專(zhuān)利名稱(chēng)：硅塊干燥箱的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于一種干燥設(shè)備，具體是用于硅塊清洗之后，對(duì)硅塊進(jìn)行干燥處理
的設(shè)備。
背景技術(shù)：
在硅片生產(chǎn)加工工藝中，需要對(duì)硅塊進(jìn)行清洗，清洗之后，要很快地進(jìn)行干燥處理?，F(xiàn)用的干燥設(shè)備就是普通的烘干箱，用這種烘干箱對(duì)清洗后的硅塊進(jìn)行烘干，速度慢，效率低，烘干的效果不理想，特別是不能在線生產(chǎn)。因此，需要提出一種使用方便，操作簡(jiǎn)便快捷，效率和效果更好的硅塊干燥設(shè)備。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，提出一種硅塊干燥箱，該干燥箱，對(duì)硅塊進(jìn)行烘干，或進(jìn)行其他干燥工藝的效率高，效果更理想，操作簡(jiǎn)便。 本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的硅塊干燥箱，設(shè)有箱體、箱蓋，其特征在于所述箱體為上開(kāi)口 ，開(kāi)口處設(shè)有上蓋和密封圈，并設(shè)有一個(gè)控制上蓋開(kāi)合的氣缸，在箱體的內(nèi)壁上和箱底設(shè)有電熱板，箱體上還設(shè)有排氣口和進(jìn)氣口 ，所述排氣口與真空泵連通，進(jìn)氣口與氮?dú)庠催B通。
在箱體上設(shè)有與箱體內(nèi)部連通的真空壓力開(kāi)關(guān)。[0006] 在箱體內(nèi)設(shè)有熱電偶。 本實(shí)用新型的工作過(guò)程啟動(dòng)氣缸打開(kāi)上蓋，放入工件，啟動(dòng)氣缸關(guān)閉上蓋，啟動(dòng)電熱板加熱，加熱一段時(shí)間后，對(duì)箱體內(nèi)抽真空，排出水蒸汽，待干燥后，向箱體內(nèi)充氮?dú)?，真空壓力開(kāi)關(guān)檢測(cè)到氮?dú)獬淙牒螅瑔?dòng)氣缸打開(kāi)上蓋，取出工件。 本實(shí)用新型在干燥過(guò)程中對(duì)箱體抽真空，加速了干燥過(guò)程，充氮?dú)忾_(kāi)蓋，實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)控制，干燥快，效率高，效果好。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明實(shí)施例參見(jiàn)附圖，硅塊干燥箱，設(shè)有箱體、箱蓋，其特征在于所述箱體為上開(kāi)口，開(kāi)口處設(shè)有上蓋12和密封圈11，設(shè)有一個(gè)控制該上蓋開(kāi)合的氣缸3，在箱體的內(nèi)壁上和箱底設(shè)有電熱板6、8，箱體上還設(shè)有排氣口 l和進(jìn)氣口 7，所述排氣口與真空泵連通，進(jìn)氣口與氮?dú)庠催B通。在箱體上設(shè)有與箱體內(nèi)部連通的真空壓力開(kāi)關(guān)2。在箱體內(nèi)設(shè)有熱電偶5。[0011] 本實(shí)用新型經(jīng)試用效果非常好。
權(quán)利要求一種硅塊干燥箱，設(shè)有箱體、箱蓋，其特征在于所述箱體為上開(kāi)口，開(kāi)口處設(shè)有上蓋(12)和密封圈(11)，設(shè)有一個(gè)控制該上蓋開(kāi)合的氣缸(3)，在箱體的內(nèi)壁上和箱底設(shè)有電熱板(6、8)，箱體上還設(shè)有排氣口(1)和進(jìn)氣口(7)，所述排氣口與真空泵連通，進(jìn)氣口與氮?dú)庠催B通。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅塊干燥箱，其特征在于在箱體上設(shè)有與箱體內(nèi)部連通的真空壓力開(kāi)關(guān)(2)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的硅塊干燥箱，其特征在于在箱體內(nèi)設(shè)有熱電偶(5)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅塊干燥箱，設(shè)有箱體、箱蓋，其特征在于所述箱體為上開(kāi)口，開(kāi)口處設(shè)有上蓋(12)和密封圈(11)，設(shè)有一個(gè)控制該上蓋開(kāi)合的氣缸(3)，在箱體的內(nèi)壁上和箱底設(shè)有電熱板(6、8)，箱體上還設(shè)有排氣口(1)和進(jìn)氣口(7)，所述排氣口與真空泵連通，進(jìn)氣口與氮?dú)庠催B通。在箱體上設(shè)有與箱體內(nèi)部連通的真空壓力開(kāi)關(guān)(2)。在箱體內(nèi)設(shè)有熱電偶(5)。本實(shí)用新型適用于硅塊清洗之后，對(duì)硅塊進(jìn)行干燥處理，實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)控制，干燥快，效率高，效果好。
文檔編號(hào)F26B7/00GK201438071SQ20092010965
公開(kāi)日2010年4月14日 申請(qǐng)日期2009年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月30日
發(fā)明者杜飛龍, 王晨 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司