本發(fā)明涉及一種真空熱壓燒結(jié)爐，特別是一種物料真空生產(chǎn)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

隨著微電子技術(shù)的進(jìn)步，微加工工藝的特征線寬已達(dá)亞微米級(jí)，一塊陶瓷基片上可以集成106～109個(gè)以上元件，電路工作的速度越來(lái)越快、頻率越來(lái)越高，這對(duì)陶瓷基片材料的性能提出了更高的要求。作為混合集成電路（HIC）和多芯片組件（MCM）的關(guān)鍵材料之一，陶瓷基片占其總成本的60%左右。陶瓷基片發(fā)展的總方向是低介電常數(shù)、高熱導(dǎo)率和低成本化。

目前我國(guó)生產(chǎn)陶瓷基片一般工藝流程依次為：球磨、真空除泡、流延成型、排膠、燒結(jié)。作為生產(chǎn)陶瓷基片的關(guān)鍵設(shè)備，真空熱壓燒結(jié)機(jī)是必不可少的。

我國(guó)的真空熱壓燒結(jié)爐的結(jié)構(gòu)均單室結(jié)構(gòu)，因此不能實(shí)現(xiàn)連續(xù)燒結(jié)。在每次燒結(jié)完畢后就必須充氣來(lái)實(shí)現(xiàn)加熱室的快速降溫，這樣方可取出工件，這樣冷卻時(shí)需消耗大量氮?dú)猓赃@樣做一方面是浪費(fèi)氮?dú)?，另一方面是冷卻時(shí)間的延長(zhǎng)，不利于大批量生產(chǎn)。再有就是每臺(tái)真空熱壓燒結(jié)機(jī)上都必須裝有冷卻系統(tǒng)，這種結(jié)構(gòu)不僅比較復(fù)雜，操作起來(lái)不方便，還增加了設(shè)備的制造成本，使得設(shè)備自身價(jià)格昂貴，降低了設(shè)備自身的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便的物料真空生產(chǎn)系統(tǒng)。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：一種物料真空生產(chǎn)系統(tǒng)，主要包括爐體，爐體內(nèi)有燒結(jié)室，其創(chuàng)新點(diǎn)在于：所述燒結(jié)室可移出燒結(jié)爐爐體，燒結(jié)室外殼上有接口于爐體控制系統(tǒng)連接。

在此基礎(chǔ)上：所述燒結(jié)室內(nèi)裝有加熱系統(tǒng)。

在此基礎(chǔ)上：所述加熱系統(tǒng)采用電阻式加熱方式。

在此基礎(chǔ)上：所述燒結(jié)室外殼上有觀察窗。

在此基礎(chǔ)上：所述燒結(jié)室內(nèi)有溫控裝置。

在此基礎(chǔ)上：所述燒結(jié)室的四個(gè)角上裝有萬(wàn)向輪，輪子上自帶制動(dòng)裝置。

本發(fā)明的有益效果是：

1）結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便，提高了生產(chǎn)率。

2）省去了冷卻裝置，降低了能耗。

3）降低了設(shè)備制造成本，提高了市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明物料真空生產(chǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案作詳細(xì)說(shuō)明。

如圖1所示的，一種物料真空生產(chǎn)系統(tǒng)，主要包括爐體1，爐體通過(guò)接線口7與燒結(jié)室2相連，進(jìn)而達(dá)到控制燒結(jié)室2的目的，這種分體式布局，方便燒結(jié)室2的拆裝，當(dāng)產(chǎn)品燒制好后，可以把該燒結(jié)室拆掉，快速換成另外一燒結(jié)室，繼續(xù)生產(chǎn)，不用對(duì)燒制好的產(chǎn)品進(jìn)行冷卻，這就有效的保證了生產(chǎn)產(chǎn)品的連續(xù)性，大大提高了企業(yè)的生產(chǎn)能力。把燒制好的產(chǎn)品不用冷卻裝置進(jìn)行冷卻，以免由于驟冷使產(chǎn)品出現(xiàn)開(kāi)裂等現(xiàn)象，通過(guò)自然冷卻，保證了產(chǎn)品的質(zhì)量。燒結(jié)室2內(nèi)裝有加熱管3和熱電偶6，來(lái)對(duì)燒結(jié)室2進(jìn)行加熱和溫度控制，有效的保證了燒結(jié)室2的溫度不會(huì)出現(xiàn)大的波動(dòng)。燒結(jié)室2的外殼上有接線口7，還有觀察窗4，便于觀察室內(nèi)的情況。燒結(jié)室2的四個(gè)角都裝有自帶制動(dòng)裝置的萬(wàn)向輪5，這樣方便燒結(jié)室2移動(dòng)。