專利名稱：一種氣瓶組真空干燥裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種氣體設(shè)備，尤其是一種氣瓶組真空干燥裝置。
背景技術(shù)：
常用的氣瓶組真空干燥裝置其最終的真空度一般為5 ~ 10 x 10 —2Pa，其結(jié)
構(gòu)組成通常包括真空泵、截止閥、真空壓力表、氣管、干燥箱、氣瓶夾具、
波紋管、填氣閥和放空閥，如周文國(guó)在1993年第二期《深冷技術(shù)》上發(fā)表的
d高純度氣瓶干燥抽真空最佳操作方法3 —文中就提到上述的氣瓶組真空干
燥裝置。然而上述的裝置抽氣速率低，精確度差，真空度也不能滿足現(xiàn)有高
純度氣瓶的需求。 發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述存在問題，本發(fā)明提供一種氣瓶組真空干燥裝置，通過結(jié)構(gòu)的 改變，可以
為了達(dá)到以上目的，本發(fā)明采取以下技術(shù)方案， 一種氣瓶組真空干燥裝 置，主要包括抽真空裝置、閥門、真空壓力表、氣管、干燥箱、氣瓶夾具、 氣瓶接口、波紋管、填氣閥和放空閥，閥門安裝在抽真空裝置與氣管之間， 其特征在于所述抽真空裝置為羅茨真空機(jī)組。
本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)大大提高了抽氣效率，同時(shí)降低了真空度，提高 了精確性。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖
1、羅茨真空機(jī)組 2、真空蝶閥 3、氣管 4、排空閥 5、填 氣閥 6、氣瓶接口 7、氣瓶夾具 8、波紋管 9、干燥箱 10、熱偶真空儀 11、真空規(guī)管 12、真空壓力表 13、壓力表閥
14、密閉箱
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。 實(shí)施例一
如圖1所示，本發(fā)明的一種氣瓶組真空干燥裝置，主要包括抽真空裝置 (本專利中用是的羅茨真空機(jī)組l)、閥門(本專利中用的是真空蝶閥2)、真 空壓力表12、氣管3、干燥箱9、氣瓶接口 6、氣瓶夾具7、波紋管8、填氣 閥5和放空閥4，羅茨真空機(jī)組1與氣管通過真空蝶閥2連接，真空壓力表 12、填氣閥5和放空閥4通過管路連接在氣管近真空蝶閥2端，氣管3通過 氣瓶接口 6、波紋管8、氣瓶夾具7與待真空干燥氣瓶連接，待真空干燥氣瓶 擺放在干燥箱9內(nèi)(通常有多組待真空干燥氣瓶，相應(yīng)干燥箱就有多個(gè))，為 了安全，通常干燥箱9會(huì)安放在一密閉箱14中。 實(shí)施例二
同實(shí)施例一的一種氣瓶組真空干燥裝置，其不同之處在于所述氣管3 近氣瓶接口端安裝有一熱偶真空儀10，熱偶真空儀10通過真空規(guī)管11與氣 管連接。由于熱偶真空儀10的精度達(dá)0.1Pa，所以可以更精確的控制真空度。
除上述實(shí)施例外，本發(fā)明還可以有其他實(shí)施方式。凡采用等同替換或等 效變換形成的技術(shù)方案，均落在本發(fā)明要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種氣瓶組真空干燥裝置，主要包括抽真空裝置、閥門、真空壓力表、氣管、干燥箱、氣瓶夾具、氣瓶接口、波紋管、填氣閥和放空閥，閥門安裝在抽真空裝置與氣管之間，其特征在于所述抽真空裝置為羅茨真空機(jī)組。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種氣瓶組真空干燥裝置，其特征在于所述 閥門為真空蝶閥。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種氣瓶組真空干燥裝置，其特征在于所述 氣管近氣瓶接口端安裝有一熱偶真空儀，熱偶真空儀通過真空規(guī)管11與氣管 連接。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種氣瓶組真空干燥裝置，其特征在于所述 干燥箱安裝在密閉箱里。
專利摘要一種氣瓶組真空干燥裝置，主要包括抽真空裝置、閥門、真空壓力表、氣管、干燥箱、氣瓶夾具、氣瓶接口、波紋管、填氣閥和放空閥，閥門安裝在抽真空裝置與氣管之間，其特征在于所述抽真空裝置為羅茨真空機(jī)組。本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)大大提高了抽氣效率，同時(shí)降低了真空度，提高了精確性。
文檔編號(hào)F26B5/04GK201311160SQ20082016190
公開日2009年9月16日 申請(qǐng)日期2008年10月15日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月15日
發(fā)明者韋須林 申請(qǐng)人:江蘇亞洲氣體設(shè)備有限公司