專利名稱：真空干燥機(jī)及其干燥方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空干燥機(jī)及其干燥方法，尤其涉及一種具有較高工作效率的真空干燥 機(jī)及其干燥方法。
背景技術(shù)：
鏡頭模組是照相機(jī)、攝像機(jī)等光學(xué)成像裝置的重要組成部分，其一般包括鏡片、濾光片 等多種光學(xué)元件。有關(guān)鏡片的設(shè)計(jì)方法請(qǐng)參閱Chao等人在2000年IEEE系統(tǒng)、超聲波會(huì)議 (2000 IEEE Ultrasonics Symposium)上發(fā)表的論文Aspheric lens design。在鏡頭模組的 組裝過程中，通常需要對(duì)所述光學(xué)元件進(jìn)行清洗、干燥，以保證光學(xué)元件的清潔度，從而避 免因光學(xué)元件表面的顆粒物被帶入鏡頭模組而導(dǎo)致成像質(zhì)量不良的現(xiàn)象。
對(duì)所述光學(xué)元件進(jìn)行干燥通常采用烘干干燥法或高速旋轉(zhuǎn)干燥法。所述烘干干燥法是將 光學(xué)元件放置在一高溫環(huán)境下并保持一段時(shí)間，從而將光學(xué)元件上附著的水份蒸發(fā)掉。然而 ，由于光學(xué)元件一般采用塑料或玻璃制成，故采用該方法對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行干燥容易使所述光 學(xué)元件受熱不均而發(fā)生變形。所述高速旋轉(zhuǎn)干燥法是將光學(xué)元件高速旋轉(zhuǎn)，利用元件旋轉(zhuǎn)時(shí) 產(chǎn)生的離心力將光學(xué)元件上附著的水份甩出而達(dá)到干燥的目的，然而該方法對(duì)于吸附在光學(xué) 元件微細(xì)結(jié)構(gòu)內(nèi)的水汽不能達(dá)到有效的干燥效果。
為了達(dá)到更好的干燥效果，業(yè)界引入了真空干燥法對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行干燥。真空干燥法是 將光學(xué)元件放置在真空干燥機(jī)的密閉室內(nèi)并抽真空，通過降低密閉室內(nèi)的壓力從而降低水的 沸點(diǎn)，使依附在光學(xué)元件上的水份在較低溫度下蒸發(fā)揮發(fā)而干燥所述光學(xué)元件。采用真空干 燥法對(duì)所述光學(xué)元件進(jìn)行干燥可不受上述高溫及光學(xué)元件自身結(jié)構(gòu)的限制，保證良好的干燥 效果。然而，所述真空干燥機(jī)在干燥過程中，需要較長(zhǎng)的時(shí)間對(duì)所述密閉室進(jìn)行抽真空，從 而導(dǎo)致干燥效率較低。
有鑒于此，提供一種具有較高工作效率的真空干燥機(jī)及其干燥方法實(shí)為必要。

發(fā)明內(nèi)容
下面將以具體實(shí)施例說明一種真空干燥機(jī)及其干燥方法，其具有較高的工作效率。 一種真空干燥機(jī)，其包括一裝料腔、 一第一干燥腔、 一第二干燥腔、 一第三干燥腔及一 卸料腔，所述第一干燥腔、第二干燥腔、第三干燥腔分別相連通形成一干燥裝置，所述裝料 腔與所述卸料腔分別與所述干燥裝置的兩端相連通；四個(gè)隔離閘門，其分別設(shè)置于所述裝料
腔與所述第一干燥腔之間、所述第一干燥腔與所述第二干燥腔之間、所述第二干燥腔與所述 第三干燥腔之間、以及所述第三干燥腔與所述卸料腔之間，以分別將所述裝料腔、所述第一 干燥腔、所述第二干燥腔、所述第三干燥腔及所述卸料腔隔離； 一個(gè)裝料閘門，其設(shè)置于所 述裝料腔遠(yuǎn)離所述第一干燥腔的一側(cè)； 一個(gè)卸料閘門，其設(shè)置于所述卸料腔遠(yuǎn)離所述第三干 燥腔的一側(cè)；三個(gè)取料裝置，其分別可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述裝料腔、所述第二干燥腔及所述卸 料腔內(nèi)；以及一個(gè)抽氣裝置，其分別通過一抽氣管與所述裝料腔、所述第一干燥腔、第二干 燥腔、第三干燥腔及所述卸料腔相連通，并進(jìn)一步分別獨(dú)立地對(duì)所述裝料腔、所述第一干燥 腔、第二干燥腔、第三干燥腔及所述卸料腔抽真空。
以及， 一種采用上述真空干燥機(jī)進(jìn)行干燥的真空干燥方法，其包括步驟(a廣(g):
(a) 關(guān)閉所述裝料腔與所述第一干燥腔之間的隔離閘門、以及所述第三干燥腔與所述卸 料腔之間的隔離閘門，對(duì)所述第一干燥腔、第二干燥腔及第三干燥腔抽真空至第一真空狀態(tài) ，同時(shí)開啟所述裝料閘門，所述裝料腔中的取料裝置將待干燥的元件攜取至裝料腔中；
(b) 關(guān)閉所述裝料閘門及所述卸料閘門，對(duì)所述裝料腔及所述卸料腔抽真空至第一真空 狀態(tài)，同時(shí)關(guān)閉所述第一干燥腔與所述第二干燥腔之間的隔離閘門、以及所述第二干燥腔與 所述第三干燥腔之間的隔離閘門，對(duì)所述第一干燥腔、第二干燥腔及第三干燥腔抽真空至第 二真空狀態(tài)，所述第二真空狀態(tài)的真空度大于第一真空狀態(tài)的真空度；
(c) 開啟所述裝料腔與所述第一干燥腔的之間的隔離閘門、以及所述第三干燥腔與所述 卸料腔之間的隔離閘門，所述裝料腔內(nèi)的取料裝置將位于所述裝料腔中的元件攜取至所述第 一干燥腔，同時(shí)所述抽氣裝置對(duì)所述第二干燥腔抽真空至第三真空狀態(tài)，所述第三真空狀態(tài) 的真空度大于所述第二真空狀態(tài)的真空度；
(d) 關(guān)閉所述裝料腔與所述第一干燥腔之間的隔離閘門、以及所述第三干燥腔與所述卸 料腔之間的隔離閘門，同時(shí)開啟所述裝料閘門、所述卸料閘門、所述第一干燥腔與所述第二 干燥腔之間的隔離閘門、以及所述第二干燥腔與所述第三干燥腔之間的隔離閘門，所述第二 干燥腔內(nèi)的取料裝置將位于所述第一干燥腔中的元件攜取至所述第三干燥腔，所述裝料腔中 的取料裝置將另一待干燥的元件攜取至所述裝料腔內(nèi)；
(e) 關(guān)閉所述裝料閘門、所述卸料閘門、所述第一干燥腔與所述第二干燥腔之間的隔離 閘門、以及所述第二干燥腔與所述第三干燥腔之間的隔離閘門，對(duì)所述裝料腔、所述卸料腔 抽真空至第一真空狀態(tài)，同時(shí)對(duì)所述第二干燥腔抽真空至第三真空狀態(tài)；
(f) 開啟所述裝料腔與所述第一干燥腔的之間的隔離閘門、以及所述第三干燥腔與所述 卸料腔之間的隔離閘門，所述裝料腔內(nèi)的取料裝置將位于所述裝料腔中的元件攜取至所述第
一干燥腔，所述卸料腔內(nèi)的取料裝置將位于所述第三干燥腔中的元件攜取至所述卸料腔；
(g)關(guān)閉所述裝料腔與所述第一干燥腔之間的隔離閘門、以及所述第三干燥腔與所述卸 料腔之間的隔離閘門，同時(shí)開啟所述裝料閘門、所述卸料閘門、所述第一干燥腔與所述第二 干燥腔之間的隔離閘門、以及所述第二干燥腔與所述第三干燥腔之間的隔離閘門，所述第二 干燥腔內(nèi)的取料裝置將所述第一干燥腔中的元件攜取至所述第三干燥腔，所述卸料腔中的取 料裝置將位于所述卸料腔中且已干燥完畢的元件攜取至外界，所述裝料腔中的取料裝置將另 一待干燥的元件攜取至裝料腔中。
一種真空干燥機(jī)，其包括一裝料腔、多個(gè)干燥腔及一卸料腔，所述多個(gè)干燥腔分別相連 通形成一干燥裝置，所述裝料腔與所述卸料腔分別與所述干燥裝置的兩端相連通；多個(gè)隔離 閘門，其分別設(shè)置于所述裝料腔與所述多個(gè)干燥腔之間、所述多個(gè)干燥腔的每?jī)蓚€(gè)干燥腔之 間，及所述多個(gè)干燥腔與所述卸料腔之間，以分別將所述裝料腔、所述多個(gè)干燥腔及所述卸 料腔隔離； 一個(gè)裝料閘門，其設(shè)置于所述裝料腔遠(yuǎn)離所述第一干燥腔的一側(cè)； 一個(gè)卸料閘門 ，其設(shè)置于所述卸料腔遠(yuǎn)離所述第三干燥腔的一側(cè)；多個(gè)取料裝置，其分別選擇性且可旋轉(zhuǎn) 地設(shè)置在所述裝料腔、所述多個(gè)干燥腔及所述卸料腔內(nèi)；以及一個(gè)抽氣裝置，其分別通過一 抽氣管與所述裝料腔、所述多個(gè)干燥腔及所述卸料腔相連通，并進(jìn)一步分別獨(dú)立地對(duì)所述裝 料腔、所述多個(gè)干燥腔及所述卸料腔抽真空。
相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，所述真空干燥機(jī)及真空干燥法通過設(shè)置相連通的一裝料腔、 一第一干 燥腔、 一第二干燥腔、 一第三干燥腔及一卸料腔并依次分別對(duì)其進(jìn)行抽真空， 一方面，經(jīng)由 控制所述裝料腔的裝料閘門、所述卸料腔的卸料閘門及隔離所述第一干燥腔、第二干燥腔、 第三干燥腔的各個(gè)隔離閘門的開啟和閉合，并經(jīng)由控制抽氣裝置對(duì)所述裝料腔、所述第一干 燥腔、第二干燥腔、第三干燥腔及所述卸料腔進(jìn)行不同真空度的抽取，可使元件在先提升后 下降的真空環(huán)境下依次在所述裝料腔、所述第一干燥腔、第二干燥腔、第三干燥腔及所述卸 料腔內(nèi)進(jìn)行干燥，并在較低的真空環(huán)境下破真空而取出至外界，從而可有效地提高所述元件 的干燥效果并減小所述元件破真空所造成的能量浪費(fèi)；另一方面，當(dāng)所述元件進(jìn)行干燥的時(shí) 候，可同時(shí)進(jìn)行再次裝載元件，或選擇性地對(duì)所述裝料腔、所述第一干燥腔、第二干燥腔、 第三干燥腔及所述卸料腔進(jìn)行抽真空的動(dòng)作，從而可有效地利用時(shí)間，使所述真空干燥機(jī)及 真空干燥法獲得較佳的工作效率。


圖l是本發(fā)明第一實(shí)施例所提供的真空干燥機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2是本發(fā)明第一實(shí)施例所提供的真空干燥方法的工作過程圖。圖3是本發(fā)明第三實(shí)施例所提供的真空干燥機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
請(qǐng)參閱圖l，本發(fā)明第一實(shí)施例所提供的一種真空干燥機(jī)IO，其包括一裝料腔12a、 一第 一干燥腔lla、 一第二干燥腔llb、 一第三干燥腔llc及一卸料腔12b;多個(gè)隔離閘門如隔離閘 門13a、 13b、 13c、 13d; —裝料閘門14a; —卸料閘門14b;多個(gè)取料裝置如取料裝置15a、 15b、 15c;以及一個(gè)抽氣裝置16。
所述第一干燥腔l la、第二干燥腔l lb及第三干燥腔l lc分別相連通而形成一干燥裝置l 1 ，所述所述第一干燥腔lla及第三干燥腔llc分別位于該干燥裝置l 1的兩端。所述裝料腔12a 與所述第一干燥腔lla相連通，所述卸料腔12b與所述第三干燥腔llc相連通。所述裝料腔 12a、第一干燥腔lla、第二干燥腔llb、第三干燥腔llc及卸料腔12b均為密閉腔體，且該裝 料腔12a、第一干燥腔lla、第二干燥腔llb、第三干燥腔llc及卸料腔12b的腔體體積可設(shè)置 為相等。所述裝料腔12a用于收容從外界進(jìn)入的待干燥的元件20，如透鏡、濾光片等光學(xué)元 件，并對(duì)該元件20進(jìn)行初步干燥，以待送入所述第一干燥腔lla、第二干燥腔llb及第三干燥 腔llc依次進(jìn)行進(jìn)一步干燥。所述卸料腔12b用于收容經(jīng)所述第三干燥腔llc進(jìn)行干燥的元件 20并對(duì)該元件20進(jìn)行最后干燥，以便進(jìn)一步將該元件20取出至外界，完成干燥過程。
所述隔離閘門13a、 13b、 13c、 13d分別設(shè)置于所述裝料腔12a與所述第一干燥腔lla之間 、所述第一干燥腔lla與所述第二干燥腔llb之間、所述第二干燥腔llb與所述第三干燥腔 llc之間、以及所述第三干燥腔llc與所述卸料腔12b之間，以分別將所述裝料腔12a、所述第 一干燥腔lla、所述第二干燥腔llb、所述第三干燥腔llc及所述卸料腔12b隔離。
所述裝料閘門14a設(shè)置于所述裝料腔12a遠(yuǎn)離所述第一干燥腔lla的一側(cè)，所述卸料閘門 14b設(shè)置于所述卸料腔12b遠(yuǎn)離所述第二干燥腔l lb的一側(cè)。
所述取料裝置15a、 15b及15c分別可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述裝料腔12a、所述第二干燥腔llb 及所述卸料腔12b內(nèi)，其分別為可旋轉(zhuǎn)伸縮式機(jī)械手臂。
所述抽氣裝置16分別通過一抽氣管(未標(biāo)示)與所述裝料腔12a、所述第一干燥腔lla、第 二干燥腔llb、第三干燥腔llc及所述卸料腔12b相連通，并進(jìn)一步分別獨(dú)立地對(duì)所述裝料腔 12a、所述第一干燥腔lla、第二干燥腔llb、第三干燥腔llc及所述卸料腔12b抽真空。該抽 氣裝置16可包括分別與所述裝料腔12a、所述第一干燥腔lla、第二干燥腔llb、第三干燥腔 11c及所述卸料腔12b相連通的真空泵，如水環(huán)真空泵、羅茨真空泵、油封式真空泵、無油干 式機(jī)械真空泵等。請(qǐng)一并參閱圖2，下面將對(duì)本發(fā)明第一實(shí)施例所述的真空干燥機(jī)10的工作過程進(jìn)行詳細(xì) 說明。
(a) 關(guān)閉所述裝料腔12a與所述第一干燥腔lla之間的隔離閘門13a、以及所述第三干燥 腔11 c與所述卸料腔12b之間的隔離閘門13d，對(duì)所述第一干燥腔11 a、第二干燥腔1 lb及第三 干燥腔llc抽真空至第一真空狀態(tài)，同時(shí)開啟所述裝料閘門14a，所述裝料腔12a中的取料裝 置15a將待干燥的元件20攜取至裝料腔12a中。
具體地，打開所述抽氣裝置16，對(duì)所述第一干燥腔lla、第二干燥腔llb及第三干燥腔 llc抽真空至第一真空狀態(tài)，并定義該第一真空狀態(tài)的真空度為P。
可以理解的是，當(dāng)打開所述裝料閘門14a時(shí)，外界的空氣將進(jìn)入所述裝料腔12a，并使該 裝料腔12a的真空度與外界空氣的真空度相等，可設(shè)其為0，此時(shí)所述可旋轉(zhuǎn)伸縮式機(jī)械手臂 15a可旋轉(zhuǎn)靠近該裝料閘門14a，并進(jìn)一步伸長(zhǎng)至外界，從而可將所述待干燥的元件20夾持， 并經(jīng)由收縮動(dòng)作將其移入所述裝料腔12a內(nèi)。
(b) 關(guān)閉所述裝料閘門14a及所述卸料閘門14b，對(duì)所述裝料腔12a及所述卸料腔12b抽真 空至第一真空狀態(tài)，同時(shí)關(guān)閉所述第一干燥腔11 a與所述第二干燥腔11 b之間的隔離閘門13b
、以及所述第二干燥腔llb與所述第三干燥腔llc之間的隔離閘門13c，對(duì)所述第一干燥腔 lla、第二干燥腔llb及第三干燥腔llc抽真空至第二真空狀態(tài)。
所述第二真空狀態(tài)的真空度大于第一真空狀態(tài)的真空度P，優(yōu)選地，可定義該第二真空 狀態(tài)的真空度為所述第一真空狀態(tài)的真空度P的兩倍，即為2P。
(c) 開啟所述裝料腔12a與所述第一干燥腔lla之間的隔離閘門13a、以及所述第三干燥 腔11 c與所述卸料腔12b之間的隔離閘門13d，所述裝料腔12a內(nèi)的取料裝置l5a將位于所述裝 料腔12a中的元件20攜取至所述第一干燥腔lla，同時(shí)所述抽氣裝置16對(duì)所述第二干燥腔1 lb 抽真空至第三真空狀態(tài)。
所述第三真空狀態(tài)的真空度大于所述第二真空狀態(tài)的真空度2P，優(yōu)選地，可定義所述第 三真空狀態(tài)的真空度為所述第一真空狀態(tài)的真空度P的三倍，S卩3P。
可以理解，當(dāng)所述隔離閘門13a及13d開啟時(shí)，由于原來所述裝料腔12a及所述卸料腔 12b均處于真空度為P的第一真空狀態(tài)，所述第一干燥腔lla及所述第三干燥腔llc均處于真空 度為2P的第二真空狀態(tài)，且由于所述裝料腔12a、卸料腔12b、第一干燥腔lla及第三干燥腔 llc的腔體體積相等，故該裝料腔12a、卸料腔12b、第一干燥腔lla及第三干燥腔llc經(jīng)抽真 空后的殘留空氣通過擴(kuò)散流通后，將使該裝料腔12a、卸料腔12b、第一干燥腔lla及第三干 燥腔llc分別處于第四真空狀態(tài)，且該第四真空狀態(tài)的真空度為所述第一真空狀態(tài)的真空度P
與所述第二真空狀態(tài)的真空度2P的和的一半，即為l. 5P。
另外，當(dāng)所述隔離閘門13a打開時(shí)，所述可旋轉(zhuǎn)伸縮式機(jī)械手臂15a可旋轉(zhuǎn)靠近該隔離閘 門13a并進(jìn)一步伸長(zhǎng)至所述裝料腔12a，從而可將位于所述裝料腔12a的元件20經(jīng)由伸長(zhǎng)動(dòng)作 移動(dòng)并放置于所述第一干燥腔lla內(nèi)。當(dāng)所述元件20放置于所述第一干燥腔lla內(nèi)時(shí)，所述可 旋轉(zhuǎn)伸縮式機(jī)械手臂15a的機(jī)械手臂可縮回至所述裝料腔12a內(nèi)。
(d) 關(guān)閉所述裝料腔12a與所述第一干燥腔lla之間的隔離閘門13a、所述第三干燥腔 11 c與所述卸料腔12b之間的隔離閘門13d，同時(shí)開啟所述裝料閘門14a、所述卸料閘門14b、 所述第一干燥腔lla與所述第二干燥腔llb之間的隔離閘門13b、以及所述第二干燥腔llb與所 述第三干燥腔l lc之間的隔離閘門13c，所述第二干燥腔l lb內(nèi)的取料裝置15b將所述第一干燥 腔lla中的元件攜取至所述第三干燥腔llc，所述裝料腔12a中的取料裝置15a將另一待干燥的 元件20攜取至所述裝料腔12a內(nèi)。
具體地，當(dāng)所述隔離閘門13a及所述隔離閘門13d關(guān)閉，而所述隔離閘門13b及l(fā)3c開啟時(shí) ，由于所述第一干燥腔lla及所述第三干燥腔llc均處于真空度為1.5P的第四真空狀態(tài)，而所 述第二干燥腔llb處于真空度為3P的第三真空狀態(tài)，且由于所述第一干燥腔、第二干燥腔 1 lb及第三干燥腔llc的腔體體積相等，故該第一干燥腔、第二干燥腔llb及第三干燥腔llc經(jīng) 抽真空后的殘留空氣通過進(jìn)一步擴(kuò)散流通后，將使該第一干燥腔lla、第二干燥腔llb及第三 干燥腔llc同時(shí)處于真空度為2P的第二真空狀態(tài)。此時(shí)所述可旋轉(zhuǎn)伸縮式機(jī)械手臂15b可旋轉(zhuǎn) 靠近所述隔離閘門13b并伸長(zhǎng)至所述第一干燥腔lla，從而可將位于該第一干燥腔lla內(nèi)的元 件20夾持，并經(jīng)由收縮動(dòng)作將該元件20移動(dòng)至所述第二干燥腔llb中，進(jìn)一步地，所述可旋 轉(zhuǎn)伸縮式機(jī)械手臂15b旋轉(zhuǎn)靠近所述隔離閘門13c并伸長(zhǎng)至所述第三干燥腔llc內(nèi)，將元件20 移動(dòng)并放置于所述第三干燥腔llc內(nèi)。當(dāng)所述元件20放置于所述第三干燥腔llc內(nèi)時(shí)，所述可 旋轉(zhuǎn)伸縮式機(jī)械手臂15b的機(jī)械手臂可縮回至所述第二干燥腔llb內(nèi)。
另外，當(dāng)所述裝料閘門14a打開時(shí)，外界的空氣將進(jìn)入所述裝料腔12a并使該裝料腔12a 的真空度與外界空氣的真空度相等，所述裝料腔12a的真空度變?yōu)?，此時(shí)所述可旋轉(zhuǎn)伸縮式 機(jī)械手臂15a可旋轉(zhuǎn)靠近所述裝料閘門14a并進(jìn)一步伸長(zhǎng)至外界，從而可將另一待干燥的元件 20夾持，并經(jīng)由收縮動(dòng)作將該待干燥的元件20移入所述裝料腔12a內(nèi)。
可以理解的是，當(dāng)所述卸料閘門14b打開時(shí)，外界的空氣也將進(jìn)入所述卸料腔12b，使得 所述卸料腔12b真空度也變?yōu)?。
(e) 關(guān)閉所述裝料閘門14a、所述卸料閘門14b、所述第一干燥腔lla與所述第二干燥腔 1 lb之間的隔離閘門13b、以及所述第二干燥腔llb與所述第三干燥腔llc之間的隔離閘門13c
，對(duì)所述裝料腔12a、所述卸料腔12b抽真空至第一真空狀態(tài)，同時(shí)對(duì)所述第二干燥腔llb抽 真空至第三真空狀態(tài)。
在該過程中，所述第一干燥腔lla及所述第三干燥腔llc的保持真空度為2P的第二真度狀 態(tài)不變。
(f) 開啟所述裝料腔12a與所述第一干燥腔lla之間的隔離閘門13a、以及所述第三干燥 腔11 c與所述卸料腔12b之間的隔離閘門13d，所述裝料腔12a內(nèi)的取料裝置l5a將位于所述裝 料腔12a中的元件20攜取至所述第一干燥腔lla，所述卸料腔12b內(nèi)的取料裝置15c將位于所述 第三干燥腔中11 c的元件攜取至所述卸料腔12b 。
可以理解，當(dāng)所述隔離閘門13a及13d開啟時(shí)，由于原來所述裝料腔12a及所述卸料腔 12b均處于真空度為P的第一真空狀態(tài)，所述第一干燥腔lla及所述第三干燥腔llc均處于真空 度為2P的第二真空狀態(tài)，且由于所述裝料腔12a、卸料腔12b、第一干燥腔lla及第三干燥腔 llc的腔體體積相等，故該裝料腔12a、卸料腔12b、第一干燥腔lla及第三干燥腔llc經(jīng)抽真 空后的殘留空氣通過進(jìn)一步擴(kuò)散流通后，將使該裝料腔12a、卸料腔12b、第一干燥腔lla及 第三干燥腔llc分別處于真空度為l. 5P的第四真空狀態(tài)。
另外，當(dāng)所述隔離閘門13a打開時(shí)，所述可旋轉(zhuǎn)伸縮式機(jī)械手臂15a可旋轉(zhuǎn)靠近該隔離閘 門13a并進(jìn)一步伸長(zhǎng)至所述裝料腔12a，從而可將位于所述裝料腔12a的元件20經(jīng)伸長(zhǎng)動(dòng)作而 移動(dòng)至所述第一干燥腔lla內(nèi)。當(dāng)所述隔離閘門13d打開時(shí)，所述可旋轉(zhuǎn)伸縮式機(jī)械手臂15c 可旋轉(zhuǎn)靠近該隔離閘門13d并進(jìn)一步伸長(zhǎng)至第三干燥腔llc，從而可將位于所述第三干燥腔 11c的元件20夾持，并經(jīng)由收縮動(dòng)作將該元件20移入所述卸料腔12b中。
(g) 關(guān)閉所述裝料腔12a與所述第一干燥腔lla之間的隔離閘門13a、以及所述第三干燥 腔11 c與所述卸料腔12b之間的隔離閘門13d，同時(shí)開啟所述裝料閘門14a、所述卸料閘門14b
、所述第一干燥腔lla與所述第二干燥腔llb之間的隔離閘門13b、以及所述第二干燥腔llb與 所述第三干燥腔l lc之間的隔離閘門13c，所述第二干燥腔l lb內(nèi)的取料裝置15b將所述第一干 燥腔lla中的元件20攜取至所述第三干燥腔llc內(nèi)，所述卸料腔12b中的取料裝置15c將位于所 述卸料腔12b中且已干燥完畢的元件20攜取至外界，所述裝料腔12a中的取料裝置15a將另一 待干燥的元件20攜取至所述裝料腔12a內(nèi)。
具體地，當(dāng)所述隔離閘門13a及隔離閘門13d關(guān)閉，而所述隔離閘門13b及隔離閘門13c開 啟時(shí)，由于原來所述第一干燥腔lla及所述第三干燥腔llc均處于真空度為l. 5P的第四真空狀 態(tài)，而所述第二干燥腔llb處于真空度為3P的第三真空狀態(tài)，而所述第一干燥腔、第二干燥 腔llb及第三干燥腔llc的腔體體積分別相等，故該第一干燥腔、第二干燥腔llb及第三干燥
腔llc經(jīng)抽真空后的殘留空氣通過進(jìn)一步擴(kuò)散流通后，將使該第一干燥腔lla、第二干燥腔 11b及第三干燥腔llc同時(shí)處于真空度為2P的第二真空狀態(tài)。此時(shí)所述可旋轉(zhuǎn)伸縮式機(jī)械手臂 15b可旋轉(zhuǎn)靠近所述隔離閘門13b并伸長(zhǎng)至所述第一干燥腔lla，從而將位于該第一干燥腔 11a內(nèi)的元件20夾持，并經(jīng)由收縮動(dòng)作將該元件20移動(dòng)至所述第二干燥腔llb內(nèi)，進(jìn)一步地， 所述可旋轉(zhuǎn)伸縮式機(jī)械手臂15b旋轉(zhuǎn)靠近所述隔離閘門13c并伸長(zhǎng)至所述第三干燥腔11 c，將 元件20移動(dòng)并放置于所述第三干燥腔llc內(nèi)。當(dāng)所述元件20放置于所述第三干燥腔llc內(nèi)時(shí)， 所述可旋轉(zhuǎn)伸縮式機(jī)械手臂15b的機(jī)械手臂可縮回至所述第二干燥腔llb內(nèi)。
另外，當(dāng)所述卸料閘門14b打開時(shí)，外界的空氣將進(jìn)入所述卸料腔12b，使得所述卸料腔 12b真空度也變?yōu)?，此時(shí)位于所述卸料腔12b內(nèi)的可旋轉(zhuǎn)伸縮式機(jī)械手臂15c可將位于該卸料 腔12b內(nèi)的且已干燥完畢的元件20夾持并旋轉(zhuǎn)靠近所述卸料閘門14b，再伸長(zhǎng)至外界，從而可 將該已干燥完畢的元件20移動(dòng)至外界。
可以理解的是，當(dāng)所述裝料閘門14a打開時(shí)，外界的空氣也將進(jìn)入所述裝料腔12a并使該 裝料腔12a的真空度與外界空氣的真空度相等，使得所述裝料腔12a的真空度變?yōu)?，此時(shí)所 述可旋轉(zhuǎn)伸縮式機(jī)械手臂15a可旋轉(zhuǎn)靠近該裝料閘門14a并進(jìn)一步伸長(zhǎng)至外界，從而可將另一 待干燥的元件20夾持，并經(jīng)由收縮動(dòng)作將該待干燥的元件20移動(dòng)至所述裝料腔12a內(nèi)。
重復(fù)所述循環(huán)步驟(e)、 (f)、 (g)，即可實(shí)施連續(xù)不斷的干燥。
由上述干燥過程可知，所述元件20將分別經(jīng)歷真空度為P的第一真空度、真空度為1.5P 的第四真空度、真空度為2P的第二真空度及真空度為1.5P的第四真空度的四個(gè)干燥過程。即 該元件20經(jīng)歷了真空度由低至高，再由高至低的干燥過程。所述真空度由低至高的干燥過程 有利于提高所述元件20的干燥效果，而所述真空度由高至低的干燥過程則可使所述元件20在 較低的真空度環(huán)境下進(jìn)入外界，以避免真空度忽然下降所造成的能量損失。
可以理解的是，所述第一干燥腔lla及所述第三干燥腔llc還可分別進(jìn)一步可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置 一取料裝置(圖未示)，以方便利用其攜取所述元件20進(jìn)行傳輸，當(dāng)然，該取料裝置也可分別 為可旋轉(zhuǎn)伸縮式機(jī)械手臂。
本發(fā)明第一實(shí)施例所述的真空干燥機(jī)10通過設(shè)置相連通的一裝料腔12a、 一第一干燥腔 lla、 一第二干燥腔llb、 一第三干燥腔llc及一卸料腔12b并依次分別對(duì)其進(jìn)行抽真空， 一方 面，經(jīng)由控制所述裝料腔12a的裝料閘門14a、所述卸料腔12b的卸料閘門14b及隔離所述第一 干燥腔lla、第二干燥腔llb、第三干燥腔llc的各個(gè)隔離閘門13a、 13b、 13c、 13d的開啟和 閉合，并經(jīng)由控制抽氣裝置16對(duì)所述裝料腔12a、所述第一干燥腔lla、第二干燥腔llb、第 三干燥腔llc及所述卸料腔12b進(jìn)行不同真空度的抽取，可使元件20在先提升后下降的真空環(huán)
境下依次在所述裝料腔12a、所述第一干燥腔lla、第二干燥腔llb、第三干燥腔llc及所述卸 料腔12b內(nèi)進(jìn)行干燥，并在真空度為1.5P的較低真空環(huán)境下破真空而取出至外界，從而可有 效地提高所述元件20的干燥效果并減小該元件20破真空所造成的能量浪費(fèi)；另一方面，當(dāng)所 述元件20進(jìn)行干燥的時(shí)候，可同時(shí)進(jìn)行再次裝載元件20，或選擇性地對(duì)所述裝料腔12a、所 述第一干燥腔lla、第二干燥腔llb、第三干燥腔llc及所述卸料腔12b進(jìn)行抽真空的動(dòng)作，從 而可有效地利用時(shí)間，使所述真空干燥機(jī)10獲得較佳的工作效率。
請(qǐng)參閱圖3，本發(fā)明第二實(shí)施例所提供的一種真空干燥機(jī)30，其包括一裝料腔32a，多個(gè) 干燥腔如干燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b，及一卸料腔32b;多個(gè)隔離閘門如 隔離閘門33a、 33b、 33c、 33d、 33e、 33f、 33g; —裝料閘門34a; —卸料閘門34b;多個(gè)取 料裝置如取料裝置35a、 35b、 35c、 35d、 35e、 35f、 35g、 35h;以及一個(gè)抽氣裝置36。
所述干燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b分別相連通形成一干燥裝置33，所述 裝料腔32a與所述干燥腔311a相連通，所述卸料腔32b與所述干燥腔313b相連通。所述裝料腔 32a用于收容從外界進(jìn)入的待干燥的元件30，如透鏡、濾光片等光學(xué)元件，并對(duì)該元件30進(jìn) 行初步干燥，以待送入所述干燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b依次進(jìn)行進(jìn)一步干 燥。所述卸料腔32b用于收容經(jīng)所述干燥腔313b進(jìn)行干燥的元件30并對(duì)該元件30進(jìn)行最后干 燥，以便進(jìn)一步將該元件30取出至外界，完成干燥過程。
所述隔離閘門33a、 33b、 33c、 33d、 33e、 33f、 33g分別設(shè)置于所述裝料腔32a、所述干 燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b及所述卸料腔32b之間，以分別將所述裝料腔 32a、所述干燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b及所述卸料腔32b隔離。
所述裝料閘門34a設(shè)置于所述裝料腔32a遠(yuǎn)離所述干燥腔311 a的一側(cè)，所述卸料閘門34b 設(shè)置于所述卸料腔32b遠(yuǎn)離所述干燥腔313b的一側(cè)。
所述取料裝置35a、 35b、 35c、 35d、 35e、 35f、 35g及35h分別可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述裝料 腔32a、所述干燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b及所述卸料腔32b內(nèi)，其分別為可 旋轉(zhuǎn)伸縮式機(jī)械手臂。
所述抽氣裝置36分別一抽氣管(未標(biāo)示)與所述裝料腔32a、所述干燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b及所述卸料腔32b相連通，并進(jìn)一步分別分別獨(dú)立地對(duì)所述裝料腔 32a、所述干燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b及所述卸料腔32b抽真空。該抽氣裝 置16可包括分別與所述裝料腔32a、所述干燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b及所 述卸料腔32b相連通的真空泵，如水環(huán)真空泵、羅茨真空泵、油封式真空泵、無油干式機(jī)械 真空泵等。
可以理解的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思做出其它 各種對(duì)應(yīng)的改變與變形，如變更彈性元件的種類，而所有這些改變與變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán) 利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種真空干燥機(jī)，其包括一裝料腔、一第一干燥腔、一第二干燥腔、一第三干燥腔及一卸料腔，所述第一干燥腔、第二干燥腔、第三干燥腔分別相連通形成一干燥裝置，所述裝料腔與所述卸料腔分別與所述干燥裝置的兩端相連通；四個(gè)隔離閘門，其分別設(shè)置于所述裝料腔與所述第一干燥腔之間、所述第一干燥腔與所述第二干燥腔之間、所述第二干燥腔與所述第三干燥腔之間、以及所述第三干燥腔與所述卸料腔之間，以分別將所述裝料腔、所述第一干燥腔、所述第二干燥腔、所述第三干燥腔及所述卸料腔隔離；一個(gè)裝料閘門，其設(shè)置于所述裝料腔遠(yuǎn)離所述第一干燥腔的一側(cè)；一個(gè)卸料閘門，其設(shè)置于所述卸料腔遠(yuǎn)離所述第三干燥腔的一側(cè)；三個(gè)取料裝置，其分別可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述裝料腔、所述第二干燥腔及所述卸料腔內(nèi)；以及一個(gè)抽氣裝置，其分別通過一抽氣管與所述裝料腔、所述第一干燥腔、第二干燥腔、第三干燥腔及所述卸料腔相連通，并進(jìn)一步分別獨(dú)立地對(duì)所述裝料腔、所述第一干燥腔、第二干燥腔、第三干燥腔及所述卸料腔抽真空。
2.如權(quán)利要求l所述的真空干燥機(jī)，其特征在于，所述取料裝置為 可伸縮式旋轉(zhuǎn)機(jī)械手臂。
3.如權(quán)利要求l所述的真空干燥機(jī)，其特征在于，所述裝料腔、所 述第一干燥腔、第二干燥腔、第三干燥腔及所述卸料腔的腔體體積相等。
4.如權(quán)利要求l所述的真空干燥機(jī)，其特征在于，所述抽氣裝置包 括多個(gè)真空泵。
5.如權(quán)利要求4所述的真空干燥機(jī)，其特征在于，所述真空泵選自 水環(huán)真空泵、羅茨真空泵、油封式真空泵及無油干式機(jī)械真空泵。
6. 一種真空干燥方法，其包括步驟(a)提供一種如權(quán)利要求l所 述的真空干燥機(jī)； (b) 關(guān)閉所述裝料腔與所述第一干燥腔之間的隔離閘門、以及所述第三干燥腔與所述 卸料腔之間的隔離閘門，對(duì)所述第一干燥腔、第二干燥腔及第三干燥腔抽真空至第一真空狀 態(tài)，同時(shí)開啟所述裝料閘門，所述裝料腔中的取料裝置將待干燥的元件攜取至裝料腔中；(c) 關(guān)閉所述裝料閘門及所述卸料閘門，對(duì)所述裝料腔及所述卸料腔抽真空至第一真 空狀態(tài)，同時(shí)關(guān)閉所述第一干燥腔與所述第二干燥腔之間的隔離閘門、以及所述第二干燥腔 與所述第三干燥腔之間的隔離閘門，對(duì)所述第一干燥腔、第二干燥腔及第三干燥腔抽真空至 第二真空狀態(tài)，所述第二真空狀態(tài)的真空度大于第一真空狀態(tài)的真空度；(d) 開啟所述裝料腔與所述第一干燥腔的之間的隔離閘門、以及所述第三干燥腔與所 述卸料腔之間的隔離閘門，所述裝料腔內(nèi)的取料裝置將位于所述裝料腔中的元件攜取至所述 第一干燥腔，同時(shí)所述抽氣裝置對(duì)所述第二干燥腔抽真空至第三真空狀態(tài)，所述第三真空狀 態(tài)的真空度大于所述第二真空狀態(tài)的真空度；(e) 關(guān)閉所述裝料腔與所述第一干燥腔之間的隔離閘門、以及所述第三干燥腔與所述 卸料腔之間的隔離閘門，同時(shí)開啟所述裝料閘門、所述卸料閘門、所述第一干燥腔與所述第 二干燥腔之間的隔離閘門、以及所述第二干燥腔與所述第三干燥腔之間的隔離閘門，所述第 二干燥腔內(nèi)的取料裝置將位于所述第一干燥腔中的元件攜取至所述第三干燥腔，所述裝料腔 中的取料裝置將另一待干燥的元件攜取至所述裝料腔內(nèi)；(f) 關(guān)閉所述裝料閘門、所述卸料閘門、所述第一干燥腔與所述第二干燥腔之間的隔 離閘門、以及所述第二干燥腔與所述第三干燥腔之間的隔離閘門，對(duì)所述裝料腔、所述卸料 腔抽真空至第一真空狀態(tài)，同時(shí)對(duì)所述第二干燥腔抽真空至第三真空狀態(tài)；(g)開啟所述裝 料腔與所述第一干燥腔的之間的隔離閘門、以及所述第三干燥腔與所述卸料腔之間的隔離閘 門，所述裝料腔內(nèi)的取料裝置將位于所述裝料腔中的元件攜取至所述第一干燥腔，所述卸料 腔內(nèi)的取料裝置將位于所述第三干燥腔中的元件攜取至所述卸料腔；(h)關(guān)閉所述裝料腔與 所述第一干燥腔之間的隔離閘門、以及所述第三干燥腔與所述卸料腔之間的隔離閘門，同時(shí) 開啟所述裝料閘門、所述卸料閘門、所述第一干燥腔與所述第二干燥腔之間的隔離閘門、以 及所述第二干燥腔與所述第三干燥腔之間的隔離閘門，所述第二干燥腔內(nèi)的取料裝置將所述 第一干燥腔中的元件攜取至所述第三干燥腔，所述卸料腔中的取料裝置將位于所述卸料腔中 且已干燥完畢的元件攜取至外界，所述裝料腔中的取料裝置將另一待干燥的元件攜取至裝料 腔中。
7.如權(quán)利要求6所述的真空干燥方法，其特征在于，所述第二真空 狀態(tài)的真空度為所述第一真空狀態(tài)的真空度的兩倍。
8.如權(quán)利要求6所述的真空干燥方法，其特征在于，所述第三真空 狀態(tài)的真空度為所述第一真空狀態(tài)的真空度的三倍。
9. 一種真空干燥機(jī)，其包括一裝料腔、多個(gè)干燥腔及一卸料腔，所 述多個(gè)干燥腔分別相連通形成一干燥裝置，所述裝料腔與所述卸料腔分別與所述干燥裝置的 兩端相連通；多個(gè)隔離閘門，其分別設(shè)置于所述裝料腔與所述多個(gè)干燥腔之間、所述多個(gè)干燥腔的 每?jī)蓚€(gè)干燥腔之間，及所述多個(gè)干燥腔與所述卸料腔之間，以分別將所述裝料腔、所述多個(gè) 干燥腔及所述卸料腔隔離；一個(gè)裝料閘門，其設(shè)置于所述裝料腔遠(yuǎn)離所述第一干燥腔的一側(cè)； 一個(gè)卸料閘門，其設(shè)置于所述卸料腔遠(yuǎn)離所述第三干燥腔的一側(cè)；多個(gè)取料裝置，其分別選擇性且可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述裝料腔、所述多個(gè)干燥腔及所述 卸料腔內(nèi)；以及一個(gè)抽氣裝置，其分別通過一抽氣管與所述裝料腔、所述多個(gè)干燥腔及所述卸料腔相 連通，并進(jìn)一步分別獨(dú)立地對(duì)所述裝料腔、所述多個(gè)干燥腔及所述卸料腔抽真空。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種真空干燥機(jī)，該真空干燥機(jī)包括分別相連通的一裝料腔、一第一干燥腔、一第二干燥腔、一第三干燥腔及一卸料腔；四個(gè)隔離閘門，其分別設(shè)置于該裝料腔、該第一干燥腔、該第二干燥腔、該第三干燥腔與該卸料腔之間；一設(shè)置于該裝料腔遠(yuǎn)離該第一干燥腔的一側(cè)的裝料閘門；一設(shè)置于該卸料腔遠(yuǎn)離該第三干燥腔的一側(cè)的卸料閘門；三個(gè)取料裝置，其分別可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在該裝料腔、該第二干燥腔及該卸料腔內(nèi)；以及一個(gè)抽氣裝置，其分別通過一抽氣管與該裝料腔、該第一干燥腔、第二干燥腔、第三干燥腔及該卸料腔相連通。本發(fā)明還提供一種真空干燥方法。所述真空干燥機(jī)及真空干燥法具有干燥效果好、干燥效率高的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)F26B5/04GK101338967SQ20071020102
公開日2009年1月7日 申請(qǐng)日期2007年7月6日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月6日
發(fā)明者張仁淙 申請(qǐng)人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司