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一種大型無塵室壓差監(jiān)測與調(diào)整方法與流程

文檔序號:12785768閱讀:565來源:國知局

本發(fā)明涉及電機技術領域,具體為一種大型無塵室壓差監(jiān)測與調(diào)整方法。



背景技術:

壓差控制在凈化空調(diào)系統(tǒng)中是一個非常重要的環(huán)節(jié)。只有通過對凈化區(qū)域的壓差進行控制,保證合理的氣流組織,才能達到凈化和工藝的要求。而壓差的監(jiān)測是壓差控制的基礎,壓差測定的穩(wěn)定性和相應速度又關系到壓差控制的及時與準確。

潔凈廠房壓差目前普遍采用便攜式微壓差計、電子壓差計等進行測定,具有直觀、方便的特點。但是也存在著測定時間長、重復性差(測定位置變化)、測定數(shù)據(jù)不能即時反饋等;同步性差等缺點。特別大型潔凈廠房,其壓差的調(diào)整與控制周期顯得特別長,監(jiān)測與調(diào)整控制不能同步進行。



技術實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的在于提供一種為了強化大型潔凈廠房壓差測量(監(jiān)測)和壓差調(diào)整(控制)的同步性、協(xié)調(diào)性,縮短其調(diào)試周期,引入壓差傳感器進行測量(監(jiān)測)并進行數(shù)據(jù)傳輸、采用計算機技術進行計算對比,具有各潔凈單元的壓差顯示、超差報警功能,并為壓差人工調(diào)試(控制)或自動控制調(diào)試提供輔助。,以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供如下技術方案:一種大型無塵室壓差監(jiān)測與調(diào)整方法,包括以下步驟:

(1)總線敷設,按照常規(guī)工藝對總線進行敷設;

(2)壓差測試點位置的選擇,根據(jù)送回風口位置,選擇氣流相對穩(wěn)定,瞬間波動影響較小的位置,使取壓點相對穩(wěn)定地反映房間的真實壓差,測管口應設在無塵室內(nèi)沒有氣流影響的地方,測管口平面應與氣流方向平行;

(3)安裝導壓管,按照常規(guī)工藝對導壓管進行敷設,減少導壓管長度,縮短路徑,避免導壓管彎曲度過小,造成癟管,影響檢測結果;

(4)壓差傳感器及數(shù)據(jù)采集器的安裝,在對壓差傳感器及數(shù)據(jù)采集器進行校準后進行安裝,壓差測量時采用便攜式微壓差計進行對比校正;

(5)計算機處理進行數(shù)值比對;

(6)在進行壓差調(diào)整與控制前的檢查后,根據(jù)壓差顯示、超差報警控制系統(tǒng)調(diào)整相關電動或手動風閥開度。

優(yōu)選的,無塵室內(nèi)潔凈區(qū)保持正壓,潔凈室內(nèi)的空氣是由高潔凈區(qū)流向低潔凈區(qū)或由潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū);相鄰不同等級的無塵室之間靜壓差不低于5Pa,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不小于10Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差,不小于12Pa。

優(yōu)選的,步驟(6)中壓差調(diào)整與控制前的檢查包括氣密性檢查和風系統(tǒng)檢查;

氣密性檢查各小無塵室相對于其他無塵室或非潔凈區(qū)之間的氣密性,包括無塵室天地墻之間的接縫、各種管線橋架穿無塵室天地墻的接縫、無塵室天地墻與結構柱之間的接縫、無塵室墻及天花本身之間的接縫、門窗及檢修孔與墻天花之間的接縫以及所有不允許過風的孔洞,均要氣密完好

風系統(tǒng)檢查首先檢查所有FFU是否能正常運行,測定其風量是否能達到額定風量;檢查所有空調(diào)新風,閥門及變頻風機開到最大時測定其每支新風管最大新風量是否滿足設計要求,如有無塵室采用循環(huán)風空調(diào)箱,則需檢查其最大送回風風量是否能滿足圖紙設計要求;檢查新風系統(tǒng)各調(diào)節(jié)閥能否自由調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)各泄壓閥其壓差值使之符合先前確定的靜壓差要求,檢查所有動態(tài)時會正常運行的排風系統(tǒng),測定其排風量是否已達到最排風量;

以上檢查如有不滿足要求,則需分析原因,采取相應措施使之正常后才能進行壓差調(diào)整。

優(yōu)選的,步驟(6)中壓差調(diào)整與控制在靜態(tài)或動態(tài)下進行;

調(diào)整所有新風系統(tǒng)的風量,包含新風機組之變頻電機,新風系統(tǒng)的所有風閥,各個小無塵室之間送風用的風閥,使之風量達到最大值;

壓差測定及調(diào)整合格后,用紅漆在所有新風閥上作標記,并將閥門位置固定,不得隨意變動。

與現(xiàn)有技術相比,本發(fā)明的有益效果是:

本發(fā)明通過壓差傳感器實現(xiàn)了測量數(shù)據(jù)的同步實時傳輸,極大的加快了測量的相應速度。同一潔凈單元內(nèi)按工藝需求設置測量點位置,確保氣流體符合工藝需求。多個區(qū)域的壓差數(shù)據(jù)傳輸至計算機,通過計算比較,直觀反映了各區(qū)域壓差情況。無論采用手動調(diào)試或自動控制,能即時反映壓差變化情況,并通過反復調(diào)試,滿足設計及工藝要求。傳輸與控制部分采用二總線制,投入費用低。潔凈室內(nèi)的測試口可密封,可定期重復使用進行測試,并且調(diào)試結束后,可將壓差控制器拆除,接入壓差表,充分利用了資源。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的工藝流程圖。

具體實施方式

下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒景l(fā)明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。

請參閱圖1,本發(fā)明提供一種技術方案:一種大型無塵室壓差監(jiān)測與調(diào)整方法,包括以下步驟:

(1)總線敷設,按照常規(guī)工藝對總線進行敷設;

(2)壓差測試點位置的選擇,根據(jù)送回風口位置,選擇氣流相對穩(wěn)定,瞬間波動影響較小的位置,使取壓點相對穩(wěn)定地反映房間的真實壓差,測管口應設在無塵室內(nèi)沒有氣流影響的地方,測管口平面應與氣流方向平行;

(3)安裝導壓管,按照常規(guī)工藝對導壓管進行敷設,減少導壓管長度,縮短路徑,避免導壓管彎曲度過小,造成癟管,影響檢測結果;

(4)安裝壓差傳感器及數(shù)據(jù)采集器,在對壓差傳感器及數(shù)據(jù)采集器進行校準后進行安裝,壓差測量時采用便攜式微壓差計進行對比校正;

(5)計算機處理進行數(shù)值比對;

(6)在進行壓差調(diào)整與控制前的檢查后,根據(jù)壓差顯示、超差報警控制系統(tǒng)調(diào)整相關電動或手動風閥開度。

無塵室內(nèi)潔凈區(qū)保持正壓,潔凈室內(nèi)的空氣是由高潔凈區(qū)流向低潔凈區(qū)或由潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū);相鄰不同等級的無塵室之間靜壓差不低于5Pa,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不小于10Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差,不小于12Pa。靜壓設定值的選取,應從保證潔凈度及節(jié)能兩方面考慮。由于規(guī)范中只給出了要求靜壓差的下限值,而無上限要求,因而系統(tǒng)的風量設計往往考慮控制中的波動因素,設計壓差值易選取過大。如相鄰級別不同的潔凈間之間,以10Pa為控制基準(考慮干擾因素引起的滯后調(diào)節(jié)),則最高級別房間的壓差設定值相對室外可達40Pa以上。為了可靠,有可能將設定值選的更高。其結果是,靜壓過高,加大了無塵室內(nèi)潔凈空氣的泄漏量,為保證高壓差就需要更多的新風量,造成了不必要的浪費。但如過低的選取無塵室靜壓值,由于其壓差較小,降低了無塵室靜壓的抗干擾能力,給無塵室潔凈度帶來很大的風險,有可能會降低產(chǎn)品的合格率,給生產(chǎn)造成更大的損失。有實際經(jīng)驗資料表明,不同等級的潔凈室之間、潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差保持在2.94Pa以上,潔凈區(qū)與室外之間的壓差保持在4.9Pa以上,即可保證潔凈室不受外界空氣的污染,其潔凈度也是可以保證的。因此,必須根據(jù)無塵室的實際情況(主要是可能出現(xiàn)的干擾源情況及潔凈度等級需求),合理選擇不同等級潔凈室之間及其與非潔凈室之間的壓差值,既滿足潔凈度的可靠性、穩(wěn)定性,同時避免不必要的浪費。一個大型的無塵室,根據(jù)生產(chǎn)工藝的需求不同,往往由十幾甚至幾十個潔凈等級不一的小無塵室組成,如南京中電熊貓6.5代液晶面板生產(chǎn)線,就是一個特大型的無塵室,其大大小小的潔凈等級不一的小無塵室就有幾百個,氣流組織錯綜復雜,確定好各個小無塵室的靜壓,是保證其氣流組織符合生產(chǎn)工藝需求的第一步。

步驟(6)中壓差調(diào)整與控制前的檢查包括氣密性檢查和風系統(tǒng)檢查;氣密性檢查各小無塵室相對于其他無塵室或非潔凈區(qū)之間的氣密性,包括無塵室天地墻之間的接縫、各種管線橋架穿無塵室天地墻的接縫、無塵室天地墻與結構柱之間的接縫、無塵室墻及天花本身之間的接縫、門窗及檢修孔與墻天花之間的接縫以及所有不允許過風的孔洞,均要氣密完好。確定各個小無塵室的靜壓,須先確定局部區(qū)域內(nèi)最低等級小無塵室(假設為A類無塵室,往往A類無塵室不只一個)的靜壓(一般比非潔凈區(qū)高10Pa左右),然后再確定與之相鄰的所有小無塵室(暫定為B類無塵室)的靜壓(至少比A類高5Pa),確定好B類無塵室靜壓后,再確定與B類無塵室相鄰的無塵室(暫定為C類無塵室)的靜壓,C類無塵室其潔凈等級應比B高,則其靜壓要高出5Pa,如比B低,則該小無塵室應為A類,其靜壓要比B類低5Pa,如果相鄰兩小無塵室潔凈等級相同,則按圖紙設計時的氣流流向,其氣流流出端的小無塵室靜壓要低5Pa,如此類推,直至所有小無塵室的靜壓確定完為止。以此方法確定無塵室靜壓,有可能一個小無塵室會有兩個或更多個靜壓,為確保氣流流向符合工藝需求,則該小無塵室靜壓以最高值為依據(jù)進行調(diào)試。

風系統(tǒng)檢查首先檢查所有FFU是否能正常運行,測定其風量是否能達到額定風量;檢查所有空調(diào)新風,閥門及變頻風機開到最大時測定其每支新風管最大新風量是否滿足設計要求,如有無塵室采用循環(huán)風空調(diào)箱,則需檢查其最大送回風風量是否能滿足圖紙設計要求;檢查新風系統(tǒng)各調(diào)節(jié)閥能否自由調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)各泄壓閥其壓差值使之符合先前確定的靜壓差要求,檢查所有動態(tài)時會正常運行的排風系統(tǒng),測定其排風量是否已達到最排風量;

以上檢查如有不滿足要求,則需分析原因,采取相應措施使之正常后才能進行壓差調(diào)整。

壓差調(diào)整與控制一般在靜態(tài)或動態(tài)下進行,此時FFU已全部運行,制程排氣系統(tǒng)已全部已在最大排風量狀態(tài)下運行,空調(diào)新風也已運行多時。

首先調(diào)整所有新風系統(tǒng)的風量,包含新風機組之變頻電機,新風系統(tǒng)的所有風閥,各個小無塵室之間送風用的風閥,使之風量達到最大值。

確認所有A類無塵室的門均處于關閉狀態(tài),再從計算機監(jiān)控中心觀察各個A類小無塵室之靜壓,或實地用便攜式壓差計測量,一般此時A類無塵室靜壓均高于按5.4.3確定的設定值(否則便是無塵室氣密性很差,其漏風量很大或新風風量沒達到設計要求),此時調(diào)小該小無塵室之新風閥門,或相鄰無塵室送入該無塵室的風閥,使之靜壓比設定值略大0~2Pa左右。

A類小無塵室靜壓調(diào)整完畢后,從監(jiān)控中心觀察各個B類小無塵室之靜壓,一般此時B類小無塵室之靜壓也均高于5.4.3中設定值,此時調(diào)小B類小無塵室之新風閥門或新風機組變頻電機之頻率,或相鄰小無塵室送入該無塵室的風閥,使之靜壓維持在比設定值略高0~2Pa,此時再從監(jiān)控中心觀察A類小無塵室之靜壓,如其靜壓低于設定值,則略為同時加大A、B類無塵室之新風或送風閥門開度或變頻電機之頻率,使A、B類小無塵室之靜壓均比設定值略高0~2Pa。C類小無塵室靜壓的調(diào)整同B類,只是初調(diào)完畢后要同時從監(jiān)控中心觀察A、B類小無塵室之靜壓,如其靜壓低于設定值,則略為同時加大A、B、C類小無塵室之新風閥開度或新風機組之變頻電機頻率,使A、B、C類小無塵室之靜壓均比設定值高0~2Pa。以此類推,直到所有小無塵室之靜壓均略大于設定值0~2Pa為止。

壓差測定及調(diào)整合格后,用紅漆在所有新風閥上作標記,并將閥門位置固定,不得隨意變動。若選用自動控制,則將以上需手動調(diào)節(jié)之風閥均換成VAV(變風量調(diào)節(jié)單元)或比例式電動風閥,當監(jiān)控中心收到現(xiàn)場傳感器測得的數(shù)據(jù)信號后,即與標準值對比,并發(fā)出指令無級調(diào)節(jié)相應VAV或比例式電動風閥開度,改變新風量,從而調(diào)節(jié)其靜壓。使用VAV自動控制無塵室靜壓效率很高,能及時同步調(diào)節(jié)新風量,保證無塵室靜壓的穩(wěn)定性,但由于VAV造價較高,所以其一次性投入成本較大,所以相比較而言,電動風閥由于其價格低廉,則在工程實踐中應用較多。每次從監(jiān)控中心觀察各小無塵室靜壓時均需確認,調(diào)試區(qū)域內(nèi)無塵室的門均已處于關閉狀態(tài)。

為避免無塵室內(nèi)正壓過大,影響生產(chǎn),特別是液晶電子廠房,正壓過大時會引起液晶破片,必須在相鄰無塵室之間的隔墻上安裝余壓閥。由于生產(chǎn)工藝的需求,相鄰無塵室之間存在不可關閉的開口時,還必須測量開口處的風速及風向,其風速及風向應符合設計要求。調(diào)試完成后,必須測試所有調(diào)節(jié)風閥的風量,分析其數(shù)據(jù)并與設計風量相比較,反過來驗證無塵室的氣密性,以避免因氣密性差引起的能源浪費。

與傳統(tǒng)監(jiān)測及控制方法相比,該工法采用了二總線制傳輸與控制,電腦分析采集數(shù)據(jù),大大減少人工,提高了效率,節(jié)省了調(diào)試時間和費用。采用本技術,能明顯縮短大型無塵室靜壓調(diào)試的周期,滿足了電子廠房工期短,生產(chǎn)任務緊的需求,為電子生產(chǎn)企業(yè)早日進軍市場創(chuàng)造了條件。提高了企業(yè)施工技術水平,降低了企業(yè)的施工成本,企業(yè)的競爭優(yōu)勢得到了加強。

盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實施例,對于本領域的普通技術人員而言,可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型,本發(fā)明的范圍由所附權利要求及其等同物限定。

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