一種立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及立式爐保溫桶設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置。該立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置，包括保溫桶、轉(zhuǎn)軸和插銷，保溫桶安裝在轉(zhuǎn)軸的外側(cè)，保溫桶上設(shè)有第一插孔，轉(zhuǎn)軸上設(shè)有第二插孔，第一插孔與第二插孔對應(yīng)設(shè)置，第一插孔通過插銷與第二插孔連接。本實(shí)用新型的立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置安裝方便快捷，定位準(zhǔn)確，操作簡單，能有效減少安裝過程中的嘗試次數(shù)，使保溫桶不容易受到損傷，且插銷結(jié)構(gòu)簡單，易于更換。
【專利說明】一種立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及熱處理設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片是一種重要的半導(dǎo)體材料，它的加工處理是一種非常精密的工藝，目前國際上普遍采用立式爐來為硅片進(jìn)行熱處理工藝，為了提高保溫效果，在立式爐中需要用到保溫桶，在目前現(xiàn)有技術(shù)中所用的保溫桶與轉(zhuǎn)軸之間的連接方式為在轉(zhuǎn)軸上固定定位栓的結(jié)構(gòu)，由于在安裝過程中看不到定位點(diǎn)，非常不容易安裝，浪費(fèi)大量的時間，且因?yàn)檗D(zhuǎn)軸為金屬材質(zhì)，保溫桶為石英材質(zhì)，在安裝時轉(zhuǎn)軸容易對保溫桶造成損傷，保溫桶在經(jīng)過多次安裝以后，定位位置容易出現(xiàn)明顯的破損現(xiàn)象，從而造成定位不準(zhǔn)確的問題，存在潛在的安全隱
串
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003](一)要解決的技術(shù)問題
[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供了一種立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置，使立式爐保溫桶能更加方便快捷的安裝在轉(zhuǎn)軸上，定位準(zhǔn)確，操作簡單，有效減少安裝過程中的嘗試次數(shù)，使保溫桶不容易受到損傷，且易于更換。
[0005](二)技術(shù)方案
`[0006]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置，包括保溫桶和轉(zhuǎn)軸，還包括插銷，所述保溫桶安裝在所述轉(zhuǎn)軸的外側(cè)，所述保溫桶上設(shè)有第一插孔，所述轉(zhuǎn)軸上設(shè)有第二插孔，所述第一插孔與所述第二插孔對應(yīng)設(shè)置，所述第一插孔通過所述插銷與所述第二插孔連接。
[0007]優(yōu)選地，所述插銷的截面為正方形。
[0008]優(yōu)選地，所述插銷為石英材料。
[0009](三)有益效果
[0010]本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案具有以下有益效果:本實(shí)用新型提供的立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置，包括保溫桶、轉(zhuǎn)軸和插銷，所述保溫桶安裝在所述轉(zhuǎn)軸的外側(cè)，所述保溫桶上設(shè)有第一插孔，所述轉(zhuǎn)軸上設(shè)有第二插孔，所述第一插孔與所述第二插孔對應(yīng)設(shè)置，所述第一插孔通過所述插銷與所述第二插孔連接?？梢酝ㄟ^轉(zhuǎn)動保溫桶，使第一插孔與第二插孔對應(yīng)，方便插銷能依次插入第一插孔和第二插孔，從而為保溫桶和轉(zhuǎn)軸定位。本實(shí)用新型的立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置安裝方便快捷，定位準(zhǔn)確，操作簡單，能有效減少安裝過程中的嘗試次數(shù)，使保溫桶不容易受到損傷，且插銷結(jié)構(gòu)簡單，易于更換。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置裝配截面的軸測視圖；[0012]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置裝配截面的俯視局部剖視圖。
[0013]其中，1:保溫桶；2:轉(zhuǎn)軸；3:插銷；41:弟一插孔；42:弟二插孔。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型的實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不能用來限制本實(shí)用新型的范圍。
[0015]在本實(shí)用新型的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上；除非另有說明，“缺口狀”的含義為除截面平齊外的形狀。術(shù)語“上”、“下”、“左”、“右”、“內(nèi)”、“外”、“前端”、“后端”、“頭部”、“尾部”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。
[0016]在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。
[0017]如圖1所示，本實(shí)施例所述的立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置，包括保溫桶1、轉(zhuǎn)軸2和插銷3，轉(zhuǎn)軸2固定不動，保溫桶I安裝在轉(zhuǎn)軸2的外側(cè)，可以以轉(zhuǎn)軸2為中心旋轉(zhuǎn)，保溫桶I上設(shè)有第一插孔41，轉(zhuǎn)軸2上設(shè)有第二插孔42，第一插孔41與第二插孔42對應(yīng)設(shè)置，以保證插銷3可以依次插入第一插孔41和第二插孔42，第一插孔41通過插銷3與第二插孔42連接，可以通過轉(zhuǎn)動保溫桶I，使第一插孔41與第二插孔42對應(yīng)，方便插銷3能依次插入第一插孔41和第二插孔42，從而為保溫桶I和轉(zhuǎn)軸2定位，插銷3可以很好的阻止保溫桶I和轉(zhuǎn)軸2之間的相對運(yùn)動。
[0018]如圖2所示，轉(zhuǎn)軸2內(nèi)部設(shè)有中心軸和位于外圈的凸臺，第二插孔42穿過凸臺，與中心軸之間有間隙，且第二插孔42的底面與轉(zhuǎn)軸的底面之間有距離，具體到本實(shí)施例中，距離保持在1.5mm,當(dāng)插銷3穿過第一插孔41插入第二插孔42時，第二插孔42的底面可以托住插銷3，使得該立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置的定位效果更加準(zhǔn)確。
[0019]考慮本實(shí)施例的立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置的實(shí)用性和可行性，優(yōu)選地，插銷3的截面為正方形，在插裝時可以不用考慮其方向，便于安裝和拆卸；優(yōu)選地，插銷3為石英材料，和保溫桶I材質(zhì)相同，耐高溫，且對工藝過程無污染，可以避免在安裝插銷3時，劃傷保溫桶1，可以有效減少安裝過程中的嘗試次數(shù)，使保溫桶I不容易受到損傷，且插銷3結(jié)構(gòu)簡單，易于更換。
[0020]在安裝保溫桶I時，先將保溫桶I套裝在轉(zhuǎn)軸2的外側(cè)，將第一插孔41與第二插孔42對好并保持同軸，將插銷3依次穿過第一插孔41和第二插孔42，固定保溫桶I和轉(zhuǎn)軸2，使保溫桶1與轉(zhuǎn)軸2之間不會發(fā)生相對運(yùn)動；拆卸時，先取出插銷3，然后取走保溫桶1，整個裝卸過程操作簡單，節(jié)省 時間。
[0021]綜上所述，本實(shí)施例的立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置，包括保溫桶1、轉(zhuǎn)軸2和插銷3，保溫桶I安裝在轉(zhuǎn)軸2的外側(cè)，保溫桶I上設(shè)有第一插孔41，轉(zhuǎn)軸2上設(shè)有第二插孔42，第一插孔41與第二插孔42對應(yīng)設(shè)置，第一插孔41通過插銷3與第二插孔42連接?？梢酝ㄟ^轉(zhuǎn)動保溫桶1，使第一插孔41與第二插孔42對應(yīng)，方便插銷3能依次插入第一插孔41和第二插孔42，從而為保溫桶I和轉(zhuǎn)軸2定位。本實(shí)用新型的立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置安裝方便快捷，定位準(zhǔn)確，操作簡單，能有效減少安裝過程中的嘗試次數(shù)，使保溫桶I不容易受到損傷，且插銷3結(jié)構(gòu)簡單，易于更換。
[0022]本實(shí)用新型的實(shí)施例是為了示例和描述起見而給出的，而并不是無遺漏的或者將本實(shí)用新型限于所公開的形式。很多修改和變化對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言是顯而易見的。選擇和描述實(shí)施例是為了更好說明本實(shí)用新型的原理和實(shí)際應(yīng)用，并且使本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能夠理解本實(shí)用新型從而設(shè)計(jì)適于特定用途的帶有各種修改的各種實(shí)施例。
【權(quán)利要求】
1.一種立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置，包括保溫桶(I)和轉(zhuǎn)軸(2)，其特征在于，還包括插銷(3)，所述保溫桶(I)安裝在所述轉(zhuǎn)軸(2)的外側(cè)，所述保溫桶(I)上設(shè)有第一插孔(41)，所述轉(zhuǎn)軸(2)上設(shè)有第二插孔(42)，所述第一插孔(41)與所述第二插孔(42)對應(yīng)設(shè)置，所述第一插孔(41)通過所述插銷(3 )與所述第二插孔(42 )連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置，其特征在于，所述插銷(3)的截面為正方形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的立式爐保溫桶旋轉(zhuǎn)定位裝置，其特征在于，所述插銷(3)為石英材料。
【文檔編號】F27B1/10GK203672114SQ201320800784
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2013年12月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月6日
【發(fā)明者】宋辰龍, 林偉華 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司