(dǎo)冷線,25-保溫基座,
[0031]26-溫度傳感器,3-支撐件,
[0032]31-緩沖件。
【具體實施方式】
[0033]本實用新型提供了許多可應(yīng)用的創(chuàng)造性概念,該創(chuàng)造性概念可大量的體現(xiàn)于具體的上下文中。在下述本實用新型的實施方式中描述的具體的實施例僅作為本實用新型的【具體實施方式】的示例性說明,而不構(gòu)成對本實用新型范圍的限制。
[0034]下面結(jié)合附圖和具體的實施方式對本實用新型作進(jìn)一步的描述。
[0035]請參閱圖1,本實用新型的實施例提供一種基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備,該裝置包括制冷電機(jī)I和制冷機(jī)身2,制冷電機(jī)I設(shè)置在制冷機(jī)身2的頂部,其中,制冷機(jī)身2包括冷頭21、抽真空裝置22和保溫裝置23,抽真空裝置22設(shè)置在制冷電機(jī)I和保溫裝置23之間,保溫裝置23與抽真空裝置22連接且設(shè)置在抽真空裝置22的底部,上述冷頭21的第一端與制冷電機(jī)I連接,冷頭21的第二端伸入抽真空裝置22中設(shè)置,且冷頭21的第二端還連接有導(dǎo)冷線24,該導(dǎo)冷線24伸入到保溫裝置23的內(nèi)部,保溫裝置23內(nèi)設(shè)置有高溫超導(dǎo)體237,保溫裝置23內(nèi)的高溫超導(dǎo)體237周圍填充有固氮。
[0036]首先在抽真空裝置22的作用下使抽真空裝置22的內(nèi)腔及保溫裝置23的內(nèi)腔中均呈真空狀態(tài),且由于制冷機(jī)身2內(nèi)部的空氣減少,則制冷機(jī)身2內(nèi)的溫度也顯著下降,此為第一階段的制冷過程。然后通過打開制冷電機(jī)I,使得與制冷電機(jī)I連接的G-M制冷機(jī)對本實施例基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備進(jìn)行降溫,在降溫過程中,降溫操作通過冷頭21和導(dǎo)冷線24實現(xiàn),持續(xù)降溫直至保溫裝置23中的液氮凝結(jié)為固氮并持續(xù)一段時間,當(dāng)固氮穩(wěn)定且同時高溫超導(dǎo)體237也穩(wěn)定工作時,關(guān)閉制冷電機(jī)I,停止降溫,此為第二階段的制冷過程。需要說明的是,上述第一階段的制冷過程和第二階段的制冷過程也可同時進(jìn)行,上述過程對G-M制冷機(jī)的使用較少,成本得到了有效的縮減。此后,便能通過固氮來維持保溫裝置23內(nèi)部高溫超導(dǎo)體237所需的工作溫度。由于真空狀態(tài)的傳熱較慢,能減少外界熱量對保溫裝置23內(nèi)部的影響,從而能提高保溫裝置23的保溫性能,保溫裝置23內(nèi)部的固氮在低溫條件下具有很高的熱容,利用固氮的高熱容可大量吸收高溫超導(dǎo)體237的熱量從而降低高溫超導(dǎo)體237的溫度,且固氮在工業(yè)上制備簡單,價格便宜,故本實施例不僅能起到較好的制冷效果,保證高溫超導(dǎo)體237的工作溫度,且本實施例中的制冷方式較傳統(tǒng)的制冷方式更節(jié)能、成本更低、操作過程更方便,適用范圍也更為廣泛。當(dāng)然,當(dāng)固氮不能維持高溫超導(dǎo)體的工作溫度時,需啟動制冷電機(jī),開始新一輪的制冷過程。
[0037]值得一提的是,上述保溫裝置23包括保溫瓶231以及設(shè)置在保溫瓶231內(nèi)部的一級儲熱器232和二級儲熱器233,一級儲熱器232的外壁上覆蓋有防輻射屏235,二級儲熱器233設(shè)置在一級儲熱器232的正上方,一級儲熱器232和二級儲熱器233均與保溫瓶231的內(nèi)壁之間形成空腔234,該空腔234與抽真空裝置22的內(nèi)部連通。一級儲熱器232內(nèi)填充有固氮,二級儲熱器233內(nèi)填充有冷凝體,導(dǎo)冷線24包括第一導(dǎo)冷線241和第二導(dǎo)冷線242,第一導(dǎo)冷線241伸入一級儲熱器232中設(shè)置,第二導(dǎo)冷線242伸入二級儲熱器233中設(shè)置,位于冷頭21和一級儲熱器232之間的部分第一導(dǎo)冷線241包裹有絕熱層。
[0038]在抽真空裝置22的作用下,抽真空裝置22的內(nèi)部和保溫裝置23的空腔234中均呈真空狀態(tài),然后,啟動制冷電機(jī)I,使得第一導(dǎo)冷線241和第二導(dǎo)冷線242分別對一級儲熱器232和二級儲熱器233進(jìn)行降溫,直至一級儲熱器232中的固氮呈凝固狀態(tài)并持續(xù)一段時間穩(wěn)定后,同時二級儲熱器233中的冷凝體也呈穩(wěn)定的凝固狀態(tài)時,關(guān)閉制冷電機(jī)1,停止降溫操作。此后,高溫超導(dǎo)體237便能在固氮的作用下維持其所需的工作溫度。此外,由于一級儲熱器232的外壁上還設(shè)置有防輻射屏235,通過二級儲熱器233中的冷凝體和一級儲熱器232中的固氮,能持續(xù)地保持防輻射屏235的冷卻,減少一級儲熱器232漏熱,且防輻射屏235本身也能減慢內(nèi)部熱量擴(kuò)散到外部區(qū)域中的速度,進(jìn)而增強(qiáng)本實施例中保溫裝置的保溫效能。第一導(dǎo)冷線241的部分包裹有絕熱層,確保第一導(dǎo)冷線241與二級儲熱器233不接觸,從而使得一級儲熱器232不受二級儲熱器233的影響,其制冷效果更好。
[0039]另外,該防輻射屏235的表面還覆蓋有由絕熱支撐材料制成的支撐板236。
[0040]該支撐板236不僅能加強(qiáng)防輻射屏235的硬度,使其不易破損,而且還能進(jìn)一步增強(qiáng)一級儲熱器232的保溫效能。
[0041]需要說明的是,上述保溫瓶231為杜瓦瓶,二級儲熱器233中的冷凝體為冰。杜瓦瓶因為其保溫性能顯著是低溫研究和晶體元件保護(hù)的一種較為理想的容器。采用杜瓦瓶作為本實施例中的保溫瓶231,保溫效果更好。二級儲熱器233中采用冰作為冷凝體,成本也更低。
[0042]進(jìn)一步,本實施例還包括保溫基座25,該保溫基座25與一級儲熱器232連接且設(shè)置在一級儲熱器232的正下方,該保溫基座25呈梯形,且在保溫基座25的內(nèi)腔中填充有蜂窩狀的絕熱材料。
[0043]該保溫基座25與一級儲熱器232通過螺栓連接,連接牢固。保溫基座25呈梯形設(shè)置,使得保溫基座25受力均勻,本實施例在放置時更穩(wěn)定。且保溫基座25的內(nèi)腔中通過填充有蜂窩狀絕熱材料,從而能減少熱傳導(dǎo)的接觸面積,阻止熱量的傳遞、散失和對流,減少外界對制冷機(jī)身2內(nèi)部封閉區(qū)域內(nèi)的溫度和熱量的影響,從而保持內(nèi)部區(qū)域溫度的穩(wěn)定。本實施例中的蜂窩狀絕熱材料優(yōu)選為玻璃鋼。
[0044]上述抽真空裝置22包括抽真空上部件221和抽真空下部件222,抽真空上部件221和抽真空下部件222通過真空密封件223進(jìn)行連接,形成抽真空裝置22封閉的內(nèi)部腔體,抽真空上部件221的外壁上設(shè)置有與其內(nèi)部腔體連通的抽真空管224。
[0045]在組裝時,由于抽真空上部件221和抽真空下部件222可以進(jìn)行拆卸和組裝,故方便對位于抽真空裝置22中的冷頭21進(jìn)行安裝和維修。上述使用的真空密封件223包括法蘭、O型密封圈和真空油脂,通過其相互作用實現(xiàn)壓緊密封的效果。真空栗通過與抽真空管224連接,使得抽真空裝置22內(nèi)部呈真空狀態(tài)或接近真空狀態(tài)。
[0046]值得一提的是,一級儲熱器232上還設(shè)置有溫度傳感器26,溫度傳感器26與制冷電機(jī)I連接。
[0047]在制冷電機(jī)I開啟時,通過導(dǎo)冷線24對保溫裝置23實現(xiàn)制冷的過程中,為了保證固氮的穩(wěn)定,通過溫度傳感器26對固氮的溫度進(jìn)行探測,需使固氮的溫度達(dá)到63K或以下,制冷電機(jī)I才能關(guān)閉,由于溫度傳感器26與制冷電機(jī)I連接,故可在溫度傳感器26中設(shè)定溫度值,當(dāng)溫度傳感器26檢測到固氮的溫度達(dá)到設(shè)定溫度值時,使制冷電機(jī)I自動關(guān)機(jī)。另外,還可在溫度傳感器26中設(shè)定第二溫度值,在制冷電機(jī)I關(guān)閉一段時間后,隨著固氮溫度的上升,當(dāng)?shù)竭_(dá)第二溫度值時,制冷電機(jī)I自行開啟進(jìn)行新一輪制冷操作。溫度傳感器26的設(shè)置提高了本實施例的自動化程度,同時能更好地保證高溫超導(dǎo)體237所需的工作溫度。
[0048]另外,本實施例中制冷電機(jī)I通過支撐件3固定在抽真空裝置22的頂端,支撐件3包括支撐柱和支撐塊,支撐柱連接支撐塊和抽真空裝置22,制冷電機(jī)I安裝在支撐塊上,支撐塊和抽真空裝置22之間還設(shè)置有緩沖件31。本實施例中的緩沖件22為波紋管。
[0049]緩沖件31能減輕制冷電機(jī)I傳導(dǎo)給制冷機(jī)身2的機(jī)械振動,對制冷機(jī)身2具有保護(hù)作用,同時又能減少制冷電機(jī)I工作狀態(tài)下的噪音,從而使得本實施例運(yùn)行安靜。
[0050]應(yīng)該注意的是,上述實施例對本實用新型進(jìn)行說明而不是對本實用新型進(jìn)行限制,并且本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離所附權(quán)利要求的范圍的情況下可設(shè)計出替換實施例。在權(quán)利要求中,不應(yīng)將位于括號之間的任何參考符號構(gòu)造成對權(quán)利要求的限制。單詞“包含”不排除存在未列在權(quán)利要求中的元件或步驟。位于元件之前的單詞“一”或“一個”不排除存在多個這樣的元件。單詞第一、第二、以及第三等的使用不表示任何順序??蓪⑦@些單詞解釋為名稱。
【主權(quán)項】
1.一種基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備,其特征在于,所述基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備包括制冷電機(jī)(I)和制冷機(jī)身(2 ),其中, 所述制冷機(jī)身(2)包括冷頭(21)、抽真空裝置(22)和保溫裝置(23),所述抽真空裝置(22)設(shè)置在所述制冷電機(jī)(I)的底部,所述保溫裝置(23)與所述抽真空裝置(22)連接并設(shè)置在所述抽真空裝置(22)的底部,所述冷頭(21)的第一端與所述制冷電機(jī)(I)連接,所述冷頭(21)的第二端伸入所述抽真空裝置(22)中設(shè)置,且所述冷頭(21)的第二端還連接有導(dǎo)冷線(24),所述導(dǎo)冷線(24)伸入所述保溫裝置(23)的內(nèi)部; 所述保溫裝置(23)內(nèi)設(shè)置有高溫超導(dǎo)體(237),所述保溫裝置(23)內(nèi)的高溫超導(dǎo)體(237)周圍填充有固氮。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備,其特征在于,所述保溫裝置(23)包括保溫瓶(231)以及設(shè)置在所述保溫瓶(231)內(nèi)部的一級儲熱器(232)和二級儲熱器(233),所述一級儲熱器(232)的外壁上覆蓋有防輻射屏(235),所述二級儲熱器(233)設(shè)置在所述一級儲熱器(232)的正上方,所述一級儲熱器(232)和所述二級儲熱器(233)均與所述保溫瓶(231)的內(nèi)壁之間形成空腔(234),所述空腔(234)與所述抽真空裝置(22)的內(nèi)腔連通, 所述一級儲熱器(232)內(nèi)填充有固氮,所述二級儲熱器(233)內(nèi)填充有冷凝體, 所述導(dǎo)冷線(24)包括第一導(dǎo)冷線(241)和第二導(dǎo)冷線(242),所述第一導(dǎo)冷線(241)伸入所述一級儲熱器(232)中設(shè)置,所述第二導(dǎo)冷線(242)伸入所述二級儲熱器(233)中設(shè)置,位于所述冷頭(21)和所述一級儲熱器(232)之間的部分所述第一導(dǎo)冷線(241)包裹有絕熱層。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備,其特征在于,所述防輻射屏(235)的表面還覆蓋有由絕熱支撐材料制成的支撐板(236)。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備,其特征在于,所述保溫瓶(231)為杜瓦瓶,所述二級儲熱器(233)中的冷凝體為冰。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備,其特征在于,所述基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備還包括保溫基座(25),所述保溫基座(25)與所述一級儲熱器(232)連接且設(shè)置在所述一級儲熱器(232)的正下方,所述保溫基座(25)呈梯形,所述保溫基座(25)的內(nèi)腔中填充有蜂窩狀絕熱材料。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備,其特征在于,所述一級儲熱器(232)上還設(shè)置有溫度傳感器(26),所述溫度傳感器(26)與所述制冷電機(jī)(I)連接。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備,其特征在于,所述抽真空裝置(22)包括抽真空上部件(221)和抽真空下部件(222),所述抽真空上部件(221)和所述抽真空下部件(222)通過真空密封件(223)進(jìn)行連接,以形成抽真空裝置(22)封閉的內(nèi)腔,所述抽真空上部件(221)的外壁上設(shè)置有與內(nèi)部腔體連通的抽真空管(224)。8.根據(jù)權(quán)利要求1?7任意一項所述的基于固氮的高溫超導(dǎo)制冷設(shè)備,其特征在于,所述制冷電機(jī)(I)通過支撐件(3)固定在所述抽真空裝置(22)的頂端,所述支撐件(3)包括支撐柱和支撐塊,所述支撐柱連接所述支撐塊和所述抽真空裝置(22),所述制冷電機(jī)(I)安裝在所述支撐塊上,所述支撐塊和所述抽真空裝置(22)之間還設(shè)置有緩沖件(31)。
【文檔編號】F25B9/14GK205505477SQ201620199509
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年3月15日
【發(fā)明人】彭國宏, 劉偉, 郭紅陽, 王杰, 帕烏羅·蘇特科威奇
【申請人】北京美爾斯通科技發(fā)展股份有限公司
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