本發(fā)明屬于玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制，涉及到一種晶圓切割砂輪用玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅猛發(fā)展，晶圓切割技術(shù)成為了半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的一環(huán)。晶圓作為制造半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)性原材料，需要經(jīng)過拉晶、切片等一系列復(fù)雜的工藝步驟，最終形成極微小的電路結(jié)構(gòu)，再通過切割、封裝、測試等工序，成為廣泛應(yīng)用于各類電子設(shè)備中的芯片。

2、在晶圓切割過程中，砂輪作為關(guān)鍵工具，其質(zhì)量和性能直接影響到切割效率和切割質(zhì)量。而玻璃纖維網(wǎng)片，作為砂輪的重要組成部分，其性能穩(wěn)定性、耐熱性和耐磨性都對砂輪的整體性能有著重要影響。然而，在砂輪制造過程中，玻璃纖維網(wǎng)片在加工后往往含有一定的水分，這不僅會影響砂輪的干燥度和穩(wěn)定性，還會在切割過程中產(chǎn)生額外的熱量和應(yīng)力，從而影響切割效果和砂輪的使用壽命。為了解決這一問題，提高晶圓切割砂輪的質(zhì)量和性能，晶圓切割砂輪用玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制系統(tǒng)應(yīng)運而生。

3、現(xiàn)有的玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制的一些解決方法，還存在以下幾種局限性表現(xiàn)，具體為：1、現(xiàn)有技術(shù)在烘干處理操作前進(jìn)行數(shù)據(jù)設(shè)定時，僅限于對玻璃纖維網(wǎng)片表面水分?jǐn)?shù)據(jù)進(jìn)行檢測，缺乏對玻璃纖維網(wǎng)片的應(yīng)力余留狀態(tài)進(jìn)行分析，進(jìn)而未結(jié)合玻璃纖維網(wǎng)片的應(yīng)力余留狀態(tài)來分析其耐受溫度，使得烘干溫度的設(shè)定缺乏精準(zhǔn)性。

4、2、現(xiàn)有技術(shù)更多的是將烘干設(shè)備出風(fēng)口固定于玻璃纖維網(wǎng)片的一個中心點進(jìn)行氣流控制，未針對玻璃纖維網(wǎng)片表面水分進(jìn)行分區(qū)域針對性烘干，氣流在網(wǎng)片表面的分布可能不均勻，這種不均勻的烘干效果會影響網(wǎng)片的整體質(zhì)量和性能，進(jìn)而導(dǎo)致某些區(qū)域的水分被迅速去除，而另一些區(qū)域則可能仍然殘留較多水分，同時限制了烘干設(shè)備的靈活性和適應(yīng)性。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、鑒于此，為解決上述背景技術(shù)中所提出的問題，現(xiàn)提出一種晶圓切割砂輪用玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制系統(tǒng)。

2、本發(fā)明的目的可以通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：本發(fā)明提供一種晶圓切割砂輪用玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括：烘干指令確定模塊：用于提取烘干操作指令的操作次數(shù)，觀察玻璃纖維網(wǎng)片的浸潤狀態(tài)，進(jìn)而判斷并發(fā)送烘干操作指令。

3、余留數(shù)據(jù)檢測模塊：用于分析晶圓切割操作后的玻璃纖維網(wǎng)片應(yīng)力余留系數(shù)。

4、余留溫度分析模塊：用于對玻璃纖維網(wǎng)片進(jìn)行子區(qū)域劃分，檢測玻璃纖維網(wǎng)片表面各分區(qū)的熱值溫度，并結(jié)合晶圓切割操作后的玻璃纖維網(wǎng)片應(yīng)力余留系數(shù)，分析晶圓切割操作后的玻璃纖維網(wǎng)片表面各分區(qū)相應(yīng)余留溫度續(xù)持度，表示分區(qū)的編號，。

5、風(fēng)力溫度控制模塊：用于獲取玻璃纖維網(wǎng)片的材料屬性，包括塑形材料和涂覆材料，分析玻璃纖維網(wǎng)片表面各分區(qū)的材料穩(wěn)定系數(shù)，并基于晶圓切割操作后的玻璃纖維網(wǎng)片表面各分區(qū)相應(yīng)余留溫度續(xù)持度，確定玻璃纖維網(wǎng)片表面各分區(qū)的耐受烘干溫度。

6、烘干設(shè)備氣流控制模塊：用于識別玻璃纖維網(wǎng)片表面各分區(qū)的水分分布量，控制烘干設(shè)備的氣流分布。

7、相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的有益效果如下：（1）本發(fā)明通過檢測玻璃纖維網(wǎng)片切割操作后的磨損應(yīng)力系數(shù)和機械承軸系數(shù)，來分析晶圓切割操作后的玻璃纖維網(wǎng)片應(yīng)力余留系數(shù)，可以評估玻璃纖維網(wǎng)片在晶圓切割操作后的性能表現(xiàn)，進(jìn)而反映出玻璃纖維網(wǎng)片切割操作后的應(yīng)力余留狀態(tài)。

8、（2）本發(fā)明通過識別玻璃纖維網(wǎng)片的表面磨損形變各子區(qū)域相應(yīng)斑駁尺度，并識別玻璃纖維網(wǎng)片的材料屬性特征，分析玻璃纖維網(wǎng)片表面各分區(qū)的材料穩(wěn)定系數(shù)，有助于更全面地了解材料的本質(zhì)特性，為評估其耐受溫度提供科學(xué)依據(jù)，結(jié)合玻璃纖維網(wǎng)片切割操作后的應(yīng)力余留狀態(tài)，評估玻璃纖維網(wǎng)片表面的耐受烘干輔設(shè)溫度，據(jù)此確定玻璃纖維網(wǎng)片表面烘干操作相應(yīng)風(fēng)力溫度，進(jìn)而確保烘干效果。

9、（3）本發(fā)明通過對玻璃纖維網(wǎng)片各子區(qū)域的分區(qū)點進(jìn)行標(biāo)定，并檢測玻璃纖維網(wǎng)片表面各分區(qū)的水分分布狀態(tài)，來確定玻璃纖維網(wǎng)片表面各分區(qū)位置相應(yīng)風(fēng)速，進(jìn)行分區(qū)域針對性烘干，可以確保網(wǎng)片表面的每一個區(qū)域都得到充分的烘干處理，避免水分殘留和烘干不足的問題，從而實現(xiàn)更快速、更均勻的烘干效果，這有助于提升產(chǎn)品的整體質(zhì)量和性能。同時，分區(qū)域烘干可以根據(jù)實際需要調(diào)整烘干參數(shù)，避免不必要的能耗和浪費，有助于降低生產(chǎn)成本，提高經(jīng)濟效益。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓切割砂輪用玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓切割砂輪用玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制系統(tǒng)，其特征在于，所述烘干指令確定模塊，內(nèi)容包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓切割砂輪用玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制系統(tǒng)，其特征在于，所述分析晶圓切割操作后的玻璃纖維網(wǎng)片應(yīng)力余留系數(shù)相應(yīng)內(nèi)容包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓切割砂輪用玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制系統(tǒng)，其特征在于，所述分析玻璃纖維網(wǎng)片的各次切割操作相應(yīng)機械承軸系數(shù)，分析方式為：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓切割砂輪用玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制系統(tǒng)，其特征在于，所述玻璃纖維網(wǎng)片與晶圓切割砂輪相應(yīng)軸輪回轉(zhuǎn)分散補償，具體獲取方式為：獲取玻璃纖維網(wǎng)片與晶圓切割砂輪的結(jié)構(gòu)設(shè)計，從中提取玻璃纖維網(wǎng)片與晶圓切割砂輪相應(yīng)性能參數(shù)的差值，將其與對應(yīng)參數(shù)的基準(zhǔn)差值進(jìn)行比值，求和取得玻璃纖維網(wǎng)片與晶圓切割砂輪相應(yīng)軸輪回轉(zhuǎn)分散補償。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓切割砂輪用玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制系統(tǒng)，其特征在于，所述分析晶圓切割操作后的玻璃纖維網(wǎng)片表面各分區(qū)相應(yīng)余留溫度續(xù)持度，內(nèi)容包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶圓切割砂輪用玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制系統(tǒng)，其特征在于，所述基于斑駁尺度對玻璃纖維網(wǎng)片各子區(qū)域的分區(qū)點進(jìn)行標(biāo)定，內(nèi)容包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓切割砂輪用玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制系統(tǒng)，其特征在于，所述分析玻璃纖維網(wǎng)片表面各分區(qū)的材料穩(wěn)定系數(shù)相應(yīng)方法為：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種晶圓切割砂輪用玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制系統(tǒng)，其特征在于，所述確定玻璃纖維網(wǎng)片表面各分區(qū)的耐受烘干溫度，具體計算方式為：

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種晶圓切割砂輪用玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制系統(tǒng)，其特征在于，所述控制烘干設(shè)備的氣流分布，內(nèi)容包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制技術(shù)領(lǐng)域，具體公開提供的一種晶圓切割砂輪用玻璃纖維網(wǎng)片烘干處理控制系統(tǒng)，包括：通過檢測玻璃纖維網(wǎng)片切割操作后的磨損應(yīng)力系數(shù)和機械承軸系數(shù)，分析晶圓切割操作后的玻璃纖維網(wǎng)片應(yīng)力余留系數(shù)，反映玻璃纖維網(wǎng)片切割操作后的應(yīng)力余留狀態(tài)；通過分析玻璃纖維網(wǎng)片表面各分區(qū)的材料穩(wěn)定系數(shù)，結(jié)合玻璃纖維網(wǎng)片切割操作后的應(yīng)力余留狀態(tài)，評估玻璃纖維網(wǎng)片表面的耐受烘干輔設(shè)溫度，確定玻璃纖維網(wǎng)片表面烘干操作相應(yīng)風(fēng)力溫度；通過對玻璃纖維網(wǎng)片各子區(qū)域的分區(qū)點進(jìn)行標(biāo)定，檢測玻璃纖維網(wǎng)片表面各分區(qū)的水分分布狀態(tài)，確定玻璃纖維網(wǎng)片表面各分區(qū)位置相應(yīng)風(fēng)速，實現(xiàn)更均勻的烘干效果。

技術(shù)研發(fā)人員：顧建冬,顧華
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南通哥班玻璃纖維制品有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19