專(zhuān)利名稱(chēng)：固定件、爐門(mén)密封裝置和氧化擴(kuò)散爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體處理領(lǐng)域，尤其涉及一種固定件、爐門(mén)密封裝置和氧化擴(kuò)散爐。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中氧化擴(kuò)散爐一般用在1000 1200°C氧化擴(kuò)散工藝上。如圖I所示，示出了現(xiàn)有的氧化擴(kuò)散爐的爐門(mén)密封結(jié)構(gòu)。如圖I所示，其包括SiC槳30、通過(guò)螺母固定在SiC槳30上的固定件31以及位于主固定件31 —側(cè)且通過(guò)連桿32和彈簧33與固定件31相連的爐門(mén)34。該固定件31通常采用鋁合金材料制成且彈簧33纏繞在連桿32上。在SiC槳30進(jìn)到位時(shí)，爐門(mén)34緊壓著 爐管，彈簧33保持壓縮狀態(tài)，從而達(dá)到密封的效果。由于長(zhǎng)期在1000 1200°C氧化擴(kuò)散工藝下工作，爐門(mén)的鋁合金固定件熱脹冷縮會(huì)有松動(dòng)，并且SiC槳的摩擦力減小，在爐門(mén)蓋好、彈簧壓縮的情況下，爐門(mén)的鋁合金固定件容易向后滑動(dòng)，特別是作業(yè)氫氧合成工藝時(shí)，在氫氧點(diǎn)火瞬間爐管內(nèi)壓力突然增大，導(dǎo)致?tīng)t門(mén)向后滑動(dòng)，不能蓋緊爐管，爐管口漏氣，造成爐管內(nèi)氣流發(fā)生變化，使晶圓片氧化、擴(kuò)散均勻性變差，不能滿足工藝要求，造成巨大損失。已知的解決方案是每次進(jìn)爐到位時(shí)由設(shè)備操作工用推棒推壓爐門(mén)，檢查爐門(mén)有無(wú)蓋緊爐管，以防止?fàn)t門(mén)沒(méi)有壓緊爐管，爐管漏氣，保證晶圓片氧化、擴(kuò)散均勻性穩(wěn)定。每次進(jìn)爐由設(shè)備操作工檢查爐門(mén)有無(wú)蓋緊較耗費(fèi)時(shí)間。另外，即使檢查時(shí)爐門(mén)蓋緊，也不能保證在工藝過(guò)程中爐門(mén)還是蓋緊狀態(tài)(爐門(mén)向后滑動(dòng)經(jīng)常發(fā)生在氫氧合成點(diǎn)火瞬間)，效率較低。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種固定件、爐門(mén)密封裝置和氧化擴(kuò)散爐，用于實(shí)現(xiàn)密封。本實(shí)用新型提供一種固定件，其特征在于，所述固定件包括第一固定部，所述第一固定部中設(shè)有凹部和位于凹部?jī)蓚?cè)的兩個(gè)連接部，并且在至少一個(gè)連接部中設(shè)置螺母槽；第二固定部，所述第二固定部上設(shè)有凹部和位于凹部?jī)蓚?cè)的兩個(gè)連接部，并且在至少一個(gè)連接部設(shè)置卡槽；以及固定桿，其中第一和第二固定部的凹部將待固定部件夾持在其中，固定桿穿過(guò)螺母槽和卡槽，使得利用固定桿將固定件以及待固定部件固定在一起。優(yōu)選地，在本實(shí)用新型的固定件中，利用螺母進(jìn)一步固定固定桿。優(yōu)選地，在本實(shí)用新型的固定件中，所述固定桿上設(shè)有螺紋。優(yōu)選地，在本實(shí)用新型的固定件中，所述第一和第二固定部成U形。本實(shí)用新型還提供一種氧化擴(kuò)散爐的爐門(mén)密封裝置，其特征在于，所述爐門(mén)密封裝置包括[0015]槳；固定在槳上的主固定件；位于主固定件一側(cè)且通過(guò)連桿和彈簧與主固定件相連的爐門(mén)；以及如上述的固定件，位于主固定件另一側(cè)且直接抵靠所述主固定件，其中第一和第二固定部的凹部位于槳上，固定桿穿過(guò)螺母槽和卡槽，使得利用固定桿將固定件以及槳固
定在一起。優(yōu)選地，爐門(mén)密封裝置還包括位于第一固定部的凹部和槳之間和/或第二固定部的凹部和槳之間的摩擦片。優(yōu)選地，在本實(shí)用新型的爐門(mén)密封裝置中，所述摩擦片采用特氟龍材料制成。·[0021]本實(shí)用新型還提供一種氧化擴(kuò)散爐，其特征在于，所述氧化擴(kuò)散爐包括如權(quán)利要求之一所述的爐門(mén)密封裝置。利用本實(shí)用新型，可以實(shí)現(xiàn)爐門(mén)密封的效果。利用本發(fā)明，解決了氧化擴(kuò)散爐的爐門(mén)向后滑動(dòng)的問(wèn)題，不需要設(shè)備操作工每次進(jìn)爐檢查爐門(mén)是否蓋緊。同時(shí)利用本實(shí)用新型的爐門(mén)密封裝置使得爐門(mén)在作業(yè)過(guò)程中也不會(huì)滑動(dòng)，爐管不會(huì)因爐門(mén)未蓋緊產(chǎn)生漏氣，保證晶圓片氧化、擴(kuò)散均勻性穩(wěn)定，滿足工藝要求。此外，本實(shí)用新型無(wú)需對(duì)現(xiàn)有的氧化擴(kuò)散爐進(jìn)行大的結(jié)構(gòu)改動(dòng)，僅需要在爐門(mén)原有固定件后再加裝固定件，適用范圍廣，成本低廉。

圖I為現(xiàn)有的爐門(mén)密封裝置；圖2A、2B為根據(jù)本實(shí)用新型的固定件的主視圖和俯視圖；以及圖3為根據(jù)本實(shí)用新型的爐門(mén)密封裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合附圖詳細(xì)描述本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，在附圖中相同的參考標(biāo)號(hào)表示相同的元件。在本實(shí)用新型中，在原有的主固定件的基礎(chǔ)上再加裝固定件，從而解決了爐門(mén)向后滑動(dòng)的問(wèn)題。此外，還可以實(shí)現(xiàn)爐門(mén)密封的效果。圖2為根據(jù)本實(shí)用新型的固定件的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，固定件包括第一固定部I、第二固定部2和固定桿4。第一固定部I中設(shè)有凹部10和位于凹部?jī)蓚?cè)的兩個(gè)連接部12，并且在至少一個(gè)連接部12中設(shè)置螺母槽14。雖然在圖中示出為在兩個(gè)連接部12中各設(shè)置了一個(gè)螺母槽14，但是本實(shí)用新型并不局限于此。本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需要調(diào)整設(shè)置螺母槽的連接部的數(shù)量以及在每個(gè)連接部上的螺母槽的數(shù)量。第二固定部2上設(shè)有凹部20和位于凹部?jī)蓚?cè)的兩個(gè)連接部22，并且在至少一個(gè)連接部22中設(shè)置卡槽24。雖然在圖中示出為在兩個(gè)連接部22中各設(shè)置了一個(gè)卡槽24，但是本實(shí)用新型并不局限于此。本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需要調(diào)整設(shè)置卡槽的連接部的數(shù)量以及在每個(gè)連接部上的卡槽的數(shù)量。第一和第二固定部的凹部10、20將待固定部件夾持在其中，固定桿4穿過(guò)螺母槽14和卡槽22，使得利用固定桿4將固定件以及待固定部件固定在一起。優(yōu)選地，利用螺母(未示出)進(jìn)一步固定固定桿4，使得固定件以及待固定部件得以更加被固定在一起優(yōu)選地，在本實(shí)用新型的上述固定件中，所述第一和第二固定部1、2成U形。優(yōu)選地，固定部1、2和固定桿4由鋼制成。圖3為根據(jù)本實(shí)用新型的爐門(mén)密封裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，爐門(mén)密封裝置包括槳30 ;固定在槳30上的主固定件31 ;位于主固定件31 —側(cè)且通過(guò)連桿32和彈簧33與主固定件相連的爐門(mén)34 ;以及如圖2A、2B中所示的固定件。固定件位于主固定件31另一側(cè)且直接抵靠主固定件31，其中第一和第二固定部1、2的凹部10、20位于槳30上，固定桿4穿過(guò)螺母槽14和卡槽20，使得利用固定桿4將固定件以及槳30固定在一起。優(yōu)選地，爐門(mén)密封裝置還包括位于第一固定部I的凹部10和槳30之間和/或第 二固定部2的凹部10和槳30之間的摩擦片(未示出)，用于增加第一和/或第二固定部I、2和槳30之間的摩擦力，進(jìn)一步保證固定件不會(huì)滑動(dòng)。優(yōu)選地，所述摩擦片采用特氟龍材料制成。本實(shí)用新型還提供一種氧化擴(kuò)散爐，其特征在于，所述氧化擴(kuò)散爐包括上述的爐門(mén)密封裝置。用本實(shí)用新型，解決了氧化擴(kuò)散爐的爐門(mén)向后滑動(dòng)的問(wèn)題，不需要設(shè)備操作工每次進(jìn)爐檢查爐門(mén)是否蓋緊。同時(shí)利用本實(shí)用新型的爐門(mén)密封裝置使得爐門(mén)在作業(yè)過(guò)程中也不會(huì)滑動(dòng)，爐管不會(huì)因爐門(mén)未蓋緊產(chǎn)生漏氣，保證晶圓片氧化、擴(kuò)散均勻性穩(wěn)定，滿足工藝要求。鑒于這些教導(dǎo)，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員將容易想到本實(shí)用新型的其它實(shí)施例、組合和修改。因此，當(dāng)結(jié)合上述說(shuō)明和附圖進(jìn)行閱讀時(shí)，本實(shí)用新型僅僅由權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求1.一種固定件，其特征在于，所述固定件包括 第一固定部，所述第一固定部中設(shè)有凹部和位于凹部?jī)蓚?cè)的兩個(gè)連接部，并且在至少一個(gè)連接部中設(shè)置螺母槽； 第二固定部，所述第二固定部上設(shè)有凹部和位于凹部?jī)蓚?cè)的兩個(gè)連接部，并且在至少一個(gè)連接部設(shè)置卡槽；以及 固定桿，其中第一和第二固定部的凹部將待固定部件夾持在其中，固定桿穿過(guò)螺母槽和卡槽，使得利用固定桿將固定件以及待固定部件固定在一起。
2.如權(quán)利要求I所述的固定件，其特征在于，利用螺母進(jìn)一步固定固定桿。
3.如權(quán)利要求I所述的固定件，其特征在于，所述固定桿上設(shè)有螺紋。
4.如權(quán)利要求1-3之一所述的固定件，其特征在于，所述第一和第二固定部成U形。
5.一種氧化擴(kuò)散爐的爐門(mén)密封裝置，其特征在于，所述爐門(mén)密封裝置包括 槳； 固定在槳上的主固定件； 位于主固定件一側(cè)且通過(guò)連桿和彈簧與主固定件相連的爐門(mén)；以及 如上述權(quán)利要求之一所述的固定件，位于主固定件另一側(cè)且直接抵靠所述主固定件，其中第一和第二固定部的凹部位于槳上，固定桿穿過(guò)螺母槽和卡槽，使得利用固定桿將固定件以及槳固定在一起。
6.如權(quán)利要求5所述的爐門(mén)密封裝置，其特征在于，所述爐門(mén)密封裝置還包括位于第一固定部的凹部和槳之間和/或第二固定部的凹部和槳之間的摩擦片。
7.如權(quán)利要求6所述的爐門(mén)密封裝置，其特征在于，所述摩擦片采用特氟龍材料制成。
8.一種氧化擴(kuò)散爐，其特征在于，所述氧化擴(kuò)散爐包括如權(quán)利要求之一所述的爐門(mén)密封裝置。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種固定件、爐門(mén)密封裝置和氧化擴(kuò)散爐。所述固定件包括第一固定部，所述第一固定部中設(shè)有凹部和位于凹部?jī)蓚?cè)的兩個(gè)連接部，并且分別在兩個(gè)連接部中設(shè)置螺母槽；以及第二固定部，所述第二固定部上設(shè)有凹部和位于凹部?jī)蓚?cè)的兩個(gè)連接部，并且分別在兩個(gè)連接部設(shè)置卡槽，其中第一和第二固定部的凹部將待固定部件夾持在其中，使得通過(guò)穿過(guò)螺母槽和部分穿過(guò)卡槽的螺母將固定件以及待固定部件固定在一起。利用本實(shí)用新型，可以實(shí)現(xiàn)爐門(mén)密封的效果。
文檔編號(hào)F27D1/18GK202675888SQ20122018899
公開(kāi)日2013年1月16日 申請(qǐng)日期2012年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月28日
發(fā)明者吳學(xué)成, 姚承錫, 方海濱, 潘之煒 申請(qǐng)人:無(wú)錫華潤(rùn)華晶微電子有限公司