一種在線風(fēng)刀吹干裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體太陽能電池片生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，更具體地，涉及一種對制絨或濕法刻蝕后電池硅片進(jìn)行干燥的在線風(fēng)刀吹干裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池是通過光電效應(yīng)或者光化學(xué)效應(yīng)，把光能直接轉(zhuǎn)化為電能的裝置。當(dāng)太陽光照射到半導(dǎo)體上時(shí)，其中一部分被表面反射掉，其余部分被半導(dǎo)體吸收或透過；被吸收的光子，有一些變成熱，另一些則與組成半導(dǎo)體的原子價(jià)電子碰撞，產(chǎn)生電子-空穴對。這樣，光能就以產(chǎn)生電子-空穴對的形式轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔堋?br>[0003]隨著地球溫室效應(yīng)的日益嚴(yán)重，石油、天然氣、煤炭等資源的日益枯竭，環(huán)保節(jié)能已成為世界發(fā)展的主題。太陽能作為一種儲量無限、清潔、安全的可再生能源，是全球新能源的發(fā)展方向。在國家新型能源和可再生能源產(chǎn)業(yè)政策的指導(dǎo)下、以及歐美太陽能市場強(qiáng)勁需求的帶動下，近年來國內(nèi)太陽能光伏產(chǎn)業(yè)得到了飛速發(fā)展。目前，中國已經(jīng)成為太陽能電池制造大國，擁有全球最多的太陽能電池生產(chǎn)廠家和一半以上的產(chǎn)能。
[0004]目前，太陽能電池片的生產(chǎn)工藝過程可包括:硅片制絨-擴(kuò)散-刻蝕及去psg-pecvd-燒結(jié)-印刷等各工序，形成基本的電池片。在這些工藝過程中，硅片需要與一些不同的化學(xué)溶液進(jìn)行適當(dāng)?shù)幕瘜W(xué)反應(yīng)。為了防止上道工序中的化學(xué)溶液進(jìn)入下道工序，需要在每次化學(xué)反應(yīng)后對硅片進(jìn)行清洗、干燥等操作。特別是在制絨和刻蝕的最后工序中均需要對硅片進(jìn)行清洗和吹干，以方便后道工序正常進(jìn)行和硅片收集。
[0005]常規(guī)的硅片干燥方式可包括甩干(將硅片放置在甩干機(jī)中，充滿熱氮，并甩干硅片)、烘烤(硅片經(jīng)異丙醇脫水后，放至烘箱烘烤)以及溫純水慢提拉和烘烤(將硅片慢慢從熱的熱水槽中提出來，同時(shí)進(jìn)行熱風(fēng)烘烤方式干燥硅片)方式。這些干燥方式在產(chǎn)能上受到很大限制，且在工藝性能及機(jī)械結(jié)構(gòu)上較復(fù)雜，因而逐漸被風(fēng)刀吹干方式所替代。
[0006]不過，現(xiàn)有的風(fēng)刀吹干裝置也存在較明顯的不足?，F(xiàn)有的風(fēng)刀吹干裝置通常包括上下相對設(shè)置的兩個(gè)風(fēng)刀，風(fēng)刀的出風(fēng)孔一般為單排設(shè)置，且其吹風(fēng)方向垂直于硅片的通過方向；同時(shí)，現(xiàn)有的風(fēng)刀吹干裝置的上、下風(fēng)刀之間的間距通常是固定的。這種風(fēng)刀的結(jié)構(gòu)設(shè)置形式難以快速及徹底地將硅片上的化學(xué)溶液吹干凈并干燥，且造成了調(diào)試及維護(hù)的不便。
[0007]因此，需要提供一種新型的在線風(fēng)刀吹干裝置，以便快速及徹底地將硅片上的化學(xué)溶液吹干凈并干燥。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種新的在線風(fēng)刀吹干裝置，用以快速及徹底地將硅片上的化學(xué)溶液吹干凈并干燥。
[0009]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0010]一種在線風(fēng)刀吹干裝置，用于對制絨或濕法刻蝕后電池硅片進(jìn)行干燥，包括相對設(shè)置的上、下風(fēng)刀，上、下所述風(fēng)刀設(shè)有由入風(fēng)口向其相對面的出風(fēng)口收窄的內(nèi)部風(fēng)道，其出風(fēng)口設(shè)有間錯(cuò)排列的第一?第三排風(fēng)孔，所述風(fēng)孔連通風(fēng)道，所述風(fēng)道連通真空壓縮泵；其中，位于中間的第二排風(fēng)孔的風(fēng)向朝向硅片通過方向的逆向傾斜設(shè)置，位于其兩側(cè)的第一、第三排風(fēng)孔的風(fēng)向垂直設(shè)置，上、下所述風(fēng)刀在垂直方向的位置可調(diào)；
[0011]其中，通過向上、下所述風(fēng)刀收窄的內(nèi)部風(fēng)道中通入氣體，在所述真空壓縮泵的作用下形成加速的增壓熱風(fēng)，經(jīng)所述第一?第三排風(fēng)孔向垂直及逆向傾斜方向分別吹出，以將由上、下所述風(fēng)刀之間通過的硅片在線快速吹干。
[0012]優(yōu)選地，所述風(fēng)刀的內(nèi)部風(fēng)道由入風(fēng)口向出風(fēng)口方向以內(nèi)圓弧過渡收窄。
[0013]優(yōu)選地，所述風(fēng)刀具有與其內(nèi)部風(fēng)道對應(yīng)的圓弧過渡收窄外形。
[0014]優(yōu)選地，所述風(fēng)孔的孔徑為Φ 1.1?1.3mm。
[0015]優(yōu)選地，所述第二排風(fēng)孔的風(fēng)向與垂直方向的夾角為15?45°。
[0016]優(yōu)選地，上、下所述風(fēng)刀通過調(diào)整支架分別調(diào)節(jié)其與硅片之間的距離，所述調(diào)整支架在所述上風(fēng)刀的兩側(cè)設(shè)有升降螺釘，通過轉(zhuǎn)動所述升降螺釘調(diào)節(jié)與之配合的所述上風(fēng)刀與硅片上表面之間的距離；所述調(diào)整支架在所述下風(fēng)刀的兩側(cè)設(shè)有帶長槽孔的調(diào)整塊，通過調(diào)整所述長槽孔中的固定螺釘高低位置調(diào)節(jié)與之配合的所述下風(fēng)刀與硅片下表面之間的距離。
[0017]優(yōu)選地，所述上風(fēng)刀與硅片之間的可調(diào)距離為不超過15mm ;所述下風(fēng)刀與硅片之間的可調(diào)距離為不超過10mm。
[0018]優(yōu)選地，所述風(fēng)刀為POM材料成型。
[0019]優(yōu)選地，所述風(fēng)刀的入風(fēng)口端設(shè)有用于密封的風(fēng)刀蓋板，所述風(fēng)刀與所述風(fēng)刀蓋板之間采用螺紋連接，并通過O型密封圈進(jìn)行密封。
[0020]優(yōu)選地，所述下風(fēng)刀前后兩側(cè)設(shè)有滾輪，用于從上、下所述風(fēng)刀之間水平輸送需干燥的硅片。
[0021]本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0022]1、通過在上、下風(fēng)刀的出風(fēng)口設(shè)置間錯(cuò)排列的三排風(fēng)孔，并使中間一排風(fēng)孔朝向硅片傾斜設(shè)置，當(dāng)硅片在滾輪帶動下經(jīng)過風(fēng)刀時(shí)，從風(fēng)刀出風(fēng)孔吹出的風(fēng)能很好地將硅片表面的液體快速趕走；
[0023]2、通過在風(fēng)刀內(nèi)設(shè)置逐漸收窄的內(nèi)部風(fēng)道，使得風(fēng)從風(fēng)刀入風(fēng)口向出風(fēng)口吹出的過程中，因風(fēng)道橫截面積減小而風(fēng)速逐漸增大，并在真空壓縮泵的作用下，在風(fēng)道腔室內(nèi)形成熱風(fēng)，將硅片快速烘干；
[0024]3、通過設(shè)置調(diào)整支架，可分別調(diào)節(jié)上、下所述風(fēng)刀與硅片之間的距離，既可保證將硅片吹干，又不至于由于風(fēng)壓過大而造成硅片損壞。
【附圖說明】
[0025]圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例中的一種在線風(fēng)刀吹干裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖2是圖1中風(fēng)刀風(fēng)孔的放大結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖3是風(fēng)刀風(fēng)孔的仰視圖；
[0028]圖4是風(fēng)刀風(fēng)孔的剖視圖之一；
[0029]圖5是風(fēng)刀風(fēng)孔的剖視圖之二 ；
[0030]圖6a是上風(fēng)刀調(diào)整支架的局部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖6b是圖6a的俯視圖；
[0032]圖7a是下風(fēng)刀調(diào)整支架的局部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖7b是圖7a的側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0034]下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0035]需要說明的是，在下述的【具體實(shí)施方式】中，在詳述本發(fā)明的實(shí)施方式時(shí)，為了清楚地表示本發(fā)明的結(jié)構(gòu)以便于說明，特對附圖中的結(jié)構(gòu)不依照一般比例繪圖，并進(jìn)行了局部放大、變形及簡化處理，因此，應(yīng)避免以此作為對本發(fā)明的限定來加以理解。
[0036]在以下本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】中，請參閱圖1，圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例中的一種在線風(fēng)刀吹干裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。本發(fā)明的一種在線風(fēng)刀吹干裝置，可安裝在太陽能電池片制絨設(shè)備和濕法刻蝕設(shè)備上，用于對制絨或濕法刻蝕后的電池硅片進(jìn)行干燥。如圖1所示，本發(fā)明的一種在線風(fēng)刀吹干裝置，包括一對上、下相對設(shè)置的風(fēng)刀I。上、下風(fēng)刀I設(shè)有由外側(cè)的入風(fēng)口向其內(nèi)側(cè)相對面的出風(fēng)口收窄的內(nèi)部風(fēng)道13。在上、下風(fēng)刀I的出風(fēng)口設(shè)有風(fēng)孔4，風(fēng)孔4包括間錯(cuò)排列的第一?第三排風(fēng)孔，各排的風(fēng)孔4與風(fēng)道13相連通。上、下風(fēng)刀I的內(nèi)部風(fēng)道13與真空壓縮泵(圖略)相連通。
[0037]作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，風(fēng)刀的內(nèi)部風(fēng)道13由入風(fēng)口向出風(fēng)口方向可以圖示的向內(nèi)收縮的圓弧過渡形式逐漸收窄，形成由寬到窄的近似漏斗型截面形狀。將內(nèi)部風(fēng)道13設(shè)計(jì)成由寬到窄圓弧過渡的形式，可使得風(fēng)從風(fēng)刀I入風(fēng)口進(jìn)入出風(fēng)口并由風(fēng)孔4吹出的過程中，橫截面積逐漸減小風(fēng)速急速增大，以便起到增強(qiáng)快速吹走硅片14表面液體的作用；同時(shí)，由于風(fēng)孔4的總出風(fēng)面積小于入風(fēng)口面積，通過真空壓縮泵的作用，可在風(fēng)刀I上寬下窄的風(fēng)道腔室13內(nèi)形成熱風(fēng)，以便及時(shí)烘干硅片14。在實(shí)際干燥處理時(shí)，可通過調(diào)節(jié)真空壓縮泵輸出功率，使在風(fēng)道腔室13內(nèi)形成的熱風(fēng)溫度保持在30?60°C，其烘干效果較為合適。
[0038]請參閱圖2，圖2是圖1中風(fēng)刀風(fēng)孔的放大結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，在上、下風(fēng)刀I相對側(cè)的出風(fēng)口各設(shè)置的三排風(fēng)孔中，其中的位于中間的第二排風(fēng)孔16的風(fēng)向(如圖示第二排風(fēng)孔16出口處的傾斜方向箭頭所指)朝向硅片14通過方向(如圖示水平方向箭頭所指)的逆向傾斜設(shè)置；位于第二排風(fēng)孔16兩側(cè)的第一、第三排風(fēng)孔15、17的風(fēng)向(如圖示第一、第三排風(fēng)孔15、17出口處的垂直方向箭頭所指)垂直設(shè)置。
[0039]第一?第三排風(fēng)孔15?17間錯(cuò)排列的