一種硅片甩干機(jī)加熱缸蓋的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及硅片加工裝置，尤其涉及一種硅片甩干機(jī)加熱缸蓋。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片完成切割到完成最后的送檢之前還需要將硅片放入硅片甩干機(jī)內(nèi)進(jìn)行硅片甩干操作，傳統(tǒng)的甩干機(jī)干燥效果差，操作完成后仍有部分硅片潮濕，粘結(jié)在一起，不能保證全部硅片干燥分開。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種提高干燥效率的硅片甩干機(jī)加熱缸蓋。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:
[0005]一種硅片甩干機(jī)加熱缸蓋，包括有上蓋和下蓋，所述下蓋可通過鉸鏈連接在甩干機(jī)上，所下蓋中心設(shè)置有加熱管連接頭，所述加熱管連接頭兩側(cè)均連接有加熱管，所述上蓋設(shè)置在下蓋上方，所述上蓋由加熱板制成，所述加熱板的上側(cè)和側(cè)邊涂有保溫層，所述加熱板通過導(dǎo)線與加熱電源電連，所述上蓋的中部開有允許加熱管通過的通孔。
[0006]作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:所述加熱管內(nèi)通有導(dǎo)熱油，所述加熱管連接有導(dǎo)熱油循環(huán)系統(tǒng)。
[0007]作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:所述上蓋上設(shè)置有一圈側(cè)擋板。
[0008]本發(fā)明的有益效果為:所述硅片甩干機(jī)加熱缸蓋設(shè)置有上蓋和下蓋，上蓋由加熱板制成，可通過上蓋進(jìn)一步提高甩干機(jī)內(nèi)的溫度，從而使硅片上的水分快速蒸發(fā)，繼而不粘片，提高干燥效率，保證硅片的干燥質(zhì)量。
【附圖說明】
[0009]圖1為本發(fā)明提供的硅片甩干機(jī)加熱缸蓋的剖視圖
[0010]圖2為本發(fā)明提供的硅片甩干機(jī)加熱缸蓋的俯視圖。
[0011]圖中:1、上蓋；11、加熱板；12、保溫層；13、導(dǎo)線；14、通孔；2、下蓋；21、加熱管連接頭；22、側(cè)擋板；23、鉸鏈；3、加熱管；4、導(dǎo)熱油循環(huán)系統(tǒng)。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖并通過【具體實(shí)施方式】來進(jìn)一步說明本發(fā)明的技術(shù)方案。
[0013]請參閱圖1、圖2，所述硅片甩干機(jī)加熱缸蓋，包括有上蓋I和下蓋2，所述下蓋2可通過鉸鏈23固定連接在甩干機(jī)上，所述下蓋2周圍設(shè)置有一圈側(cè)擋板22，所述下蓋2中心還設(shè)置有加熱管連接頭21，所述加熱管連接頭21兩側(cè)均連接有加熱管3，所述加熱管3內(nèi)通有導(dǎo)熱油，所述加熱管3與導(dǎo)熱油循環(huán)系統(tǒng)4連接，通過加熱油提高甩干機(jī)內(nèi)的溫度，所述上蓋I設(shè)置在下蓋2上方，所述上蓋I由加熱板11制成，所述加熱板I的上側(cè)和側(cè)邊涂有保溫層12，所述加熱板11通過導(dǎo)線13與加熱電源電連，所述上蓋I的中部開有允許加熱管3通過的通孔14。
[0014]所述硅片甩干機(jī)加熱缸蓋使用時(shí)，將下蓋2關(guān)上從而密封甩干機(jī)，通過導(dǎo)熱油循環(huán)系統(tǒng)4驅(qū)動(dòng)導(dǎo)熱油在加熱管3內(nèi)流動(dòng)對(duì)甩干機(jī)內(nèi)部進(jìn)行加熱，同時(shí)將上蓋I通上電，通過加熱板11進(jìn)一步提高甩干機(jī)內(nèi)的溫度，并可起到保溫作用，提高了甩干機(jī)的干燥效率，保證了硅片的干燥質(zhì)量。
[0015]以上僅以實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限于上述尺寸和外觀例證，更不應(yīng)構(gòu)成本發(fā)明的任何限制。只要對(duì)本發(fā)明所做的任何改進(jìn)或者變型均屬于本發(fā)明權(quán)利要求主張的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片甩干機(jī)加熱缸蓋，其特征在于:包括有上蓋和下蓋，所下蓋中心設(shè)置有加熱管連接頭，所述加熱管連接頭兩側(cè)均連接有加熱管，所述下蓋通過鉸鏈連接甩干機(jī)，所述上蓋設(shè)置在下蓋上方，所述上蓋由加熱板制成，所述加熱板的上側(cè)和側(cè)邊涂有保溫層，所述加熱板通過導(dǎo)線與加熱電源電連，所述上蓋的中部開有允許加熱管通過的通孔。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述硅片甩干機(jī)加熱缸蓋，其特征在于:所述加熱管內(nèi)通有導(dǎo)熱油，所述加熱管連接有導(dǎo)熱油循環(huán)系統(tǒng)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述硅片甩干機(jī)加熱缸蓋，其特征在于:所述上蓋上設(shè)置有一圈側(cè)擋板。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種硅片甩干機(jī)加熱缸蓋，包括有上蓋和下蓋，所述下蓋可通過鉸鏈連接在甩干機(jī)上，所下蓋中心設(shè)置有加熱管連接頭，所述加熱管連接頭兩側(cè)均連接有加熱管，所述上蓋設(shè)置在下蓋上方，所述上蓋由加熱板制成，所述加熱板的上側(cè)和側(cè)邊涂有保溫層，所述加熱板通過導(dǎo)線與加熱電源電連，所述上蓋的中部開有允許加熱管通過的通孔，所述硅片甩干機(jī)加熱缸蓋，通過由加熱板制成的上蓋進(jìn)一步提高甩干機(jī)內(nèi)的溫度，并可起到保溫作用，提高了硅片甩干機(jī)的干燥效率，保證了硅片的干燥質(zhì)量。
【IPC分類】F26B25/00
【公開號(hào)】CN104930846
【申請?zhí)枴緾N201510309898
【發(fā)明人】岳喜卷, 楊風(fēng)彥, 何懷紅
【申請人】高佳太陽能股份有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2015年6月8日