專利名稱：一種改良的硅片甩干機傳動結構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及硅片加工設備領域，具體為一種改良的硅片甩干機傳動結構。
(二)
背景技術：
硅片切割并清洗以后， 一般都將硅片放置于硅片甩干機上，對硅片進行快 速甩干處理。硅片甩干機由電機驅動軸承帶動安裝有待甩干硅片的旋轉座來快 速甩干硅片，以往主軸外端安裝的是一對遠距離布置的圓錐輥子軸承，其缺點 在于其軸承游隙調整困難，游隙過小軸承溫升后發(fā)熱易卡死，游隙過大影響旋 轉座在高速旋轉過程中的平穩(wěn)性，嚴重時會損壞硅片。

實用新型內容
針對上述問題，本實用新型提供了一種改良的硅片甩干機傳動結構，其能 保證旋轉座的平穩(wěn)旋轉，提高了硅片的安全性。
其技術方案是這樣的其包括電機、主軸，所述電機安裝于電機座，所述 電機旋轉軸與小帶輪連接，所述主軸安裝于套筒內，所述套筒安裝于軸承座內， 所述主軸通過大帶輪與所述小帶輪連接，其特征在于所述主軸外部安裝有角 接觸球軸承。
其進一步特征在于所述角接觸球軸承設置有兩個；所述兩個角接觸球軸 承背靠背順序軸向安裝；所述角接觸球軸下部安裝于所述軸承座和套筒的臺階 面上，上部卡接于所述主軸的軸肩處，上端壓蓋固定。
使用本實用新型的硅片甩干機傳動結構，其采用一對背靠背布置的角接觸 球軸承代替以往遠距離布置的圓錐輥子軸承，從而提高了軸向定位的精確性， 保證了在高速旋轉過程中旋轉座的平穩(wěn)性，繼而保證了硅片在甩干過程中不會 因為旋轉座的不穩(wěn)而損壞硅片。


圖1為本實用新型主視的結構示意圖。
具體實施方式

見圖l，本實用新型包括電機、主軸4，電機安裝于電機座7，電機旋轉軸 與小帶輪6連接，主軸4安裝于套筒15內，套筒15安裝于軸承座1內，主軸4 通過大帶輪5與小帶輪6連接，主軸4外部安裝有角接觸球軸承17。角接觸球 軸承17設置有兩個;兩個角接觸球軸承17背靠背順序軸向安裝于套筒15外部; 角接觸球軸承17內外圈下部分別安裝于套筒15和軸承座1的臺階面上，軸承 內圈上部卡接于主軸4的軸肩處，其軸承外圈上端用壓蓋10固定。這樣，軸的
軸向方向即被固定。
圖1中，18為深溝球軸承，起到浮動支承的作用，2為軸承端蓋，起到防 塵作用；14為擋圈、16為主軸4的下端套筒、8是大墊片、9是小墊片、12是 防水蓋、13為脹套、ll是旋轉蓋、3為連接套。
權利要求1、一種改良的硅片甩干機傳動結構，其包括電機、主軸，所述電機安裝于電機座，所述電機旋轉軸與小帶輪連接，所述主軸安裝于套筒內，所述套筒安裝于軸承座內，所述主軸通過大帶輪與所述小帶輪連接，其特征在于所述主軸外部安裝有角接觸球軸承。
2、 根據權利要求l所述的一種改良的硅片甩干機傳動結構，其特征在于 所述角接觸球軸承設置有兩個。
3、 根據權利要求2所述的一種改良的硅片甩干機傳動結構，其特征在于所述兩個角接觸球軸承背靠背順序軸向安裝。
4、 根據權利要求3所述的一種改良的硅片甩干機傳動結構，其特征在于所述角接觸球軸下部安裝于所述軸承座和套筒的臺階面上，上部卡接于所述主 軸的軸肩處，上端壓蓋固定。
專利摘要本實用新型涉及一種改良的硅片甩干機傳動結構，其能保證旋轉座的平穩(wěn)旋轉，提高了硅片的安全性。其包括電機、主軸，所述電機安裝于電機座，所述電機旋轉軸與小帶輪連接，所述主軸安裝于套筒內，所述套筒安裝于軸承座內，所述主軸通過大帶輪與所述小帶輪連接，其特征在于所述主軸外部安裝有角接觸球軸承，所述角接觸球軸承設置有兩個；所述兩個角接觸球軸承背靠背順序軸向安裝；所述角接觸球軸下部安裝于所述軸承座和套筒的臺階面上，上部卡接于所述主軸的軸肩處，上端壓蓋固定。
文檔編號F26B5/08GK201387220SQ20092003527
公開日2010年1月20日 申請日期2009年3月14日 優(yōu)先權日2009年3月14日
發(fā)明者胡文全, 陳世強 申請人:無錫市奧曼特科技有限公司