專利名稱：一種廢氣處理設備及廢氣處理方法
一種廢氣處理設備及廢氣處理方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種廢氣處理設備及廢氣處理方法，特別是涉及有機廢氣的焚燒處理
設備及方法。背景技術：
綠色環(huán)保已經(jīng)越來越被人們所關注，廢氣廢液處理設備也被越來越多的企業(yè)所使 用。對半導體相關產(chǎn)業(yè)來說，有機廢氣是占很大比重的一部份廢棄物，目前業(yè)界使用較多的 廢氣處理設備是焚燒式處理設備，例如中國實用新型專利200620167491. X中就介紹了一 種多室蓄熱式有機廢氣焚燒爐。 在現(xiàn)有的焚燒式廢氣處理設備中一般包括使廢氣中有機物焚燒的燃燒室和引導 廢氣進入燃燒室的引風機。燃燒室內(nèi)溫度要被控制在一個合理的范圍，如果溫度過高會損 壞設備，如果溫度過低，則可能熄火，使廢氣得不到焚燒處理?，F(xiàn)有技術中控制燃燒室溫度 的方式主要是依靠調(diào)節(jié)引風機的轉速，例如當溫度高于合理范圍時，要加速引風機運轉。但 這種設計存在缺點，一則增加引風機轉速會增大設備運轉能耗，再者因為引風機運轉速度 是有極限的，有時會出現(xiàn)超出引風機調(diào)整能力范圍的狀況，即引風機已經(jīng)達到了最大轉速， 但燃燒室內(nèi)溫度仍高于合理范圍，從而導致設備關閉，影響生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個目的是提供一種廢氣處理設備，其包括具有燃燒噴嘴和溫度感測 裝置的燃燒室，所述燃燒室具有至少一個進氣口 、至少一個出氣口 、至少一個回氣口 ；熱交 換器，具有降溫區(qū)和升溫區(qū)；吸附脫附裝置，所述吸附脫附裝置包括吸附區(qū)、冷卻區(qū)和脫附 區(qū)；連通外氣至所述冷卻區(qū)的第一輸入管路；連通所述冷卻區(qū)至所述熱交換器升溫區(qū)的第 一導通管路；連通所述熱交換器升溫區(qū)至所述脫附區(qū)的第二導通管路；連通所述脫附區(qū)至 所述進氣口的第三導通管路；連通所述出氣口至所述熱交換器降溫區(qū)的第四導通管路；回 風閥，包括外風門和回風門；連通所述熱交換器降溫區(qū)至所述回風閥的第五導通管路；連 通所述回風閥至所述回氣口的第六導通管路；排出塔；連通所述回風閥至所述排出塔的第 七導通管路；第一引風機，設置在所述第五導通管路中；第一外氣閥，設置在所述第三導通 管路上。 作為可選的技術方案，上述的廢氣處理設備可以包括連通廢氣源至所述吸附區(qū)的 第二輸入管路；連通所述吸附區(qū)至所述排出塔的第八導通管路；第二引風機，設置在所述 第二輸入管路或所述第八導通管路中。 作為可選的技術方案，上述的廢氣處理設備，其可以包括第二外氣閥，設置在所 述第五導通管路上。 作為可選的技術方案，上述的廢氣處理設備，其特征在于包括中央處理裝置，所 述中央處理裝置控制所述燃燒噴嘴、所述溫度感測裝置、所述第一引風機、所述第一外氣閥 及所述回風閥。
本發(fā)明的另一個目的是提供一種上述設備進行廢氣處理的方法，其包括偵測所 述燃燒室內(nèi)溫度；當所述燃燒室內(nèi)溫度大于高溫限值時，開大一檔所述第一外氣閥。
作為可選的技術方案，所述的方法還包括當所述燃燒室內(nèi)溫度大于高溫限值時， 提高一檔所述第一引風機轉速。或者，當所述燃燒室內(nèi)溫度大于高溫限值且所述第一外氣 閥處于全開狀態(tài)時，提高一檔所述第一引風機轉速。 作為可選的技術方案，所述的方法還包括當所述燃燒室內(nèi)溫度大于高溫限值時， 開大一檔所述回風閥的外風門。 本發(fā)明的再一個目的是提供一種使用上述設備進行廢氣處理的方法，其特征在于 包括偵測所述燃燒室內(nèi)溫度；當所述燃燒室內(nèi)溫度低于低溫限值時，閉小一檔所述第一 外氣閥。 本發(fā)明的又一個目的是提供一種上述設備進行廢氣處理的方法，其特征在于包 括偵測所述燃燒室內(nèi)溫度；當所述燃燒室內(nèi)溫度大于高溫限值時，開大一檔所述第一外 氣閥并開大一檔所述第二外氣閥。 本發(fā)明的好處在于，提供了第一外氣閥進行燃燒室內(nèi)溫度的調(diào)節(jié)，因此可以減少 加速引風機運轉的機會，節(jié)約了能源。再者，如果結合第一外氣閥和引風機轉速等多種溫度 調(diào)節(jié)方式，可以大大縮短溫度調(diào)節(jié)時間，使燃燒室更穩(wěn)定的工作。


圖1是本發(fā)明一種實施方式的廢氣處理設備的結構示意圖。
具體實施方式
請參考圖1，圖1是本發(fā)明一種實施方式的廢氣處理設備的結構示意圖。本實施方 式的廢氣處理設備包括具有燃燒噴嘴(41、42)和溫度感測裝置45的燃燒室40。這里燃 燒噴嘴和溫度感測裝置的數(shù)量和種類可以視實際需求而調(diào)整。燃燒噴嘴41、42通有可燃氣 體(例如甲烷)，用于引燃和焚燒廢氣。在處理有機廢氣時，當燃燒室內(nèi)的溫度已經(jīng)足夠引 燃廢氣中的有機物時，燃燒噴嘴41、42可以關閉。溫度感測裝置用于偵測燃燒室40內(nèi)的溫 度。在本實施方式中，燃燒室40具有三個蓄熱室(481、482、483)，每個蓄熱室分別具有一個 進氣口 (未繪示)、一個出氣口 (未繪示)、一個回氣口 (未繪示)。在其它實施方式中，進 氣口、出氣口、回氣口可以設置在燃燒室的其它位置。本實施方式的設備還包括熱交換器 80，具有降溫區(qū)82和升溫區(qū)81 ;吸附脫附裝置10(例如沸石轉輪)，所述吸附脫附裝置10 包括吸附區(qū)11、冷卻區(qū)12和脫附區(qū)13 ;連通外氣至所述冷卻區(qū)12的第一輸入管路21 ;連 通所述冷卻區(qū)12至所述熱交換器80的升溫區(qū)81的第一導通管路31 ;連通所述熱交換器升 溫區(qū)81至所述脫附區(qū)13的第二導通管路32 ;連通所述脫附區(qū)13至所述進氣口的第三導通 管路33 ;連通所述出氣口至所述熱交換器降溫區(qū)82的第四導通管路34 ;回風閥75，包括外 風門(未繪示)和回風門(未繪示)；連通所述熱交換器降溫區(qū)82至所述回風閥75的第 五導通管路35 ;連通所述回風閥75至所述回氣口的第六導通管路36 ;排出塔61 ;連通所述 回風閥75至所述排出塔61的第七導通管路37 ;第一引風機51，設置在所述第五導通管路 35中；第一外氣閥71，設置在所述第三導通管路33上，第一外氣閥71開啟的越大則進入第 三導通管路33的外氣(可以是空氣，也可以是根據(jù)需要由人工合成的氣體)越多。上述裝
5置構成的設備可以完成有機物脫附和焚燒作業(yè)，可以成為一個單獨的設備。但本實施方式 的廢氣處理設備功能更為完善，其還包括連通廢氣源至所述吸附區(qū)11的第二輸入管路22 ;
連通所述吸附區(qū)11至所述排出塔61的第八導通管路38 ;第二引風機52，設置在所述第八 導通管路38中，在其它實施方式中，第二引風機52可以設置在第二輸入管路22中。
本實施方式的廢氣處理設備可以包括第二外氣閥72，設置在所述第五導通管路 35上，以使燃燒室溫度控制更為容易，第二外氣閥72開啟的越大則進入第五導通管路35的 外氣越多。在其它實施方式中，第二外氣閥72不是必須的。 本實施方式的廢氣處理設備還可以包括中央處理裝置(未繪示)，所述中央處理 裝置控制所述燃燒噴嘴(41、42)、所述溫度感測裝置45、所述第一引風機51、所述第一外氣 閥71及所述回風閥75。中央處理裝置例如為計算機，可以實現(xiàn)廢氣處理設備的自動控制， 節(jié)約人力并更為可靠。 下面再以一種實施方式對使用上述設備進行廢氣處理的方法進行說明。
請參考圖1，由于第二引風機52的作用，生產(chǎn)中的有機廢氣沿第二輸入管路22進 入吸附區(qū)11，有機雜質(zhì)被吸附掉，剩余氣體經(jīng)第八導通管路58進入排出塔61。吸附區(qū)11 的吸附材料中累積一定量的有機雜質(zhì)后，要進行脫附，即將這些吸附材料移至脫附區(qū)13進 行脫附處理。在第一引風機51作用下，由第一輸入管路21引入外氣(下面以空氣為例進 行說明)，經(jīng)第一輸入管路21進入冷卻區(qū)12，使其中的吸附材料冷卻并使空氣初步升溫，初 步升溫的空氣在經(jīng)第一導通管路31進入熱交換器80的升溫區(qū)81，使空氣進一步升溫至脫 附所需溫度，進一步升溫的空氣再經(jīng)第二導通管路32進入脫附區(qū)13，使吸附材料中的有機 雜質(zhì)脫附出來，形成高濃度的有機廢氣。高濃度有機廢氣經(jīng)第三導通管路33和燃燒室的進 氣口進入燃燒室，在燃燒室內(nèi)高溫作用下燃燒分解。燃燒室內(nèi)的高溫氣體由第四導通管路 34排至熱交換器降溫區(qū)82，使高溫氣體降溫。降溫后的氣體經(jīng)第五導通管路35到達回風 閥75，部分氣體經(jīng)第六管路36和回氣口吹回燃燒室40，部分氣體經(jīng)第七導通管路排放至排 出塔61?；仫L閥75包括外風門和回風門，外風門控制進入第六管路的空氣的量，外風門開 啟越大，進入的外氣越多；回風門控制進入第六管路36和第七管路37的氣體比例。
燃燒室內(nèi)的溫度要控制在高溫限值(例如850攝氏度)和低溫限值(例如750攝 氏度)之間，在本實施方式中可以通過如下一些方式對燃燒室內(nèi)的溫度進行控制
首先偵測所述燃燒室40內(nèi)溫度；當所述燃燒室內(nèi)溫度大于高溫限值時，開大一檔 所述第一外氣閥71，這樣由于廢氣濃度的降低和廢氣溫度的降低，會起到使燃燒室內(nèi)溫度 降低的作用。第一外氣閥71由全閉至全開例如可以分成0至10檔，10檔表示全開，相鄰兩 檔之間的進氣量相差最大進氣量的10%。 同時，還可以提高一檔所述第一引風機51的轉速，例如提高l赫茲，這也會起到使 燃燒室內(nèi)溫度降低的作用，但會消耗電能。因此，在對燃燒室降溫速度要求不迫切的時候， 可以在所述燃燒室內(nèi)溫度大于高溫限值且所述第一外氣閥71處于全開狀態(tài)時，再提高一 檔所述第一引風機51轉速。 另外當所述燃燒室內(nèi)溫度大于高溫限值時可以采用的方案還有開大一檔所述回 風閥75的外風門。 再者，在本實施方式的廢氣處理設備中還包括第二外氣閥72，當所述燃燒室內(nèi)溫 度大于高溫限值時還可以采用開大一檔所述第二外氣閥72的方案。
上述各調(diào)節(jié)方案可以單獨使用，也可以同時結合使用。 上述調(diào)節(jié)方案的一次調(diào)節(jié)不一定會使燃燒室內(nèi)溫度降低至高溫限值以下，在進行 一次調(diào)節(jié)后，需要在一段時間(例如2分鐘)后，對燃燒室內(nèi)溫度再次偵測，如果燃燒室內(nèi) 溫度仍然高于高溫限值，則要使用上述一種或多種調(diào)節(jié)方案進行再次的調(diào)節(jié)。在實際使用 中往往需要多次的調(diào)節(jié)才能使燃燒室內(nèi)溫度降低到高溫限值以下。 偵測所述燃燒室40內(nèi)溫度后如果發(fā)現(xiàn)燃燒室內(nèi)溫度低于低溫限值時，可以采用 閉小一檔所述第一外氣閥71的方式以促使燃燒室內(nèi)溫度升高?；蛘咭部梢圆捎媒档鸵L 機51的轉速、閉小一檔所述回風閥75的外風門、閉小一檔所述第二外氣閥等方式。
權利要求
一種廢氣處理設備，其特征在于包括具有燃燒噴嘴和溫度感測裝置的燃燒室，所述燃燒室具有至少一個進氣口、至少一個出氣口、至少一個回氣口；熱交換器，具有降溫區(qū)和升溫區(qū)；吸附脫附裝置，所述吸附脫附裝置包括吸附區(qū)、冷卻區(qū)和脫附區(qū)；連通外氣至所述冷卻區(qū)的第一輸入管路；連通所述冷卻區(qū)至所述熱交換器升溫區(qū)的第一導通管路；連通所述熱交換器升溫區(qū)至所述脫附區(qū)的第二導通管路；連通所述脫附區(qū)至所述進氣口的第三導通管路；連通所述出氣口至所述熱交換器降溫區(qū)的第四導通管路；回風閥，所述回風閥包括外風門和回風門；連通所述熱交換器降溫區(qū)至所述回風閥的第五導通管路；連通所述回風閥至所述回氣口的第六導通管路；排出塔；連通所述回風閥至所述排出塔的第七導通管路；第一引風機，設置在所述第五導通管路中；第一外氣閥，設置在所述第三導通管路上。
2. 根據(jù)權利要求1所述的廢氣處理設備，其特征在于包括 連通廢氣源至所述吸附區(qū)的第二輸入管路； 連通所述吸附區(qū)至所述排出塔的第八導通管路； 第二引風機，設置在所述第二輸入管路或所述第八導通管路中。
3. 根據(jù)權利要求1所述的廢氣處理設備，其特征在于包括 第二外氣閥，設置在所述第五導通管路上。
4. 根據(jù)權利要求1所述的廢氣處理設備，其特征在于包括中央處理裝置，所述中央處理裝置控制所述燃燒噴嘴、所述溫度感測裝置、所述第一引 風機、所述第一外氣閥及所述回風閥。
5. —種使用如權利要求1所述設備進行廢氣處理的方法，其特征在于包括 偵測所述燃燒室內(nèi)溫度；當所述燃燒室內(nèi)溫度大于高溫限值時，開大一檔所述第一外氣閥。
6. 根據(jù)權利要求5所述的方法，其特征在于包括當所述燃燒室內(nèi)溫度大于高溫限值時，提高一檔所述第一引風機轉速。
7. 根據(jù)權利要求5所述的方法，其特征在于包括當所述燃燒室內(nèi)溫度大于高溫限值且所述第一外氣閥處于全開狀態(tài)時，提高一檔所述 第一引風機轉速。
8. 根據(jù)權利要求5所述的方法，其特征在于包括當所述燃燒室內(nèi)溫度大于高溫限值時，開大一檔所述回風閥的外風門。
9. 一種使用如權利要求1所述設備進行廢氣處理的方法，其特征在于包括 偵測所述燃燒室內(nèi)溫度；當所述燃燒室內(nèi)溫度低于低溫限值時，閉小一檔所述第一外氣閥。
10. —種使用如權利要求3所述設備進行廢氣處理的方法，其特征在于包括 偵測所述燃燒室內(nèi)溫度；當所述燃燒室內(nèi)溫度大于高溫限值時，開大一檔所述第一外氣閥并開大一檔所述第二 外氣閥。
全文摘要
一種廢氣處理設備及廢氣處理方法，涉及有機廢氣處理領域。本發(fā)明要解決的是現(xiàn)有廢氣處理設備能耗高、燃燒室溫度調(diào)節(jié)范圍小的技術問題，用于廢氣的處理。本發(fā)明的廢氣處理設備包括具有燃燒噴嘴和溫度感測裝置的燃燒室，所述燃燒室具有至少一個進氣口、至少一個出氣口、至少一個回氣口；熱交換器，具有降溫區(qū)和升溫區(qū)；吸附脫附裝置，所述吸附脫附裝置包括吸附區(qū)、冷卻區(qū)和脫附區(qū)；連通外氣至所述冷卻區(qū)的第一輸入管路；連通所述冷卻區(qū)至所述熱交換器升溫區(qū)的第一導通管路；連通所述熱交換器升溫區(qū)至所述脫附區(qū)的第二導通管路；連通所述脫附區(qū)至所述進氣口的第三導通管路；連通所述出氣口至所述熱交換器降溫區(qū)的第四導通管路。
文檔編號F23G7/06GK101788152SQ200910002879
公開日2010年7月28日 申請日期2009年1月22日 優(yōu)先權日2009年1月22日
發(fā)明者莊子儀 申請人:友達光電股份有限公司