技術編號：9215032
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。硅片完成切割到完成最后的送檢之前還需要將硅片放入硅片甩干機內(nèi)進行硅片甩干操作，傳統(tǒng)的甩干機干燥效果差，操作完成后仍有部分硅片潮濕，粘結在一起，不能保證全部硅片干燥分開。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種提高干燥效率的硅片甩干機加熱缸蓋。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術方案一種硅片甩干機加熱缸蓋，包括有上蓋和下蓋，所述下蓋可通過鉸鏈連接在甩干機上，所下蓋中心設置有加熱管連接頭，所述加熱管連接頭兩側均連接有加熱管，所述上蓋設置在下蓋上方，所述上蓋由加熱板制成，...
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