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制造太陽能電池用的燧道爐傳送帶及其制造方法

文檔序號:4587658閱讀:196來源:國知局
專利名稱:制造太陽能電池用的燧道爐傳送帶及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及燧道爐用傳送帶,特別涉及制造太陽能電池用的燧道爐傳送帶及其制造方法。
背景技術(shù)
電子元器件制造行業(yè)中通常用燧道爐作為燒結(jié)工具,燧道爐傳送帶在燧道爐中傳送要燒結(jié)的元器件。太陽能電池制造過程中,被加工件硅片在燧道爐中靠燧道爐傳送帶傳送,來進(jìn)行干燥和燒結(jié)由絲網(wǎng)印刷機(jī)印刷的制造電極的漿料,或是用于磷擴(kuò)散磷源(P2O5),在P-型硅片表面上形成導(dǎo)電電極,或N-阱,形成PN結(jié)。
現(xiàn)有的燧道爐傳送帶的制作材料通常為“鎳鉻合金帶”,即“不銹鋼帶”。但是“鎳鉻合金帶”中包含有鐵(Fr)、鎳(Ni)、和鉻(Cr)。如果用鎳鉻合金帶制成的燧道爐傳送帶在高達(dá)900℃-1000℃高溫的燧道爐中傳送被加工件,因鎳鉻合金中含有的金屬元素會遷移到被加工的硅片中,導(dǎo)致太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率的下降。
如果用其它的非金屬材料制造燧道爐傳送帶,則不能承受高達(dá)900℃-1000℃的燒結(jié)高溫。
為了克服現(xiàn)有的鎳鉻合金制作的燧道爐傳送帶造成對太陽能電池的污染,和非金屬燧道爐傳送帶不能承受高達(dá)900℃-1000℃的燒結(jié)高溫的缺點(diǎn),提出本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供制造太陽能電池用燧道爐的傳送帶及其制造方法,使燧道爐傳送帶在制造太陽能電池的過程中“鎳鉻合金帶”構(gòu)成的燧道爐傳送帶不與硅晶片直接接觸,避免了“鎳鉻合金帶”中包含的金屬污染硅晶片;而且能承受燧道爐中高達(dá)900℃-1000℃的燒結(jié)高溫。
為達(dá)到上述目的,本發(fā)明提供制造太陽能電池用的燧道爐傳送帶用“鎳鉻合金帶”構(gòu)成,傳送帶表面設(shè)置“鎳鉻合金帶”構(gòu)成的多個支撐柱,在支撐柱頂表面涂覆陶瓷層(即Al2O3層)。
本發(fā)明提供制造太陽能電池用的燧道爐傳送帶的制造方法,包括以下工藝步驟步驟1,沖壓“鎳鉻合金帶”,在其正面上形成向上突起的多個支撐柱;步驟2,多個支撐柱頂表面利用等離子微弧陶瓷層技術(shù)涂覆陶瓷層。
進(jìn)一步,步驟2中傳送帶支撐柱表面涂覆Al2O3替換為涂覆碳化硅(SIC);同樣采用等離子微弧技術(shù)處理。
等離子微弧陶瓷層技術(shù)是一種在有色金屬表面原位生長陶瓷層的高新技術(shù),它的原理是在工件表面生長陽極化膜的同時,通過等離子微電弧的高溫把陽極化膜的非晶結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變?yōu)樘沾上?,從而提高其耐磨性、耐蝕性、耐高溫?zé)g性等性能。微弧處理中只放出氫、氧氣體;工件微弧處理后,用清水沖洗即可;微弧處理的槽液(PH9~10),顯微堿性,不含重金屬等污染物。整個處理過程無污染,屬清潔表面處理工藝,符合環(huán)保要求。
本發(fā)明的有益效果是,按照本發(fā)明方法制造的制造太陽能電池用的燧道爐傳送帶,在制造太陽能電池的過程中“鎳鉻合金帶”構(gòu)成的燧道爐傳送帶不與硅晶片直接接觸,避免了“鎳鉻合金帶”中包含的金屬污染硅晶片。而且能承受燧道爐中高達(dá)900℃-1000℃的燒結(jié)高溫。


圖1是按照本發(fā)明一個實(shí)施例制造太陽能電池用的燧道爐剖視圖,在燧道爐傳送帶表面上設(shè)置的“鎳鉻合金帶”的構(gòu)成多個支撐柱頂表面涂覆有陶瓷(Al2O3)層。
具體實(shí)施例方式圖1是按照本發(fā)明一個實(shí)施例制造太陽能電池用的燧道爐剖視圖,在燧道爐傳送帶上的元器件支撐柱頂部涂覆陶瓷(Al2O3)層。
參見圖1,按照本發(fā)明的技術(shù)方案,提供制造太陽能電池用的燧道爐傳送帶,它用“鎳鉻合金帶”構(gòu)成,傳送帶表面上設(shè)置“鎳鉻合金帶”構(gòu)成的多個支撐柱,在支撐柱表面涂覆陶瓷層(即Al2O3層)。所用Al2O3陶瓷粉的純度是99.99%;密度是3.98g/cm3;硬度是9(Mohs);熔點(diǎn)是2040℃。
按照本發(fā)明的另一個技術(shù)方案,提供制造太陽能電池用的燧道爐傳送帶的制造方法,包括以下工藝步驟步驟1,沖壓“鎳鉻合金帶”,在其正面上形成向上突起的多個支撐柱;步驟2,多個支撐柱頂表面利用等離子微弧陶瓷層技術(shù)涂覆陶瓷層。是以純度為99.99%、密度為3.98g/cm3、硬度為9(Mohs)、熔點(diǎn)是2040℃的陶瓷粉為原料。
經(jīng)過步驟1和2處理的“鎳鉻合金帶”,使粘結(jié)材料熔化到Al2O3粉和“鎳鉻合金帶”中,將Al2O3粉和“鎳鉻合金帶”粘結(jié)在一起,構(gòu)成本發(fā)明的燧道爐傳送帶。
以上用實(shí)施例說明了本發(fā)明提供的制造太陽能電池用的燧道爐傳送帶及其制造方法。按本發(fā)明的制造太陽能電池用的燧道爐傳送帶不僅用于制造太陽能電池,也可以用于制造需要防止金屬離子污染的其他電子元器件。
本發(fā)明不限于本文中的詳細(xì)描述。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)了解,本發(fā)明能以其他的形式實(shí)施。因此,按本發(fā)明的全部技術(shù)方案,所列舉的實(shí)施方式只是用于說明本發(fā)明而不是限制本發(fā)明,并且,本發(fā)明不局限于本文中描述的細(xì)節(jié)。本發(fā)明要求保護(hù)的范圍由所附的權(quán)利要求書界定。
權(quán)利要求
1.制造太陽能電池用的燧道爐傳送帶,它用“鎳鉻合金帶”構(gòu)成,其特征是,傳送帶上表面設(shè)置多個“鎳鉻合金帶”構(gòu)成的支撐柱,在支撐柱表面涂覆陶瓷層(即Al2O3)。
2.制造太陽能電池用的燧道爐傳送帶的制造方法,包括以下步驟步驟1,沖壓“鎳鉻合金帶”,在其正面上形成向上突起的多個支撐柱;步驟2,利用等離子微弧陶瓷層技術(shù)在支撐柱表面涂覆陶瓷層Al2O3。
3.如權(quán)利要求1所述的制造太陽能電池用的燧道爐傳送帶的制造方法,其特征是,步驟2中傳送帶支撐柱表面涂覆Al2O3替換為涂覆碳化硅(SIC)。
全文摘要
本發(fā)明提供制造太陽能電池用的燧道爐傳送帶及其制造方法。制造太陽能電池用的燧道爐傳送帶用“鎳鉻合金帶”構(gòu)成,其特征是,傳送帶上表面設(shè)置多個“鎳鉻合金”構(gòu)成的支撐柱,在支撐柱頂表面涂覆陶瓷層(即Al
文檔編號F27B9/30GK1920458SQ20051002914
公開日2007年2月28日 申請日期2005年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月26日
發(fā)明者陳卓明, 蘇曉平, 江彤 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
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