專(zhuān)利名稱(chēng)：帶有廢熱鍋爐設(shè)備的干膜制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及帶有廢熱鍋爐(boiler)設(shè)備的干膜保護(hù)層(以下，也簡(jiǎn)稱(chēng)為干膜)的制造裝置。
背景技術(shù)：
作為感光性樹(shù)脂組合物，例如包括有電路用印刷電路板中所使用的干膜。干膜在制造階段經(jīng)由將作為感光性樹(shù)脂組合物的光致抗蝕劑承載于PET(聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯；聚酯)等載體膜上的工序。此時(shí)，需要將感光性樹(shù)脂組合物的原料溶解于溶劑中，在含有溶劑的感光性樹(shù)脂組合物被承載于載體膜上然后被干燥時(shí)，溶劑揮發(fā)而產(chǎn)生廢氣。該廢氣的濃度通常為約IOOppm 幾個(gè)百分比，因此，為了防止環(huán)境污染，通常設(shè)置廢氣處理設(shè)備，作為廢氣處理設(shè)備，通常使用通過(guò)燃燒廢氣來(lái)對(duì)廢氣進(jìn)行氧化處理的催化氧化設(shè)備。然而，在以往的干膜的制造裝置中，從催化氧化設(shè)備中排出的廢熱沒(méi)有被再利用。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的問(wèn)題在于，提供一種在干膜的制造工序中能夠?qū)Υ呋趸O(shè)備排出口的廢熱進(jìn)行再利用的新型干膜制造裝置。為了解決所述課題，本發(fā)明人進(jìn)行了深入研究和反復(fù)實(shí)驗(yàn)，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，能利用以下結(jié)構(gòu)的裝置能夠解決所述課題，從而完成了本發(fā)明。S卩，本發(fā)明如下所述。[1] 一種干膜制造裝置，其包括以下設(shè)備用于將含有溶劑的感光性樹(shù)脂組合物溶液涂布于載體膜上的涂布設(shè)備，用于使該已涂布的感光性樹(shù)脂組合物溶液中所含的溶劑揮發(fā)出的干燥設(shè)備，用于通過(guò)氧化而處理由該干燥設(shè)備產(chǎn)生的廢氣中的該溶劑成分的催化氧化設(shè)備， 以及用于利用該催化氧化設(shè)備排出口的廢熱的廢熱鍋爐設(shè)備。[2]根據(jù)所述[1]所述的干膜制造裝置，其中，所述催化氧化設(shè)備具有兩個(gè)以上廢熱的排出口。[3]根據(jù)所述[2]所述的干膜制造裝置，其中，所述排出口包括用于排出500°C以上的廢熱的排出口。根據(jù)本發(fā)明，在干膜的制造工序中，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)催化氧化設(shè)備排出口的廢熱的再利用。

圖1所示為本發(fā)明的干膜的制造裝置的一個(gè)例子的概略圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明1涂布設(shè)備[0018]2干燥設(shè)備3含有溶劑成分的廢氣4催化氧化設(shè)備5第一廢熱6第二廢熱7廢熱鍋爐設(shè)備8 水9水蒸汽10熱交換器11 空氣12 熱風(fēng)
具體實(shí)施方式
以下，邊參照附圖邊詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明。圖1示出了本發(fā)明的干膜制造裝置的一個(gè)例子。圖1中，附圖標(biāo)記1為用于將含有溶劑的感光性樹(shù)脂組合物溶液涂布于載體膜上的涂布設(shè)備，附圖標(biāo)記2為用于使所涂布的感光性樹(shù)脂組合物溶液中所含的溶劑揮發(fā)出的干燥設(shè)備，附圖標(biāo)記3為由干燥設(shè)備產(chǎn)生的含有溶劑成分的廢氣，附圖標(biāo)記4為用于通過(guò)氧化而處理由干燥設(shè)備產(chǎn)生的廢氣中的溶劑成分的催化氧化設(shè)備，附圖標(biāo)記5為從催化氧化設(shè)備中排出的第一廢熱，附圖標(biāo)記6為在從催化氧化設(shè)備中排出的多種廢熱中的溫度比廢熱1低的第二廢熱，附圖標(biāo)記7為利用第一廢熱的廢熱鍋爐設(shè)備，附圖標(biāo)記8為被廢熱鍋爐設(shè)備加熱之前的水，附圖標(biāo)記9為被廢熱鍋爐設(shè)備加熱而成的水蒸汽，附圖標(biāo)記10為利用水蒸汽加熱空氣的熱交換器，附圖標(biāo)記11為送入熱交換器的空氣，而且附圖標(biāo)記12為從熱交換器中送出的熱風(fēng)。圖1所示的干膜的制造裝置采用將被廢熱鍋爐設(shè)備加熱而成的水蒸汽在干燥設(shè)備中再利用的工藝，但是，所述水蒸汽還能夠在干燥設(shè)備以外的設(shè)備中利用。在涂布設(shè)備中，感光性樹(shù)脂組合物溶液被涂布于PET (聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯；聚酯)等載體膜的表面。接著利用接下來(lái)的干燥設(shè)備使由涂布設(shè)備涂布于載體膜上的含有溶劑的感光性樹(shù)脂組合物中所含的溶劑揮發(fā)，而在載體膜上僅殘留下感光性粘著組合物。作為干燥設(shè)備，只要為能夠使溶劑揮發(fā)的設(shè)備即可，例如，也可以設(shè)置干燥機(jī)(dryer)。本發(fā)明中，含有利用干燥設(shè)備揮發(fā)出來(lái)的溶劑的廢氣被供給至催化氧化設(shè)備。作為催化氧化裝置，可使用利用鉬催化劑等使脫附氣體發(fā)生催化氧化反應(yīng)來(lái)進(jìn)行氧化分解的催化燃燒裝置、或?qū)f催化劑等與蓄熱體組合而有效地使脫附氣體發(fā)生催化氧化反應(yīng)來(lái)進(jìn)行氧化分解的蓄熱式催化燃燒裝置等。從運(yùn)行成本的觀點(diǎn)來(lái)看，優(yōu)選催化燃燒裝置。此外， 催化氧化裝置優(yōu)選具有兩個(gè)以上用于排出廢熱的排出口。通過(guò)具有兩個(gè)以上的排出口，從而能夠?qū)囊粋€(gè)排出口排出的廢熱的溫度設(shè)定為500°C以上，而能夠有效地通過(guò)廢熱鍋爐制造水蒸汽。在此，從另一排出口排出的低于500°C的廢熱例如可用于制造熱水。本發(fā)明中，對(duì)由催化氧化裝置排出的廢熱在廢熱鍋爐設(shè)備中進(jìn)行再利用。為了進(jìn)一步提高利用效率，此處的廢熱鍋爐設(shè)備可以同時(shí)使用熱管、熱盤(pán)管(thermo-coil)等。[0036]作為干膜中所含的感光性樹(shù)脂組合物，優(yōu)選含有20 90質(zhì)量％的(A)含有羧基的堿可溶性高分子、5 75質(zhì)量％的(B)加成聚合性單體、以及0.01 30質(zhì)量％的(C)光聚合引發(fā)劑。從撓性的觀點(diǎn)來(lái)看，成分(A)的堿可溶性高分子優(yōu)選乙烯基共聚物，進(jìn)而從顯影性的觀點(diǎn)來(lái)看，優(yōu)選含羧酸的乙烯基共聚物。此處，含羧酸的乙烯基共聚物是指使選自α、 β-不飽和羧酸中的至少一種第1單體與選自以下物質(zhì)中的至少一種第2單體進(jìn)行乙烯基共聚合而得到的化合物烷基(甲基)丙烯酸酯、羥基烷基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酰胺和將其氮上的氫置換成烷基或烷氧基的化合物、苯乙烯及苯乙烯衍生物、(甲基)丙烯腈、以及(甲基)丙烯酸縮水甘油酯。作為含羧酸的乙烯基共聚物中使用的第1單體，可列舉出丙烯酸、甲基丙烯酸、富馬酸、肉桂酸、巴豆酸、衣康酸、馬來(lái)酸半酯等，可以分別單獨(dú)使用也可以將兩種以上組合使用。含羧酸的乙烯基共聚物中的第1單體的比例優(yōu)選為15質(zhì)量％以上且40質(zhì)量％以下， 更優(yōu)選為20質(zhì)量％以上且35質(zhì)量％以下。為了保持堿顯影性，第1單體的比例優(yōu)選為15 質(zhì)量％以上，從羧酸乙烯基共聚物的溶解度的觀點(diǎn)來(lái)看，優(yōu)選為40質(zhì)量％以下。作為含羧酸的乙烯基共聚物中使用的第2單體，可列舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯、聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酰胺、N-羥甲基丙烯酰胺、N- 丁氧基甲基丙烯酰胺、苯乙烯、α -甲基苯乙烯、對(duì)甲基苯乙烯、對(duì)氯苯乙烯、(甲基)丙烯腈、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯等，可以分別單獨(dú)使用也可以將兩種以上組合使用。含羧酸的乙烯基共聚物中的第2單體的比例優(yōu)選為60質(zhì)量％以上且85質(zhì)量％以下，更優(yōu)選為65質(zhì)量％以上且80質(zhì)量％以下。從平衡剝離性和焊料耐性(ii&e耐性) 的觀點(diǎn)來(lái)看，含羧酸的乙烯基共聚物優(yōu)選使用含有不同重均分子量的物質(zhì)。進(jìn)而，以感光性樹(shù)脂的總質(zhì)量基準(zhǔn)計(jì)，感光性樹(shù)脂優(yōu)選使用20 90質(zhì)量％的(A)含羧基的堿可溶性高分子。成分⑶可以使用公知的加成聚合性單體。例如，可以將聚氧亞烷基單(甲基)丙烯酸酯(polyoxyalklene mono (meth) aery late)、聚氧亞烷基二 (甲基)丙烯酸酯 (polyoxyalklene di (meth) acrylate)、雙酚A環(huán)氧化物改性二丙烯酸酯、多元醇的環(huán)氧乙烷改性聚(甲基)丙烯酸酯等的一種或兩種以上組合使用。以感光性樹(shù)脂的總質(zhì)量基準(zhǔn)計(jì)，配合量?jī)?yōu)選為5質(zhì)量％以上且75質(zhì)量％以下，更優(yōu)選為20質(zhì)量％以上且50質(zhì)量％以下。為了使感光性樹(shù)脂層充分固化而維持作為保護(hù)層的強(qiáng)度，上述含量?jī)?yōu)選為5質(zhì)量％以上。此外，為了防止固化后的裂紋，上述加成聚合性單體的總含量?jī)?yōu)選為75質(zhì)量％以下。成分(C)可以使用公知的光聚合引發(fā)劑?？梢允褂枚郊淄苌?、芐基縮酮衍生物、硫雜蒽酮衍生物、芳基咪唑衍生物等。從密合性的觀點(diǎn)來(lái)看，優(yōu)選2-(鄰氯苯基)-4、 5-二苯基咪唑二聚體。以感光性樹(shù)脂的總質(zhì)量基準(zhǔn)計(jì)，光聚合引發(fā)劑的含量?jī)?yōu)選為0.01質(zhì)量％以上且30質(zhì)量％以下，更優(yōu)選為1質(zhì)量％以上且10質(zhì)量％以下。即，為了獲得充分的感光度，優(yōu)選為0.01質(zhì)量％以上，為了使感光性樹(shù)脂層的底部充分固化，優(yōu)選為30質(zhì)量％ 以下。[0042]實(shí)施例以下，利用實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體的說(shuō)明。利用與圖1所示的干膜制造裝置相同的裝置(system)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)。制作并向載體膜涂布了包含甲乙酮的感光性樹(shù)脂溶液來(lái)作為感光性樹(shù)脂組合物，所述感光性樹(shù)脂組合物含有(A)含羧基的堿可溶性高分子、(B)加成聚合性單體以及(C)光聚合引發(fā)劑。作為處理由干燥設(shè)備排出的廢氣的廢氣處理裝置，使用了催化氧化設(shè)備。實(shí)驗(yàn)的結(jié)果使用本發(fā)明的帶有廢熱鍋爐的干膜制造裝置時(shí)使用的蒸氣流量變?yōu)椴皇褂脧U熱鍋爐設(shè)備時(shí)使用的蒸氣流量的大約一半。產(chǎn)業(yè)上的可利用件由于本發(fā)明在干膜的制造工序中能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)催化氧化設(shè)備排出口的廢熱進(jìn)行再利用，因而在干膜的制造產(chǎn)業(yè)中的利用價(jià)值高。
權(quán)利要求1.一種干膜制造裝置，其中，該干膜制造裝置包括以下設(shè)備用于將含有溶劑的感光性樹(shù)脂組合物溶液涂布于載體膜上的涂布設(shè)備， 用于使該已涂布的感光性樹(shù)脂組合物溶液中所含的溶劑揮發(fā)出的干燥設(shè)備， 用于通過(guò)氧化而處理由該干燥設(shè)備產(chǎn)生的廢氣中的該溶劑成分的催化氧化設(shè)備，以及用于利用該催化氧化設(shè)備排出口的廢熱的廢熱鍋爐設(shè)備。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干膜制造裝置，其中，所述催化氧化設(shè)備具有兩個(gè)以上廢熱的排出口。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的干膜制造裝置，其中，所述排出口包括用于排出500°C以上的廢熱的排出口。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種帶有廢熱鍋爐設(shè)備的干膜制造裝置，其在干膜的制造工序中，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)催化氧化設(shè)備排出口的廢熱的再利用。該干膜制造裝置包括以下設(shè)備用于將含有溶劑的感光性樹(shù)脂組合物溶液涂布于載體膜上的涂布設(shè)備，用于使該已涂布的感光性樹(shù)脂組合物溶液中所含的溶劑揮發(fā)出的干燥設(shè)備，用于通過(guò)氧化而處理由該干燥設(shè)備產(chǎn)生的廢氣中的該溶劑成分的催化氧化設(shè)備，以及利用該催化氧化設(shè)備排出口的廢熱的廢熱鍋爐設(shè)備。
文檔編號(hào)G03F7/16GK202205026SQ201120235518
公開(kāi)日2012年4月25日 申請(qǐng)日期2011年7月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月4日
發(fā)明者宮崎貞二 申請(qǐng)人:旭化成電子材料株式會(huì)社