技術(shù)編號：4681311
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種氣體設(shè)備，尤其是一種氣瓶組真空干燥裝置。 背景技術(shù)常用的氣瓶組真空干燥裝置其最終的真空度一般為5 ~ 10 x 10 —2Pa，其結(jié)構(gòu)組成通常包括真空泵、截止閥、真空壓力表、氣管、干燥箱、氣瓶夾具、波紋管、填氣閥和放空閥，如周文國在1993年第二期《深冷技術(shù)》上發(fā)表的d高純度氣瓶干燥抽真空最佳操作方法3 —文中就提到上述的氣瓶組真空干燥裝置。然而上述的裝置抽氣速率低，精確度差，真空度也不能滿足現(xiàn)有高純度氣瓶的需求。 發(fā)明內(nèi)容針對上述存在問題，...
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