技術(shù)編號：4745531
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型屬于半導(dǎo)體處理領(lǐng)域，尤其涉及一種固定件、爐門密封裝置和氧化擴(kuò)散爐。背景技術(shù)在半導(dǎo)體晶圓制造過程中氧化擴(kuò)散爐一般用在1000 1200°C氧化擴(kuò)散工藝上。如圖I所示，示出了現(xiàn)有的氧化擴(kuò)散爐的爐門密封結(jié)構(gòu)。如圖I所示，其包括SiC槳30、通過螺母固定在SiC槳30上的固定件31以及位于主固定件31 —側(cè)且通過連桿32和彈簧33與固定件31相連的爐門34。該固定件31通常采用鋁合金材料制成且彈簧33纏繞在連桿32上。在SiC槳30進(jìn)到位時，爐門34緊壓...
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