技術(shù)編號：4756350
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及硅片加工設備領域，具體為一種改良的硅片甩干機傳動結(jié)構(gòu)。(二) 背景技術(shù)硅片切割并清洗以后， 一般都將硅片放置于硅片甩干機上，對硅片進行快 速甩干處理。硅片甩干機由電機驅(qū)動軸承帶動安裝有待甩干硅片的旋轉(zhuǎn)座來快 速甩干硅片，以往主軸外端安裝的是一對遠距離布置的圓錐輥子軸承，其缺點 在于其軸承游隙調(diào)整困難，游隙過小軸承溫升后發(fā)熱易卡死，游隙過大影響旋 轉(zhuǎn)座在高速旋轉(zhuǎn)過程中的平穩(wěn)性，嚴重時會損壞硅片。實用新型內(nèi)容針對上述問題，本實用新型提供了一種改良...
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