技術(shù)編號(hào)：12709215
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及空調(diào)箱技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種千級(jí)凈化組合式空調(diào)箱結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)超凈高純?cè)噭┊a(chǎn)品是一類微粒雜質(zhì)有嚴(yán)格要求的試劑產(chǎn)品，如微電子行業(yè)中的稀釋劑、剝離液、清洗劑、蝕刻劑等電子化學(xué)品均屬于這類試劑。電子化學(xué)品按照純度主要分為UP-S級(jí)、UP級(jí)、EL三個(gè)等級(jí)。其中，以UP-S級(jí)為例，UP-S級(jí)電子化學(xué)品適用于0.35～0.8μm集成電路加工工藝，需要控制金屬雜質(zhì)含量小于1ppb、≥0.5μm粒子數(shù)量在5個(gè)/mL以內(nèi)、≥0.2μm粒子數(shù)量在200個(gè)/mL以內(nèi)。為此，這類產(chǎn)品需要在具有凈化環(huán)境的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。