一種熱處理設(shè)備的爐門控制機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種半導(dǎo)體熱處理設(shè)備的爐門控制機(jī)構(gòu)，更具體的，涉及一種可實現(xiàn)熱處理設(shè)備的爐門升降和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的控制機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備可包括例如臥式氧化爐、擴(kuò)散爐、臥式退火爐等。在半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備開始進(jìn)行工藝之前，也就是將石英舟和硅片送入加熱腔室之前，需要打開爐門；在工藝結(jié)束之后，也就是將石英舟和硅片移出加熱腔室之后，需要封閉爐門，以起到隔離熱量等作用。由于硅片加工的半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備需要較好的密封，尤其表現(xiàn)在爐門在半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備中起到隔離熱量的作用。
[0003]然而，現(xiàn)在使用的半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備的爐門大都是與承載石英舟的推拉桿為一體結(jié)構(gòu)，即用于承載硅片的推拉桿的末端設(shè)有爐門，其中推拉桿與爐門固定連接。在工藝過程中，將石英舟與硅片送入加熱腔室，爐門與半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備密封，而在不進(jìn)行工藝過程時，石英舟與硅片被移除加熱腔室，爐門只得敞開。如此，在爐門敞開的狀態(tài)下，導(dǎo)致熱處理設(shè)備大量散熱，不僅浪費(fèi)了能源，也增加了再加工時熱處理設(shè)備加熱的時間，降低了工作效率。
[0004]綜上所述，現(xiàn)有的半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備中的爐門機(jī)構(gòu)存在密封性能差、使用不夠靈活、成本較高、效率低下的缺陷，因此，業(yè)界亟需提供一種密封性能良好、操作靈活的的爐門控制機(jī)構(gòu)以解決上述問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)中存在上述缺陷，提供了一種熱處理設(shè)備的爐門控制機(jī)構(gòu)，不僅密封性能良好，同時可靈活控制爐門的運(yùn)動，從而提高半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備的工藝效率。
[0006]為解決上述問題，本發(fā)明提供一種熱處理設(shè)備的爐門控制機(jī)構(gòu)，還包括動力驅(qū)動裝置、傳動裝置以及控制單元；
[0007]所述動力驅(qū)動裝置包括平移氣缸以及旋轉(zhuǎn)氣缸；所述平移氣缸用于驅(qū)動所述傳動裝置做升降運(yùn)動，所述旋轉(zhuǎn)氣缸用于驅(qū)動所述傳動裝置做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動；
[0008]所述傳動裝置包括相互配合的花鍵軸套以及花鍵軸承，所述花鍵軸套內(nèi)壁設(shè)有內(nèi)花鍵，所述花鍵軸承外表面設(shè)有與內(nèi)花鍵相適應(yīng)的花鍵段，所述花鍵軸承的外側(cè)端依次固定連接一支板以及用于固定連接所述爐門的連接部；
[0009]所述控制單元可分別控制所述平移氣缸或旋轉(zhuǎn)氣缸的開啟和關(guān)閉；
[0010]其中，所述平移氣缸與所述花鍵軸承的內(nèi)側(cè)端連接并驅(qū)動其在所述花鍵軸承的軸向方向上做往復(fù)運(yùn)動，以帶動所述爐門做升降運(yùn)動，所述旋轉(zhuǎn)氣缸通過驅(qū)動桿與所述花鍵軸套連接，并驅(qū)動所述花鍵軸套在其徑向方向做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，以帶動所述爐門旋轉(zhuǎn)。
[0011]優(yōu)選的，所述爐門的外側(cè)端設(shè)有金屬卡套，所述金屬卡套與所述連接部之間設(shè)有用于減小緩沖的壓緊彈簧。
[0012]優(yōu)選的，所述爐門與所述熱處理設(shè)備之間設(shè)有密封裝置，所述密封裝置包括O型密封圈以及密封圈壓片；所述密封圈壓片與所述熱處理設(shè)備接觸，所述O型密封圈與所述爐門接觸。
[0013]優(yōu)選的，所述爐門控制機(jī)構(gòu)還包括限位機(jī)構(gòu)，所述限位機(jī)構(gòu)用于限制所述爐門的升降和旋轉(zhuǎn)的位置。
[0014]優(yōu)選的，所述限位機(jī)構(gòu)包括限位塊，所述限位塊上設(shè)有調(diào)節(jié)螺釘，所述限位塊安裝在所述爐門下降時對應(yīng)的位置上和旋轉(zhuǎn)時對應(yīng)的位置上。
[0015]優(yōu)選的，所述升降氣缸和所述旋轉(zhuǎn)氣缸上均連接有調(diào)速閥或/和調(diào)壓閥。
[0016]優(yōu)選的，所述爐門為石英爐門，所述石英爐門的中間設(shè)有用于填充保溫棉的夾層。
[0017]優(yōu)選的，所述爐門控制機(jī)構(gòu)還包括:與所述動力驅(qū)動裝置底部連接有用于將所述動力驅(qū)動裝置固接到外部設(shè)備上的固定安裝底座。
[0018]優(yōu)選的，所述固定安裝底座上還設(shè)有用于散熱的散熱風(fēng)扇。
[0019]優(yōu)選的，所述花鍵軸套通過軸套支座固定于所述固定安裝底座上。
[0020]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明通過設(shè)置動力驅(qū)動裝置以及傳動裝置，利用花鍵軸套以及花鍵軸承之間的傳動作用，實現(xiàn)帶動爐門旋轉(zhuǎn)與升降的功能。本發(fā)明提供的爐門控制機(jī)構(gòu)，可靈活控制爐門的動作，操作方便，密封性能好，避免了熱處理設(shè)備大量散熱以及熱輻射的問題，節(jié)約了成本，進(jìn)而提高了半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備的工藝效率和機(jī)構(gòu)的可靠性。
【附圖說明】
[0021]結(jié)合附圖，并通過參考下面的詳細(xì)描述，將會更容易地對本發(fā)明有更完整的理解并且更容易地理解其伴隨的優(yōu)點(diǎn)和特征，其中:
[0022]圖1是本發(fā)明實施例一種熱處理設(shè)備的爐門控制機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023][圖中附圖標(biāo)記]:
[0024]10、平移氣缸；20、旋轉(zhuǎn)氣缸；30、花鍵軸套；40、花鍵軸承；41、花鍵段；50、支板；60、爐門；70、連接部；80、驅(qū)動桿；90、金屬卡套；100、壓緊彈簧；110、固定安裝底座；120、散熱風(fēng)扇；130、軸套支座。
【具體實施方式】
[0025]為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。其次，本發(fā)明利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)的表述，在詳述本發(fā)明實例時，為了便于說明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對本發(fā)明的限定。
[0026]需要說明的是，在下述的實施例中，利用圖1的示意圖對按本發(fā)明一種熱處理設(shè)備的爐門控制機(jī)構(gòu)進(jìn)行了詳細(xì)的表述。在詳述本發(fā)明的實施方式時，為了便于說明，各示意圖不依照一般比例繪制并進(jìn)行了局部放大及省略處理，因此，應(yīng)避免以此作為對本發(fā)明的限定。
[0027]半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備可包括例如臥式氧化爐、擴(kuò)散爐、臥式退火爐等。在半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備開始進(jìn)行工藝之前，也就是將石英舟和硅片送入加熱腔室之前，需要打開爐門；在工藝結(jié)束之后，也就是將石英舟和硅片移出加熱腔室之后，需要封閉爐門，以起到隔離熱量等作用。
[0028]下面開始介紹本發(fā)明的【具體實施方式】。
[0029]請參閱圖1，圖1是本發(fā)明實施例一種熱處理設(shè)備的爐門控制機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，本發(fā)明提供一種熱處理設(shè)備的爐門控制機(jī)構(gòu)，包括爐門60，還包括動力驅(qū)動裝置、傳動裝置以及控制單元。本發(fā)明通過設(shè)置動力驅(qū)動裝置、傳動裝置以及控制單元，實現(xiàn)帶動爐門旋轉(zhuǎn)與升降的功能。
[0030]具體的，本實施例中，動力驅(qū)動裝置包括平移氣缸10以及旋轉(zhuǎn)氣缸20 ;平移氣缸10用于驅(qū)動傳動裝置做升降運(yùn)動，旋轉(zhuǎn)氣缸20用于驅(qū)動傳動裝置做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。
[0031]傳動裝置包括花鍵軸套30以及花鍵軸承40，花鍵軸套30內(nèi)壁設(shè)有內(nèi)花鍵，花鍵軸承40外表面設(shè)有與內(nèi)花鍵相配合的花鍵段41?；ㄦI軸承40的一端與平移氣缸10在花鍵軸承40的軸向方向上活動連接，花鍵軸承40的另一端固定連接一支板50，支板50的外側(cè)端具有用于固定連接爐門60的連接部70 ;花鍵軸套30通過驅(qū)