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一種千級(jí)凈化組合式空調(diào)箱結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):12709215閱讀:635來源:國(guó)知局

本實(shí)用新型涉及空調(diào)箱技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種千級(jí)凈化組合式空調(diào)箱結(jié)構(gòu)。



背景技術(shù):

超凈高純?cè)噭┊a(chǎn)品是一類微粒雜質(zhì)有嚴(yán)格要求的試劑產(chǎn)品,如微電子行業(yè)中的稀釋劑、剝離液、清洗劑、蝕刻劑等電子化學(xué)品均屬于這類試劑。電子化學(xué)品按照純度主要分為UP-S級(jí)、UP級(jí)、EL三個(gè)等級(jí)。其中,以UP-S級(jí)為例,UP-S級(jí)電子化學(xué)品適用于0.35~0.8μm集成電路加工工藝,需要控制金屬雜質(zhì)含量小于1ppb、≥0.5μm粒子數(shù)量在5個(gè)/mL以內(nèi)、≥0.2μm粒子數(shù)量在200個(gè)/mL以內(nèi)。為此,這類產(chǎn)品需要在具有凈化環(huán)境的車間中進(jìn)行生產(chǎn),一般要求達(dá)到100級(jí)甚至1000級(jí)環(huán)境,即≥0.5μm顆粒不超過100或1000個(gè)/mm 3空氣。此外,還要求:車間具有10~15mm汞柱的正壓,以避免車間外環(huán)境中的粉塵等進(jìn)入車間,造成污染;車間溫度維持為恒溫,以避免溫度對(duì)物質(zhì)的溶解點(diǎn)等物性參數(shù)造成影響。

凈化車間通常需要裝配一臺(tái)用于過濾車間環(huán)境內(nèi)空氣、并使車間內(nèi)空氣恒溫的凈化空調(diào)機(jī)組?,F(xiàn)有技術(shù)中為凈化空調(diào)的空調(diào)箱設(shè)計(jì)不合理,存在著能源浪費(fèi)的問題。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型提供了一種千級(jí)凈化組合式空調(diào)箱結(jié)構(gòu)。

本實(shí)用新型提供了如下方案:

一種千級(jí)凈化組合式空調(diào)箱結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)包括采用45~55毫米厚的聚氨酯冷庫(kù)板通過風(fēng)機(jī)箱鋁型材連接而成的箱體,所述箱體設(shè)置有多個(gè)采用塑鋼材質(zhì)制作的檢修門;

所述箱體一端設(shè)置有新風(fēng)閥,另一端設(shè)置有送風(fēng)閥,所述送風(fēng)閥用于與凈化車間的新風(fēng)管道相連;所述箱體內(nèi)部由新風(fēng)閥一端至送風(fēng)閥一端依次設(shè)置有第一過濾組件、第二過濾組件、第三過濾組件、冷熱盤管、擋水器以及風(fēng)機(jī),所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口與所述送風(fēng)閥相連;

其中,所述第一過濾組件、第二過濾組件、第三過濾組件分別包括初效過濾器、中效過濾器以及高效過濾器。

優(yōu)選的:所述新風(fēng)閥一端還設(shè)置有回風(fēng)閥。

優(yōu)選的:所述結(jié)構(gòu)包括采用50毫米厚的聚氨酯冷庫(kù)板制作的箱體。

優(yōu)選的:所述風(fēng)機(jī)箱鋁型材為斷橋鋁型材。

優(yōu)選的:所述風(fēng)機(jī)為高壓離心風(fēng)機(jī)。

根據(jù)本實(shí)用新型提供的具體實(shí)施例,本實(shí)用新型公開了以下技術(shù)效果:

通過本實(shí)用新型,可以實(shí)現(xiàn)一種千級(jí)凈化組合式空調(diào)箱結(jié)構(gòu),在一種實(shí)現(xiàn)方式下,該結(jié)構(gòu)包括采用45~55毫米厚的聚氨酯冷庫(kù)板通過風(fēng)機(jī)箱鋁型材連接而成的箱體,所述箱體設(shè)置有多個(gè)采用塑鋼材質(zhì)制作的檢修門;所述箱體一端設(shè)置有新風(fēng)閥,另一端設(shè)置有送風(fēng)閥,所述送風(fēng)閥用于與凈化車間的新風(fēng)管道相連;所述箱體內(nèi)部由新風(fēng)閥一端至送風(fēng)閥一端依次設(shè)置有第一過濾組件、第二過濾組件、第三過濾組件、冷熱盤管、擋水器以及風(fēng)機(jī),所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口與所述送風(fēng)閥相連;其中,所述第一過濾組件、第二過濾組件、第三過濾組件分別包括初效過濾器、中效過濾器以及高效過濾器。本申請(qǐng)?zhí)峁┑那Ъ?jí)凈化組合式空調(diào)箱結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理,制作成本低廉,使用安裝方便??梢詾閮艋囬g提供達(dá)到千級(jí)凈化標(biāo)準(zhǔn)的新風(fēng),采用聚氨酯冷庫(kù)板為主要材料制作的箱體,具有良好的保溫性能,可以達(dá)到環(huán)保節(jié)能的目的。同時(shí)采用斷橋鋁型材配合該聚氨酯冷庫(kù)板使用,使該箱體結(jié)構(gòu)具有良好的強(qiáng)度,值得大面積推廣使用。

當(dāng)然,實(shí)施本實(shí)用新型的任一產(chǎn)品并不一定需要同時(shí)達(dá)到以上所述的所有優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種千級(jí)凈化組合式空調(diào)箱結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中:箱體1、檢修門2、新風(fēng)閥3、送風(fēng)閥4、第一過濾組件5、第二過濾組件6、第三過濾組件7、冷熱盤管8、擋水器9、風(fēng)機(jī)10、回風(fēng)閥11。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

實(shí)施例

參見圖1,為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種千級(jí)凈化組合式空調(diào)箱結(jié)構(gòu),如圖1所示,該結(jié)構(gòu)包括采用45~55毫米厚的聚氨酯冷庫(kù)板通過風(fēng)機(jī)箱鋁型材連接而成的箱體1,所述箱體1設(shè)置有多個(gè)采用塑鋼材質(zhì)制作的檢修門2;

所述箱體1一端設(shè)置有新風(fēng)閥3,另一端設(shè)置有送風(fēng)閥4,所述送風(fēng)閥4用于與凈化車間的新風(fēng)管道相連;所述箱體1內(nèi)部由新風(fēng)閥3一端至送風(fēng)閥4一端依次設(shè)置有第一過濾組件5、第二過濾組件6、第三過濾組件7、冷熱盤管8、擋水器9以及風(fēng)機(jī)10,所述風(fēng)機(jī)10的出風(fēng)口與所述送風(fēng)閥4相連;所述風(fēng)機(jī)可以為高壓離心風(fēng)機(jī)。

其中,所述第一過濾組件5、第二過濾組件6、第三過濾組件7分別包括初效過濾器、中效過濾器以及高效過濾器。

在實(shí)際應(yīng)用中,為了能夠防止該箱體內(nèi)部的壓力過高造成對(duì)箱體的損壞,本申請(qǐng)實(shí)施例還可以提供所述新風(fēng)閥一端還設(shè)置有回風(fēng)閥11。再具體選擇該箱體的板材時(shí),所述結(jié)構(gòu)包括采用50毫米厚的聚氨酯冷庫(kù)板制作的箱體。為了進(jìn)一步提升該箱體的保溫性能,所述風(fēng)機(jī)箱鋁型材為斷橋鋁型材。這樣可以更好地將冷熱橋隔斷,是該機(jī)箱結(jié)構(gòu)具有良好的保溫性能。在使用中可以最大限度的達(dá)到節(jié)能的目的。該結(jié)構(gòu)可以為凈化車間提供達(dá)到千級(jí)凈化標(biāo)準(zhǔn)的新風(fēng),即可以達(dá)到0.5微米的最大容許粒子濃度小于35200(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小于2930(pc/m3)。主車間對(duì)相鄰的車間壓差大于等于5pa。濕度45-65%.溫度冬季大于16度。夏季小于26度。波動(dòng)是0-4度之間。噪聲小于65(db)A。

總之,本申請(qǐng)?zhí)峁┑那Ъ?jí)凈化組合式空調(diào)箱結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理,制作成本低廉,使用安裝方便。可以為凈化車間提供達(dá)到千級(jí)凈化標(biāo)準(zhǔn)的新風(fēng),采用聚氨酯冷庫(kù)板為主要材料制作的箱體,具有良好的保溫性能,可以達(dá)到環(huán)保節(jié)能的目的。同時(shí)采用斷橋鋁型材配合該聚氨酯冷庫(kù)板使用,使該箱體結(jié)構(gòu)具有良好的強(qiáng)度,值得大面積推廣使用。

需要說明的是,在本文中,諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開來,而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且,術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含,從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素,而且還包括沒有明確列出的其他要素,或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下,由語句“包括一個(gè)……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并非用于限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。

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