本實(shí)用新型涉及超純水加熱領(lǐng)域，尤其涉及超純水用加熱恒溫水箱。
背景技術(shù)：
在制造芯片的過(guò)程中，由于超純水的特殊性在制造領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用。在清洗的整個(gè)過(guò)程中部分工序要求芯片表面去除一些雜質(zhì)（要求較高），我們常溫的超純水很難達(dá)到清洗效果，對(duì)生產(chǎn)出的材料有一定影響。純水加熱后這是由于物質(zhì)受熱后，分子運(yùn)動(dòng)加快，清洗效果遠(yuǎn)高于涼水。但目前所用的加熱設(shè)備均有金屬物質(zhì)，對(duì)超純水會(huì)造成一定的污染，降低超純水的阻值。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本實(shí)用新型針對(duì)以上問(wèn)題，提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，提高加熱可靠性的超純水加熱恒溫水箱。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：包括箱體，所述箱體的頂部設(shè)有箱蓋，還包括溫控系統(tǒng)、PFA盤管和自動(dòng)補(bǔ)水裝置，
所述溫控系統(tǒng)包括溫控器、加熱器和熱電偶，所述加熱器和熱電偶分別設(shè)在箱體內(nèi)、且分別連接溫控器；
所述PFA盤管通過(guò)固定架設(shè)在箱體內(nèi)，所述PFA盤管的兩端分別為進(jìn)水口和排水口，所述進(jìn)水口和排水口分別位于箱體的外側(cè)；
所述箱蓋上設(shè)有排風(fēng)口，所述排風(fēng)口上設(shè)有蓋體，所述自動(dòng)補(bǔ)水裝置用于對(duì)箱體補(bǔ)水。
所述自動(dòng)補(bǔ)水裝置包括補(bǔ)水箱、水位傳感器、控制器和水泵，所述水位傳感器設(shè)在箱體內(nèi)，所述水位傳感器連接控制器，所述控制器控制水泵使其從補(bǔ)水箱向箱體內(nèi)補(bǔ)水。
所述蓋體連接電動(dòng)推桿，所述電動(dòng)推桿連接溫控器。
本實(shí)用新型在工作中，首先將水加入至箱體內(nèi)部，加熱器開(kāi)始加熱，隨著水溫的加熱為了排除水蒸汽，在箱蓋上設(shè)有排風(fēng)口；隨著水蒸汽的揮發(fā)，箱體內(nèi)部水的容積會(huì)逐漸減少，自動(dòng)補(bǔ)水裝置會(huì)根據(jù)液位的不同進(jìn)行補(bǔ)水，避免設(shè)備出現(xiàn)故障。超純水PFA盤管的進(jìn)水口流入，經(jīng)過(guò)水箱加溫從排水口流出至使用端（即可與任何清洗設(shè)備連接）。水溫由溫控系統(tǒng)進(jìn)行控制，通過(guò)調(diào)節(jié)箱體內(nèi)部的水溫來(lái)控制，以達(dá)到水溫恒定的效果。
本實(shí)用新型方便加工，操作可靠。
附圖說(shuō)明
圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖中1是箱體，2是箱蓋，3是加熱器，4是熱電偶，5是PFA盤管，51是進(jìn)水口，52是排水口，6是固定架，7是排風(fēng)口，8是蓋體，9是補(bǔ)水箱，10是水位傳感器，11是水泵，12是電動(dòng)推桿。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型如圖1所示，包括箱體1，所述箱體1的頂部設(shè)有箱蓋2，還包括溫控系統(tǒng)、PFA盤管5和自動(dòng)補(bǔ)水裝置，
所述溫控系統(tǒng)包括溫控器、加熱器3和熱電偶4，所述加熱器和熱電偶分別設(shè)在箱體內(nèi)、且分別連接溫控器，通過(guò)熱電偶測(cè)量水箱溫度，再經(jīng)過(guò)加熱器進(jìn)行加熱；
所述PFA盤管5通過(guò)固定架6設(shè)在箱體內(nèi)，所述PFA盤管的兩端分別為進(jìn)水口51和排水口52，所述進(jìn)水口和排水口分別位于箱體的外側(cè)，實(shí)現(xiàn)超純水從進(jìn)水口進(jìn)入，經(jīng)過(guò)水箱內(nèi)部加熱，再排出；
所述箱蓋上設(shè)有排風(fēng)口7，所述排風(fēng)口上設(shè)有蓋體8，便于排出水蒸汽，所述自動(dòng)補(bǔ)水裝置用于對(duì)箱體補(bǔ)水。
所述自動(dòng)補(bǔ)水裝置包括補(bǔ)水箱9、水位傳感器10、控制器和水泵11，所述水位傳感器設(shè)在箱體內(nèi)，所述水位傳感器連接控制器，所述控制器控制水泵使其從補(bǔ)水箱向箱體內(nèi)補(bǔ)水。工作中，便于根據(jù)水位進(jìn)行補(bǔ)水動(dòng)作，保證水箱的水位，提高PFA盤管加熱可靠性。
所述蓋體連接電動(dòng)推桿12，所述電動(dòng)推桿連接溫控器，溫控器能夠顯示箱體內(nèi)的溫度，便于及時(shí)可靠控制電動(dòng)推桿動(dòng)作。