專利名稱：一種坩堝熔煉爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型為一種煉爐，特別涉及一種坩堝熔煉爐，屬于坩堝爐技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在制作坩堝過程中，石墨電極在高溫熔煉過程中，容易掉渣，直接影響制作坩堝的質(zhì)量，為此，在坩堝熔煉爐一側(cè)設(shè)置有導(dǎo)氣管，把石墨渣吹向一邊、坩堝熔煉爐外。但傳統(tǒng)使用的導(dǎo)氣管結(jié)構(gòu)過于簡單，吹渣效果不甚理想，且大多由橡膠、銅等材料所制成，存在質(zhì)量過重或阻燃性、耐腐蝕性差等缺陷，使用壽命短。大多國內(nèi)高端半導(dǎo)體需求企業(yè)往往會依賴于國外進口石英導(dǎo)氣管，但是進口產(chǎn)品存在數(shù)量限制、價格高、交貨期長等不利因素，對企業(yè)日常生產(chǎn)帶來了極大不便。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是針對上述現(xiàn)有技術(shù)中，導(dǎo)氣管結(jié)構(gòu)簡單、吹渣效果差，質(zhì)量過重或阻燃性、耐腐蝕性差，及價格高等缺陷，提供了一種坩堝熔煉爐，可以達到導(dǎo)氣管吹渣效果好、質(zhì)量輕、耐腐蝕和價格便宜的目的。為了實現(xiàn)上述目的本實用新型采取的技術(shù)方案是:一種坩堝熔煉爐，包括爐體、爐蓋、石墨電極和導(dǎo)氣管，所述導(dǎo)氣管設(shè)置在坩堝熔煉爐一側(cè)，導(dǎo)氣管后端與坩堝熔煉爐一側(cè)的排架固定連接，導(dǎo)氣管前端在爐蓋上方、向下斜向設(shè)置；所述導(dǎo)氣管包括后部主導(dǎo)氣管和前部叉形導(dǎo)氣分管，所述叉形導(dǎo)氣分管呈U形，叉形導(dǎo)氣分管的U形底部與主導(dǎo)氣管相通，叉形導(dǎo)氣分管與主導(dǎo)氣管為一體結(jié)構(gòu)；叉形導(dǎo)氣分管和主導(dǎo)氣管的直徑相等，均為5-7_ ；所述主導(dǎo)氣管長為15-25cm，叉形導(dǎo)氣分管的2根分支管長度相等，為10-20cm，叉形導(dǎo)氣分管的2根分支管之間的距離為8-12cm ;叉形導(dǎo)氣分管設(shè)置在爐蓋上方，叉形導(dǎo)氣分管的管口對向石墨電極。所述叉形導(dǎo)氣分管的2根分支管關(guān)于主導(dǎo)氣管軸線對稱設(shè)置；叉形導(dǎo)氣分管的2根分支管的管口呈橢圓形。所述主導(dǎo)氣管和叉形導(dǎo)氣分管的直徑為6mm ;所述主導(dǎo)氣管長為20cm，叉形導(dǎo)氣分管的2根分支管的長度相等,為15cm、叉形導(dǎo)氣分管的2根分支管之間的距尚為10cm。所述導(dǎo)氣管與水平方向的夾角為10°。所述主導(dǎo)氣管和叉形導(dǎo)氣分管的材質(zhì)均為石英玻璃。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是:(I)吹風(fēng)口由I個變?yōu)?個，且叉形導(dǎo)氣分管的2根分支管的管口呈橢圓形，使吹風(fēng)更均勻、效果更好；(2)石英玻璃材質(zhì)的導(dǎo)氣管質(zhì)量輕、耐腐蝕、耐高溫，使用壽命長；(3)材質(zhì)均為石英玻璃的導(dǎo)氣管技術(shù)填補國內(nèi)技術(shù)空白，價格便宜，降低了國內(nèi)半導(dǎo)體材料生產(chǎn)廠家的成本，提高了產(chǎn)品的國際競爭力。
圖1-1是:導(dǎo)氣管主視圖；圖1-2是:導(dǎo)氣管俯視圖；圖2是:本實用新型工作狀態(tài)圖；附圖標(biāo)記說明:1爐體、2爐蓋、3石墨電極、4導(dǎo)氣管、41主導(dǎo)氣管、42叉形導(dǎo)氣分管、421管口。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明，但不作為對本實用新型的限定。如圖1-1至圖2所示，一種坩堝熔煉爐，包括爐體1、爐蓋2、石墨電極3和導(dǎo)氣管4，所述導(dǎo)氣管4設(shè)置在坩堝熔煉爐一側(cè)，導(dǎo)氣管4后端與坩堝熔煉爐一側(cè)的排架(圖中未顯示)固定連接，導(dǎo)氣管4前端在爐蓋2上方、向下斜向設(shè)置；所述導(dǎo)氣管4包括后部主導(dǎo)氣管41和前部叉形導(dǎo)氣分管42，所述叉形導(dǎo)氣分管42呈U形，叉形導(dǎo)氣分管42的U形底部與主導(dǎo)氣管41相通，叉形導(dǎo)氣分管42與主導(dǎo)氣管41為一體結(jié)構(gòu)；叉形導(dǎo)氣分管42和主導(dǎo)氣管41的直徑相等，均為6mm ;所述主導(dǎo)氣管41長為20cm，叉形導(dǎo)氣分管42的2根分支管長度相等，為15cm，叉形導(dǎo)氣分管42的2根分支管之間的距離為IOcm ;叉形導(dǎo)氣分管42設(shè)置在爐蓋2上方，叉形導(dǎo)氣分管42的管口 421對向石墨電極3。所述叉形導(dǎo)氣分管42的2根分支管關(guān)于主導(dǎo)氣管41軸線對稱設(shè)置；叉形導(dǎo)氣分管42的2根分支管的管口 421呈橢圓形。所述導(dǎo)氣管4與水平方向的夾角α為10°。所述主導(dǎo)氣管41和叉形導(dǎo)氣分管42的材質(zhì)均為石英玻璃。以上所述的實施例，只是本實用新型較優(yōu)選的具體實施方式
的一種，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)進行的通常變化和替換都應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種坩堝熔煉爐，包括爐體、爐蓋、石墨電極和導(dǎo)氣管，所述導(dǎo)氣管設(shè)置在坩堝熔煉爐一側(cè)，導(dǎo)氣管后端與坩堝熔煉爐一側(cè)的排架固定連接，導(dǎo)氣管前端在爐蓋上方、向下斜向設(shè)置；其特征在于:所述導(dǎo)氣管包括后部主導(dǎo)氣管和前部叉形導(dǎo)氣分管，所述叉形導(dǎo)氣分管呈U形，叉形導(dǎo)氣分管的U形底部與主導(dǎo)氣管相通，叉形導(dǎo)氣分管與主導(dǎo)氣管為一體結(jié)構(gòu)；叉形導(dǎo)氣分管和主導(dǎo)氣管的直徑相等，均為5-7mm ;所述主導(dǎo)氣管長為15_25cm，叉形導(dǎo)氣分管的2根分支管長度相等，為10-20cm，叉形導(dǎo)氣分管的2根分支管之間的距離為8-12cm;叉形導(dǎo)氣分管設(shè)置在爐蓋上方，叉形導(dǎo)氣分管的管口對向石墨電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種坩堝熔煉爐，其特征在于:所述叉形導(dǎo)氣分管的2根分支管關(guān)于主導(dǎo)氣管軸線對稱設(shè)置；叉形導(dǎo)氣分管的2根分支管的管口呈橢圓形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種坩堝熔煉爐，其特征在于:所述主導(dǎo)氣管和叉形導(dǎo)氣分管的直徑為6mm ;所述主導(dǎo)氣管長為20cm,叉形導(dǎo)氣分管的2根分支管長度相等，為15cm、叉形導(dǎo)氣管的2根分支管之間的距離為10cm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種坩堝熔煉爐，其特征在于:所述導(dǎo)氣管與水平方向的夾角為10。ο
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種坩堝熔煉爐，其特征在于:所述主導(dǎo)氣管和叉形導(dǎo)氣分管的材質(zhì)均為石英玻璃。
專利摘要一種坩堝熔煉爐，屬于坩堝爐技術(shù)領(lǐng)域，包括爐體、爐蓋、石墨電極和導(dǎo)氣管，導(dǎo)氣管設(shè)置在坩堝熔煉爐一側(cè)，導(dǎo)氣管后端與坩堝熔煉爐一側(cè)的排架固定連接，導(dǎo)氣管前端在爐蓋上方、向下斜向設(shè)置；導(dǎo)氣管包括后部主導(dǎo)氣管和前部叉形導(dǎo)氣分管，叉形導(dǎo)氣分管呈U形，叉形導(dǎo)氣分管與主導(dǎo)氣管為一體結(jié)構(gòu)；叉形導(dǎo)氣分管和主導(dǎo)氣管的直徑相等，均為5-7mm；主導(dǎo)氣管長為15-25cm，叉形導(dǎo)氣分管的2根分支管長度相等，為10-20cm，叉形導(dǎo)氣分管的2根分支管之間的距離為8-12cm。本實用新型的有益效果是吹風(fēng)更均勻、效果更好；導(dǎo)氣管材質(zhì)為石英玻璃，質(zhì)量輕、耐腐蝕、耐高溫、使用壽命長，并降低了成本。
文檔編號F27B14/08GK203011136SQ20122071054
公開日2013年6月19日 申請日期2012年11月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月27日
發(fā)明者王文慶, 王定永 申請人:寧波寶斯達坩堝保溫制品有限公司