專利名稱：加熱爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種加熱爐的爐內(nèi)加熱器配置結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
作為電子部件用粉體的燒成技術(shù)已知的是，將粉末原料容納于稱為匣缽的耐熱容器內(nèi)，并在高溫加熱爐內(nèi)搬送的同時(shí)以高溫進(jìn)行熱處理的方法。該加熱處理方法中，從防止?fàn)t內(nèi)污染的觀點(diǎn)來(lái)看，多使用陶制加熱器，特別是棒狀SiC加熱器(專利文獻(xiàn)I)。關(guān)于該棒狀SiC加熱器的爐內(nèi)配置，以前從避免棒狀SiC加熱器貫通的爐壁的內(nèi)壁面?zhèn)劝l(fā)生加熱器過(guò)度加熱以及與此相伴的加熱器老化的觀點(diǎn)出發(fā)，如圖5所示，采用調(diào)整棒狀加熱器的發(fā)熱部的位置使其與內(nèi)壁面相隔50_左右的方法。可以看到原本爐壁附 近的溫度由于從爐壁的放熱而有降低的傾向，但是如果采用以上所述的棒狀加熱器的發(fā)熱部配置，則可觀察到內(nèi)壁附近的溫度降低更加顯著的現(xiàn)象。特別地，近年來(lái)，為了提高爐的生產(chǎn)率，存在擴(kuò)大爐寬的傾向。與此相伴，出現(xiàn)了爐寬度方向上的溫度不均勻的情況變嚴(yán)重，發(fā)生被燒成物的品質(zhì)不均勻的問(wèn)題。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :特開(kāi)2009-103331號(hào)公報(bào)
實(shí)用新型內(nèi)容實(shí)用新型要解決的課題本實(shí)用新型的目的在于解決上述的問(wèn)題，提供一種能夠降低伴隨著爐寬擴(kuò)大所引起的爐寬度方向上的溫度不均勻的加熱爐。解決課題的方法為解決上述課題而提出的本實(shí)用新型的方案I的加熱爐，使多個(gè)具有發(fā)熱部和非發(fā)熱部的棒狀SiC加熱器在爐寬度方向上貫通爐壁而配置在爐長(zhǎng)尺寸方向上，其特征在于，在爐長(zhǎng)尺寸方向上配置的多個(gè)棒狀SiC加熱器之間，具備保持在一側(cè)的爐壁上從而對(duì)該內(nèi)壁面附近進(jìn)行加熱的輔助加熱器。以方案I的加熱爐為基礎(chǔ)的方案2的實(shí)用新型，其特征在于，在該棒狀SiC加熱器貫通的爐壁的內(nèi)壁面?zhèn)刃纬捎星胁鄄浚摪魻頢iC加熱器中，使切槽部?jī)?nèi)成為非發(fā)熱部、使從內(nèi)壁面到爐內(nèi)側(cè)成為發(fā)熱部。以方案I或方案2的加熱爐為基礎(chǔ)的方案3的實(shí)用新型，其特征在于，將輔助加熱器在爐長(zhǎng)尺寸方向上與該棒狀SiC加熱器交替配置。以方案1-3任一方案所述的加熱爐為基礎(chǔ)的方案4的實(shí)用新型，其特征在于，輔助加熱器具有棒狀，從爐壁突出的突出部為爐寬的1/20-1/5。以方案1-3任一方案所述的加熱爐為基礎(chǔ)的方案5的實(shí)用新型，其特征在于，輔助加熱器具有2字狀。實(shí)用新型效果[0016]以前從避免SiC加熱器貫通的爐壁的內(nèi)壁面?zhèn)劝l(fā)生加熱器過(guò)度加熱以及與此相伴的加熱器老化的觀點(diǎn)出發(fā)，如圖5所示，采用了調(diào)整加熱器的發(fā)熱部的位置使其與內(nèi)壁面相隔50mm左右的方法，而該結(jié)構(gòu)會(huì)引起內(nèi)壁面附近出現(xiàn)爐內(nèi)溫度降低的現(xiàn)象，但本實(shí)用新型的加熱爐結(jié)合了如下結(jié)構(gòu)，由此避免了現(xiàn)有技術(shù)中內(nèi)壁附近發(fā)生爐內(nèi)溫度降低的現(xiàn)象，所述結(jié)構(gòu)為，在爐寬度方向上貫通爐壁而配置的加熱爐具備保持在一側(cè)的爐壁而對(duì)內(nèi)壁面附近進(jìn)行加熱的輔助加熱器的結(jié)構(gòu)。S卩，根據(jù)本實(shí)用新型，能夠避免現(xiàn)有的內(nèi)壁附近發(fā)生爐內(nèi)溫度降低的現(xiàn)象，因此，即使在以爐的生產(chǎn)率提高為目的而擴(kuò)大爐寬的情況下，也能夠有效控制爐寬度方向的溫度不均勻的現(xiàn)象。此外，進(jìn)ー步地，如果在棒狀SiC加熱器貫通的爐壁的內(nèi)壁面?zhèn)刃纬汕胁鄄?，該棒狀SiC加熱器還具備使切槽部?jī)?nèi)成為非發(fā)熱部、使內(nèi)壁面到爐內(nèi)側(cè)成為發(fā)熱部的結(jié)構(gòu)，根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能更有效控制爐寬度方向的溫度不均勻的現(xiàn)象。

圖I是本實(shí)施方案的加熱爐的爐寬度方向放大剖面圖。圖2是圖I的沿A-A線的剖面圖。圖3是圖I的沿A-A線的剖面圖。(關(guān)于輔助加熱器的其他實(shí)施方案)圖4是使用在本實(shí)施方案的加熱爐的棒狀SiC加熱器的構(gòu)成說(shuō)明圖和爐內(nèi)溫度分布圖。圖5是使用在現(xiàn)有技術(shù)的加熱爐的棒狀SiC加熱器的構(gòu)成說(shuō)明圖和爐內(nèi)溫度分布圖。
具體實(shí)施方案以下，對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方案進(jìn)行說(shuō)明。圖I示出了表示本實(shí)施方案的加熱爐的爐寬度方向的放大剖面圖。本實(shí)施方案的加熱爐是輥道窯，爐體I是眾所周知的隧道結(jié)構(gòu)，在其內(nèi)部以一定間距配置有多個(gè)搬送用的棍子2。各棍子2是高溫強(qiáng)度優(yōu)秀的Si-SiC制品，并通過(guò)設(shè)置在爐外的驅(qū)動(dòng)裝置以一定速度被驅(qū)動(dòng)。此外Si-SiC是含浸Si的致密的SiC，在1300°C下具有250MN/m2的高強(qiáng)度。另外其材質(zhì)還具有優(yōu)秀的耐蠕變性、抗氧化性、紅外線放射性。作為被燒成物的粉體容納于陶制的匣缽3，排列多個(gè)匣缽3的狀態(tài)下搬送到棍子2上，并在500-1200°C下進(jìn)行熱處理。在爐內(nèi)6的上部和下部，分別在爐寬度方向上貫通爐壁4而配置有棒狀SiC加熱器5。另外，如圖2所示，在爐長(zhǎng)尺寸方向上交替配置有該棒狀SiC加熱器5和輔助加熱器9。從棒狀SiC加熱器5的爐壁突出的突出部，當(dāng)小于爐寬的1/20吋，無(wú)法取得用于輔助壁面溫度的加熱輸出，當(dāng)超過(guò)爐寬的1/5時(shí)，輔助加熱器可能會(huì)對(duì)爐的中心部分的溫度容易變高的區(qū)域產(chǎn)生影響，因此，優(yōu)選從棒狀SiC加熱器5的爐壁突出的突出部為爐寬的1/20-1/5。但是，只要輔助加熱器保持在一側(cè)的爐壁4從而具有加熱該爐壁4附近的功能就可以，本實(shí)施方案中，使用了棒狀輔助加熱器9，但輔助加熱器9的形狀等無(wú)特別限制，例如，也可使用如圖3所示的-字狀。如圖4所示，棒狀SiC加熱器5具有用于進(jìn)行發(fā)熱的發(fā)熱部51、和不進(jìn)行發(fā)熱的非發(fā)熱部52b。在爐壁4的內(nèi)壁面7側(cè)形成有錐體形狀的切槽部8，棒狀SiC加熱器5中，使切槽部?jī)?nèi)成為非發(fā)熱部52b、使從內(nèi)壁面7到爐內(nèi)6側(cè)成為發(fā)熱部51。以前從避免SiC加熱器貫通的爐壁4的內(nèi)壁面7側(cè)發(fā)生加熱器過(guò)度加熱以及與此相伴的加熱器老化的觀點(diǎn)出發(fā)，如圖5所示，采用了調(diào)整棒狀加熱器5的發(fā)熱部51的位置使其與內(nèi)壁面7相隔50mm左右的方法，而由于該結(jié)構(gòu)會(huì)引起內(nèi)壁面7附近出現(xiàn)爐內(nèi)溫度降低的現(xiàn)象，但本實(shí)用新型的加熱爐結(jié)合了如下結(jié)構(gòu)，由此可避免了現(xiàn)有技術(shù)中內(nèi)壁附近發(fā)生爐內(nèi)溫度降低的現(xiàn)象，所述結(jié)構(gòu)為，在爐寬度方向上貫通爐壁而配置的加熱爐具備保持 在一側(cè)的爐壁而對(duì)內(nèi)壁面附近進(jìn)行加熱的輔助加熱器的結(jié)構(gòu)。本實(shí)施方案中，通過(guò)結(jié)合如下兩個(gè)結(jié)構(gòu)，從而能更有效避免該現(xiàn)象，所述兩個(gè)結(jié)構(gòu)分別為在棒狀SiC加熱器5貫通的 爐壁4的內(nèi)壁面7側(cè)形成切槽部8，并使配置在棒狀SiC加熱器的切槽部8內(nèi)的部分成為非發(fā)熱部52b、使從內(nèi)壁面到配置于爐內(nèi)側(cè)的部分成為發(fā)熱部51的結(jié)構(gòu)；和具備保持在一側(cè)的爐壁4從而對(duì)內(nèi)壁面7附近進(jìn)行加熱的輔助加熱器9的結(jié)構(gòu)。S卩，根據(jù)本實(shí)用新型，能夠避免現(xiàn)有的在內(nèi)壁附近爐內(nèi)溫度降低的現(xiàn)象，因此，即使在以提高爐的生產(chǎn)率為目的而擴(kuò)大爐寬的情況下，也能夠有效控制爐寬度方向上的溫度不均勻的現(xiàn)象。附圖標(biāo)記I 爐體2 棍子3 匣缽4 爐壁5棒狀SiC加熱器51發(fā)熱部52b非發(fā)熱部6 爐內(nèi)7內(nèi)壁面8切槽部9輔助加熱器
權(quán)利要求1.ー種加熱爐，使多個(gè)具有發(fā)熱部和非發(fā)熱部的棒狀SiC加熱器在爐寬度方向上貫通爐壁而配置在爐長(zhǎng)尺寸方向上，其特征在干， 在爐長(zhǎng)尺寸方向上配置的多個(gè)棒狀SiC加熱器之間，具備保持在一側(cè)的爐壁上從而對(duì)該內(nèi)壁面附近進(jìn)行加熱的輔助加熱器。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的加熱爐，其特征在干， 在該棒狀SiC加熱器貫通的爐壁的內(nèi)壁面?zhèn)刃纬捎星胁鄄浚? 該棒狀SiC加熱器中，使切槽部?jī)?nèi)成為非發(fā)熱部、使從內(nèi)壁面到爐內(nèi)側(cè)成為發(fā)熱部。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的加熱爐，其特征在于，將輔助加熱器在爐長(zhǎng)尺寸方向上與該棒狀SiC加熱器交替配置。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的加熱爐，其特征在于，輔助加熱器具有棒狀，從爐壁突出的突出部為爐寬的1/20-1/5。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的加熱爐，其特征在于，輔助加熱器具有コ字狀。
專利摘要本實(shí)用新型的課題在于，提供一種能夠降低伴隨著爐寬擴(kuò)大而引起的爐寬度方向的溫度不均勻的加熱爐。其解決方法如下，在使多個(gè)具有發(fā)熱部(51)和非發(fā)熱部(52b)的棒狀SiC加熱器(5)在爐寬度方向上貫通爐壁而配置于爐長(zhǎng)尺寸方向上的加熱爐中，在配置在爐長(zhǎng)尺寸方向上的多個(gè)棒狀SiC加熱器(5)之間具備保持在一側(cè)的爐壁(4)從而對(duì)該內(nèi)壁面7附近進(jìn)行加熱的輔助加熱器(9)。
文檔編號(hào)F27D11/02GK202547402SQ20122009136
公開(kāi)日2012年11月21日 申請(qǐng)日期2012年3月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月22日
發(fā)明者伊藤倫弘 申請(qǐng)人:Ngk凱倫泰克株式會(huì)社, 日本礙子株式會(huì)社