溫度補償加熱器以及使用該溫度補償加熱器的熱處理設備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種溫度補償加熱器以及使用該溫度補償加熱器的熱處理設備。溫度補償加熱器包括：加熱單元，該加熱單元被分為放射熱量的加熱區(qū)域和從加熱區(qū)域的相對的兩個端部延伸出的虛設區(qū)域；補償單元，該補償單元被分為連接區(qū)域和從連接區(qū)域的相對的兩個端部延伸出并且放射熱量的補償區(qū)域；以及固定單元，加熱單元和補償單元被固定到該固定單元。
【專利說明】溫度補償加熱器以及使用該溫度補償加熱器的熱處理設備
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種溫度補償加熱器和使用該溫度補償加熱器的熱處理設備，更具體地，涉及一種能夠通過溫度補償加熱器的模塊化將熱量基本上均勻地傳遞至加熱目標的邊緣的溫度補償加熱器和使用該溫度補償加熱器的熱處理設備。
【背景技術】
[0002]通常，加熱器應用電力來放射熱量并且呈細長桿狀。這種加熱器在其相對的端部與中央部分之間放射不同量的熱量，從而使得難以沿加熱器的縱向方向?qū)崿F(xiàn)均勻的熱處理。
[0003]此外，熱量不能被均勻地傳遞到包括這種加熱器的熱處理設備中的加熱目標。
[0004]在現(xiàn)有技術中，韓國專利N0.10-0835588 (于2008年5月30日公開并且名稱為“用于腔室的加熱器(Heater for chamber)”)公開了這種加熱器。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明旨在提供一種溫度補償加熱器和使用該溫度補償加熱器的熱處理設備，所述溫度補償加熱器能夠通過模塊化將熱量基本上均勻的傳遞至加熱目標的邊緣。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的一個方面，溫度補償加熱器包括:加熱單元，該加熱單元被分為放射熱量的加熱區(qū)域和從加熱區(qū)域的相對的兩個端部延伸出的虛設區(qū)域；補償單元，該補償單元被分為連接區(qū)域和從連接區(qū)域的相對的兩個端部延伸出并且放射熱量的補償區(qū)域；以及固定單元，加熱單元和補償單元固定到該固定單元上。
[0007]加熱單元可以包括:加熱管，該加熱管呈中空狀并且被分為所述加熱區(qū)域和所述虛設區(qū)域；加熱導線，該加熱導線插入到加熱管中以與加熱區(qū)域相對應，并且該加熱導線放射通過輸送電力產(chǎn)生的熱量；加熱連接器，該加熱連接器電連接到加熱導線以與虛設區(qū)域相對應；以及加熱引線，該加熱引線電連接到加熱連接器并且被分別固定到固定單元。
[0008]加熱引線中的每個均可以包括:加熱固定部，該加熱固定部電連接到加熱連接器中的每個，并且該加熱固定部被插入到相應的固定單元中；以及加熱端子，該加熱端子從加熱固定部突出以從相應的固定單元露出。
[0009]固定單元中的每個均可以形成有加熱固定凹部，加熱固定部插入到該加熱固定凹部中以防止加熱引線的轉(zhuǎn)動。
[0010]加熱引線中的每個均可以進一步包括加熱聯(lián)接部，該加熱聯(lián)接部聯(lián)接到加熱端子使得加熱固定部緊密接觸固定單元。
[0011]在加熱引線和加熱連接器中，至少加熱引線可以呈螺旋狀。
[0012]固定單元中的每個均包括:加熱支承部，該加熱支承部連接到加熱管的端部；以及加熱孔，相應的加熱引線穿過該加熱孔。
[0013]補償單元可以包括:補償管，該補償管呈中空狀并且被分為所述連接區(qū)域和所述補償區(qū)域；補償加熱導線，該補償加熱導線插入到補償管中以與補償區(qū)域相對應，并且該補償加熱導線放射通過輸送電力產(chǎn)生的熱量；補償連接器，該補償連接器將補償加熱導線彼此電連接以與連接區(qū)域相對應；以及補償引線，該補償引線電連接到補償加熱導線并且被分別固定到固定單元。
[0014]補償引線中的每個均可以包括:補償固定部，該補償固定部電連接到補償加熱導線中的每個，并且該補償固定部被插入到相應的固定單元中；以及補償端子，該補償端子從補償固定部突出以從相應的固定單元露出。
[0015]固定單元中的每個均可以形成有補償固定凹部，補償固定部插入到該補償固定凹部中以防止補償引線的轉(zhuǎn)動。
[0016]補償引線可以進一步包括補償聯(lián)接部，該補償聯(lián)接部聯(lián)接到補償端子使得補償固定部緊密接觸固定單元。
[0017]在補償加熱引線和補償連接器中，至少補償加熱引線可以呈螺旋狀。
[0018]固定單元中的每個均可以包括:補償支承部，該補償支承部連接到補償管的端部；以及補償孔，相應的補償引線穿過該補償孔。
[0019]加熱區(qū)域和補償區(qū)域中的每一個均可以形成有反射體，該反射體用于對熱量進行反射。
[0020]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，熱處理設備包括:前述溫度補償加熱器；機體構(gòu)件，該機體構(gòu)件容納加熱目標和溫度補償加熱器；以及支承構(gòu)件，該支承構(gòu)件設置到機體構(gòu)件，并且該支承構(gòu)件將加熱目標與溫度補償加熱器分離。
[0021]加熱區(qū)域和補償區(qū)域中的每個均可以形成有反射體，該反射體對將被放射到設置在溫度補償加熱器下方的加熱目標的熱量進行反射。
[0022]支承構(gòu)件可以包括:支承桿，該支承桿聯(lián)接到機體構(gòu)件；以及支承銷單元，該支承銷單元設置到支承桿并且對加熱目標進行支承。
[0023]根據(jù)本發(fā)明的溫度補償加熱器和使用該溫度補償加熱器的熱處理設備能夠通過溫度補償加熱器的模塊化將熱量基本上均勻的傳遞至加熱目標的邊緣。
[0024]此外，根據(jù)本發(fā)明，通過雙聯(lián)式加熱器，能夠容易地實現(xiàn)單獨的溫度控制并且能夠?qū)崃炕旧暇鶆虻貍鬟f到加熱目標的邊緣。
[0025]此外，根據(jù)本發(fā)明，能夠容易地對加熱器進行組裝，并且能夠在不放射熱量的區(qū)域中將電力穩(wěn)定地輸送到加熱導線。
[0026]此外，根據(jù)本發(fā)明，能夠容易地且方便地將引線固定而不發(fā)生轉(zhuǎn)動，能夠防止電連接的短路，并且能夠限制或防止加熱導線的轉(zhuǎn)動。
[0027]此外，根據(jù)本發(fā)明，在不具有任何單獨的支承結(jié)構(gòu)的情況下，能夠防止加熱導線和連接器在放射熱量的區(qū)域中和不放射熱量的區(qū)域中轉(zhuǎn)動。
[0028]此外，根據(jù)本發(fā)明，易于對加熱器單獨地進行維護和替換。
[0029]此外，根據(jù)本發(fā)明，能夠方便地加載和卸載加熱目標，并且能夠防止加熱目標的表面被損傷。
[0030]此外，根據(jù)本發(fā)明，能夠防止從加熱器放射的熱量與輸送的電力產(chǎn)生干擾，并且能夠防止由于在腔室的空間中放射的熱量而導致的雜質(zhì)或煙塵的產(chǎn)生。
[0031]此外，根據(jù)本發(fā)明，能夠防止加熱器的布線在腔室的空間中與腔室發(fā)生干涉。
[0032]此外，根據(jù)本發(fā)明，能夠提高腔室的絕緣效果和加熱目標的熱處理性能?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0033]通過結(jié)合附圖對以下實施例進行詳細描述，本發(fā)明的上述以及其它方面、特征和優(yōu)點將變得更為明顯，在附圖中:
[0034]圖1為根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的溫度補償加熱器的透視圖；
[0035]圖2為圖1的溫度補償加熱器的分解透視圖；
[0036]圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的實施例的溫度補償加熱器的截面圖；
[0037]圖4為根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的固定單元的側(cè)視圖；
[0038]圖5為根據(jù)本發(fā)明的實施例的處于聯(lián)接狀態(tài)的溫度補償加熱器的截面圖；
[0039]圖6為根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的溫度補償加熱器的截面圖；
[0040]圖7為根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱處理設備的正視圖；
[0041]圖8為根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱處理設備的側(cè)視圖；
[0042]圖9為根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的高溫電纜的截面圖；
[0043]圖10為根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的高溫電纜的截面圖；
[0044]圖11為根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的支承構(gòu)件的局部分解透視圖；
[0045]圖12示出了根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱處理設備中的支承構(gòu)件的操作狀態(tài)；
[0046]圖13示出了根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱處理設備的操作狀態(tài)；
[0047]圖14和圖15示出了根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱處理設備的腔室的關閉狀態(tài)；
[0048]圖16和圖17示出了根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱處理設備的腔室的打開狀態(tài)；
[0049]圖18為根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱處理設備的鎖定構(gòu)件的局部透視圖；
[0050]圖19為根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的熱處理設置的側(cè)視圖；
[0051]圖20示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的被分成多個控制區(qū)域的加熱目標；
[0052]圖21示出了在根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱處理設備中的、根據(jù)加熱目標的劃分狀況布置的溫度補償加熱器；以及
[0053]圖22示出了在根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的熱處理設備中的、根據(jù)加熱目標的劃分狀況布置的溫度補償加熱器。
【具體實施方式】
[0054]下文中，將參照附圖對本發(fā)明的實施例進行描述。應當指出的是，附圖并未按精確比例繪制，并且僅僅為了描述方便和清楚，附圖中線的厚度或部件的尺寸將被夸大。
[0055]此外，本文中使用的術語通過考慮本公開的功能來定義并且可以根據(jù)使用者或操作者的習慣或意圖而改變。因此，術語的定義應當根據(jù)本文中提出的全部公開內(nèi)容來制定。
[0056]圖1為根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的溫度補償加熱器的透視圖；圖2為圖1的溫度補償加熱器的分解透視圖；圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的實施例的溫度補償加熱器的截面圖；圖4為根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的固定單元的側(cè)視圖；圖5為根據(jù)本發(fā)明的實施例的處于聯(lián)接狀態(tài)的溫度補償加熱器的截面圖；以及圖6為根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的溫度補償加熱器的截面圖。
[0057]參照圖1至圖6，根據(jù)一個實施例的溫度補償加熱器向加熱目標M放射熱量，并且加熱目標M可以被加熱以具有基本均勻的溫度分布。[0058]溫度補償加熱器200包括加熱單元300、補償單元400和固定單元500。
[0059]加熱單元300可以被分成加熱區(qū)域301和從加熱區(qū)域301的相對的兩個端部延伸的虛設區(qū)域303。輸入的電力從虛設區(qū)域303輸送到加熱區(qū)域301，并且通過輸入電力而從加熱區(qū)域301放射熱量。
[0060]加熱區(qū)域301可以形成有用于反射所放射的熱量的反射體201。從加熱區(qū)域301放射的熱量可通過反射體201被集中到加熱目標M上。反射體201由抵抗由于所放射的熱量而造成的變形和氧化的材料形成。此外，反射體201被構(gòu)造為:防止反射效率因熱量的放射而劣化。
[0061]在一個實施例中，反射體201可以由金形成并且定位在加熱管310上。更具體地，201在400°C或更高的溫度下，金反射體不會變形并且防止了反射效率的劣化。
[0062]如圖3 (a)中所示，反射體201可以形成在加熱管310的內(nèi)壁上。反射體201在加熱管310的內(nèi)壁上可以防止因外部沖擊而受到刮擦的損壞。此外，如圖3 (b沖所示，反射體201可以形成在加熱管310的外壁上。反射體201能夠被容易地沉積在加熱管310的外壁上。
[0063]盡管在本實施例中，反射體201通過沉積形成，但本發(fā)明不限于此，而且反射體201可以通過各種現(xiàn)有技術中已知的方法形成在加熱管310上。
[0064]加熱單元300可以包括加熱管310、加熱導線330、加熱連接器350和加熱引線370。
[0065]加熱管310呈中空狀并且被分成加熱區(qū)域301和虛設區(qū)域303。加熱管310可以容易地排放出所放射的熱量、可以防止因所放射的熱量而被損壞或變形、并且可以由透明或半透明的材料形成。在一個實施例中，加熱管310可以為透明或半透明的中空石英管、或透明或半透明的中空玻璃管。
[0066]加熱導線330被插入到加熱管310中以與加熱區(qū)域301相對應并且放射由輸入的電力產(chǎn)生的熱量。加熱目標M可以被加熱導線330放射的熱量加熱。在一個實施例中，力口熱導線330可以由坎薩爾電阻加熱導線(Kanthal resistive heating wire)制成。
[0067]加熱連接器350電連接至加熱導線330以與虛設區(qū)域303相對應。加熱連接器350被插入到加熱管310中以使得輸入的電力穩(wěn)定地輸送到加熱導線330，并且防止了加熱連接器350因加熱導線330放射的熱量而變形或損壞。
[0068]在加熱導線330和加熱連接器350之中，至少加熱導線330可以被成形為螺旋狀。由于至少加熱導線330呈螺旋狀，因此加熱導線330和加熱連接器350可以被穩(wěn)定地插入到加熱管310中，并且可以防止加熱引線370、加熱連接器350和加熱導線330之間的電連接部分短路。
[0069]由于虛設區(qū)域303被成形為長度足夠的短，以便不與在根據(jù)本實施例的溫度補償加熱器200中的加熱連接器350的運動發(fā)生干涉，因此可以僅使加熱導線330形成為螺旋狀。然而，將加熱導線330和加熱連接器350兩者都成形為螺旋狀是有利的。
[0070]當不成形為螺旋狀時，加熱導線330和加熱連接器350兩者在插入在加熱管310的狀態(tài)下會向下?lián)锨?，從而導致從加熱?00放射的熱量的溫度分布不均勻，并且導致加熱引線370、加熱連接器350和加熱導線330之間的電連接部分斷開。
[0071]加熱引線370被用作向加熱導線330輸送電力的端子。加熱引線370電連接到加熱連接器350并且被固定到固定單元500。
[0072]每個加熱引線370均包括加熱固定部371和加熱端子373。
[0073]加熱固定部371電連接到相應的加熱連接器350并且插入到相應的固定單元500中。由于加熱固定部371被插入到固定單元500中，因此加熱固定部371可以防止加熱引線370的轉(zhuǎn)動。
[0074]加熱固定部371可以被成形為除了圓形形狀之外的各種形狀。在一個實施例中，加熱固定部371可以呈六邊形形狀。
[0075]單獨的端子可以從加熱固定部371突出，以便易于電連接到加熱連接器350。
[0076]加熱端子373從加熱固定部371突出。加熱端子373從固定單元500露出以便連接到相應的高溫電纜800。加熱端子373可以通過連接構(gòu)件880穩(wěn)定地連接到高溫電纜800(將在下文進行描述)。應當理解的是，本發(fā)明不限于連接構(gòu)件880，并且電纜800與加熱端子373之間的穩(wěn)定的連接可以通過各種現(xiàn)有技術中已知的方法實現(xiàn)。
[0077]加熱引線370可以進一步包括加熱聯(lián)接部375。
[0078]加熱聯(lián)接部375聯(lián)接到加熱端子373使得加熱固定部371緊密接觸固定單元500。在一個實施例中，呈螺母狀的加熱聯(lián)接部375可以螺紋聯(lián)接到從加熱固定部371突出的加熱端子373。因此，加熱端子373上可以形成有用于與加熱聯(lián)接部375螺紋接合的螺紋。
[0079]當加熱聯(lián)接部375被螺紋聯(lián)接到加熱端子373時，加熱固定部371可以防止加熱端子373的轉(zhuǎn)動，從而防止加熱導線330和加熱連接器350的轉(zhuǎn)動。
[0080]補償單元400可以被分成補償區(qū)域401和從補償區(qū)域401的相對的兩個端部延伸的補償區(qū)域401。輸入的電力從連接區(qū)域403被輸送到補償區(qū)域401，并且通過輸入電力從補償區(qū)域401放射熱量。
[0081]補償區(qū)域401可以形成有對放射的熱量進行反射的反射體201。從補償區(qū)域401放射的熱量可通過反射體201被集中到加熱目標M上。反射體201由抵抗由于放射的熱量而產(chǎn)生的變形和氧化的材料形成。此外，反射體201構(gòu)造成:防止反射效率因熱量的放射而劣化。
[0082]在一個實施例中，補償單元400可以被分成與加熱區(qū)域301相對應的連接區(qū)域403和與虛設區(qū)域303相對應的補償區(qū)域401。
[0083]在一個實施例中，反射體201可以由金制成并且定位在補償管410上。更具體地，在400°C或更高的溫度下，金反射體201不會變形并且防止了反射效率的劣化。
[0084]如圖3 Ca)中所示，反射體201可以形成在補償管410的內(nèi)壁上。反射體201在補償管410的內(nèi)壁上，可以防止因外部力而受到刮擦的損壞。此外，如圖3 (b)中所示，反射體201可以形成在補償管410的外壁上。反射體201能夠被容易地沉積在補償管410的外壁上。
[0085]盡管在本實施例中，反射體201通過沉積形成，但本發(fā)明不限于此，而且反射體201可以通過各種現(xiàn)有技術中已知的方法形成在補償管410上。
[0086]補償單元400可以包括補償管410、熱補償導線430、補償連接器450和補償引線470。
[0087]補償管410呈中空狀并且被分成連接區(qū)域403和補償區(qū)域401。補償管410可以容易地排放出所放射的熱量、可以防止因放射的熱量而損壞或變形、并且可以由透明或半透明的材料形成。在一個實施例中，補償管410可以為透明或半透明的中空石英管、或透明或半透明的中空玻璃管。
[0088]在一個實施例中，加熱管310和補償管410可以具有相同的尺寸并且可以由相同的材料形成。
[0089]熱補償導線430插入到補償管410中以與補償區(qū)域401相對應并且放射依靠電力的輸入而產(chǎn)生熱量。加熱目標M可以被熱補償導線430放射的熱量加熱。更具體地，加熱目標M的邊緣部分被熱補償導線430放射的熱量加熱，使得加熱目標M的邊緣部分與中央部分之間的溫度分布可以是基本均勻的。在一個實施例中，熱補償導線430可以為坎薩爾補償導線(Kanthal compensation wires)。
[0090]補償連接器450電連接到熱補償導線430以與連接區(qū)域403相對應。補償連接器450被插入到補償管410中以使得輸入的電力穩(wěn)定地輸送到熱補償導線430，并且防止了補償連接器450因熱補償導線430放射的熱量而變形或損壞。
[0091]在熱補償導線430和補償連接器450之中，至少熱補償導線430可以被成形為螺旋狀。由于至少熱補償導線430呈螺旋狀，因此熱補償導線430和補償連接器450可以被穩(wěn)定地插入到補償管410中，并且可以防止補償引線470、補償連接器450和熱補償導線430之間的電連接部分短路。
[0092]由于根據(jù)實施例的溫度補償加熱器200中，補償區(qū)域401被成形為具有相對于加熱目標M的寬度或長度而言較短的長度，因此補償連接器450會在連接區(qū)域403中向下?lián)锨?。因而，熱補償導線430和補償連接器450兩者都可以成形為螺旋狀。然而，考慮到補償區(qū)域401的長度和連接區(qū)域403的長度，僅熱補償導線430可以形成為螺旋狀。
[0093]當不成形為螺旋狀時，熱補償導線430和補償連接器450兩者在插入在補償管410的狀態(tài)下會向下?lián)锨瑥亩鴮е聫募訜崞?00放射的熱量的溫度分布的不均勻，并且導致補償引線470、補償連接器450和熱補償導線430之間的電連接部分斷開。
[0094]補償引線470被用作向熱補償導線430輸送電力的端子。補償引線470電連接到補償連接器450并且被固定到固定單元500。
[0095]每個補償引線470均包括補償固定部471和補償端子473。
[0096]補償固定部471電連接到熱補償導線430并且插入到相應的固定單元500中。由于補償固定部471被插入到固定單元500中，因此補償固定部471可以防止補償引線470的轉(zhuǎn)動。
[0097]補償固定部471可以被成形為除了圓形形狀之外的各種形狀。在一個實施例中，補償固定部471可以呈六邊形形狀。
[0098]單獨的端子可以從補償固定部471突出，以便易于電連接到熱補償導線430。
[0099]補償端子473從補償固定部471突出。補償端子473從固定單元500露出以便連接到電源。補償端子473可以通過連接構(gòu)件880穩(wěn)定地連接到高溫電纜800 (將在下文進行描述)。應當理解的是，本發(fā)明不限于連接構(gòu)件880，并且高溫電纜800與補償端子473之間的穩(wěn)定的連接可以通過各種現(xiàn)有技術中已知的方法穩(wěn)定地實現(xiàn)。
[0100]補償引線470可以進一步包括補償聯(lián)接部475。
[0101]補償聯(lián)接部475聯(lián)接到補償端子473使得補償固定部471緊密接觸固定單元500。在一個實施例中，呈螺母狀的補償聯(lián)接部475可以螺紋聯(lián)接到從補償固定部471突出的補償端子473。因此，補償端子473上可以形成有用于與補償聯(lián)接部475螺紋接合的螺紋。
[0102]當補償聯(lián)接部475被螺紋聯(lián)接到補償端子473時，補償固定部471可以防止補償端子473的轉(zhuǎn)動，從而防止熱補償導線430和補償連接器450的轉(zhuǎn)動。
[0103]加熱單元300和補償單元400被固定到固定單元500。一對固定單元500被分別聯(lián)接到加熱單元300和補償單元400的相對的兩個端部。
[0104]根據(jù)本實施例的溫度補償加熱器200可以通過將加熱單元300和補償單元400聯(lián)接到固定單元500而模塊化。
[0105]每個固定單元500均可以包括加熱支承部501和加熱孔503。
[0106]加熱管310在其一個端部處聯(lián)接到加熱支承部501，而加熱引線370的熱端子373穿過加熱孔503。因此，加熱支承部501、加熱孔503和加熱固定凹部505彼此連通。
[0107]在一個實施例中，如圖5所示，加熱支承部501可以呈凹入的形狀并且可以容納加熱管310。在另一實施例中，如圖6所示，加熱支承部501可以呈突出的形狀并且可以插入到加熱管310中。
[0108]加熱固定凹部505可以形成在固定單元500中。
[0109]加熱固定部371插入到加熱固定凹部505中以限制或防止加熱引線370的轉(zhuǎn)動。由于加熱固定部371被插入到加熱固定凹部505中，因此當加熱聯(lián)接部375和加熱支承部501彼此聯(lián)接時能夠防止加熱引線370的轉(zhuǎn)動。
[0110]固定單元500可以進一步包括補償支承部502和補償孔504。
[0111]補償支承部502聯(lián)接到補償管410的一個端部，而補償引線470的補償端子473穿過補償孔504。因此，補償支承部502與補償固定凹部506連通，補償固定凹部506與補償孔504連通。
[0112]在本發(fā)明的一個實施例中，如圖5所示，補償支承部502可以呈凹入的形狀并且可以容納補償管410。在另一實施例中，如圖6所示，補償支承部502可以呈突出的形狀并且可以插入到補償管410中。
[0113]此外，補償固定凹部506可以形成在固定單元500中。
[0114]補償固定部471插入到補償固定凹部506中以限制或防止補償引線470的轉(zhuǎn)動。由于補償固定部471被插入到補償固定凹部506中，因此當補償聯(lián)接部475和補償支承部502彼此聯(lián)接時能夠防止補償引線470的轉(zhuǎn)動。
[0115]在根據(jù)本發(fā)明的實施例的溫度補償加熱器200中，加熱引線370和補償引線470螺紋聯(lián)接到固定單元500，從而允許對加熱單元300和補償單元400進行單獨的維護。
[0116]下文中，將對根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱處理設備進行描述。
[0117]圖7為根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱處理設備的正視圖；圖8為根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱處理設備的側(cè)視圖；圖9為根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的高溫電纜的截面圖；圖10為根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的高溫電纜的截面圖；圖11為根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的支承構(gòu)件的局部分解透視圖；圖12示出了根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱處理設備中的支承構(gòu)件的操作狀態(tài)；圖13示出了根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱處理設備的操作狀態(tài)；圖14和圖15示出了根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱處理設備的腔室的關閉狀態(tài)；圖16和圖17示出了根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱處理設備的腔室的打開狀態(tài)；以及圖18為根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱處理設備的鎖定構(gòu)件的局部透視圖。[0118]參照圖7至圖18，根據(jù)本實施例的熱處理設備包括加熱器200、機體構(gòu)件600和支承構(gòu)件700，并且該熱處理設備可以用于通過來自加熱器200的熱量對加熱目標M (加熱目標M容置在機體構(gòu)件600中并且由支承構(gòu)件700支承)進行熱處理。
[0119]加熱器200向加熱目標M放射熱量以便對加熱目標M進行熱處理，加熱目標M和加熱器200布置在機體構(gòu)件600中，并且支承構(gòu)件700設置到機體構(gòu)件600上，使得加熱目標M與加熱器200分離。
[0120]在根據(jù)本實施例的熱處理設備中，加熱目標M容置在機體構(gòu)件600中，支承構(gòu)件700對相應的加熱目標M的底部表面進行支承，并且加熱器200設置在加熱目標M上方。當電力輸入至加熱器200時，加熱器200放射的熱量可以對加熱目標M的上部進行熱處理。
[0121]反射體201被設置到加熱器200的加熱區(qū)域301和補償區(qū)域401處，以便反射從加熱器200放射的熱量。反射體201使得熱量能夠放射至設置在加熱器200下方的加熱目標M。
[0122]當加熱目標M被疊置時，當加熱目標M因熱膨脹而升高，放射的熱量可以對加熱目標M的下部進行次要地熱處理。
[0123]根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱處理器200采用溫度補償加熱器并且向加熱目標M提供了基本均勻的溫度分布，以提高熱處理性能。
[0124]根據(jù)實施例的機體構(gòu)件600包括定位構(gòu)件610和間隔構(gòu)件630。
[0125]當加熱器200以平行于加熱目標M的方式布置時，定位構(gòu)件610支承加熱器200。每個定位構(gòu)件610均形成有聯(lián)接凹部611，使得加熱器200的固定單元500可以坐置在聯(lián)接凹部611中并且由聯(lián)接凹部611支承。此外，聯(lián)接帽613可以可拆卸地附接到定位構(gòu)件610的聯(lián)接凹部611上，以便穩(wěn)定地固定坐置在聯(lián)接凹部611上的固定單元500。加熱器200通過聯(lián)接帽613的附接或分離而單獨地附接到機體構(gòu)件600上或從機體構(gòu)件600上拆卸，從而允許單獨地維護加熱器200。
[0126]定位構(gòu)件610可以設置有支承構(gòu)件700。
[0127]每個間隔構(gòu)件630均將加熱器200與支承構(gòu)件700分離開。
[0128]當加熱目標M被設置成彼此分離時，支承加熱器200的定位構(gòu)件610可以通過間隔構(gòu)件630彼此分離。此外，當加熱目標M設置成彼此分離時，設置有支承構(gòu)件700的定位構(gòu)件610可通過間隔構(gòu)件630彼此分離。另外，支承加熱器200的定位構(gòu)件610以及設置有支承構(gòu)件700的定位構(gòu)件610都可以通過間隔構(gòu)件630布置成彼此分離。
[0129]根據(jù)本發(fā)明的實施例的每個支承構(gòu)件700均包括支承桿710和支承銷單元730。
[0130]支承桿710聯(lián)接到機體構(gòu)件600。支承桿710形成有容納支承銷單元730的支承槽 711。
[0131]支承銷單元730被設置到支承桿710上并且對容置在機體構(gòu)件600中的加熱目標M進行支承。支承銷單元730包括支承托架731和支承銷733，該支承托架731聯(lián)接到支承桿710上，該支承銷733從支承托架731上突出并且對加熱目標M進行支承。
[0132]支承構(gòu)件700可以進一步包括旋轉(zhuǎn)軸750。旋轉(zhuǎn)軸750成形為穿過支承桿710和支承托架731以使得支承銷單元730能夠進行轉(zhuǎn)動。
[0133]支承構(gòu)件700可以進一步包括彈性構(gòu)件770。彈性構(gòu)件770可以彈性地支承支承銷單元730，使得當支承銷單元730轉(zhuǎn)動時支承銷單元730能夠穩(wěn)定地支承加熱目標M。[0134]例如，如圖10和圖11所示，當加熱目標M被設置到機體構(gòu)件600中或從機體構(gòu)件600移除時，支承銷單元730可以傾斜以便不與加熱目標M發(fā)生干涉。這里，可以使用單獨的操作構(gòu)件(未示出)。
[0135]此外，支承銷單元730可以復位到其原始位置以穩(wěn)定地支承加熱目標M。此處，這可以利用彈性構(gòu)件770的彈性回復力，或可以使用單獨的操作構(gòu)件(未示出)。
[0136]盡管未圖示，但支承銷單元730可以聯(lián)接到支承桿710上以向上或向下運動，從而限制或防止與加熱目標M的干涉。
[0137]根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱處理設備可以進一步包括腔室100。
[0138]腔室100設置有對加熱目標M進行熱處理的空間。因此，加熱器200、機體構(gòu)件600和支承構(gòu)件700被容置在腔室100中。
[0139]腔室100包括殼體110和打開/關閉門130。
[0140]殼體110為其中形成有對加熱目標M進行熱處理的空間的外殼，并且打開/關閉門130可拆卸地聯(lián)接到殼體110以便打開或關閉該空間。
[0141]由殼體110和打開/關閉門130限定的該空間的關閉狀態(tài)可以通過鎖定構(gòu)件1000(將在下文進行描述)設定或消除。
[0142]由于設置有加熱器200和支承構(gòu)件700的機體構(gòu)件600被容置在腔室100中，因此熱處理設備可以進一步包括高溫電纜800。
[0143]高溫電纜800容置在腔室100中并且電連接到加熱器200，使得限制或防止了放射熱量的干擾并且可將電力輸送到加熱器200。
[0144]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的每個高溫電纜800均包括傳導部810、絕緣部830、金屬管850和密封構(gòu)件870。
[0145]傳導部810電連接到加熱器200以將電力輸送至加熱器200。傳導部810可以由銅或鋁形成。傳導部810可以通過連接構(gòu)件880電連接到加熱引線370和補償引線470中的至少一個。
[0146]絕緣部830包裹傳導部810。絕緣部830可以阻止熱量從加熱器200傳遞到傳導部810，并且可以屏蔽沿著傳導部810流動的電力。絕緣部830可以包括作為礦物基絕緣材料的氧化鎂。
[0147]金屬管850包裹絕緣部830。金屬管850可以防止因加熱器200放射的熱量而造成的變形或損壞。金屬管850可以由不銹鋼形成。
[0148]密封構(gòu)件870對金屬管850的相對的兩個端部進行密封。密封構(gòu)件870防止絕緣部830在金屬管850的相對的兩個端部處暴露在外。密封構(gòu)件870由石英或玻璃形成并且被焊接到金屬管850的相對的兩個端部上。
[0149]根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的高溫電纜800包括傳導部810、絕緣部830、金屬管850、密封構(gòu)件870和附接構(gòu)件820。
[0150]傳導部810電連接到加熱器200，以向加熱器輸送電力。傳導部810可以由銅或鋁形成。傳導部810可以通過連接構(gòu)件880電連接到加熱引線370和補償引線470中的至少一個。
[0151]絕緣部830被分成兩個或更多個部分，并且所分成的部分沿傳導部810的縱向方向布置以包裹傳導部810。絕緣部830可以阻止熱量從加熱器傳遞到傳導部810，并且可以屏敝沿著傳導部810流動的電力。絕緣部830可以包括作為礦物基絕緣材料的陶瓷或氧化鎂。
[0152]金屬管850包裹絕緣部830。金屬管850可以防止因加熱器放射的熱量而造成的變形或損壞。金屬管850可以由不銹鋼形成。
[0153]密封構(gòu)件870對金屬管850的相對的兩個端部進行密封。密封構(gòu)件870防止絕緣部830在金屬管850的相對端的部處暴露在外。密封構(gòu)件870可以由陶瓷、石英或玻璃形成，并且可以被分別焊接到金屬管850的相對的兩個端部。另外，密封構(gòu)件870可以由襯套狀的陶瓷材料形成并且可以分別聯(lián)接到金屬管850的相對的兩個端部。
[0154]每個附接構(gòu)件820均聯(lián)接到傳導部810的一個端部，以將絕緣部830、金屬管850和密封構(gòu)件870固定到傳導部810。
[0155]附接構(gòu)件820螺紋聯(lián)接到傳導部810的相對的兩個端部以便以緊密接觸的狀態(tài)將密封構(gòu)件870固定到金屬管850。傳導部810上可以形成有螺紋以便進行與密封部820的螺紋接合。
[0156]根據(jù)實施例的熱處理設備可以進一步包括滑動構(gòu)件900。
[0157]滑動構(gòu)件900將腔室100連接到機體構(gòu)件600以允許機體構(gòu)件600進入或離開腔室100。機體構(gòu)件600可以通過滑動構(gòu)件900容易地進入或離開腔室100。
[0158]滑動構(gòu)件900將機體構(gòu)件600聯(lián)接到殼體110，使得當腔室100打開或關閉時機體構(gòu)件600相對于殼體110滑動。
[0159]滑動構(gòu)件900允許機體構(gòu)件600在腔室100的殼體110中滑動，并且每個滑動構(gòu)件900均可以包括導向構(gòu)件910和運動構(gòu)件930。
[0160]導向構(gòu)件910設置到腔室100，以形成機體構(gòu)件600的滑動路徑；并且運動構(gòu)件930設置到機體構(gòu)件600，以沿著導向構(gòu)件910運動。
[0161]根據(jù)本實施例的熱處理設備可以進一步包括鎖定構(gòu)件1000。
[0162]鎖定構(gòu)件1000設定或消除腔室100中對加熱目標M進行熱處理的空間的關閉狀態(tài)。鎖定構(gòu)件1000使空間關閉，使得腔室100的氣密性可以穩(wěn)定地保持。每個鎖定構(gòu)件1000均包括閂鎖構(gòu)件1100和第一鎖定構(gòu)件1300。
[0163]閂鎖構(gòu)件1100對鎖定狀態(tài)進行選擇。閂鎖構(gòu)件1100可以通過固定托架1001聯(lián)接到打開/關閉門130。閂鎖構(gòu)件包括卡爪1110和卡爪驅(qū)動部1130。
[0164]卡爪1110可聯(lián)接并鎖定到第一鎖定構(gòu)件1300，并且卡爪驅(qū)動部1130使卡爪1110往復運動。例如，卡爪驅(qū)動部1130可以通過使用氣動或液壓使卡爪1110往復運動。
[0165]卡爪1110可以插入到第一鎖定構(gòu)件1300中，進而可以通過操作卡爪驅(qū)動部1130而使其聯(lián)接并鎖定到第一鎖定構(gòu)件1300。
[0166]閂鎖構(gòu)件1100聯(lián)接并鎖定到第一鎖定構(gòu)件1300。第一鎖定構(gòu)件1300可以設置到腔室100的殼體110。當使用下文描述的固定構(gòu)件1600時，第一鎖定構(gòu)件1300可以設置到固定構(gòu)件1600上。第一鎖定構(gòu)件1300可以形成有第一鎖定凹部1310，閂鎖構(gòu)件1100的卡爪1110可插入到第一鎖定凹部1310中。
[0167]由于當腔室100被關閉時，閂鎖構(gòu)件1100的卡爪1110通過操作卡爪驅(qū)動部1130而被插入到第一鎖定構(gòu)件1300的第一鎖定凹部1310中，因此腔室100可以保持關閉，從而維持了腔室100的氣密性。[0168]鎖定構(gòu)件1000可以進一步包括第二鎖定構(gòu)件1500。
[0169]第二鎖定構(gòu)件1500與第一鎖定構(gòu)件1300分隔開，閂鎖構(gòu)件1100能夠聯(lián)接并鎖定到第二鎖定構(gòu)件1500。當設置有下文描述的固定構(gòu)件1600時，第二鎖定構(gòu)件1500可以設置到固定構(gòu)件1600上。第二鎖定構(gòu)件1500可以形成有第二鎖定凹部1510，閂鎖構(gòu)件1100的卡爪1110可插入到第二鎖定凹部1510中。
[0170]當腔室100打開時，打開/關閉門130與殼體110分離，并且設置在打開/關閉門130上的閂鎖構(gòu)件1100的卡爪1110通過操作卡爪驅(qū)動部1130而被插入到第二鎖定構(gòu)件1500的第二鎖定凹部1510中。因此，腔室100保持打開并且與殼體110分離的打開/關閉門130的位置被穩(wěn)定地鎖定，從而使得易于確定打開/關閉門130的位置。
[0171]盡管未圖示，但當?shù)谝绘i定構(gòu)件1300被設置到打開/關閉門130上時，閂鎖構(gòu)件1100可以被設置到殼體110上或固定構(gòu)件1600上。當?shù)谝绘i定構(gòu)件1300被設置到打開/關閉門130時，一對閂鎖構(gòu)件1100可以彼此隔開并且被設置到殼體110上和固定構(gòu)件1600上。此外，當?shù)谝绘i定構(gòu)件1300設置到打開/關閉門130上時，一對閂鎖構(gòu)件1100可以彼此隔開并且設置到固定構(gòu)件1600上。
[0172]根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱處理設備包括可以進一步包括固定構(gòu)件1600。
[0173]固定構(gòu)件1600聯(lián)接并固定到腔室100的殼體110，并且可以在腔室100打開或關閉時穩(wěn)定地支承打開/關閉門130。
[0174]根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱處理設備可以進一步包括路徑構(gòu)件1800。
[0175]路徑構(gòu)件1800將打開/關閉門130聯(lián)接到固定構(gòu)件1600，使得當打開和關閉腔室100時，打開/關閉門130可以相對于固定構(gòu)件1600滑動。
[0176]路徑構(gòu)件1800允許打開/關閉門130在固定構(gòu)件1600中滑動，并且每個路徑構(gòu)件1800均可以包括導向構(gòu)件1810和運送構(gòu)件1830。
[0177]導向構(gòu)件1810被設置到固定構(gòu)件1600上以形成打開/關閉門的滑動路徑，并且運送構(gòu)件1830被設置到打開/關閉門130上以沿著導向構(gòu)件1810運動。
[0178]下文中，將對根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的熱處理設備進行描述。
[0179]圖19為根據(jù)本實施例的熱處理設備的側(cè)視圖。參照圖19，根據(jù)本實施例的熱處理設備包括加熱器200、機體構(gòu)件600和支承構(gòu)件700，并且可以通過從加熱器200放射的熱量對加熱目標M (所述加熱目標M被容置在機體構(gòu)件600中并且由支承構(gòu)件700支承)進行熱處理。
[0180]根據(jù)本實施例的熱處理設備可以進一步包括至少一個腔室100、高溫電纜800、滑動構(gòu)件900、鎖定構(gòu)件1000、固定構(gòu)件1600和路徑構(gòu)件1800。
[0181]與根據(jù)前述實施例的熱處理設備的部件相同的部件將由相同的附圖標記表示，并且將對其省略詳細描述。
[0182]然而，當支承加熱器200的定位構(gòu)件610通過機體構(gòu)件600的間隔構(gòu)件630被布置成彼此分隔開時，布置在定位構(gòu)件610的一側(cè)的加熱器200和布置在定位構(gòu)件610的另一側(cè)的加熱器200可以交替地布置。
[0183]因此，施加到加熱目標M的熱量的溫度可以保持更均勻地分布。
[0184]下文中，將描述在根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的對熱處理設備中對目標進行熱處理的操作。[0185]圖20示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的被分成多個控制區(qū)域的加熱目標，以及圖21示出了在根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱處理設備中的、根據(jù)加熱目標的劃分狀況來布置的溫度補償加熱器。
[0186]參照圖20和圖21，加熱目標M被分成多個控制區(qū)域210，使得控制區(qū)域210具有不同的溫度分布，并且根據(jù)本實施例的熱處理設備可以使得加熱目標M沿布置溫度補償加熱器200的方向具有均勻的溫度分布。
[0187]每個溫度補償加熱器200均包括加熱單元300和補償單元400，由此加熱目標M可以沿溫度補償加熱器200的縱向方向具有均勻的溫度分布。
[0188]控制區(qū)域210沿布置溫度補償加熱器200的方向排列。
[0189]每個控制區(qū)域210均包括至少一個溫度補償加熱器200。在一個實施例中，兩個溫度補償加熱器200可以設置到每一個控制區(qū)域中。
[0190]所述多個控制區(qū)域210可以分為邊緣區(qū)域211和多個調(diào)節(jié)區(qū)域213、215。在圖21中，所述多個調(diào)節(jié)區(qū)域213、215可以包括第一調(diào)節(jié)區(qū)域213和第二調(diào)節(jié)區(qū)域215。
[0191]邊緣區(qū)域211在溫度補償加熱器200所布置的方向上位于加熱目標M的相對的兩個端部處。例如，邊緣區(qū)域211可以與被設置在加熱目標M的相對兩個端部的溫度補償加熱器200所加熱的區(qū)域相對應。
[0192]第一調(diào)節(jié)區(qū)域213位于每個邊緣區(qū)域211的從邊緣區(qū)域211至加熱目標M的中心的方向上的一側(cè)。例如,每個第一調(diào)節(jié)區(qū)域213均可以與被設置在邊緣區(qū)域211的這一側(cè)的溫度補償加熱器200所加熱的區(qū)域相對應。
[0193]第二調(diào)節(jié)區(qū)域215位于每個第一調(diào)節(jié)區(qū)域213的朝向加熱目標M中心的一側(cè)。例如，每個第二調(diào)節(jié)區(qū)域215均可以與被設置在第一調(diào)節(jié)區(qū)域213的這一側(cè)的溫度補償加熱器200所加熱的區(qū)域相對應。
[0194]因此，邊緣區(qū)域211和所述多個調(diào)節(jié)區(qū)域213、215具有不同的溫度分布，由此能夠均勻地對加熱目標M進行加熱。例如，從溫度補償加熱器200放射的熱量被調(diào)節(jié)成:使得與邊緣區(qū)域211相對應的溫度補償加熱器200所放射的熱量的溫度是最高的，并且與調(diào)節(jié)區(qū)域213、215相對應的溫度補償加熱器200所放射的熱量的溫度從加熱目標M的相對的兩個端部朝向中心逐漸降低，從而能夠均勻地加熱加熱目標M。
[0195]在本發(fā)明的一個實施例中，熱處理設備可以進一步包括溫度傳感單元230和控制器C。
[0196]溫度傳感單元230檢測與控制區(qū)域210相應的溫度。
[0197]在一個實施例中，溫度傳感單元230在溫度補償加熱器200之間設置在加熱目標M上方，并且檢測每個控制區(qū)域210的溫度。溫度傳感單元230檢測與控制區(qū)域210相應的、從溫度補償加熱器200放射的熱量的溫度。
[0198]溫度傳感單元230可以包括第一傳感器231、第二傳感器233和第三傳感器235。第一傳感器231檢測控制區(qū)域210的邊緣區(qū)域211的溫度，第二傳感器233檢測控制區(qū)域210的第一調(diào)節(jié)區(qū)域213的溫度，并且第三傳感器235檢測控制區(qū)域210的第二調(diào)節(jié)區(qū)域215的溫度。
[0199]由溫度傳感單元230檢測到的溫度被傳輸?shù)娇刂破鰿。
[0200]控制器C根據(jù)由溫度傳感單元230檢測到的溫度對與控制區(qū)域210相對應的溫度補償加熱器200放射的熱量進行調(diào)節(jié)。
[0201]例如，控制器C設定從溫度補償加熱器200放射到控制區(qū)域210的熱量的、與加熱目標M的預設加熱溫度相對應的溫度?？刂破鰿將溫度傳感單元230所檢測到的溫度與控制器C設定的對應于所檢測溫度的溫度進行比較，從而調(diào)節(jié)從與控制區(qū)域210相對應的溫度補償加熱器200放射的熱量。
[0202]下文中，將描述在根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的對熱處理設備中對加熱目標進行加熱處理的操作。
[0203]圖22示出了在根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的熱處理設備中的、根據(jù)加熱目標的劃分狀況布置的溫度補償加熱器。參照圖22，加熱目標M被分成多個控制區(qū)域210，使得控制區(qū)域210具有不同的溫度分布，并且根據(jù)本實施例的熱處理設備可使得加熱目標M沿布置溫度補償加熱器200的方向具有均勻的溫度分布。
[0204]每個溫度補償加熱器200均包括加熱單元300和補償單元400，由此加熱目標M可以沿溫度補償加熱器200的縱向方向具有均勻的溫度分布。
[0205]控制區(qū)域211、213、215沿布置溫度補償加熱器200的方向排列。
[0206]每個控制區(qū)域210均包括至少一個溫度補償加熱器200。在一個實施例中，兩個溫度補償加熱器200可被設置到每個控制區(qū)域中。
[0207]所述多個控制區(qū)域210可以分為邊緣區(qū)域211和多個調(diào)節(jié)區(qū)域213、215。如圖22所示，所述多個調(diào)節(jié)區(qū)域213、215可以包括第一調(diào)節(jié)區(qū)域213和第二調(diào)節(jié)區(qū)域215。
[0208]邊緣區(qū)域211在溫度補償加熱器200所布置的方向上位于加熱目標M的相對的兩個端部處。例如，邊緣區(qū)域211可以與被設置在加熱目標M的相對的兩個端部的溫度補償加熱器200加熱的區(qū)域相對應。
[0209]第一調(diào)節(jié)區(qū)域213位于每個邊緣區(qū)域211的從邊緣區(qū)域211至加熱目標M的中心的方向上的一側(cè)。例如,每個第一調(diào)節(jié)區(qū)域213均可以與被設置在邊緣區(qū)域211的這一側(cè)的溫度補償加熱器200所加熱的區(qū)域相對應。
[0210]第二調(diào)節(jié)區(qū)域215位于每個第一調(diào)節(jié)區(qū)域213的從第一調(diào)節(jié)區(qū)域213至加熱目標M的中心的方向上的一側(cè)。例如，每個第二調(diào)節(jié)區(qū)域215均可以與被設置在第一調(diào)節(jié)區(qū)域213的這一側(cè)的溫度補償加熱器200加熱的區(qū)域相對應。
[0211]因此，邊緣區(qū)域211和所述多個調(diào)節(jié)區(qū)域213、215具有不同的溫度分布，由此能夠均勻地對加熱目標M進行加熱。例如，從溫度補償加熱器200放射的熱量被調(diào)節(jié)成:使得與邊緣區(qū)域211相對應的溫度補償加熱器200所放射的熱量的溫度是最高的，并且與調(diào)節(jié)區(qū)域213、215相對應的溫度補償加熱器200所放射的熱量溫度從加熱目標M的相對的兩個端部朝向中心部分逐漸降低，從而能夠均勻地加熱加熱目標M。
[0212]在本發(fā)明的一個實施例中，熱處理設備可以進一步包括溫度傳感單元230和控制器C。
[0213]溫度傳感單元230檢測與控制區(qū)域210相應的溫度。
[0214]在本實施例中，溫度傳感單元230可以被設置到對加熱目標M進行支承的支承銷單元730上或位于加熱目標M下方，以便檢測每個控制區(qū)域210中的加熱目標M的溫度。
[0215]溫度傳感單元230可以包括第一傳感器231、第二傳感器233和第三傳感器235。第一傳感器231檢測控制區(qū)域210的邊緣區(qū)域211的溫度，第二傳感器233檢測控制區(qū)域210的第一調(diào)節(jié)區(qū)域213的溫度，并且第三傳感器235檢測控制區(qū)域210的第二調(diào)節(jié)區(qū)域215的溫度。
[0216]由溫度傳感單元230檢測到的溫度被傳輸?shù)娇刂破鰿。
[0217]控制器C根據(jù)由溫度傳感單元230檢測到的溫度對與控制區(qū)域210相對應的溫度補償加熱器200放射的熱量進行調(diào)節(jié)。
[0218]例如，控制器C將溫度傳感單元230檢測到的溫度與加熱目標M的預設加熱溫度進行比較，從而調(diào)節(jié)與控制區(qū)域210相對應的溫度補償加熱器200所放射的熱量。
[0219]如上所述，根據(jù)本實施例，熱處理設備的操作可以與加熱目標M的實際溫度相對應，從而防止因熱量而在加熱目標M中產(chǎn)生缺陷。
[0220]如上所述，根據(jù)本發(fā)明的溫度補償加熱器和使用該溫度補償加熱器的熱處理設備可以通過溫度補償加熱器200的模塊化而允許對加熱目標M的邊緣進行基本均勻的熱傳遞，并且可以通過雙聯(lián)式加熱器200實現(xiàn)單獨的溫度控制。
[0221]盡管已經(jīng)參照附圖和表格對一些實施例進行了描述，但應當理解的是，本發(fā)明不限于這些實施例并且能夠以各種不同方式實現(xiàn)，并且在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，本領域技術人員能夠做出各種修改、變型和改變。因此，本發(fā)明的范圍應當由權(quán)利要求以及其等效方案確定。
【權(quán)利要求】
1.一種溫度補償加熱器,包括: 加熱單元，所述加熱單元被分為放射熱量的加熱區(qū)域以及從所述加熱區(qū)域的相對的兩個端部延伸出的虛設區(qū)域； 補償單元，所述補償單元被分為連接區(qū)域以及從所述連接區(qū)域的相對的兩個端部延伸出并且放射熱量的補償區(qū)域；以及 固定單元，所述加熱單元和所述補償單元被固定到所述固定單元上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度補償加熱器，其中，所述加熱單元包括: 加熱管，所述加熱管呈中空狀并且被分為所述加熱區(qū)域和所述虛設區(qū)域； 加熱導線，所述加熱導線插入到所述加熱管中以與所述加熱區(qū)域相對應，并且所述加熱導線放射由輸送電力所產(chǎn)生的熱量； 加熱連接器，所述加熱連接器電連接到所述加熱導線以與所述虛設區(qū)域相對應；以及 加熱引線，所述加熱引線電連接到所述加熱連接器并且被分別固定到所述固定單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的溫度補償加熱器，其中，所述加熱引線中的每個均包括: 加熱固定部，所述加熱固定部電連接到各個所述加熱連接器，并且所述加熱固定部被插入到相應的固定單元中；以及 加熱端子，所述加熱端子從所述加熱固定部突出以從相應的固定單元露出。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的溫度補償加熱器，其中，所述固定單元中的每個均形成有加熱固定凹部，所述加熱固定部插入到所述加熱固定凹部中以防止所述加熱引線的轉(zhuǎn)動。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的溫度補償加熱器，其中，所述加熱引線中的每個均進一步包括加熱聯(lián)接部，所述加熱聯(lián)接部聯(lián)接到所述加熱端子以使得所述加熱固定部緊密接觸所述固定單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的溫度補償加熱器，其中，在所述加熱引線和所述加熱連接器之中，至少所述加熱引線呈螺旋狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的溫度補償加熱器，其中，所述固定單元中的每個均包括: 加熱支承部，所述加熱支承部聯(lián)接到所述加熱管的端部；以及 加熱孔，相應的加熱引線穿過所述加熱孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度補償加熱器，其中，所述補償單元包括: 補償管，所述補償管呈中空狀并且被分為所述連接區(qū)域和所述補償區(qū)域； 補償加熱導線，所述補償加熱導線插入到所述補償管中以與所述補償區(qū)域相對應，并且所述補償加熱導線放射由輸送電力所產(chǎn)生的熱量； 補償連接器，所述補償連接器將所述補償加熱導線相互電連接以與所述連接區(qū)域相對應；以及 補償引線，所述補償引線電連接到所述補償加熱導線并且被分別固定到所述固定單J Li ο
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的溫度補償加熱器，其中，所述補償引線中的每個均包括: 補償固定部，所述補償固定部電連接到各個所述補償加熱導線，并且所述補償固定部被插入到相應的固定單元中；以及 補償端子，所述補償端子從所述補償固定部突出以從相應的固定單元露出。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的溫度補償加熱器，其中，所述固定單元中的每個均形成有補償固定凹部，所述補償固定部插入到所述補償固定凹部中以防止所述補償引線的轉(zhuǎn)動。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的溫度補償加熱器，其中，所述補償引線進一步包括補償聯(lián)接部，所述補償聯(lián)接部聯(lián)接到所述補償端子以使得所述補償固定部緊密接觸所述固定單元。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的溫度補償加熱器，其中，在所述補償加熱引線和所述補償連接器之中，至少所述補償加熱引線呈螺旋狀。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的溫度補償加熱器，其中，所述固定單元中的每個均包括: 補償支承部，所述補償支承部連接到所述補償管的端部；以及 補償孔，相應的補償引線穿過所述補償孔。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至13中任一項所述的溫度補償加熱器，其中，每個所述加熱區(qū)域和所述補償區(qū)域均形成有反射體，所述反射體用于對熱量進行反射。
15.—種熱處理設備,包括: 根據(jù)權(quán)利要求1至13中任一項所述的溫度補償加熱器； 機體構(gòu)件，所述機體構(gòu)件容納加熱目標和所述溫度補償加熱器；以及 支承構(gòu)件，所述支承構(gòu)件設置到所述機體構(gòu)件上，并且所述支承構(gòu)件將所述加熱目標與所述溫度補償加熱器分隔開。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的 熱處理設備，其中，每個加熱區(qū)域和補償區(qū)域均形成有反射體，所述反射體對將被放射到設置在所述溫度補償加熱器下方的所述加熱目標的熱量進行反射。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的熱處理設備，其中，所述支承構(gòu)件包括: 支承桿，所述支承桿聯(lián)接到所述機體構(gòu)件；以及 支承銷單元，所述支承銷單元被設置到所述支承桿上并且對所述加熱目標進行支承。
【文檔編號】F27D11/02GK103813496SQ201310538334
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2013年11月4日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月6日
【發(fā)明者】李鑄炯 申請人:杰宜斯科技有限公司