一種排氣管道的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型的實(shí)施例提供一種排氣管道，涉及氣體冷凝【技術(shù)領(lǐng)域】，提高了產(chǎn)品品質(zhì)，同時(shí)降低了生產(chǎn)成本。該排氣管道具體包括：一水平設(shè)置的進(jìn)氣管、一水平設(shè)置的出氣管、一非水平設(shè)置的第一中間管和一非水平設(shè)置的第二中間管，其中：所述進(jìn)氣管的非進(jìn)氣端通過側(cè)管與底管連通；所述底管與所述第一中間管的下端連通；所述第一中間管的上端通過頂管與所述第二中間管的上端連通；所述第二中間管的下端通過側(cè)管與底管連通；所述底管與所述出氣管的非出氣端連通。本實(shí)用新型的實(shí)施例應(yīng)用于氣體冷凝工藝中。
【專利說明】一種排氣管道
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及氣體冷凝【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種排氣管道。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著九十年代薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管-液晶顯示器(Thin Film Transistor-LiquidCrystal Display,簡(jiǎn)稱TFT-1XD)技術(shù)的成熟,液晶顯示面板由于其平板、輕薄、低功耗、多樣化、環(huán)保性等優(yōu)點(diǎn)得到迅速發(fā)展。隨著玻璃基板大型化，為保證產(chǎn)品的合格率，各步工藝的均一性面臨更大挑戰(zhàn)。清洗、濕刻及剝離是TFT-1XD工藝中三個(gè)重要環(huán)節(jié)。清洗是對(duì)投入的以及成膜前的玻璃進(jìn)行清洗用以去除各種影響品質(zhì)的顆粒；濕刻是利用混合酸液對(duì)玻璃表面光刻未覆蓋的金屬進(jìn)行刻蝕，從而形成所需要的金屬圖案；剝離是利用剝離液對(duì)玻璃上的未被顯影的光刻膠進(jìn)行去除。
[0003]在實(shí)際工藝過程中，設(shè)備反應(yīng)單元均安裝排氣管道用以對(duì)反應(yīng)區(qū)間揮發(fā)的氣體進(jìn)行冷凝回收，目的為減少生產(chǎn)事故，提高產(chǎn)品品質(zhì)，降低成本。在實(shí)際應(yīng)用中，排氣管道的形狀以及內(nèi)部結(jié)構(gòu)對(duì)冷凝的效果以及成本的控制有很大的關(guān)聯(lián)?，F(xiàn)有的排氣管道的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，排氣管道內(nèi)部全部為空心，只靠管道外的空氣進(jìn)行冷凝，因此冷凝效果較差。冷凝回流的液體直接通過排氣管道進(jìn)入廢氣管道。這樣，藥液的使用效率較低，同時(shí)不利于成本的降低。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的實(shí)施例提供一種排氣管道，提高了產(chǎn)品品質(zhì)，同時(shí)降低了生產(chǎn)成本。
[0005]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案:
[0006]第一方面，提供一種排氣管道，包括:一水平設(shè)置的進(jìn)氣管、一水平設(shè)置的出氣管、一非水平設(shè)置的第一中間管和一非水平設(shè)置的第二中間管，其中:
[0007]所述進(jìn)氣管的非進(jìn)氣端通過側(cè)管與底管連通；所述底管與所述第一中間管的下端連通；
[0008]所述第一中間管的上端通過頂管與所述第二中間管的上端連通；
[0009]所述第二中間管的下端通過側(cè)管與底管連通；所述底管與所述出氣管的非出氣端連通。
[0010]可選的，所述排氣管道還包括:一非水平設(shè)置的第一直管和一非水平設(shè)置的第二直管，其中:
[0011]所述第一直管的上端通過側(cè)管與所述進(jìn)氣管的非進(jìn)氣端連通，所述第一直管的下端通過底管與所述第一中間管的下端連通；
[0012]所述第二直管的上端通過側(cè)管與所述出氣管的非出氣端連通，所述第二直管的下端通過底管與所述第二中間管的下端連通。
[0013]可選的，所述排氣管道具有至少兩個(gè)第一中間管和至少兩個(gè)第二中間管；
[0014]所述第一中間管與所述第二中間管之間通過至少一個(gè)所述底管或至少一個(gè)所述頂管連通。
[0015]可選的，所述底管的下端設(shè)置有接口。
[0016]可選的，所述第一直管的下端、所述第一中間管的下端、所述第二中間管的下端、所述第二直管的下端、所述第一直管的上端、所述第二直管的上端、所述第一中間管的上端和所述第二中間管的上端設(shè)置有接口。
[0017]可選的，所述第一中間管、所述第二中間管、所述第一直管和所述第二直管的內(nèi)部均設(shè)置有N個(gè)細(xì)直管；
[0018]所述細(xì)直管之間的空隙的上端和下端密封；其中，N為正整數(shù)。
[0019]可選的，所述第一中間管、所述第二中間管、所述第一直管和所述第二直管用于進(jìn)氣的一端設(shè)置成凹形曲面；
[0020]所述第一中間管、所述第二中間管、所述第一直管和所述第二直管用于出氣的一端設(shè)置成平面。
[0021]可選的，所述細(xì)直管之間的空隙中裝有冷凝劑。
[0022]可選的，所述第一中間管的長度大于所述第一直管、所述第二直管的長度；
[0023]所述第二中間管的長度大于所述第一直管、所述第二直管的長度。
[0024]可選的，所述出氣管上設(shè)置有壓力調(diào)節(jié)閥。
[0025]本實(shí)用新型的實(shí)施例提供的排氣管道，通過將排氣管道采用多個(gè)彎管式的走向設(shè)計(jì)，提高了產(chǎn)品品質(zhì)，同時(shí)降低了生產(chǎn)成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0027]圖1為本實(shí)用新型的實(shí)施例提供的一種排氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖2為本實(shí)用新型的實(shí)施例提供的另一種排氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖3為本實(shí)用新型的實(shí)施例提供的又一種排氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖4為本實(shí)用新型的另一實(shí)施例提供的一種排氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖5為本實(shí)用新型的實(shí)施例提供的一種排氣管道的第一直管、第二直管、第一中間管和第二中間管的進(jìn)氣端的側(cè)面圖；
[0032]圖6為本實(shí)用新型的實(shí)施例提供的一種排氣管道的第一直管、第二直管、第一中間管和第二中間管的出氣端的側(cè)面圖。
[0033]附圖標(biāo)記:1-進(jìn)氣管；2_出氣管；3_第一中間管；4_第二中間管；5-側(cè)管；6-底管；7-頂管；8_第一直管；9_第二直管；10a-接口 ；10b-接口 ；10c_接口 ；11_細(xì)直管。
【具體實(shí)施方式】
[0034]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0035]本實(shí)用新型的實(shí)施例提供一種排氣管道，參照?qǐng)D1所示，包括:一水平設(shè)置的進(jìn)氣管1、一水平設(shè)置的出氣管2、一非水平設(shè)置的第一中間管3和一非水平設(shè)置的第二中間管4，其中:
[0036]進(jìn)氣管I的非進(jìn)氣端通過側(cè)管5與底管6連通；底管6與第一中間管3的下端連通。
[0037]第一中間管3的上端通過頂管7與第二中間管4的上端連通。
[0038]第二中間管4的下端通過側(cè)管5與底管6連通；側(cè)管5與出氣管2的非出氣端連通。
[0039]本實(shí)用新型的實(shí)施例提供的排氣管道，通過將排氣管道采用多個(gè)彎管式的走向設(shè)計(jì)，提高了產(chǎn)品品質(zhì)，同時(shí)降低了生產(chǎn)成本。
[0040]進(jìn)一步，參照?qǐng)D2所示，本實(shí)用新型的實(shí)施例提供的排氣管道，還包括:一非水平設(shè)置的第一直管8和一非水平設(shè)置的第二直管9，其中:
[0041]第一直管8的上端通過側(cè)管5與進(jìn)氣管I的非進(jìn)氣端連通，第一直管8的下端通過底管6與第一中間管3的下端連通。
[0042]第二直管9的上端通過側(cè)管5與出氣管2的非出氣端連通，第二直管9的下端通過底管6與第二中間管4的下端連通。
[0043]進(jìn)一步，該排氣管道具有至少兩個(gè)第一中間管和至少兩個(gè)第二中間管。
[0044]具體的，參照?qǐng)D3所示，以第一中間管為兩個(gè)和第二中間管為兩個(gè)為例，進(jìn)行說明。
[0045]參照?qǐng)D4所示，第一中間管3與第二中間管4之間通過至少一個(gè)底管6或至少一個(gè)頂管7連通。
[0046]底管6的下端設(shè)置有接口 10a。
[0047]第一直管8的下端、第一中間管3的下端、第二中間管4的下端、第二直管9的下端設(shè)置有接口 10b。
[0048]第一直管8的上端、第二直管9的上端、第一中間管3的上端和第二中間管4的上端設(shè)置有接口 10c。
[0049]其中，上述接口的形狀可以根據(jù)實(shí)際中裝置的需求進(jìn)行設(shè)計(jì)，此處不做限定。在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，優(yōu)選的各個(gè)接口的形狀如圖4中所示。底管下端的接口 10a，主要用于回收冷凝后的氣體，可以增加藥液的使用效率。第一直管的上端、第一中間管的上端、第二中間管的上端和第二直管上端的接口 10c，主要用于冷凝液的流出，以便于冷凝液可以回收再利用，降低生產(chǎn)成本，減少對(duì)冷凝液的浪費(fèi)。第一直管的下端、第一中間管的下端、第二中間管的下端和第二直管的下端的接口 10b，主要用于冷凝液的進(jìn)入。
[0050]如圖5、圖6中所示，第一中間管3、第二中間管4、第一直管8和第二直管9的內(nèi)部均設(shè)置有N個(gè)細(xì)直管11。
[0051]細(xì)直管11之間的空隙的上端和下端密封；其中，N為正整數(shù)。
[0052]第一中間管3、第二中間管4、第一直管8和第二直管9用于進(jìn)氣的一端設(shè)置成凹形曲面。
[0053]第一中間管3、第二中間管4、第一直管8和第二直管9用于出氣的一端設(shè)置成平面。
[0054]第一中間管、第二中間管、第一直管和第二直管的進(jìn)氣端設(shè)計(jì)為凹形曲面可以減小氣體在剛進(jìn)入管道內(nèi)部時(shí)與排氣管道間的摩擦力，可以增大單位時(shí)間內(nèi)進(jìn)入排氣管道的氣體的體積，可以再最短的時(shí)間內(nèi)保證氣體達(dá)到最大程度的冷凝效果。第一中間管、第二中間管、第一直管和第二直管的出氣端設(shè)計(jì)為平面，可以保證氣體平穩(wěn)的從管道流出，進(jìn)而減少生產(chǎn)時(shí)間。
[0055]細(xì)直管11之間的空隙中裝有冷凝劑。
[0056]在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，冷凝劑優(yōu)選冷凝水。這樣，由于冷凝水可以循環(huán)利用，能節(jié)省整個(gè)生產(chǎn)工藝的成本。當(dāng)然，冷凝劑并不限于只是冷凝水，可以根據(jù)具體的生產(chǎn)工藝選擇適合的冷凝劑。
[0057]第一中間管3的長度大于第一直管8、第二直管9的長度。
[0058]第二中間管4的長度大于第一直管8、第二直管9的長度。
[0059]進(jìn)一步，出氣管2上設(shè)置有壓力調(diào)節(jié)閥11。
[0060]具體的，壓力調(diào)節(jié)閥可以適時(shí)的調(diào)節(jié)廢氣的排出速度，保證氣體最大程度的冷凝。
[0061]本實(shí)用新型的排氣管道中，細(xì)直管用于氣體的通過，細(xì)直管之間的空隙中裝有冷凝水。這樣，可以增大冷凝水與氣體的接觸面積，提高氣體的冷凝效果，減少廢氣的排出。
[0062]對(duì)于液晶行業(yè)中的清洗、濕刻和剝離工藝，在實(shí)際的工藝流程中，均會(huì)有氣體揮發(fā)出來，因此需要安裝排氣管道對(duì)氣體進(jìn)行冷凝回收，但是現(xiàn)有的排氣管道結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單不利于氣體的充分冷凝，達(dá)不到應(yīng)有的冷凝效果生產(chǎn)事故多，但是采用本實(shí)用新型的排氣管道，由于整個(gè)排氣管道設(shè)計(jì)成U型的結(jié)構(gòu)，相比于現(xiàn)有技術(shù)，可以極大的提高氣體的冷凝效果。同時(shí)，排氣管道的第一中間管、第二中間管、第一直管和第二直管中安裝有細(xì)直管，且細(xì)直管之間的空隙中有冷凝劑，氣體在細(xì)直管之間的空隙中流通，與冷凝劑充分接觸，可以保證氣體的冷凝效果。并通過底管的接口可以及時(shí)的回收冷凝后的氣體，有效的降低氣體的冷凝時(shí)間保證整個(gè)生產(chǎn)工藝的順利進(jìn)行。
[0063]當(dāng)然，該排氣管道不只是應(yīng)用于液晶行業(yè)中的清洗、濕刻和剝離工藝中，對(duì)于類似的制造工藝，有氣體排出并需要冷凝的生產(chǎn)工藝均可以適用。
[0064]本實(shí)用新型的實(shí)施例提供的排氣管道，通過將排氣管道采用多個(gè)彎管式的走向設(shè)計(jì)，提高了產(chǎn)品品質(zhì)，同時(shí)降低了生產(chǎn)成本。進(jìn)而，可以減少生產(chǎn)事故的發(fā)生。
[0065]以上所述，僅為本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種排氣管道，其特征在于，包括:一水平設(shè)置的進(jìn)氣管、一水平設(shè)置的出氣管、一非水平設(shè)置的第一中間管和一非水平設(shè)置的第二中間管，其中: 所述進(jìn)氣管的非進(jìn)氣端通過側(cè)管與底管連通；所述底管與所述第一中間管的下端連通； 所述第一中間管的上端通過頂管與所述第二中間管的上端連通； 所述第二中間管的下端通過側(cè)管與底管連通；所述底管與所述出氣管的非出氣端連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排氣管道，其特征在于，所述排氣管道還包括:一非水平設(shè)置的第一直管和一非水平設(shè)置的第二直管，其中: 所述第一直管的上端通過側(cè)管與所述進(jìn)氣管的非進(jìn)氣端連通，所述第一直管的下端通過底管與所述第一中間管的下端連通； 所述第二直管的上端通過側(cè)管與所述出氣管的非出氣端連通，所述第二直管的下端通過底管與所述第二中間管的下端連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的排氣管道，其特征在于，所述排氣管道具有至少兩個(gè)所述第一中間管和至少兩個(gè)所述第二中間管； 所述第一中間管與所述第二中間管之間通過至少一個(gè)所述底管或至少一個(gè)所述頂管連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3任一所述的排氣管道，其特征在于， 所述底管的下端設(shè)置有接口。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的排氣管道，其特征在于， 所述第一直管的下端、所述第一中間管的下端、所述第二中間管的下端、所述第二直管的下端、所述第一直管的上端、所述第二直管的上端、所述第一中間管的上端和所述第二中間管的上端設(shè)置有接口。
6.根據(jù)權(quán)利要求3或5所述的排氣管道，其特征在于，所述第一中間管、所述第二中間管、所述第一直管和所述第二直管的內(nèi)部均設(shè)置有N個(gè)細(xì)直管； 所述細(xì)直管之間的空隙的上端和下端密封；其中，N為正整數(shù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的排氣管道，其特征在于， 所述第一中間管、所述第二中間管、所述第一直管和所述第二直管用于進(jìn)氣的一端設(shè)置成凹形曲面； 所述第一中間管、所述第二中間管、所述第一直管和所述第二直管用于出氣的一端設(shè)置成平面。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的排氣管道，其特征在于， 所述細(xì)直管之間的空隙中裝有冷凝劑。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的排氣管道，其特征在于， 所述第一中間管的長度大于所述第一直管、所述第二直管的長度； 所述第二中間管的長度大于所述第一直管、所述第二直管的長度。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排氣管道，其特征在于， 所述出氣管上設(shè)置有壓力調(diào)節(jié)閥。
【文檔編號(hào)】F28B3/00GK203454835SQ201320280584
【公開日】2014年2月26日 申請(qǐng)日期:2013年5月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月21日
【發(fā)明者】謝少華, 侯智, 吳代吾, 楊子衡, 王明明, 喻玥, 胡偉, 肖冠華 申請(qǐng)人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司