本實用新型涉及ITO靶材加工設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種用于真空熱壓爐的密封裝置。

背景技術(shù)：

ITO 靶材主要制備方法有熱等靜壓法、熱壓法和燒結(jié)法等。真空熱壓法是利用熱能與機(jī)械性能將粉狀材料置于真空和保護(hù)性氣氛中的高碳模具中，高溫加熱到軟化狀態(tài)時，加壓成型的工藝。由于該工藝燒結(jié)溫度可依外加壓力的大小而比常壓燒結(jié)低約200℃～400℃， 同時外加的能量使粉狀材料致密化速度加快，可以在較低的溫度及較短的時間內(nèi)生產(chǎn)完成完全致密的ITO 靶材產(chǎn)品，因此目前國內(nèi)廠家普遍采用真空熱壓法生產(chǎn)ITO 靶材。

常規(guī)的真空熱壓爐其熱壓裝置的下壓頭安裝于下液壓油缸的推桿上，由于所述推桿穿過爐體底部帶動下壓頭于爐體的高溫區(qū)上下運(yùn)動，則推桿的密封狀況是影響爐體內(nèi)真空度的重要因素。推桿的密封裝置結(jié)構(gòu)如圖1所示，通常包括與爐底101’固定連接的法蘭1’，所述法蘭1’內(nèi)安裝一環(huán)形密封圈2’，所述推桿100’順次穿過環(huán)形密封圈2’以及爐底101’進(jìn)入爐體內(nèi)部，當(dāng)爐體抽真空作業(yè)時導(dǎo)致密封圈2’上部壓力驟減，部分空氣由密封圈下部進(jìn)入爐體使密封圈與推桿之間的間隙增大，進(jìn)而導(dǎo)致密封效力下降。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供一種用于真空熱壓爐的密封裝置。

實現(xiàn)本實用新型目的的技術(shù)方案是，一種用于真空熱壓爐的密封裝置，其套設(shè)于推桿的外部并與真空熱壓爐爐體的底部的法蘭固定連接，其包括上密封座、下密封座以及雙向密封圈，所述上密封座固定安裝于真空熱壓爐爐體底部的法蘭上，所述下密封座可拆卸地安裝于上密封座底部并與上密封座圍合成中空的雙向密封圈安裝空間，上密封圈以及下密封圈的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有密封圈固定槽；所述雙向密封圈為兩端內(nèi)徑小中間內(nèi)徑大的類橄欖形結(jié)構(gòu)，雙向密封圈的中部的外圍設(shè)置有凸臺，所述凸臺嵌套于密封圈固定槽內(nèi)，雙向密封圈的兩端與相對的上密封座以及下密封座之間存在密封圈活動間隙，所述推桿順次穿過下密封座、雙向密封圈以及上密封座進(jìn)入爐體內(nèi)部，所述上密封座、雙向密封圈以及推桿圍合成上氣室，所述下密封座、雙向密封圈以及推桿圍合成下氣室。

進(jìn)一步地，所述凸臺與密封圈固定槽固定連接。

本實用新型獨(dú)創(chuàng)的雙向密封圈結(jié)構(gòu)與上、下密封座以及推桿配合，于密封裝置內(nèi)部分隔出上、下兩個氣室，當(dāng)爐體抽真空時，上氣室內(nèi)壓力驟減導(dǎo)致空氣由雙向密封圈的上部進(jìn)入雙向密封圈內(nèi)，由于下氣室內(nèi)氣壓大于雙向密封圈內(nèi)部氣壓，則雙向密封圈的下部受到下氣室的壓力抱緊推桿，防止漏氣，從而保證了爐體的真空度；當(dāng)爐體內(nèi)正壓狀態(tài)時，上氣室壓力大于雙向密封圈內(nèi)部氣壓，則雙向密封圈的上部受到上氣室的壓力抱緊推桿，保證爐體不漏氣。

附圖說明

圖1為本實用新型背景技術(shù)所述密封裝置部分剖視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型實施例所述用于真空熱壓爐的密封裝置剖視圖；

圖3為本實用新型實施例所述上、下密封座的裝配結(jié)構(gòu)剖視圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本實用新型較佳實施例做詳細(xì)說明。

如圖2和圖3所示，一種用于真空熱壓爐的密封裝置，其套設(shè)于推桿100的外部并與真空熱壓爐爐體的底部的法蘭101固定連接，其包括上密封座11、下密封座12以及雙向密封圈13，所述上密封座11固定安裝于爐體底部的法蘭101上，所述下密封座12可拆卸地安裝于上密封座11底部并與上密封座11圍合成中空的雙向密封圈安裝空間，上密封圈11以及下密封圈12的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有密封圈固定槽14；所述雙向密封圈13為兩端內(nèi)徑小中間內(nèi)徑大的類橄欖形結(jié)構(gòu)，雙向密封圈13的中部的外圍設(shè)置有凸臺131，所述凸臺131嵌套于密封圈固定槽14內(nèi)，雙向密封圈13的兩端與與其相對的上密封座11以及下密封座12之間存在密封圈活動間隙D，所述推桿3031順次穿過下密封座12、雙向密封圈13以及上密封座11進(jìn)入爐體內(nèi)部，所述上密封座11、雙向密封圈13以及推桿3031圍合成上氣室2，所述下密封座12、雙向密封圈13以及推桿3031圍合成下氣室3。

當(dāng)爐體抽真空時，上氣室2內(nèi)壓力驟減導(dǎo)致空氣由雙向密封圈13的上部進(jìn)入雙向密封圈內(nèi)，由于下氣室3內(nèi)氣壓大于雙向密封圈13內(nèi)部氣壓，則雙向密封圈13的下部受到下氣室3的壓力抱緊推桿，防止漏氣，從而保證了爐體的真空度；當(dāng)爐體內(nèi)正壓狀態(tài)時，上氣室2壓力大于雙向密封圈13內(nèi)部氣壓，則雙向密封圈13的上部受到上氣室2的壓力抱緊推桿，保證爐體不漏氣。

本實用新型所述凸臺可直接嵌套于密封圈固定槽內(nèi)，也可以與密封圈固定槽固定連接，以提升雙向密封圈的穩(wěn)定性；本實施例中所述密封圈固定槽為上密封座與下密封座拼接而成，也可以分別在上、下密封座內(nèi)側(cè)壁分別開設(shè)密封圈固定槽，凸臺的數(shù)量與密封圈固定槽的數(shù)量相匹配；本實施例中上、下密封座螺栓連接，實際裝配結(jié)構(gòu)不限于此，上、下密封還可以卡接或采用其他易于拆卸的裝配結(jié)構(gòu)連接。

以上所述僅為本實用新型的實施例，并非因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書內(nèi)容所作的等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。