專利名稱：制冷劑中水分的除去裝置和檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在冷卻回路中循環(huán)的期間除去制冷劑中的水分的水分除去裝置和一種檢查裝置，更詳細地說，涉及一種能夠除去制冷劑中混入的水分而不中斷被冷卻體的冷卻的制冷劑中水分的除去裝置和一種具有該水分除去裝置的檢查裝置。
背景技術(shù)：
作為這種水分除去裝置，例如有專利文獻1中記載的冷卻裝置。在該冷卻裝置中，以將在冷卻液的循環(huán)通路上設(shè)置的冷卻液收納罐的冷卻液噴出口堵住的方式配置有水分除去用過濾器，將已由該水分除去用過濾器除去水分的冷卻液送向被冷卻體。
另外，專利文獻2中提出了具有水分除去裝置的空氣調(diào)節(jié)機。在該空氣調(diào)節(jié)機中，在冷凍循環(huán)中，在室外熱交換器與膨脹閥或毛細管之間設(shè)置有旁通回路，該旁通回路具有在中央部設(shè)置有捕捉廢料、金屬粉等異物的過濾器的干燥器。于是，由干燥器(具體地說是分子篩)將流經(jīng)旁通回路的制冷劑中的水分吸附除去。
再者，專利文獻3中提出了冷卻裝置的水分除去裝置。在該水分除去裝置中，在制冷劑的旁路通路的中途配置有冷卻制冷劑的冷卻缸，在其下游配置有捕集制冷劑中含有的水分的過濾器。于是，由冷卻缸將來自旁路通路的制冷劑冷卻，將水分分離、除去。
另外，在冷卻裝置中，還有像對例如半導(dǎo)體晶片等被處理體進行低溫檢查的檢查裝置中使用的冷卻裝置那樣，將被處理體冷卻至-數(shù)10℃的低溫范圍的冷卻裝置。在這種情況下，使用例如氟類制冷劑，若制冷劑中溶解有水分，則水分在冷凍機的熱交換器的表面被冷卻、結(jié)冰，生成霜和冰，因此熱交換器的熱傳遞效率降低，冷凍機的冷凍能力逐漸下降。作為解決對策，以往是暫且停止冷卻裝置的運轉(zhuǎn)，從冷卻裝置中取出制冷劑，用外部的水分吸附過濾器除去制冷劑中溶解的水分。另外，熱交換器和制冷劑的循環(huán)配管內(nèi)附著的水分，用乙醇等清洗，吹入大量的干燥空氣，使熱交換器和循環(huán)配管內(nèi)干燥。
特開2001-050624號公報[專利文獻2]特開2001-141341號公報[專利文獻3]特開平05-180538號公報發(fā)明內(nèi)容可是，像以往的冷卻裝置那樣，從冷卻裝置中取出制冷劑，在外部用水分吸附過濾器除去水分，另外，除此之外或者單獨用乙醇等清洗熱交換器和制冷劑的循環(huán)配管內(nèi)附著的水分，用干燥空氣等使其干燥，冷卻裝置的運轉(zhuǎn)效率降低。另外，如果像專利文獻1～3中記載的技術(shù)那樣，在低溫的制冷劑中設(shè)置水分除去用的過濾器，則在過濾器中水分結(jié)冰，或者引起過濾器堵塞、或者過濾器破損，因此仍然不得不使冷卻裝置停止。
本發(fā)明是為解決上述課題而做出的，目的是提供一種能夠除去制冷劑中的水分而不使裝置停止、能夠提高裝置的運轉(zhuǎn)效率的制冷劑中水分的除去裝置和具有該水分除去裝置的檢查裝置。
本發(fā)明的第一方面所述的制冷劑中水分的除去裝置，其在制冷劑通過循環(huán)配管在被冷卻體和冷凍機之間循環(huán)的期間，除去上述制冷劑中混入的水分，其特征在于，包括從上述循環(huán)配管中取出上述制冷劑的一部分并使其迂回的迂回配管；設(shè)置在該迂回配管上并且利用上述冷凍機的廢熱對流經(jīng)上述迂回配管的上述制冷劑進行加熱的熱交換器；和配置在該熱交換器的下游側(cè)并且吸附上述冷卻劑中混入的水分的水分吸附體。
另外，本發(fā)明的第二方面所述的脈動減輕裝置，其特征在于在第一方面所述的發(fā)明中，在上述水分吸附體的上游側(cè)和下游側(cè)分別設(shè)置有第一、第二閥。
另外，本發(fā)明的第三方面所述的制冷劑中水分的除去裝置，其特征在于在第一方面或第二方面所述的發(fā)明中，在上述第二閥的下游側(cè)設(shè)置有限制上述制冷劑的流量的裝置。
另外，本發(fā)明的第四方面所述的制冷劑中水分的除去裝置，其特征在于在第三方面所述的發(fā)明中，在上述流量限制裝置上并列設(shè)置有第三閥。
另外，本發(fā)明的第五方面所述的檢查裝置，其包括載置被處理體的載置體；將在通過循環(huán)配管在與該載置體之間循環(huán)的期間升溫的制冷劑冷卻的冷凍機；和在上述制冷劑在上述循環(huán)配管中循環(huán)的期間，除去上述制冷劑中混入的水分的水分除去裝置，在上述載置體上，將上述被處理體保持在一定的溫度，進行上述被處理體的檢查，其特征在于，上述水分除去裝置包括從上述循環(huán)配管中取出上述制冷劑的一部分并使其迂回的迂回配管；設(shè)置在該迂回配管上并且利用上述冷凍機的廢熱加熱流經(jīng)上述迂回配管的上述制冷劑的熱交換器；和配置在該熱交換器的下游側(cè)并且吸附上述制冷劑中混入的水分的水分吸附體。
另外，本發(fā)明的第六方面所述的檢查裝置，其特征在于在第五方面所述的發(fā)明中，在上述水分吸附體的上游側(cè)和下游側(cè)分別設(shè)置有第一、第二閥。
另外，本發(fā)明的第七方面所述的檢查裝置，其特征在于在第五方面或第六方面所述的發(fā)明中，在上述第二閥的下游側(cè)設(shè)置有限制上述制冷劑流量的流量裝置。
另外，本發(fā)明的第八方面所述的檢查裝置，其特征在于在第七方面所述的發(fā)明中，在上述流量限制裝置上并列設(shè)置有第三閥。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面～第八方面所述的發(fā)明，能夠提供一種能夠除去制冷劑中的水分而不使裝置停止、能夠提高裝置的運轉(zhuǎn)效率的制冷劑中水分的除去裝置和具有該水分除去裝置的檢查裝置。


圖1是示意性地表示應(yīng)用本發(fā)明的水分除去裝置的檢查裝置的框圖。
圖2是表示應(yīng)用圖1所示的水分除去裝置的本發(fā)明的檢查裝置的另一實施方式的框圖。
圖3是以本發(fā)明的檢查裝置的另一實施方式的主要部件為中心表示的框圖。
符號說明10、10A、10B 檢查裝置11 載置體(被冷卻體)12 循環(huán)配管14 冷凍機20 水分除去裝置21 迂回配管22 第二熱交換器23 水分吸附體24A第一斷流閥(第一閥)24B第二斷流閥(第二閥)25 毛細管(流量限制裝置)26 旁通閥(第三閥)具體實施方式
下面，根據(jù)圖1～圖3所示的實施方式對本發(fā)明進行說明。圖1是示意性地表示應(yīng)用本發(fā)明的水分除去裝置的檢查裝置的框圖，圖2是表示應(yīng)用圖1所示的水分除去裝置的本發(fā)明的檢查裝置的另一實施方式的框圖，圖3是以本發(fā)明的檢查裝置的另一實施方式的主要部件為中心表示的框圖。
第一實施方式本實施方式的檢查裝置10，例如如圖1所示，包括載置被處理體(例如半導(dǎo)體晶片)W的載置體11、通過循環(huán)配管12與載置體11連接并且使制冷劑向載置體11內(nèi)循環(huán)的泵13、和將來自載置體11通過泵13在循環(huán)配管12中循環(huán)的升溫后的制冷劑冷卻到原溫度的冷凍機14的第一熱交換器14A，其被構(gòu)成為使制冷劑向載置體11的內(nèi)部循環(huán)，將載置體11上的半導(dǎo)體晶片W冷卻，從而在規(guī)定的溫度下進行半導(dǎo)體晶片W的電氣特性檢查。在進行檢查時，為了使半導(dǎo)體晶片W與探針卡(未圖示)接觸，載置體11在水平方向和上下方向移動。
載置體11被制冷劑冷卻，能夠在例如-數(shù)10℃～150℃的范圍內(nèi)的適宜溫度下進行半導(dǎo)體晶片W的電氣特性檢查。作為此時使用的制冷劑，可以使用例如氟類的惰性液體(住友3M公司生產(chǎn)的Fluorinert(商標(biāo)名)、Solvay Solexis公司生產(chǎn)的Galden(商標(biāo)名)等)。在制冷劑在載置體11和第一熱交換器14A中循環(huán)的期間，水分混入并溶解在制冷劑中是不可避免的。
所以，在本實施方式的檢查裝置10中，如圖1所示組合有水分除去裝置20。如圖1所示，該水分除去裝置20包括使在循環(huán)配管12中循環(huán)的制冷劑的一部分迂回的迂回配管21；設(shè)置在該迂回配管21上并且利用冷凍機14的廢熱對流經(jīng)迂回配管21的制冷劑進行加熱的第二熱交換器22；和配置在該熱交換器22的下游側(cè)并且吸附制冷劑中混入的水分的水分吸附體23。迂回配管21例如一端在第一熱交換器14A的上游側(cè)與泵13的下游側(cè)連接，另一端與泵13的上游側(cè)連接。
冷凍機14側(cè)的制冷劑(以下稱為“冷凍制冷劑”)沿著圖1中箭頭所示的方向在冷凍回路14C中流動，在通過第一熱交換器14A的期間，從循環(huán)配管12中的制冷劑吸熱，吸熱后升溫的冷凍制冷劑在冷凍回路14C中循環(huán)，在第二熱交換器22中放熱，對流經(jīng)迂回配管21的低溫的制冷劑進行加熱。制冷劑在循環(huán)配管12中循環(huán)的期間含有水分，這些水分即使結(jié)冰，也會在第二熱交換器22中被加熱而變?yōu)橐簯B(tài)的水分。所以，水分吸附體23能夠可靠地吸附制冷劑中的水分。
在水分吸附體23的上游側(cè)和下游側(cè)分別安裝有第一、第二斷流閥24A、24B，可以根據(jù)需要關(guān)閉第一、第二斷流閥24A、24B，以更換水分吸附體23。作為水分吸附體23，可使用例如沸石等多孔質(zhì)、親水性的吸附體。另外，在迂回配管21中設(shè)置有限制制冷劑流量的流量限制裝置(例如毛細管)25，通常運轉(zhuǎn)時，由毛細管25限制流經(jīng)迂回配管21的制冷劑的流量，使得不損害流經(jīng)循環(huán)配管12的制冷劑的冷卻能力。在毛細管25上并列設(shè)置有旁通閥26，根據(jù)需要，打開旁通閥26，能夠增加迂回配管21的制冷劑流量、并由水分吸附體23一氣地除去水分。
另外，即使在第二熱交換器22中加熱制冷劑，也有剩余的熱量，在放熱器14D中放出這些剩余的熱量，使得冷凍機14的冷凍能力不會下降。
接著，對工作進行說明。進行半導(dǎo)體晶片W的檢查時，泵13驅(qū)動，使制冷劑以一定的流量在載置體11內(nèi)循環(huán)，將載置體11冷卻，通過將載置體11冷卻，其上的半導(dǎo)體晶片W即使在檢查時發(fā)熱也會被冷卻，并被維持在規(guī)定的溫度。制冷劑在循環(huán)配管12中循環(huán)的期間，水分混入、溶解。如果置之不理，則水分在第一熱交換器14A內(nèi)凍結(jié)，冷凍機14的冷凍能力下降。所以，在本實施方式中，利用水分除去裝置20除去制冷劑中的水分。該水分除去裝置20在使用檢查裝置10的期間驅(qū)動。
在水分除去裝置20中，在制冷劑通過泵13在循環(huán)配管12中循環(huán)的期間，其一部分由于毛細管25的作用，流量被限制，從循環(huán)配管12流入迂回配管21內(nèi)。該制冷劑流經(jīng)迂回配管21、到達第二熱交換器22時，在此由冷凍機14的廢熱加熱并升溫，制冷劑中的水分即使暫時處于凍結(jié)的狀態(tài)也會將其融化。含有水分的制冷劑在通過水分吸附體23的期間，水分被吸附、并被除去。該制冷劑經(jīng)由毛細管25返回到泵13的上游側(cè)。
這樣，在水分除去裝置20中，總是從循環(huán)配管12取出一部分制冷劑并除去水分，所以在使用檢查裝置10的期間，即使制冷劑中混入水分，也能夠連續(xù)并且可靠地除去制冷劑中的水分，防止在循環(huán)配管12和第一熱交換器14A等中的水分的凍結(jié)，能夠?qū)⑤d置體11上的半導(dǎo)體晶片W總是維持在一定的溫度而不使冷凍機14的冷凍能力下降。而且，不必像以往那樣使檢查裝置10中途停止，能夠提高運轉(zhuǎn)效率，從而能夠延長維護周期。
另外，在需要更換水分吸附體23時，在檢查裝置10運轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，關(guān)閉第一、第二斷流閥24A、24B，只是使水分除去暫時停止，就能夠更換水分吸附體23。另外，由于維護等制冷劑中的水分一氣地增多時，通過打開與毛細管25并列設(shè)置的旁通閥26，暫時使水分吸附體23中通過大量的制冷劑，由此能夠一氣地除去水分。
如以上說明，根據(jù)本實施方式，水分除去裝置20包括從循環(huán)配管12取出一部分制冷劑并使其迂回的迂回配管21、設(shè)置在該迂回配管21上并且利用冷凍機14的廢熱加熱流經(jīng)迂回配管21的制冷劑的第二熱交換器22、配置在該熱交換器22的下游側(cè)并且吸附制冷劑中混入的水分的水分吸附體23，所以能夠可靠地除去制冷劑中的水分而不停止檢查裝置10，從而能夠提高檢查裝置10的運轉(zhuǎn)效率。
另外，在水分吸附體23的上游側(cè)和下游側(cè)分別設(shè)置有第一、第二斷流閥24A、24B，所以，當(dāng)水分吸附體23到達壽命時，在運轉(zhuǎn)檢查裝置10的狀態(tài)下，關(guān)閉第一、第二斷流閥24A、24B，只是使水分除去暫時停止，就能夠容易地更換水分吸附體23。另外，因為在第二斷流閥24B的下游側(cè)設(shè)置有限制制冷劑流量的毛細管25，所以，通過限制取出到迂回配管21中的制冷劑的流量，不會損害在循環(huán)配管12中循環(huán)的制冷劑的冷卻能力。另外，因為在毛細管25上并列設(shè)置有旁通閥26，所以，當(dāng)需要一氣地除去制冷劑中的大量水分時，打開旁通閥26，使大量的制冷劑流過水分吸附體23，由此能夠在短時間內(nèi)除去大量的水分。
第二實施方式本實施方式的檢查裝置10A，例如如圖2所示，除了具有配置在循環(huán)配管12上的低溫制冷劑罐15、和在該低溫制冷劑罐15的上游側(cè)和下游側(cè)配置的第一、第二泵13A、13B以外，與第一實施方式實質(zhì)上相同地構(gòu)成。所以，水分除去裝置20實現(xiàn)與圖1所示的裝置相同的功能，所以，與第一實施方式相同的部分或相當(dāng)?shù)牟糠謽?biāo)注同一符號，并省略其說明。
在本實施方式中，第一泵13A使來自載置體11的升溫后的制冷劑直接返回到低溫制冷劑罐15，同時使其一部分在迂回配管21中迂回、經(jīng)由水分吸附體23返回到低溫制冷劑罐15。第二泵13B吸引來自低溫制冷劑罐15并由冷凍機14冷卻的低溫制冷劑，供給載置體11。在本實施方式中，水分除去裝置20，在從循環(huán)配管12迂回的期間，利用升溫后的制冷劑的一部分，在水分吸附體23中除去制冷劑中溶解的水分，并使已除去水分的制冷劑返回到低溫制冷劑罐15。
第三實施方式本實施方式的檢查裝置10B，例如如圖3所示，具有使制冷劑在載置體(未圖示)中循環(huán)的循環(huán)配管12、配置在循環(huán)配管12上的低溫制冷劑罐15、配置在該低溫制冷劑罐15的上游側(cè)和下游側(cè)的第一和第二泵13A和13B、在第一泵13A和低溫制冷劑罐15之間配置的冷凍機14和水分除去裝置20，按照第二實施方式構(gòu)成。所以，與第二實施方式同樣地，在由第一泵13A吸引低溫制冷劑罐15內(nèi)的制冷劑并使其返回到低溫制冷劑罐15的期間，冷凍機14將制冷劑冷卻，同時水分除去裝置20從一部分制冷劑中除去水分。
可是，檢查裝置10B也與其它半導(dǎo)體制造裝置同樣地被要求縮小設(shè)置空間，因此載置體的冷卻裝置的設(shè)置空間也就自然地受到限制。所以，冷卻裝置不在低溫制冷劑罐15中分出獨自的空間，另外，從其它機械的維護的關(guān)系考慮，被設(shè)置在其它機械的上部的較高位置，從而使低溫制冷劑罐15的占地面積不變大。與此相伴，低溫制冷劑罐15的制冷劑的填充口也位于較高位置，所以，為了向低溫制冷劑罐15內(nèi)填充制冷劑，成為將裝有制冷劑的容器舉起而進行的高處作業(yè)。因為是高處作業(yè)，所以作業(yè)負荷大，而且還有制冷劑飛濺的危險性。
所以，在本實施方式中，附設(shè)制冷劑填充裝置30，以避免高處作業(yè)。如圖3所示，該制冷劑填充裝置30被構(gòu)成為對低溫制冷劑罐15內(nèi)進行減壓，將制冷劑容器40內(nèi)的制冷劑吸引并填充到低溫制冷劑罐15內(nèi)。
即，如圖3所示，制冷劑填充裝置30包括用于開始填充制冷劑的填充開關(guān)31、設(shè)置在低溫制冷劑罐15中的液面?zhèn)鞲衅?2、與低溫制冷劑罐15的上面連接的制冷劑吸引配管33、與低溫制冷劑罐15內(nèi)的空間連通的真空配管34、從真空配管34分出的干燥空氣的空氣供給配管35、從制冷劑吸引配管33分出的大氣開放配管36、在這些配管上設(shè)置的4個第一～第四電磁閥37A～37D、和控制這些電磁閥37A～37D的控制裝置38。
如圖3所示，第一電磁閥37A安裝在制冷劑吸引配管33上，第二電磁閥37B安裝在真空配管34上，第三電磁閥37C安裝在空氣供給配管35上，第四電磁閥36D安裝在大氣開放配管36上。另外，在空氣供給配管35上，在第三電磁閥36C的上游側(cè)設(shè)置有調(diào)壓器39，利用調(diào)壓器39將向低溫制冷劑罐15內(nèi)供給的干燥空氣調(diào)節(jié)至規(guī)定壓力。此外，在圖3中，15A是安全閥。
第一、第二電磁閥37A、37B，在接通(付勢)填充開關(guān)31時，通過控制裝置38開放各配管33、34，從制冷劑容器40向低溫制冷劑罐15內(nèi)填充制冷劑，當(dāng)液面?zhèn)鞲衅?2在規(guī)定的液面高度檢測出制冷劑時，關(guān)閉各配管33、34。另外，第三電磁閥37C，在第一、第二電磁閥37A、37B關(guān)閉時，通過控制裝置38開放空氣供給配管35，向低溫制冷劑罐15內(nèi)供給干燥空氣，對水分進行一定時間的吹掃后關(guān)閉。第四電磁閥37D，在第三電磁閥37C關(guān)閉后，開放大氣開放配管一定時間，使制冷劑吸引配管33內(nèi)殘留的制冷劑返回到制冷劑容器40內(nèi)后關(guān)閉。
接著，對制冷劑填充裝置30的工作進行說明。向低溫制冷劑罐15內(nèi)填充制冷劑時，在制冷劑容器40的口部插入制冷劑吸引配管33，接通填充開關(guān)31。由此，第一、第二電磁閥37A、37B通過控制裝置38被接通，將制冷劑吸引配管33和真空配管34開放，對低溫制冷劑罐15內(nèi)進行減壓，同時將制冷劑容器40的制冷劑吸引到低溫制冷劑罐15內(nèi)。制冷劑向低溫制冷劑罐15內(nèi)填充到一定量時，液面?zhèn)鞲衅?2工作，通過控制裝置38切斷(消勢)第一、第二電磁閥37A、37B，關(guān)閉各配管33、34。
接下來，取代第一、第二電磁閥37A、37B，第三電磁閥37CD通過控制裝置38被接通，開放空氣供給配管35，向低溫制冷劑罐15內(nèi)吹入規(guī)定壓力的干燥空氣一定時間，從安全閥15A吹掃低溫制冷劑罐15內(nèi)的水分后，第三電磁閥37C自動關(guān)閉。與此同時，第四電磁閥37D通過控制裝置38被接通，將空氣開放配管36向大氣開放一定時間，使制冷劑吸引配管33中殘留的制冷劑返回到制冷劑容器40內(nèi)后，自動關(guān)閉。
如以上說明，根據(jù)本實施方式，可以期待與上述各實施方式相同的作用效果，而且能夠向低溫制冷劑罐15內(nèi)補充、填充制冷劑，而不需要高處作業(yè)。此外，制冷劑填充裝置30，不限于檢查裝置10B，可以廣泛應(yīng)用于具有制冷劑罐的半導(dǎo)體制造裝置，這是不言而喻的。
此外，在上述實施方式中，作為水分吸附體，舉沸石為例進行了說明，但是只要具有水分吸附能力，也可以是沸石以外的吸附態(tài)。另外，作為制冷劑的流量限制裝置，舉毛細管為例進行了說明，但不限于此。另外，本發(fā)明的水分除去裝置也同樣能夠應(yīng)用于如圖2所示具有低溫制冷劑罐和2臺以上的泵的檢查裝置?？偠灾灰幻撾x本發(fā)明的主旨，都包含在本申請的發(fā)明中。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明能夠適合應(yīng)用于包含檢查裝置的半導(dǎo)體制造裝置。
權(quán)利要求
1.一種制冷劑中水分的除去裝置，其在制冷劑通過循環(huán)配管在被冷卻體和冷凍機之間循環(huán)的期間，除去所述制冷劑中混入的水分，其特征在于，包括從所述循環(huán)配管中取出所述制冷劑的一部分并使其迂回的迂回配管；設(shè)置在該迂回配管上并且利用所述冷凍機的廢熱對流經(jīng)所述迂回配管的所述制冷劑進行加熱的熱交換器；和配置在該熱交換器的下游側(cè)并且吸附所述制冷劑中混入的水分的水分吸附體。
2.如權(quán)利要求1所述的制冷劑中水分的除去裝置，其特征在于在所述水分吸附體的上游側(cè)和下游側(cè)分別設(shè)置有第一、第二閥。
3.如權(quán)利要求1或2所述的制冷劑中水分的除去裝置，其特征在于在所述第二閥的下游側(cè)設(shè)置有限制所述制冷劑流量的裝置。
4.如權(quán)利要求3所述的制冷劑中水分的除去裝置，其特征在于在所述流量限制裝置上并列設(shè)置有第三閥。
5.一種檢查裝置，其包括載置被處理體的載置體；將在通過循環(huán)配管在與該載置體之間循環(huán)的期間升溫的制冷劑冷卻的冷凍機；和在所述制冷劑在所述循環(huán)配管中循環(huán)的期間，除去所述制冷劑中混入的水分的水分除去裝置，在所述載置體上，將所述被處理體保持在一定的溫度，進行所述被處理體的檢查，其特征在于所述水分除去裝置包括從所述循環(huán)配管中取出所述制冷劑的一部分并使其迂回的迂回配管；設(shè)置在該迂回配管上并且利用所述冷凍機的廢熱對流經(jīng)所述迂回配管的所述制冷劑進行加熱的熱交換器；和配置在該熱交換器的下游側(cè)并且吸附所述制冷劑中混入的水分的水分吸附體。
6.如權(quán)利要求5所述的檢查裝置，其特征在于在所述水分吸附體的上游側(cè)和下游側(cè)分別設(shè)置有第一、第二閥。
7.如權(quán)利要求5或6所述的檢查裝置，其特征在于在所述第二閥的下游側(cè)設(shè)置有限制所述制冷劑流量的流量裝置。
8.如權(quán)利要求7所述的檢查裝置，其特征在于在所述流量限制裝置上并列設(shè)置有第三閥。
全文摘要
像以往的冷卻裝置那樣，從冷卻裝置中取出制冷劑，在外部用水分吸附過濾器除去水分，另外，除此之外或者單獨用乙醇等清洗熱交換器和制冷劑的循環(huán)配管內(nèi)附著的水分，用干燥空氣等使其干燥，冷卻裝置的運轉(zhuǎn)效率降低。另外，如果像專利文獻1～3中記載的技術(shù)那樣，在低溫的制冷劑中設(shè)置水分除去用的過濾器，則在過濾器中水分結(jié)冰，或者引起過濾器堵塞、或者過濾器破損，因此仍然不得不使冷卻裝置停止。本發(fā)明的水分除去裝置包括從循環(huán)配管中取出制冷劑的一部分并使其迂回的迂回配管；設(shè)置在該迂回配管上并且利用冷凍機的廢熱對流經(jīng)迂回配管的制冷劑進行加熱的第二熱交換器；和配置在該熱交換器的下游側(cè)并且吸附制冷劑中混入的水分的水分吸附體。
文檔編號F25B43/00GK1900636SQ20061010138
公開日2007年1月24日 申請日期2006年7月18日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月19日
發(fā)明者八田政隆 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社