專利名稱：循環(huán)式基板燒成爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種循環(huán)式基板燒成爐，該循環(huán)式基板燒成爐一邊使熱風(fēng)循環(huán)，一邊 對(duì)液晶顯示裝置用玻璃基板、PDP(等離子體顯示屏(plasma displaypanel))用玻璃基板 和半導(dǎo)體晶片等的薄板形狀電子部件用基板(以下，簡(jiǎn)稱"基板")進(jìn)行燒成處理。
背景技術(shù)：
作為濾色片(color filter)的制造工序之一，有燒成玻璃基板的工序，該玻璃基 板通過噴墨而附著有彩色墨(color ink)。通過在升溫到規(guī)定的燒成溫度的燒成爐中并在 大氣環(huán)境下將玻璃基板保持規(guī)定時(shí)間，來進(jìn)行該燒成工序。另外，在玻璃基板上形成金屬配 線時(shí)，在同樣的燒成爐中，在氮?dú)獾确腔钚詺怏w環(huán)境下燒成玻璃基板。在所有的燒成處理工 序中，由于玻璃基板上的彩色墨等被燒成物所含有的有機(jī)溶劑揮發(fā)或者氧化，所以產(chǎn)生很 多有機(jī)物并擴(kuò)散到環(huán)境中。 由此，在燒成處理中不斷地將清潔的熱風(fēng)送到燒成爐中，并且也連續(xù)將氣體排出， 使得有機(jī)物不會(huì)滯留在燒成爐中。因?yàn)椴荒苁购写罅繌臒蔂t排出的有機(jī)物的氣體直接 地放出到外部氣體中，所以通過洗滌器(scrubber)等實(shí)施收集排氣中的有機(jī)物的處理。
但是，若通過洗滌器處理來自燒成爐的熱排氣，則被帶走的熱能非常多，能量利用 效率差，因此也使用如下的循環(huán)式燒成爐，B卩，通過循環(huán)利用暫時(shí)排出的熱風(fēng)，來盡量減少
白白排出的熱能。在循環(huán)式燒成爐中，使燒成爐產(chǎn)生的熱排氣的一部分排出到外部，并且導(dǎo) 入與其量相當(dāng)?shù)男迈r的外部氣體。 即使是循環(huán)式燒成爐，也在排氣管路或者循環(huán)管路中設(shè)置催化劑，以分解除去有 機(jī)物。為了充分地分解有機(jī)物，而需要使催化劑溫度達(dá)到規(guī)定溫度以上，特別是在排氣管路 中設(shè)置有催化劑的情況下，因?yàn)榕艢鉁囟却蠓陆?，所以必須需要用于加熱催化劑的另?單獨(dú)的加熱器。關(guān)于在排氣管路中設(shè)置加熱器和催化劑，檢測(cè)催化劑的出口側(cè)溫度來控制 加熱器溫度的技術(shù)，公開在例如專利文獻(xiàn)1中。
專利文獻(xiàn)1 :JP特開2005-338840號(hào)公報(bào)。 但是，在用于將氣體排出到外部的排氣管路上附加僅用于加熱催化劑的加熱器造 成大的熱損失，從而成為產(chǎn)生高成本的主要原因。另外，若在循環(huán)管路上設(shè)置有催化劑的情 況下還設(shè)置附加的加熱器，則不僅成為成本提高的主要原因，還存在難于控制燒成溫度的 問題。即，對(duì)用于使氣體在燒成爐中循環(huán)的主要的加熱器和催化劑用的輔助加熱器，需要分 別控制溫度，這兩個(gè)加熱器都設(shè)置在循環(huán)管路上，因此互相成為干擾的主要原因，從而溫度 的變動(dòng)顯著。其結(jié)果是，喪失燒成爐的燒成溫度的穩(wěn)定性，在燒成處理的再現(xiàn)性上出現(xiàn)問 題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述課題而作出的，其目的在于提供一種熱損失少并且能夠獲得穩(wěn) 定的燒成溫度的循環(huán)式基板燒成爐。
為了解決上述問題，技術(shù)方案1的發(fā)明是使熱風(fēng)循環(huán)來進(jìn)行基板的燒成處理的循 環(huán)式基板燒成爐，其特征在于，具有爐體主體部，其在內(nèi)部容置基板；循環(huán)路徑，其使從所 述爐體主體部排出的熱風(fēng)循環(huán)，并再次供給到所述爐體主體部中；循環(huán)扇，其設(shè)置在所述循
環(huán)路徑上，使熱風(fēng)循環(huán)；主加熱器，其用于加熱在所述循環(huán)路徑中循環(huán)的熱風(fēng)；催化劑過濾 部，其設(shè)置在所述循環(huán)路徑上，具有擔(dān)載催化劑的金屬過濾器(metal filter);捕獲裝置， 其設(shè)置在所述循環(huán)路徑上，用于捕獲二氧化碳和/或水分。 另外，技術(shù)方案2的發(fā)明是在技術(shù)方案l的發(fā)明的基礎(chǔ)上的循環(huán)式基板燒成爐， 其特征在于，所述捕獲裝置包括兩個(gè)捕獲塔，所述兩個(gè)捕獲塔并列設(shè)置在兩個(gè)流路上，其 中，所述兩個(gè)流路在所述循環(huán)路徑的中途被分支為兩叉并再次合流，該循環(huán)式基板燒成爐 具有切換裝置，其擇一地切換所述兩個(gè)流路，使得熱風(fēng)在所述兩個(gè)捕獲塔中的某一個(gè)中通 過；切換控制部，其用于控制所述切換裝置的切換時(shí)機(jī)(timing)。 另外，技術(shù)方案3的發(fā)明是在技術(shù)方案2的發(fā)明的基礎(chǔ)上的循環(huán)式基板燒成爐，其 特征在于，所述兩個(gè)捕獲塔是吸附二氧化碳和/或水分的兩個(gè)吸附塔。
另外，技術(shù)方案4的發(fā)明是在技術(shù)方案2的發(fā)明的基礎(chǔ)上的循環(huán)式基板燒成爐，其 特征在于，所述兩個(gè)捕獲塔是吸收二氧化碳的兩個(gè)吸收塔。 另外，技術(shù)方案5的發(fā)明是在技術(shù)方案4的發(fā)明的基礎(chǔ)上的循環(huán)式基板燒成爐， 其特征在于，所述兩個(gè)吸收塔分別具有二氧化碳的吸收材料；用于使所吸收的二氧化碳 從所述吸收材料放出的放出用加熱器；用于回收從所述吸收材料放出的二氧化碳的回收系 統(tǒng)。 另外，技術(shù)方案6的發(fā)明是在技術(shù)方案1 5中任一項(xiàng)的發(fā)明的基礎(chǔ)上的循環(huán)式 基板燒成爐，其特征在于，所述催化劑過濾部設(shè)置于所述循環(huán)路徑中的所述爐體主體部的 下游側(cè)且位于所述爐體主體部至所述捕獲裝置之間。 另外，技術(shù)方案7的發(fā)明是在技術(shù)方案1 5中任一項(xiàng)的發(fā)明的基礎(chǔ)上的循環(huán)式 基板燒成爐，其特征在于，所述催化劑過濾部設(shè)置于所述循環(huán)路徑中的所述主加熱器的下 游側(cè)且位于所述主加熱器至所述爐體主體部之間。 另外，技術(shù)方案8的發(fā)明是在技術(shù)方案2 5中任一項(xiàng)的發(fā)明的基礎(chǔ)上的循環(huán)式
基板燒成爐，其特征在于，所述催化劑過濾部分別設(shè)置在所述兩個(gè)流路上。 另外，技術(shù)方案9的發(fā)明是在技術(shù)方案1的發(fā)明的基礎(chǔ)上的循環(huán)式基板燒成爐，其
特征在于，所述催化劑包括光催化劑，所述催化劑過濾部具有光照射裝置，所述光照射裝置
用于向所述光催化劑照射光。 另外，技術(shù)方案10的發(fā)明是在技術(shù)方案1的發(fā)明的基礎(chǔ)上的循環(huán)式基板燒成爐， 其特征在于，在所述爐體主體部的熱風(fēng)導(dǎo)入口具有金屬過濾器。 根據(jù)本發(fā)明，從爐體主體部排出的熱風(fēng)在循環(huán)路徑中循環(huán)的過程中流入到催化劑 過濾部中，從而熱風(fēng)中所含有的有機(jī)物被分解，因此不需要用于加熱催化劑的另外單獨(dú)的 加熱器，能夠使熱損失減少。另外，爐體主體部?jī)?nèi)部的燒成溫度能夠僅通過控制主加熱器來 調(diào)整，從而容易控制溫度，能夠獲得穩(wěn)定的燒成溫度。 特別是，根據(jù)技術(shù)方案2的發(fā)明，擇一地將用于熱風(fēng)通過的捕獲塔切換為其中某 一個(gè)，因此能夠在使用某一個(gè)捕獲塔的期間，進(jìn)行另一個(gè)捕獲塔的再生處理，從而能夠抑制 伴隨維護(hù)而引起的基板燒成爐的運(yùn)轉(zhuǎn)率低下。
特別是，根據(jù)技術(shù)方案6的發(fā)明，催化劑過濾部設(shè)置于循環(huán)路徑中的爐體主體部 的下游側(cè)且位于爐體主體部至捕獲裝置之間，因此從爐體主體部排出的熱風(fēng)直接流入到催 化劑過濾部，從而能夠高效率地分解熱風(fēng)中所含有的有機(jī)物。 特別是，根據(jù)技術(shù)方案7的發(fā)明，催化劑過濾部設(shè)置于循環(huán)路徑中的主加熱器的 下游側(cè)且位于主加熱器至爐體主體部之間，因此剛被主加熱器加熱的熱風(fēng)流入到催化劑過 濾部中，從而能夠高效率地分解熱風(fēng)中所含有的有機(jī)物。 特別是，根據(jù)技術(shù)方案8的發(fā)明，催化劑過濾部分別設(shè)置在兩個(gè)流路上，因此在切 換捕獲塔的同時(shí)，也能夠切換使用的催化劑過濾部，從而能夠與進(jìn)行捕獲塔的再生處理一 起進(jìn)行催化劑過濾部的維護(hù)，不必為了催化劑過濾部的維護(hù)使基板燒成爐停止，從而提高 基板燒成爐的運(yùn)轉(zhuǎn)率。 特別是，根據(jù)技術(shù)方案9的發(fā)明，擔(dān)載在金屬過濾器上的催化劑包括光催化劑，因 此也能夠完全分解殘留附著在金屬過濾器上的有機(jī)物。 特別是，根據(jù)技術(shù)方案10的發(fā)明，在爐體主體部的熱風(fēng)導(dǎo)入口具有金屬過濾器， 因此在催化劑過濾部未被完全分解而殘留的有機(jī)物也被去除，從而能夠進(jìn)一步提高導(dǎo)入到 爐體主體部的熱風(fēng)的清潔度。


圖1是表示第一實(shí)施方式的循環(huán)式基板燒成爐的整體結(jié)構(gòu)的圖。 圖2是表示第二實(shí)施方式的循環(huán)式基板燒成爐的整體結(jié)構(gòu)的圖。 圖3是表示第三實(shí)施方式的循環(huán)式基板燒成爐的整體結(jié)構(gòu)的圖。 圖4是表示第四實(shí)施方式的循環(huán)式基板燒成爐的整體結(jié)構(gòu)的圖。 圖5是表示第五實(shí)施方式的循環(huán)式基板燒成爐的整體結(jié)構(gòu)的圖。 圖6是表示第六實(shí)施方式的循環(huán)式基板燒成爐的整體結(jié)構(gòu)的圖。 圖7是表示第七實(shí)施方式的吸收塔的圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖詳細(xì)地說明本發(fā)明的實(shí)施方式。此外，在本說明書中，所謂"捕獲 (tr即)"是包含物理上吸引取入二氧化碳等的分解生成物的"吸附"和通過化學(xué)反應(yīng)取入分 解生成物的"吸收"這兩者的概念用語。
〈1.第一實(shí)施方式> 圖1是表示本發(fā)明的循環(huán)式基板燒成爐的第一實(shí)施方式的整體結(jié)構(gòu)的圖。該基板 燒成爐一邊循環(huán)利用熱風(fēng)一邊對(duì)濾色片用的載有彩色墨等的方形玻璃基板W進(jìn)行燒成處 理，該基板燒成爐具有容置玻璃基板W來進(jìn)行燒成處理的爐體主體部10、用于使熱風(fēng)循環(huán) 的循環(huán)路徑20、使用于分解有機(jī)物的催化劑擔(dān)載在過濾器上的催化劑過濾部70、用于吸附 熱風(fēng)中所含有的水分及二氧化碳的吸附塔30、循環(huán)扇40、用于加熱熱風(fēng)的主加熱器52、金 屬過濾器54。另外，在基板燒成爐上設(shè)置有控制部90。 爐體主體部10是能夠多層(在本實(shí)施方式為40層)地容置玻璃基板W的框體。 爐體主體部10的內(nèi)側(cè)形成為大致四棱柱形狀的熱處理空間。在爐體主體10的內(nèi)壁表面，內(nèi) 置有多個(gè)未圖示的叉子(fork)。各叉子從爐體主體部10的內(nèi)壁表面向熱處理空間沿水平方向延伸設(shè)置。由沿水平方向排列的多個(gè)叉子構(gòu)成一層的架子，這樣的架子形成有40層。 能夠在各層的架子上以水平姿勢(shì)裝載一個(gè)玻璃基板W。 在爐體主體部10的主面?zhèn)?圖1的紙面左側(cè))設(shè)置有百葉窗式(louvertype)的 閘門(shutter) 11。閘門11是將多個(gè)百葉板層疊為多層而構(gòu)成的。在各百葉板上附設(shè)有 未圖示的升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，能夠?qū)γ總€(gè)百葉板進(jìn)行升降。在附圖外的搬運(yùn)機(jī)械手相對(duì)于爐體
主體部io搬出搬入玻璃基板w時(shí)，以僅使與搬出搬入目的地的架子相向的部位成為訪問
(access)用開口的方式，使與該架子大致處于相同高度位置的百葉板上升。這樣一來，能夠 使玻璃基板W搬出搬入時(shí)的開口形成為需要的最小限度，并能夠?qū)㈦S著搬出搬入而引起的 熱能的流失控制在最小限度。此外，在驅(qū)動(dòng)閘門11的比較靠下部的百葉板時(shí)，也連動(dòng)地驅(qū) 動(dòng)位于該百葉板上層的百葉板，因此越是下部的百葉板，越需要設(shè)置能夠獲得較大的輸出 的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。 在爐體主體部10的側(cè)面，相向地設(shè)置用于將熱風(fēng)導(dǎo)入到內(nèi)部熱處理空間中的熱 風(fēng)導(dǎo)入口 12和用于排出熱風(fēng)的熱風(fēng)排氣口 14。即，從爐體主體部10的一個(gè)側(cè)面供給的熱 風(fēng)在熱處理空間內(nèi)沿玻璃基板W的表面在水平方向上流動(dòng)，然后流入到相反一側(cè)的側(cè)面。 熱風(fēng)導(dǎo)入口 12及熱風(fēng)排氣口 14至少設(shè)置在爐體主體部10的內(nèi)壁表面中的與容置玻璃基 板W的多層架子整體相對(duì)應(yīng)的高度位置上。由此，能夠向容置在爐體主體部10中的多張玻 璃基板W均勻地供給熱風(fēng)，以進(jìn)行均勻的燒成處理。 循環(huán)路徑20是氣體能夠通過的流路，連通爐體主體部10的熱風(fēng)排氣口 14和熱風(fēng)
導(dǎo)入口 12，能夠使從爐體主體部IO排出的熱風(fēng)循環(huán)，將其再次供給到爐體主體部10中。在
循環(huán)路徑20的路徑中途設(shè)置有催化劑過濾部70、吸附塔30、循環(huán)扇40及主加熱器52。在
第一實(shí)施方式中，在循環(huán)路徑20中的爐體主體部10的下游側(cè)且在爐體主體部IO至吸附塔
30之間，設(shè)置有催化劑過濾部70。此外，所說的循環(huán)路徑20的上游側(cè)是靠近爐體主體部10
的熱風(fēng)排氣口 14的一側(cè)，相反地，所說的下游側(cè)是靠近熱風(fēng)導(dǎo)入口 12的一側(cè)。 催化劑過濾部70具有催化劑過濾器71，該催化劑過濾器71使發(fā)揮催化劑功能的
白金(Pt)或者鉑銠(Pt-Rh)的粒子擔(dān)載在的金屬過濾器上，該金屬過濾器由耐熱性好的金
屬制的網(wǎng)(mesh)(在第一實(shí)施方式中為不銹鋼制的網(wǎng))構(gòu)成。催化劑過濾部70兼具用于
分解熱風(fēng)中所含有的有機(jī)物的催化劑的功能和作為去除顆粒的過濾器的功能。 兩個(gè)吸附塔30、30并列設(shè)置在循環(huán)路徑20的中途。S卩，循環(huán)路徑20在其路徑中
途的一個(gè)部位被分支為兩個(gè)流路20a、20b，在這些被分支而成的兩個(gè)流路20a、20b上分別
設(shè)置有吸附塔30。被分支為兩叉而成的兩個(gè)流路20a、20b再次合流。各吸附塔30在其內(nèi)
部填充有用于吸附二氧化碳(C02)及水分(H20)的吸附劑(在第一實(shí)施方式中為活性碳)。
在循環(huán)路徑20中流動(dòng)的熱風(fēng)通過吸附塔30，由此從熱風(fēng)中除去二氧化碳及水分。 另外，在兩個(gè)吸附塔30上分別設(shè)置有用于回收二氧化碳及水分的旁通管路
(bypass line)34，并且分別附設(shè)有用于從吸附劑釋放出所吸附的二氧化碳及水分的再生
用加熱器33。若通過再生用加熱器33加熱吸附了二氧化碳及水分的吸附劑，則從該吸附劑
釋放出所吸附的二氧化碳及水分。旁通管路34通過向吸附塔30施加與循環(huán)路徑20的流
路20a、20b反方向的壓力差，來回收從吸附劑放出的二氧化碳及水分。 兩個(gè)吸附塔30、30被擇一地使用。具體地說，有選擇地僅開放被分支的兩個(gè)流路
20a、20b中的一個(gè)，以使在循環(huán)路徑20中流動(dòng)的熱風(fēng)僅在兩個(gè)吸附塔30中的某一個(gè)中通
6過。這種流路的切換通過4個(gè)蝶閥(butterfly damper) 31a、31b、32a、32b來執(zhí)行。在打開 蝶閥31a、31b，關(guān)閉蝶閥32a、32b時(shí)，流路20a開放，僅選擇使用圖1中紙面左側(cè)的吸附塔 30。相反，在打開蝶閥32a、32b，關(guān)閉蝶閥31a、31b時(shí)，流路20b開放，僅選擇使用圖1中紙 面右側(cè)的吸附塔30。 S卩，蝶閥31a、31b、32a、32b發(fā)揮切換裝置的功能，擇一地切換熱風(fēng)的流 路20a、20b，使得熱風(fēng)在兩個(gè)吸附塔30、30中的某一個(gè)中通過。 循環(huán)扇40具有未圖示的馬達(dá)和旋轉(zhuǎn)葉片，馬達(dá)使旋轉(zhuǎn)葉片旋轉(zhuǎn)，由此在循環(huán)路徑 20中產(chǎn)生從上游側(cè)向下游側(cè)的熱風(fēng)的循環(huán)氣流(也就是說，從熱風(fēng)排氣口 14向熱風(fēng)導(dǎo)入口 12的氣流)。主加熱器52是通過通電發(fā)熱來對(duì)在循環(huán)路徑20中循環(huán)的熱風(fēng)進(jìn)行加熱的熱 源。 金屬過濾器54附設(shè)在爐體主體部10的熱風(fēng)導(dǎo)入口 12上。S卩，金屬過濾器54設(shè) 置在循環(huán)路徑20的終端，金屬過濾器54的熱風(fēng)出口直接連接在爐體主體部10的熱風(fēng)導(dǎo)入 口 12上。金屬過濾器54去除熱風(fēng)中所含有的顆粒，以形成清潔的熱風(fēng)。
作為設(shè)置在基板燒成爐上的控制部90的硬件的結(jié)構(gòu)與通常的計(jì)算機(jī)相同。即，控 制部90具有進(jìn)行各種運(yùn)算處理的CPU、用于存儲(chǔ)基本程序的只讀存儲(chǔ)器即ROM、用于存儲(chǔ)各 種信息的自由讀寫的存儲(chǔ)器即RAM及預(yù)先存儲(chǔ)有控制用應(yīng)用程序和數(shù)據(jù)等的磁盤等?？刂?部90與4個(gè)蝶閥31a、31b、32a、32b分別電連接，以控制它們的動(dòng)作。另外，控制部90也控 制基板燒成爐整體的各動(dòng)作機(jī)構(gòu)(循環(huán)扇40、主加熱器52、閘門11的升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)等)的 動(dòng)作。 下面，對(duì)具有上述結(jié)構(gòu)的循環(huán)式基板燒成爐的動(dòng)作內(nèi)容進(jìn)行說明。首先，在燒成處 理中，搬運(yùn)機(jī)械手以一定間隔依次將玻璃基板W搬入到爐體主體部10中，然后交到規(guī)定層 的架子上。裝載在構(gòu)成架子的叉子上的玻璃基板W因來自熱風(fēng)導(dǎo)入口 12的熱風(fēng)而升溫到 燒成溫度。然后，由搬運(yùn)機(jī)械手搬出在爐體主體部10內(nèi)經(jīng)過了規(guī)定的燒成時(shí)間的玻璃基板 W。 如本實(shí)施方式，在玻璃基板W上所載有的被燒成物是彩色墨的情況下，加熱空氣 被循環(huán)，爐體主體部IO成為空氣環(huán)境，但在被燒成物是金屬配線材料(有機(jī)金屬)的情況 下，成為氮?dú)獾确腔钚詺怏w環(huán)境(也就是說，加熱的非活性氣體循環(huán))。無論被燒成物是哪 種，玻璃基板W上的被燒成物所含有的有機(jī)溶劑通過燒成處理而揮發(fā)或者氧化，由此產(chǎn)生 很多有機(jī)物并擴(kuò)散到爐體主體部10內(nèi)的環(huán)境中。然后，含有有機(jī)物的熱氣體作為熱排氣 (熱風(fēng))從爐體主體部10的熱風(fēng)排氣口 14排出。 從熱風(fēng)排氣口 14排出的熱排氣通過循環(huán)扇40在循環(huán)路徑20內(nèi)循環(huán)。在該循環(huán) 過程中，從熱風(fēng)排氣口 14排出的熱風(fēng)首先送給催化劑過濾部70。排出的熱風(fēng)在催化劑過濾 部71中通過，由此熱風(fēng)中所含有的有機(jī)物發(fā)生分解反應(yīng)。具體地說，有機(jī)物分解為水和二 氧化碳。在第一實(shí)施方式中，熱風(fēng)通過將催化劑粒子擔(dān)載在由金屬制的網(wǎng)構(gòu)成的金屬過濾 器上的催化劑過濾器71，因此能夠提高被排出的熱風(fēng)和催化劑的接觸效率，從而提高有機(jī) 物的分解效率。另外，即使在熱風(fēng)中含有以顆粒狀態(tài)通過的有機(jī)物和因升華物變?yōu)楣虘B(tài)而 形成的物質(zhì)，這些物質(zhì)也被催化劑過濾器71收集。 如第一實(shí)施方式所述，在被燒成物是彩色墨的情況下，加熱空氣作為熱風(fēng)被循環(huán)， 在催化劑過濾部70中同時(shí)發(fā)生有機(jī)物的加熱分解和氧化分解。由此，利用氧化分解所產(chǎn)生 的熱使催化劑過濾器71的溫度進(jìn)一步上升，從而能夠進(jìn)一步提高有機(jī)物的分解效率。另外，在被燒成物是金屬配線材料的情況下，被加熱的非活性氣體(氮?dú)?作為熱風(fēng)被循環(huán)， 因此在催化劑過濾部70中僅發(fā)生有機(jī)物的加熱分解。此外，即使在非活性氣體環(huán)境中進(jìn)行 燒成處理時(shí)，也可以通過具有向催化劑過濾部70輔助性地供給氧氣(或者空氣)的氧化性 氣體供給機(jī)構(gòu)，在催化劑過濾器71中發(fā)生有機(jī)物的加熱分解和氧化分解，以提高有機(jī)物的 分解效率。 如上所述，在催化劑過濾部70中有機(jī)物被分解為水和二氧化碳。通過分解產(chǎn)生的 這些分解生成物作為氣相包含在熱風(fēng)中。若熱風(fēng)中的上述分解生成物的濃度過高，則有可 能妨礙燒成處理。因此，在第一實(shí)施方式的循環(huán)式基板燒成爐中，在循環(huán)路徑20的中途設(shè) 置有兩個(gè)吸附塔30、30。吸附塔30在其內(nèi)部填充有活性碳，使熱風(fēng)通過，由此吸附除去作為 分解生成物的水分及二氧化碳。由此，熱風(fēng)中的水蒸氣及二氧化碳的濃度不會(huì)過度變高，從 而能夠使基板燒成爐長(zhǎng)期穩(wěn)定地運(yùn)轉(zhuǎn)。 兩個(gè)吸附塔30、30并列設(shè)置在循環(huán)路徑20的中途，通過4個(gè)蝶閥31a、31b、32a、 32b擇一地切換熱風(fēng)的流路20a、20b，使得熱風(fēng)僅在兩個(gè)吸附塔30、30中的某一個(gè)中通過。 因而，通過催化劑過濾部70并且有機(jī)物被分解了的熱風(fēng)流入到兩個(gè)吸附塔30、30的某一個(gè) 中，以進(jìn)行水分及二氧化碳的除去處理。 在熱風(fēng)正在通過的一個(gè)的吸附塔30中，活性碳的吸附能力逐漸降低，因此不能充 分地吸附除去水分及二氧化碳。由此，在適當(dāng)時(shí)機(jī)對(duì)使用的吸附塔30進(jìn)行切換。S卩，為了 在兩個(gè)吸附塔30中交替地通過熱風(fēng)，控制部90控制4個(gè)蝶閥31a、31b、32a、32b的切換時(shí) 機(jī)。作為對(duì)使用的吸附塔30進(jìn)行切換的時(shí)機(jī)，可以在吸附塔30的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間經(jīng)過了規(guī)定時(shí) 間的時(shí)刻進(jìn)行切換，另外，也可以在熱風(fēng)中所含有的水蒸氣或者二氧化碳的濃度超過了規(guī) 定值的時(shí)刻進(jìn)行切換。 在對(duì)使用的吸附塔30進(jìn)行切換后，進(jìn)行到此為止所使用的吸附塔30的再生處理。 再生處理只要是通過如下方式使吸附能力恢復(fù)即可，即，利用再生用加熱器33加熱吸附劑 以使吸附的水分及二氧化碳脫離，利用旁通管路34向吸附塔30施加與循環(huán)路徑20相反方 向的壓力差，來回收脫離的水分及二氧化碳。也可以通過控制部90自動(dòng)地控制此時(shí)的再生 用加熱器33的溫度。另外，作為再生處理，可以是只將吸附塔30的活性碳更換為新的活性 碳的方式。 不久，再通過控制部9來切換4個(gè)蝶閥31a、31b、32a、32b，使得熱風(fēng)在完成再生處 理而恢復(fù)了吸附能力的吸附塔30中通過。然后，同樣進(jìn)行另一個(gè)吸附塔30的再生處理。 如上述這樣，如果交替使用兩個(gè)吸附塔30、30，則能夠在不停止基板燒成爐的情況下連續(xù)運(yùn) 轉(zhuǎn)。 在吸附塔30中被除去了水分及二氧化碳的熱風(fēng)由循環(huán)扇4送出到主加熱器52而 被再次加熱。在主加熱器52中升溫的熱風(fēng)送給金屬過濾器54。在金屬過濾器54中，在催 化劑過濾部70未被完全分解而殘留的有機(jī)物也被去除，從而能夠使熱風(fēng)的清潔度進(jìn)一步 提高。在金屬過濾器54中通過了的熱風(fēng)再?gòu)臒犸L(fēng)導(dǎo)入口 12供給到爐體主體部IO的內(nèi)部。
在第一實(shí)施方式的基板燒成爐中，從爐體主體部IO排出的熱風(fēng)直接流入到催化 劑過濾部70中，熱風(fēng)中所含有的有機(jī)物被分解。因而，不需要用于加熱催化劑的另外單獨(dú) 的加熱器，從而能夠減少熱損失。另外，爐體主體部10的內(nèi)部的燒成溫度僅通過控制主加 熱器52來調(diào)整，因此容易控制溫度，能夠獲得穩(wěn)定的燒成溫度。
〈2.第二實(shí)施方式> 下面，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖2是表示第二實(shí)施方式的循環(huán)式基 板燒成爐的整體結(jié)構(gòu)的圖。在圖2中，對(duì)于與第一實(shí)施方式相同的單元標(biāo)注相同的附圖標(biāo) 記。第二實(shí)施方式的基板燒成爐與第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)為催化劑過濾部70除了催化劑 過濾器71之外還具有光源72。 在第二實(shí)施方式中，在催化劑過濾器71所擔(dān)載的催化劑的一部分中混入作為光 催化劑發(fā)揮功能的氧化鈦(Ti02)。催化劑過濾部70所具有的光源72向催化劑過濾器71 照射光。擔(dān)載在催化劑過濾器71上的光催化劑由于接收來自光源72的光而發(fā)揮催化劑作 用。關(guān)于第二實(shí)施方式的基板燒成爐的其他結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式相同。
第二實(shí)施方式的基板燒成爐的動(dòng)作內(nèi)容也與第一實(shí)施方式大致相同，與第一實(shí)施 方式相同，能夠抑制熱損失使其減少，并且獲得穩(wěn)定的燒成溫度。另外，在第二實(shí)施方式中， 在適當(dāng)?shù)臅r(shí)機(jī)從光源72向催化劑過濾器71照射光。這樣一來，催化劑過濾器71的光催 化劑接收光而發(fā)揮催化劑作用，能夠使一部分殘留附著在金屬過濾器上的有機(jī)物高效地分 解。即，能夠通過從光源72向催化劑過濾器71照射光，實(shí)施一種清洗(cleaning)處理。
〈3.第三實(shí)施方式> 下面，對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖3是表示第三實(shí)施方式的循環(huán)式基 板燒成爐的整體結(jié)構(gòu)的圖。在圖3中，對(duì)于與第一實(shí)施方式相同的單元標(biāo)注相同的附圖標(biāo) 記。第三實(shí)施方式的循環(huán)式基板燒成爐與第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)為催化劑過濾部70的配 置位置。 如圖3所示，在第三實(shí)施方式中，設(shè)置有催化劑過濾部70，所述催化劑過濾部70設(shè) 置于循環(huán)路徑20中的主加熱器52的下游側(cè)且位于主加熱器52至爐體主體部10之間。第 二實(shí)施方式的基板燒成爐的其他結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式相同。 在第三實(shí)施方式中，從爐體主體部10的熱風(fēng)排氣口 14排出并通過循環(huán)扇40在循 環(huán)路徑20內(nèi)循環(huán)的熱風(fēng)，從吸附塔30經(jīng)過主加熱器52流入到催化劑過濾部70中。剛被 主加熱器52加熱的熱風(fēng)流入到催化劑過濾部70中，因此催化劑過濾部70的催化劑溫度也 升高，熱風(fēng)中所含有的有機(jī)物被高效地分解。即，通過將催化劑過濾部70配置在主加熱器 52的后級(jí)，減小從主加熱器52到催化劑過濾部70的熱風(fēng)的溫度降低，從而催化劑過濾部 70的分解效率提高。如果含有氧氣的氣體或者加熱空氣作為熱風(fēng)循環(huán)，則在催化劑過濾部 70中同時(shí)發(fā)生有機(jī)物的加熱分解和氧化分解。由此，利用氧化分解所產(chǎn)生的熱使催化劑過 濾器71的溫度進(jìn)一步上升，從而能夠使有機(jī)物的分解效率更高。 如第三實(shí)施方式，不需要用于加熱催化劑的另外單獨(dú)的加熱器，能夠減少熱損失。 另外，爐體主體部10內(nèi)部的燒成溫度僅通過主加熱器52的控制進(jìn)行調(diào)整，因此容易控制溫 度，能夠獲得穩(wěn)定的燒成溫度。
〈4.第四實(shí)施方式〉 下面，對(duì)本發(fā)明的第四實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖4是表示第四實(shí)施方式的循環(huán)式基 板燒成爐的整體結(jié)構(gòu)的圖。在圖4中，對(duì)于與第二實(shí)施方式及第三實(shí)施方式相同的單元標(biāo) 注相同的附圖標(biāo)記。第四實(shí)施方式的循環(huán)式基板燒成爐與第三實(shí)施方式的不同點(diǎn)為催化劑 過濾部70除了催化劑過濾器71以外還具有光源72。 在第四實(shí)施方式中，與第三實(shí)施方式相同，設(shè)置有催化劑過濾部70 ，所述催化劑過濾部70設(shè)置于循環(huán)路徑20中的主加熱器52的下游側(cè)且位于主加熱器52至爐體主體部10 之間。另外，與第二實(shí)施方式相同，在催化劑過濾器71所擔(dān)載的催化劑的一部分中混入有 作為光催化劑發(fā)揮功能的氧化鈦(Ti02)。催化劑過濾部70所具有的光源72向催化劑過濾 器71照射光。擔(dān)載在催化劑過濾器71上的光催化劑通過接收來自光源72的光而發(fā)揮催 化劑作用。第四實(shí)施方式的基板燒成爐的其他結(jié)構(gòu)與第三實(shí)施方式相同。
第四實(shí)施方式的基板燒成爐的動(dòng)作內(nèi)容也與第三實(shí)施方式大致相同，與第三實(shí)施 方式同樣，能夠抑制熱損失使其減少，并且獲得穩(wěn)定的燒成溫度。另外，在第四實(shí)施方式中， 在適當(dāng)?shù)臅r(shí)機(jī)從光源72向催化劑過濾器71照射光。這樣一來，催化劑過濾器71的光催化 劑接收光而發(fā)揮催化劑作用，使一部分殘留附著在金屬過濾器上的有機(jī)物高效地分解。艮P， 通過從光源72向催化劑過濾器71照射光，能夠?qū)嵤┮环N清洗處理。
〈5.第五實(shí)施方式〉 下面，對(duì)本發(fā)明的第五實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖5是表示第五實(shí)施方式的循環(huán)式基 板燒成爐的整體結(jié)構(gòu)的圖。在圖5中，對(duì)于與第一實(shí)施方式相同的單元標(biāo)注相同的附圖標(biāo) 記。第五實(shí)施方式的循環(huán)式基板燒成爐與第一實(shí)施方式不用點(diǎn)為催化劑過濾部70的配置 位置。 如圖5所示，在第五實(shí)施方式中，在設(shè)置吸附塔30、30的兩個(gè)流路20a、20b上分別 設(shè)置有催化劑過濾部70。第五實(shí)施方式的基板燒成爐的其他結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式相同。
在第五實(shí)施方式中，從爐體主體部10的熱風(fēng)排氣口 14排出并通過循環(huán)扇40在循 環(huán)路徑20內(nèi)循環(huán)的熱風(fēng)，從催化劑過濾部70經(jīng)過吸附塔30流入到主加熱器52中。該熱 風(fēng)的通過順序本身與第一實(shí)施方式相同。因而，與第一實(shí)施方式相同，能夠抑制熱損失使其 減少，并且獲得穩(wěn)定的燒成溫度。 并且，在第五實(shí)施方式中，在兩個(gè)流路20a、20b上分別設(shè)置有催化劑過濾部70，因 此在通過4個(gè)蝶閥3la、3lb、32a、32b對(duì)使用的吸附塔30進(jìn)行切換的同時(shí)，也對(duì)使用的催化 劑過濾部70進(jìn)行切換。由此，能夠與進(jìn)行吸附塔30的再生處理一起對(duì)催化劑過濾部70進(jìn) 行維護(hù)和清洗，不必為了催化劑過濾部70的維護(hù)而使基板燒成爐停止，從而能夠提高基板 燒成爐的運(yùn)轉(zhuǎn)率。此外，不必在同一時(shí)間進(jìn)行吸附塔30及催化劑過濾部70的維護(hù)，也可以 按照各自的維護(hù)周期僅進(jìn)行某一個(gè)的維護(hù)。
〈6.第六實(shí)施方式> 下面，對(duì)本發(fā)明的第六實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖6是表示第六實(shí)施方式的循環(huán)式基 板燒成爐的整體結(jié)構(gòu)的圖。在圖6中，對(duì)于與第二實(shí)施方式及第五實(shí)施方式相同的單元標(biāo) 注相同的附圖標(biāo)記。第六實(shí)施方式的循環(huán)式基板燒成爐與第五實(shí)施方式不同點(diǎn)為催化劑過 濾部70除了催化劑過濾器71之外還具有光源72。 在第六實(shí)施方式中，與第五實(shí)施方式相同，在設(shè)置有吸附塔30、30的兩個(gè)流路 20a、20b上分別設(shè)置有催化劑過濾部70。另外，與第二實(shí)施方式相同，在催化劑過濾器71 所擔(dān)載的催化劑的一部分中混入有作為光催化劑發(fā)揮功能的氧化鈦(Ti02)。催化劑過濾部 70所具有的光源72將向催化劑過濾器71照射光。在催化劑過濾器71上擔(dān)載的光催化劑 由于接收來自光源72的光而發(fā)揮催化劑作用。第六實(shí)施方式的基板燒成爐的其他結(jié)構(gòu)與 第五實(shí)施方式相同。 第六實(shí)施方式的基板燒成爐的動(dòng)作內(nèi)容也與第五實(shí)施方式大致相同，與第五實(shí)施方式同樣地，能夠控制熱損失使其減少，并且獲得穩(wěn)定的燒成溫度。另外，在第六實(shí)施方式 中，在適當(dāng)?shù)臅r(shí)機(jī)從光源72向催化劑過濾器71照射光。這樣一來，催化劑過濾器71的光 催化劑由于接收光而發(fā)揮催化劑作用，能夠使一部分殘留附著在金屬過濾器上的有機(jī)物高 效地分解。即，能夠通過從光源72向催化劑過濾器71照射光實(shí)施一種清洗處理。
〈7.第七實(shí)施方式> 下面，對(duì)本發(fā)明的第七實(shí)施方式進(jìn)行說明。在第七實(shí)施方式中，設(shè)置有吸收塔60 來替代吸附塔30，其中，所述吸收塔60具有在比較高的溫度下吸收二氧化碳的吸收材料 61，所述吸附塔30在內(nèi)部填充有吸收二氧化碳及水分的吸附劑。圖7是表示第七實(shí)施方式 的吸收塔60的圖。在圖7中，對(duì)于與第一實(shí)施方式相同的單元標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記。
兩個(gè)吸收塔60、60并列設(shè)置在循環(huán)路徑20的中途。與第一實(shí)施方式相同，循環(huán) 路徑20在其路徑中途的一個(gè)部位被分支為兩個(gè)流路20a、20b，在這些被分支的兩個(gè)流路 20a、20b上分別設(shè)置有吸收塔60。被分支為兩叉的兩個(gè)流路20a、20b再次合流。各吸收塔 60具有在比較高的溫度下吸收二氧化碳的吸收材料61。在第七實(shí)施方式中，使用硅酸鋰 (Li4Si04)作為吸收材料61。例如，如在日本特開2006-102561號(hào)公報(bào)中所公開的那樣，硅 酸鋰在從室溫至40(TC的溫度范圍內(nèi)吸收二氧化碳。爐體主體部10內(nèi)的燒成溫度大概在 200°C 300°C ，該溫度在硅酸鋰吸收二氧化碳的溫度范圍內(nèi)。因而，吸收材料61能夠從在 循環(huán)路徑20中流動(dòng)的熱風(fēng)中吸收除去二氧化碳。 另外，各吸收塔60具有放出用加熱器62及回收系統(tǒng)64，其中，所述放出用加熱器 62用于使所吸收的二氧化碳從吸收材料61放出，所述回收系統(tǒng)64用于回收從吸收材料61 放出的二氧化碳。硅酸鋰具有若加熱到比吸收二氧化碳的溫度范圍更高的溫度則放出二氧 化碳的性質(zhì)。因而，若放出用加熱器62加熱吸收有二氧化碳的吸收材料61，則從該吸收材 料61放出所吸收的二氧化碳。回收系統(tǒng)64具有閥63a、63b，通過打開兩閥63a、63b，回收 從吸收材料61放出的二氧化碳。具體地說，每次打開閥63b，將運(yùn)載氣體(例如，氮?dú)?送 給吸收材料61。通過打開閥63a，從被加熱的吸收材料61放出的二氧化碳與其運(yùn)載氣體一 起被回收。 與第一實(shí)施方式相同，兩個(gè)吸收塔60、60被擇一地使用。S卩，通過4個(gè)蝶閥31a、 31b、32a、32b擇一地切換熱風(fēng)的流路20a、20b，在循環(huán)路徑20中流動(dòng)的熱風(fēng)僅在兩個(gè)吸收 塔60、60中的某一個(gè)中通過。除了將吸附塔30替換為吸收塔60這一點(diǎn)之外，第七實(shí)施方 式的基板燒成爐的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式相同。 第七實(shí)施方式的基板燒成爐的動(dòng)作內(nèi)容也與第一實(shí)施方式大致相同。即，從爐體 主體部10的熱風(fēng)排氣口 14排出并通過循環(huán)扇40在循環(huán)路徑20內(nèi)循環(huán)的熱風(fēng)，從催化劑 過濾部70經(jīng)過吸收塔60流入到主加熱器52中。從爐體主體部10排出的熱風(fēng)直接流入到 催化劑過濾部70中，熱風(fēng)中所含有的有機(jī)物被分解，因此不需要用于加熱催化劑的另外單 獨(dú)的加熱器，使熱損失減少。另外，爐體主體部10的內(nèi)部的燒成溫度能夠僅通過控制主加 熱器52來調(diào)整，因此容易控制溫度，能夠獲得穩(wěn)定的燒成溫度。 另外，切換蝶閥31a、31b、32a、32b，使得在循環(huán)路徑20內(nèi)循環(huán)的熱風(fēng)僅在兩個(gè)吸 收塔60、60中的某一個(gè)中通過。因而，在催化劑過濾部70中通過且有機(jī)物被分解了的熱風(fēng) 流入到兩個(gè)吸收塔60、60中的某一個(gè)中，進(jìn)行二氧化碳的除去處理。 然后，與第一實(shí)施方式相同，在適當(dāng)?shù)臅r(shí)機(jī)切換使用的吸收塔60。 S卩，控制部90控制4個(gè)蝶閥31a、31b、32a、32b的切換時(shí)機(jī)，使得熱風(fēng)在兩個(gè)吸收塔60、60中交替地通過。
在對(duì)使用的吸收塔60進(jìn)行切換后，進(jìn)行到此為止所使用的吸收塔60的再生處理。 吸收塔60的再生處理是通過放出用加熱器62加熱吸收材料61，并且打開閥63a、63b來進(jìn) 行的。由此，所吸收的二氧化碳從吸收材料61放出，該放出的二氧化碳被回收系統(tǒng)64回收。
不久，再通過控制部90切換4個(gè)蝶閥31a、31b、32a、32b，使得熱風(fēng)在再生處理完成 了的吸收塔60中通過。然后，同樣進(jìn)行另一個(gè)吸收塔60的再生處理。若如此，則能夠在不 用使基板燒成爐停止的情況下連續(xù)地運(yùn)轉(zhuǎn)。 在第一實(shí)施方式 第六實(shí)施方式(圖1 圖6)中，都能夠使用吸收塔60來代替 吸附塔30。 S卩，可以在循環(huán)路徑20的路徑中途的一個(gè)部位分支而成的兩個(gè)流路20a、20b上
分別設(shè)置用于捕獲二氧化碳和/或水分的捕獲塔。
〈8.變形例> 以上，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但該發(fā)明能夠在不脫離其構(gòu)思的范圍內(nèi)， 進(jìn)行上述以外的各種變更。例如，在上述各實(shí)施方式中，將捕獲塔(吸附塔30或者吸收 塔60)并列設(shè)置在循環(huán)路徑20的中途，在使用某一個(gè)捕獲塔的期間，進(jìn)行另一個(gè)捕獲塔的 再生處理，以使基板燒成爐的運(yùn)轉(zhuǎn)率提高，但也可以在循環(huán)路徑20的中途僅設(shè)置一個(gè)捕獲 塔。即使這樣，也能夠與上述各實(shí)施方式一樣，能夠抑制熱損失使其減少，并且獲得穩(wěn)定的 燒成溫度。 另外，在第二、第四、第六實(shí)施方式中，可以不設(shè)置光源72，利用來自室內(nèi)照明器具 等的光使催化劑過濾器71發(fā)揮催化劑作用。 另外，在第一實(shí)施方式 第六實(shí)施方式中，使用活性碳作為吸附塔30的吸附劑， 但不限于此，是吸附二氧化碳和/或水分的原料即可，可以使用例如硅膠(silica gel)或 沸石。另外，也可以使用高分子膜或者沸石膜、氧化硅膜、碳膜等無機(jī)膜作為吸附劑。
另外，可以使用燒結(jié)陶瓷(ceramics)替代上述各實(shí)施方式的金屬過濾器54。進(jìn)一 步，如果催化劑過濾部70具有充分的作為過濾器的功能，能夠可靠地去除有機(jī)物和顆粒， 則不必設(shè)置金屬過濾器54。但是，如第一、第二、第五、第六實(shí)施方式，在催化劑過濾部70的 下游側(cè)設(shè)置有循環(huán)扇40及主加熱器52的情況下，以除去從其產(chǎn)生的顆粒為目的，優(yōu)選在爐 體主體部10的熱風(fēng)導(dǎo)入口 12上附設(shè)金屬過濾器54。 另外，在上述各實(shí)施方式中，將基板燒成爐的循環(huán)路徑20形成為完全封閉的系 統(tǒng)，但也可以在其上具有氣體交換機(jī)構(gòu)，所述氣體交換機(jī)構(gòu)一邊排出一部分氣體一邊導(dǎo)入 新的氣體。 另外，基板燒成爐的爐體主體部10中所能夠容置的玻璃基板W的張數(shù)不限于40 張，能夠是任意數(shù)量。 另外，根據(jù)本發(fā)明的循環(huán)式基板燒成爐，成為燒成處理的對(duì)象的基板不限于玻璃 基板W，也可以是半導(dǎo)體晶片。另外，載放在基板上的被燒成物也不限定于彩色墨和金屬配 線材料，也可以是圍堰(bank)用材料、ITO電極(銦錫氧化物的透明電極)用材料、有機(jī)絕 緣膜用材料、透光性有機(jī)膜用材料、具有有機(jī)溶媒的各種油墨等。
權(quán)利要求
一種循環(huán)式基板燒成爐，使熱風(fēng)循環(huán)來進(jìn)行基板的燒成處理，其特征在于，具有爐體主體部，其在內(nèi)部容置基板；循環(huán)路徑，其使從所述爐體主體部排出的熱風(fēng)循環(huán)，并再次供給至所述爐體主體部中；循環(huán)扇，其設(shè)置在所述循環(huán)路徑上，使熱風(fēng)循環(huán)；主加熱器，其對(duì)在所述循環(huán)路徑中循環(huán)的熱風(fēng)進(jìn)行加熱；催化劑過濾部，其設(shè)置在所述循環(huán)路徑上，具有擔(dān)載催化劑的金屬過濾器；捕獲裝置，其設(shè)置在所述循環(huán)路徑上，用于捕獲二氧化碳和/或水分。
2. 如權(quán)利要求1所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于，所述捕獲裝置包括兩個(gè)捕獲塔，所述兩個(gè)捕獲塔并列設(shè)置在兩個(gè)流路上，其中，所述兩 個(gè)流路是在所述循環(huán)路徑的中途被分支為兩叉并再次合流的兩個(gè)流路， 該循環(huán)式基板燒成爐具有切換裝置，其擇一地切換所述兩個(gè)流路，使得熱風(fēng)在所述兩個(gè)捕獲塔中的某一個(gè)中通過；切換控制部，其用于控制所述切換裝置的切換時(shí)機(jī)。
3. 如權(quán)利要求2所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于， 所述兩個(gè)捕獲塔是吸附二氧化碳和/或水分的兩個(gè)吸附塔。
4. 如權(quán)利要求2所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于， 所述兩個(gè)捕獲塔是吸收二氧化碳的兩個(gè)吸收塔。
5. 如權(quán)利要求4所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于， 所述兩個(gè)吸收塔分別具有 二氧化碳的吸收材料；放出用加熱器，其用于使所吸收的二氧化碳從所述吸收材料放出； 回收系統(tǒng)，其用于回收從所述吸收材料放出的二氧化碳。
6. 如權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于， 所述催化劑過濾部設(shè)置于所述循環(huán)路徑中的所述爐體主體部的下游側(cè)且位于所述爐體主體部至所述捕獲裝置之間。
7. 如權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于， 所述催化劑過濾部設(shè)置于所述循環(huán)路徑中的所述主加熱器的下游側(cè)且位于所述主加熱器至所述爐體主體部之間。
8. 如權(quán)利要求2 5中任一項(xiàng)所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于， 所述催化劑過濾部分別設(shè)置在所述兩個(gè)流路上。
9. 如權(quán)利要求1所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于， 所述催化劑包括光催化劑，所述催化劑過濾部具有光照射裝置，所述光照射裝置用于向所述光催化劑照射光。
10. 如權(quán)利要求1所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于， 在所述爐體主體部的熱風(fēng)導(dǎo)入口具有金屬過濾器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種減少熱損失，并且能夠獲得穩(wěn)定的燒成溫度的循環(huán)式基板燒成爐。通過向爐體主體部(10)內(nèi)部吹出熱風(fēng)來進(jìn)行玻璃基板(W)的燒成處理。從爐體主體部(10)排出的熱風(fēng)通過循環(huán)扇(40)在循環(huán)路徑(20)內(nèi)循環(huán)，從用于分解有機(jī)物的催化劑過濾部(70)經(jīng)過吸附分解生成物的吸附塔(30)，在主加熱器(52)中被再次加熱。從爐體主體部(10)排出的熱風(fēng)直接流入到催化劑過濾部(70)中，從而熱風(fēng)中所含有的有機(jī)物被分解，因此不需要用于加熱催化劑的另外單獨(dú)的加熱器，就能夠減少熱損失。另外，爐體主體部(10)內(nèi)部的燒成溫度能夠僅通過控制主加熱器(52)來調(diào)整，因此容易控制溫度，能夠獲得穩(wěn)定的燒成溫度。
文檔編號(hào)F27B17/00GK101749949SQ20091013228
公開日2010年6月23日 申請(qǐng)日期2009年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月16日
發(fā)明者大見忠弘, 宮路恭祥, 村岡祐介 申請(qǐng)人:國(guó)立大學(xué)法人東北大學(xué);株式會(huì)社未來視野