專利名稱：熱管及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及熱管及其制造方法，特別是關(guān)于適合使用于薄型，且平板狀 的熱管者。
背景技術(shù)：
作為熱管，有日本特開2002-039693號公才艮及日本特開2004-077120號 公報(bào)等所介紹的。這種熱管，是以具有冷媒循環(huán)用孔的薄板所構(gòu)成的隔板等 數(shù)個(gè)重疊，在該重疊的上下重疊外壁構(gòu)件等構(gòu)成于內(nèi)部具有冷媒循環(huán)空間的 冷卻部本體(容器)，在該冷卻部本體內(nèi)的冷媒循環(huán)空間封入例如水等冷媒。
在此，對冷卻部本體內(nèi)的冷纟某封入，是例如在熱管的側(cè)面或上面或者下 面"^殳孔，通過該孔對內(nèi)部注入冷i某，在其注入后，以填隙等封閉的方法進(jìn)朽-封閉。
對于如此的熱管，由于以薄板狀的構(gòu)件構(gòu)成熱管，故有可以提供薄型的 平板型熱管的優(yōu)點(diǎn)，并且，互相重疊各冷媒循環(huán)用孔的部分成為冷媒通過的 流路，借由毛細(xì)現(xiàn)象冷媒向冷媒循環(huán)用孔的偏移部分移動(dòng)，而熱傳導(dǎo)性良好 等的幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)。
如此的熱管，相較于同樣的材料、外形、容積的金屬體具有數(shù)倍至數(shù)十 倍的熱散效果，可說最適合作為CPU(中央處理裝置)或LED(發(fā)光二極管)等高 重要性裝置的散熱。
然而，現(xiàn)有4支術(shù)中，由冷:煤注入孔對冷卻部本體內(nèi)例如作為冷々某將水注 入后，借由密封構(gòu)件將該冷^ 某注入孔封閉。然后，作為如此的密封構(gòu)件的材 質(zhì)，雖已知有焊錫，yf旦此時(shí)，冷卻部本體的材質(zhì)(例如，銅、銅系材料、或鋁、 鋁系材料)與密封構(gòu)件的材質(zhì)會(huì)不同。則，封入冷卻部本體的內(nèi)部空間的冷媒，接觸該冷卻部本體及密封構(gòu)件，而有產(chǎn)生局部電池作用的可能。
即，對于冷媒，即使充分小心地使用例如不含離子(帶電的雜質(zhì))的純水， 也難以避免含有些孩i的離子。借此，在冷卻部本體內(nèi)，必然構(gòu)成局部電池而 產(chǎn)生局部電池作用，有因此而發(fā)生腐蝕之虞。因此，對如此的熱管，在現(xiàn)有 技術(shù)中雖有圖謀長壽化，期望能防止因局部電池作用的腐蝕而圖謀較先前更 加長壽化。
又，作為密封構(gòu)件使用焊錫時(shí)，由于焊錫的熔點(diǎn)低，而有例如以180-220 °C程度的高溫而減低甚至消失密封效果的可能性，故期望即使在高溫亦可繼 續(xù)確實(shí)地發(fā)揮密封效果。
然而，如上所述，在日本特開2002-039693號/>纟艮及日本特開 2004-077120號公報(bào)所介紹的熱管等，隨著圖謀小型化及薄型化，該部分的 機(jī)械強(qiáng)度變?nèi)酰谝悦芊鈽?gòu)件封閉冷媒注入孔的過程，冷卻部本體有在該冷 媒注入孔部分破損之虞。
即，在冷卻部本體，在對應(yīng)隔板的冷卻循環(huán)用孔的位置配置冷媒注入孑U 則在將密封構(gòu)件壓入冷媒注入孔封閉的過程，有以施加于密封構(gòu)件的力使冷 媒注入孔外圍產(chǎn)生壓潰等的破損之虞，有難以提升生產(chǎn)性的問題。又，在于 使用過程，有在冷媒注入孔的部分產(chǎn)生破損之虞。
專利文獻(xiàn)1:日本特開2002-039693號公才艮。
專利文獻(xiàn)2:日本特開2004-077120號公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于解決上述現(xiàn)有技術(shù)所存在的缺點(diǎn)，而提供一種即使 在高溫下仍可繼續(xù)確實(shí)地發(fā)揮密封效果，可圖謀較現(xiàn)有技術(shù)更加長壽化的 熱管及其制造方法。
本發(fā)明的另一目的為，提供可以提升生產(chǎn)性，以圖謀更加低價(jià)化、長 壽化的熱管。本發(fā)明的熱管，包括冷卻部本體，其由在于內(nèi)部空間形成冷媒的循環(huán) 路徑的金屬所構(gòu)成；冷媒注入孔，其形成于上述冷卻部本體，對上述內(nèi)部空 間注入上述冷媒；及密封構(gòu)件，其將上述冷媒封入上述內(nèi)部空間，封閉上述 冷^ 某注入孔，其特征在于上述密封構(gòu)件由與上述冷卻部本體同質(zhì)或類似的 可塑性金屬所構(gòu)成。
本發(fā)明的熱管，其特征在于包括冷卻部本體，其借由設(shè)于上板及下板 間的一個(gè)或數(shù)個(gè)中板，在內(nèi)部空間形成冷媒的循環(huán)路徑；以及冷媒注入孔， 其形成于上述冷卻部本體，對該冷卻部本體的內(nèi)部空間注入上述冷*某，借由 密封構(gòu)件封閉，其中上述中板，包括補(bǔ)強(qiáng)部，其形成于對應(yīng)上述冷媒注入 孔的外圍區(qū)域的部分，具有既定的厚度；及冷媒用孔，其形成于對應(yīng)上述冷 媒注入孔的部分。
本發(fā)明的熱管，其特征在于包括冷卻部本體，其由在內(nèi)部空間形成冷 媒的循環(huán)路徑的金屬所構(gòu)成；冷媒注入孔，其形成于上述冷卻部本體，對上 述內(nèi)部空間注入上述冷媒，借由密封構(gòu)件封閉，使上述冷媒成微小粒子狀由 上述冷i某注入孔對上述內(nèi)部空間注入。
本發(fā)明的熱管，包括冷卻部本體，其借由設(shè)于上板及下板間的一個(gè)或 數(shù)個(gè)中板，在內(nèi)部空間形成冷媒的循環(huán)路徑的金屬所構(gòu)成；冷媒注入孔，其 形成于上述冷卻部本體，對該冷卻部本體的內(nèi)部空間注入所述冷々某；及密封 構(gòu)件，其為將上述冷媒封入上述內(nèi)部空間，封閉上述冷媒注入孔，其特征在 于，上述密封構(gòu)件由與上述冷卻部本體同質(zhì)或類似的可塑性金屬所構(gòu)成，上 述中板，包括補(bǔ)強(qiáng)部，其形成于對應(yīng)上述冷+某注入孔的外圍區(qū)域的部分， 具有既定的厚度；及冷媒用孔，其形成于對應(yīng)上述冷媒注入孔的部分，使上 述冷々某成^:小粒子狀由上述冷々某注入孔對上述內(nèi)部空間注入。
本發(fā)明的熱管，其中封閉上述冷媒注入孔的上述密封構(gòu)件沒有由上述冷 卻部本體的表面凸出。
本發(fā)明的熱管，其中于上述冷媒注入孔的內(nèi)周面形成有放氣溝，其直到以上述密封構(gòu)件將上述冷媒注入孔完全封閉的狀態(tài)，保持外部與上述內(nèi)部空 間連通的狀態(tài)，當(dāng)上述冷媒注入孔呈完全封閉的狀態(tài)，則以上述密封構(gòu)件封 閉。
本發(fā)明的熱管，其中在上述循環(huán)路徑包括，冷媒成為蒸氣擴(kuò)散的蒸氣擴(kuò) 散流路，對應(yīng)上述冷媒注入孔的部分配置于上述蒸氣擴(kuò)散流路，于上述補(bǔ)強(qiáng) 部，沿著上述冷媒在上述蒸氣擴(kuò)散流路內(nèi)成為蒸氣擴(kuò)散的擴(kuò)散方向形成有狹縫。
本發(fā)明的熱管制造方法，其特征在于包括由形成于金屬所構(gòu)成的冷 卻部本體的冷媒注入孔，對形成有冷媒的循環(huán)路徑的上述冷卻部本體的內(nèi)部
空間注入上述冷Jf某的注入步驟；將由與上述冷卻部本體同質(zhì)或類似的可塑性 金屬構(gòu)成的密封構(gòu)件，載置于上述冷媒注入孔的載置步驟；及借由在真空下 對上述密封構(gòu)件加壓，使該密封構(gòu)件將上述冷媒柱入孔封閉的封閉步驟。
本發(fā)明的熱管制造方法，包括由形成于冷卻部本體的冷士某注入孔，對 形成有冷+某的循環(huán)^各徑的上述冷卻部本體的內(nèi)部空間注入上述冷々某的注入步 驟；對上述冷媒注入孔載置密封構(gòu)件的載置步驟；及借由在真空下對上述密 封構(gòu)件加壓，使該密封構(gòu)件將上述冷媒柱入孔封閉的封閉步驟，其特征在于， 在上述注入步驟，使上述冷媒成為微小粒子狀由上述冷媒注入孔注入上述內(nèi) 部空間。
本發(fā)明的熱管制造方法，其特征在于包括準(zhǔn)備借由設(shè)于上板及下板間 的一個(gè)或數(shù)個(gè)中板，于內(nèi)部空間形成冷媒的循環(huán)路徑，在上述中板，形成有 對應(yīng)形成于上述上板或上述下板的冷媒注入孔的外圍區(qū)域的部分形成具有既
部本體的準(zhǔn)備步驟；由上述冷々某注入孔對上述冷卻部本體的內(nèi)部空間注入上 述冷i某的注入步驟；對上述冷^ 某注入孔載置上述密封構(gòu)件的載置步驟及借 由在真空下對上述密封構(gòu)件加壓，使該密封構(gòu)件封閉上述冷媒注入孔的密封 步驟。本發(fā)明的熱管的制造方法，包括準(zhǔn)備借由設(shè)于上板及下板間的一個(gè)或
數(shù)個(gè)中板，在內(nèi)部空間形成冷媒的循環(huán)路徑，在上述中板，形成有對應(yīng)形成 于上述上板或上述下板的冷媒注入孔的外圍區(qū)域的部分形成具有既定厚度的
冷卻部本體的準(zhǔn)備步驟；由上述冷:樣注入孔對上述冷卻部本體的內(nèi)部空間注 入上述冷媒的注入步驟；將與上述冷卻部本體同質(zhì)或類似可塑性金屬所構(gòu)成 的密封構(gòu)件，載置于上述冷^ 某注入孔的載置步驟及借由在真空下對上述密
封構(gòu)件加壓，使該密封構(gòu)件封閉上述冷媒注入孔的密封步驟，其特征在于， 在上述注入步驟，使上述冷媒成為微小粒子狀由上述冷媒注入孔注入上述內(nèi) 部空間。
本發(fā)明的熱管的制造方法，其中上述密封步驟，直到以上述密封構(gòu)件完 全封閉上述冷媒注入孔的狀態(tài)，經(jīng)由形成于上述冷媒注入孔的內(nèi)周面的放氣 溝保持外部與上述內(nèi)部空間連通的狀態(tài)。
本發(fā)明的熱管的制造方法，其中上述密封步驟，借由在真空下對上述密 封構(gòu)件加壓，使該密封構(gòu)件預(yù)密封上述冷媒注入孔后，借由持續(xù)對上述密封 構(gòu)件加壓加熱，使該密封構(gòu)件完全密封上述冷媒注入孔。
根據(jù)權(quán)利要求1的熱管及6的熱管的制造方法，可提供即使在高溫下仍
繼續(xù)確實(shí)地發(fā)揮密封效果，可圖"i某較現(xiàn)有技術(shù)更加長壽化的熱管。
又，根據(jù)權(quán)利要求4的熱管，可提供較現(xiàn)有技術(shù)提升生產(chǎn)性，可圖謀更 加低價(jià)，圖謀長壽化的熱管。


圖l是表示本發(fā)明的熱管的外觀構(gòu)造的立體圖。 圖2A是表示于圖1的A-A，的熱管的剖面構(gòu)造的剖面圖。 圖2B是表示于圖1的B-B，的熱管的剖面構(gòu)造的剖面圖。 圖3A是表示上板的上外面的正面構(gòu)造的概略圖。圖3B是表示上板的下內(nèi)面的正面構(gòu)造的概略圖。 圖4A是表示下板的下外面的正面構(gòu)造的概略圖。 圖4B是表示下板的上內(nèi)面的正面構(gòu)造的概略圖。 圖5是表示第1中板的正面構(gòu)造的概略圖。 圖6是表示第2中板的正面構(gòu)造的概略圖。
圖7是表示第1中板的貫通孔與第2中板的貫通孔的配置的樣子的概略圖。
圖8是表示借由第1中板與第2中板形成的蒸氣擴(kuò)散流路及毛細(xì)管流路 的構(gòu)造的相克略圖。
圖9A是表示冷媒的循環(huán)現(xiàn)象的樣子(1)的詳細(xì)側(cè)剖面圖。 圖9B是表示冷媒的循環(huán)現(xiàn)象的樣子(2)的詳細(xì)側(cè)剖面圖。 圖10是表示冷媒由中心部分向周邊部擴(kuò)散的樣子的概略圖。 圖11是表示冷媒由周邊部回到中心部分的樣子的概略圖。
細(xì)構(gòu)造的正面圖，及在于正面圖C-C，部分的剖面圖。
圖12B是表示形成于第1中板的中板補(bǔ)強(qiáng)部附近區(qū)域的一部分詳細(xì)構(gòu)造
(1) 的正面圖。
圖12C是表示形成于第2中板的具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部附近區(qū)域的一部分詳 細(xì)構(gòu)造(l)的正面圖。
圖12D是表示形成于第1中板的中板補(bǔ)強(qiáng)部附近區(qū)域的一部分詳細(xì)構(gòu)造
(2) 的正面圖。
圖12E是表示形成于第2中板的具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部附近區(qū)域的一部分詳 細(xì)構(gòu)造(2)的正面圖。
圖12F是表示形成于下板的上內(nèi)面的下板補(bǔ)強(qiáng)部附近區(qū)域的一部分詳細(xì) 構(gòu)造的正面圖。
圖13是表示上板補(bǔ)強(qiáng)部、中板補(bǔ)強(qiáng)部、具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部及下板補(bǔ)強(qiáng)部的詳細(xì)構(gòu)造的剖面圖。
圖14A是表示關(guān)于熱管的制造方法的一例(l)的剖面圖。 圖14B是表示關(guān)于熱管的制造方法的一例(2)的剖面圖。 圖14C是表示關(guān)于熱管的制造方法的 一例(3)的剖面圖。 圖14D是表示關(guān)于熱管的制造方法的一例(4)的剖面圖。 圖14E是表示關(guān)于熱管的制造方法的一例(5)的剖面圖。 圖15A是表示冷j!某注入孔的正面構(gòu)造的概略圖。 圖15B是表示于冷媒注入孔上載置密封構(gòu)件時(shí)的樣子的概略圖。 圖15C是表示冷媒注入孔以密封構(gòu)件封閉時(shí)的樣子的概略圖。 圖16A表示關(guān)于熱管的制造方法的 一例(6)的剖面圖。 圖16B是表示關(guān)于熱管的制造方法的一例(7)的剖面圖。 圖17是表示使用噴墨噴嘴將冷媒供給冷卻部本體時(shí)的樣子的概略圖。 圖18是表示以其它的實(shí)施例的具有狹縫補(bǔ)強(qiáng)部的構(gòu)造(l)的概略圖。 圖19是表示以其它的實(shí)施例的具有狹縫補(bǔ)強(qiáng)部的構(gòu)造(2)的概略圖。 圖20A是表示以其它的實(shí)施例的冷媒注入孔及空氣排出孔的正面構(gòu)造(l) 的斗既略圖。
圖20B是表示以其它的實(shí)施例的冷媒注入孔及空氣排出孔的側(cè)剖面構(gòu)造
(1) 的剖面圖。
圖20C是表示以其它的實(shí)施例的冷媒注入孔及空氣排出孔以密封構(gòu)件封 閉的樣子(l)的剖面圖。
圖21A是表示以其它的實(shí)施例的冷媒注入孔及空氣排出孔的正面構(gòu)造(2) 的才既略圖。
圖21B是表示以其它的實(shí)施例的冷媒注入孔及空氣排出孔的側(cè)剖面構(gòu)造
(2) 的剖面圖。
圖21C是表示以其它的實(shí)施例的冷媒注入孔及空氣排出孔以密封構(gòu)件 封閉的樣子(2)的剖面圖。主要組件符號說明
卜熱管；2-上板；
2a-上夕卜面；2b-下內(nèi)面；
3-下板；3a-下夕卜面；
3b-上內(nèi)面;4-冷纟某注入孔；
4a-開口部；4b-排氣溝；
5-空氣排出孔；6a、 6b—第1中板；
7a、 7b-第2中板；8-密封構(gòu)件；
10-冷卻部本體；10a-內(nèi)部空間；
ll-本體部；12-外圍部；
14-上一反內(nèi)面溝部；15-凸起柱；
2卜本體部；2 3-上+反內(nèi)面溝部；
24-凸起柱；32-本體部；
33a-冷卻裝置外圍區(qū)域；33b-區(qū)域；
34-蒸氣擴(kuò)散流路用孔；36-毛細(xì)管形成區(qū)域;
3'7-貫通孔；38-分隔壁；
40-貫通孔；41-分隔壁；
42-毛細(xì)管流路；44-蒸氣擴(kuò)散流路；
50-上板補(bǔ)強(qiáng)部；52-中板補(bǔ)強(qiáng)部；
55-具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部；56-狹縫；
57-冷々某用孔；60-板補(bǔ)強(qiáng)部；
61-狹縫對向溝；62-中央凹部；
70-噴嘴；74-凸起；
75-壓制機(jī)；81、 85-補(bǔ)強(qiáng)部；
82-冷J 某用孔；87-狹縫；90a-冷媒注入孔
90b-空氣排出孔;
91a-冷媒注入孔
91b-空氣排出孔;
92-上部;
9 3—下部；
94-段部;
HE-被冷卻裝置;
W—冷媒;
Wl、 W2-冷々某3f立子。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明是在具有冷^ 某注入孔的冷卻部本體的內(nèi)部空間注入冷J 某后，將與 冷卻部本體同質(zhì)或類似的可塑性金屬所構(gòu)成的密封構(gòu)件載置于冷媒注入孔
上，借由在真空下加壓，使該密封構(gòu)件密封冷媒注入孔。另外，為了使該密 封構(gòu)件得到確實(shí)的密封效果，借由邊作該加壓加熱使密封構(gòu)件壓接，借此完 全地密封冷卻注入孔而制造熱管。
借此，在熱管中，冷卻部本體以金屬構(gòu)成，且密封構(gòu)件以與冷卻部本體 同質(zhì)或類似的可塑性金屬所構(gòu)成，即使冷卻部本體及密封構(gòu)件接觸冷媒或暴 露，并不會(huì)產(chǎn)生由該冷卻部本體與密封構(gòu)件的局部電池作用，可防止因該局 部電池作用的腐蝕，可圖謀較現(xiàn)有技術(shù)更加長壽化。
又，作為冷卻部本體及密封構(gòu)件的材質(zhì)，使用例如，金、銀、銅、銅系 材料、鋁或鋁系的金屬時(shí)，由于其熔點(diǎn)高，相對于焊錫即使在200-300。C程 度的高溫仍可維持密封效果，且即使在高溫仍可確實(shí)地繼續(xù)發(fā)揮密封效果。
另外，對于后述的實(shí)施例，作為熱管，使用借由平板狀的上板及下板之 間夾入一個(gè)或數(shù)個(gè)平板狀的中板而形成的冷卻部本體。該冷卻部本體，借由 一個(gè)或數(shù)個(gè)的中板在內(nèi)部形成有循環(huán)路徑，其包含使蒸氣向該冷卻部本體 的外圍部側(cè)擴(kuò)散的流路(以下，將此稱為蒸氣擴(kuò)散流路)；及將上板及下板間 以上下方向所視時(shí)，借由毛細(xì)現(xiàn)象冷媒向該上下方向或傾斜方向流動(dòng)的流路 (以下，將此稱為毛細(xì)管流路)。附帶地，于上板的下內(nèi)面形成有以格子狀等 而成的凹陷構(gòu)部，并且經(jīng)由該等形成于上;f反的下內(nèi)面的凹部(以下，將此稱為上板內(nèi)面溝部)，及形成于下板的上內(nèi)面的凹部(以下，將此稱為下一反內(nèi)面溝 部)連通蒸氣擴(kuò)散流路及毛細(xì)管流路。
另外，在借由上板內(nèi)面構(gòu)部及下板內(nèi)面溝部所區(qū)隔的各區(qū)域，分別形成 有前端部為平面狀的凸起柱。在此，由于凸起柱的前端為平面狀可與中板密
但亦可以形成為其它的例如網(wǎng)眼等形狀圖案。此時(shí)，凸起柱，將對應(yīng)其使其 橫剖面形成為正方形、圓形、橢圓形、多角形、星形。
附帶地，該熱管，由于借由將蒸氣擴(kuò)散流路例如包含4角的全角角部向
周邊部形成為放射狀，可將冷卻部本體的全體全面地利用而可有效地將被冷 卻裝置的熱擴(kuò)散.散熱，可使熱傳導(dǎo)效率高，可說最適合作為熱管。在此， 蒸氣擴(kuò)散流路的形狀，可為帶狀或梯形狀，或者亦可由中央部向周邊部隨著 寬度尺寸變寬或變窄，亦可為其它各種形狀。
中板為數(shù)個(gè)時(shí)，可使重疊的蒸氣擴(kuò)散流路用孔完全重疊，亦可使蒸氣擴(kuò) 散流路用孔向?qū)挿较蚱?。中板為一片時(shí)，蒸氣擴(kuò)散流路用孔本身成為蒸氣 擴(kuò)散流路。
又，中板為數(shù)個(gè)時(shí)，借由重疊這些個(gè)中板，借由重疊的貫通孔，形成連 通蒸氣擴(kuò)散流路的毛細(xì)管流路。另外，各中板貫通孔，有將每片中板以不同 圖案形成情形，或?qū)⑺械闹邪逡韵嗤瑘D案形成的情形。又，中板為1片時(shí)， 貫通孔本身將成毛細(xì)管流路。
即，可為使各中板的各貫通孔的位置、形狀、大小完全一致，對應(yīng)各中 板的貫通孔相互構(gòu)成與其相同位置、相同形狀、相同大小的毛細(xì)管流路地將 中板設(shè)于上板及下板之間的形態(tài)。此時(shí)的貫通孔，毛細(xì)管流路的形狀，可為
例如矩形(例如正方形或長方形)，亦可在角有彎曲R。又，基板上為矩形， 在其一部分或全部的面之面(毛細(xì)管流路的內(nèi)周面)可為波狀、皺狀等，使表
面積變寬亦可。因?yàn)?，毛?xì)管流路的內(nèi)周面的表面積越寬冷卻效果越強(qiáng)。又， 毛細(xì)管流^^的形狀，可為六角形、可為圓形、亦可為橢圓。但是，將上板及下板以上下方向所視時(shí)，由與該上下方向正交的平面方 向的毛細(xì)管流路的剖面積，更小地形成，則將數(shù)個(gè)中板，由其貫通孔完全吻 合的位置適宜偏移，僅使一重疊，則可使毛細(xì)管流路的實(shí)質(zhì)的剖面積，相較 于中板的各貫通孔的平行方向的剖面積'J、。
具體而言，例如中板為2片的情形，該2片的中板的貫通孔的大小、形 狀、位置間距相同，使其配置位置向既定方向(例如，橫方向(貫通孔為四邊
狀時(shí)的一邊的方向)偏移其配置間距的2分之1，則可使毛細(xì)管流路的實(shí)質(zhì)的 剖面積，縮小為各中板的貫通孔的剖面積的約2分之1。再者，2片中板的貫 通孔的配置位置向與上述一方向交叉的方向(例如，縱方向(與貫通孔的一邊 方向正交的他邊方向)偏移，則可使毛細(xì)管流路的實(shí)質(zhì)的剖面積，縮小為中板 的各貫通孔的剖面積的約4分之1。再者，在于各中板偏移貫通孔配置時(shí)， 冷媒不僅于上下方向，形成為由該上向方向向傾斜方向流動(dòng)的毛細(xì)管流^各。
冷卻部本體，或構(gòu)成該冷卻部本體的上板、下板及中板，及封閉冷媒注 入孔的密封構(gòu)件的材質(zhì)，由熱傳導(dǎo)性、機(jī)械強(qiáng)度等的面，以銅，或者銅合金 等銅系金屬最佳，但并非限定于此，亦可為例如，具有材料費(fèi)便宜等優(yōu)點(diǎn)的 鋁或鋁合金等，含鋁的鋁系金屬，亦可使用鐵、鐵合金、不銹鋼等鐵系金屬、 金、銀。
再者，將冷卻部本體以銅或銅合金等形成銅系金屬形成時(shí)，冷卻部本體 的外表面，包含銅或以銅系金屬的密封構(gòu)件的表面，通常有鍍鎳。
然后，冷媒，可說以潛熱大的水(純水、蒸餾水等)最佳，但并非限定于 水，例如以乙醇、甲醇、丙酮等亦佳。
冷媒注入孔，只要以放置的密封構(gòu)件封閉的開口部，及形成于其內(nèi)周面 的排氣溝構(gòu)成，在以密封構(gòu)件進(jìn)行封閉作業(yè)時(shí)，通過該排氣溝進(jìn)行冷卻部本 體內(nèi)的排氣。
即，于該熱管，以密封構(gòu)件密封冷媒注入孔時(shí)，可經(jīng)由排氣溝進(jìn)行真空 脫氣，即使假設(shè)于內(nèi)部空間存在腐蝕冷卻部本體的有害成分，內(nèi)部空間的空氣通過排氣溝排出，可與該空氣一起由內(nèi)部空間確實(shí)地去除有害成分。又， 借由事先將附著于冷卻部本體的內(nèi)面的雜質(zhì)去除，可提供抑制密封后由該內(nèi) 面的脫氣，可防止因內(nèi)部腐蝕的壽命降低的熱管。
然后，于該熱管，借由加熱.加壓由可塑性金屬所構(gòu)成的密封構(gòu)件，邊 使該密封構(gòu)件塑性變形壓接而成為密封栓。因此，于該熱管，借由密封構(gòu)件 亦可將排氣溝確實(shí)地封閉，借此可將冷媒注入孔完全地遮蔽，故冷媒被封入 冷卻部本體的內(nèi)部空間，可確實(shí)地防止冷士某漏出。
再者，亦可別于以噴嘴將冷媒注入內(nèi)部空間的冷J 某注入孔，于冷卻部本 體設(shè)例如相同程度大小的空氣排出孔，此時(shí)，通過冷媒注入孔注入冷媒時(shí)， 內(nèi)部空間的空氣通過空氣排出孔脫出，可滑順地進(jìn)行冷^某的注入。
冷媒的供給可使用通常的噴嘴，亦可使用噴墨噴嘴等使冷媒成為細(xì)微的 冷:fr某粒子以霧狀注入冷卻部本體內(nèi)亦可。
借此，可防止大的水滴附著于冷媒注入孔的周邊以冷媒的表面張力將冷 媒注入孔以水滴覆蓋的狀態(tài)，并且可省去防止產(chǎn)生該水滴使內(nèi)部空間減壓的 減壓作業(yè)。此時(shí)，將噴嘴保持與冷卻部本體非接觸地進(jìn)行供給為佳。
再者，即使未于冷卻部本體設(shè)空氣排出孔，亦可由冷媒注入孔注入冷媒， 但設(shè)有空氣排出孔由于可使冷媒注入更加滑順地進(jìn)行而佳。再者，在冷媒注 入孔的外于冷卻部本體設(shè)空氣排出孔時(shí)，以上述密封構(gòu)件的封閉，不僅對冷 ^ 某注入孔，亦可對于空氣排出孔進(jìn)行。
附帶地，作為使冷媒成為霧狀供給的噴嘴，有噴墨噴嘴，或可使冷媒成 為小的微粒子狀的微量分注器，亦可使用可進(jìn)一步將冷媒成為超微粒子的納 升等級分注器。
然而，熱管，隨著被冷卻裝置的小型化、薄型化，而要求冷卻部本體本 身的小型化、薄型化，為因應(yīng)要求，則由于強(qiáng)度會(huì)變?nèi)酰嗜菀自趯⒗鋮s部 本體的冷媒注入孔以銅等金屬體封閉的過程，或使用過程破損。
對此，本發(fā)明的熱管，在設(shè)于冷卻部本體的內(nèi)部空間的中板，借由于對應(yīng)冷々某注入孔的外圍區(qū)域的部分設(shè)具有既定厚度的補(bǔ)強(qiáng)部，提升在于該冷々某 注入孔的外圍區(qū)域的機(jī)械強(qiáng)度，可防止在于生產(chǎn)過程或使用過程的破損，并 且可圖謀較先前更加低價(jià)化，可圖謀長壽化。
設(shè)置復(fù)數(shù)中板時(shí)，借由對全部的中板設(shè)補(bǔ)強(qiáng)部，該補(bǔ)強(qiáng)部層積而密著， 借由該部強(qiáng)部形成支柱構(gòu)造，可更加提升冷媒注入孔的外圍區(qū)域的機(jī)械強(qiáng)度。 再者，亦可僅對一部分的中板設(shè)補(bǔ)強(qiáng)部。
又，于對應(yīng)冷媒注入孔的外圍區(qū)域的部分設(shè)補(bǔ)強(qiáng)部時(shí)，對應(yīng)冷媒注入孔 的部分，將與該冷媒注入孔連通的冷媒用孔形成于補(bǔ)強(qiáng)部為佳。借此于內(nèi)部 空間經(jīng)由冷媒注入孔注入冷媒時(shí)，可借由冷媒用孔及狹縫使冷媒全面地充斥 中板或下板。
再者，對應(yīng)冷媒注入孔的部分，配置于中板所形成的中空構(gòu)造的蒸氣擴(kuò) 散流路上時(shí)，亦可沿著冷媒成為蒸氣通過蒸氣擴(kuò)散流路時(shí)的方向形成狹縫。 借此，成為擴(kuò)散于蒸氣擴(kuò)散流路的蒸氣的冷媒，不會(huì)被補(bǔ)強(qiáng)部阻礙地?cái)U(kuò)散到 外圍部，可維持散熱效果。再者，狹縫，可形成于中板的所有的補(bǔ)強(qiáng)部，亦 可僅形成于一部分的中板補(bǔ)強(qiáng)部。
實(shí)施例
以下，將本發(fā)明依照圖示實(shí)施例詳細(xì)說明。
圖1表示實(shí)施例的熱管1的上外面的外觀構(gòu)造。該熱管1,包括以銅或
銅合金等熱傳導(dǎo)性高的高熱傳導(dǎo)材料的銅系金屬成形的上板2及下板3，于 上板2的上外面2a穿接冷媒注入孔4及空氣排出孔5。此實(shí)施例的情形，冷 媒注入孔4，設(shè)于相對之一對邊角部之中的一邊的邊角部附近，并且空氣排 出孔5，設(shè)于與該一邊的邊角部于對角在線對的另一邊的邊角部附近。
該等冷媒注入孔4及空氣排出孔5 ，以該空氣排出孔5保持內(nèi)部空間(后 述)與外部連通，由冷媒注入孔4對內(nèi)部空間注入由水等構(gòu)成的冷媒后，使由 與上板2及下板3同質(zhì)的銅系金屬所構(gòu)成的密封構(gòu)件8塑性變形密封。
該熱管1,如表示圖1的熱管1的A-A，部分的剖面構(gòu)造的圖2A,及表示圖1的熱管1的B-B，部分的剖面構(gòu)造的圖2B所示，于下+反3的下外面的 中央部安裝例如IC(半導(dǎo)體集成電路)或LSI(大規(guī)模集成電路)、CPU等發(fā)熱 體的^L冷卻裝置HE。
實(shí)際上，該熱管l,于下板3的上依序?qū)臃e第2中板7a、第l中板6a、 第2中板7b及第1中板6b后，進(jìn)一步于該第1中板6b的上層積上板2，借 由基于未示于圖的各定位孔定位直接接合一體化，形成冷卻部本體10。
附帶地，在此所謂直接結(jié)合，指使欲接合的第1及第2面部密著的狀態(tài) 加壓，借由施加熱處理，借由作用于第l及第2面部間的原子間力使原子相 互牢固地接合，借此無需使用接著劑而可使第1及第2面部一體化。
于冷卻部本體10的內(nèi)部空間10a，借由依序交互層積第1中板6a、 6b、 及第2中板7a、 7b，形成如圖2A所示，由于與設(shè)有被冷卻裝置HE的部分相 對的區(qū)域及其外圍區(qū)域(以下，將該等合并稱為被冷卻裝置外圍區(qū)域)33a向 周邊部12放射狀延伸的蒸氣擴(kuò)散流路44,及如圖2B所示細(xì)微的毛細(xì)管流路 42。再者，圖2A是冷卻部本體10內(nèi)區(qū)分為毛細(xì)管流路42與蒸氣擴(kuò)散流路 44的區(qū)域部分的剖面圖，圖2B是冷卻部本體10內(nèi)以毛細(xì)管流3各42充滿的 區(qū)域部分的剖面圖。
于該冷卻部本體10的內(nèi)部空間10a內(nèi)，于減壓下封入既定量以水構(gòu)成的 冷媒W，借此降低冷媒W的沸點(diǎn)，由被冷卻裝置HE的些微的熱使冷媒W成為 蒸氣而可循環(huán)于蒸氣擴(kuò)散流路44及毛細(xì)管流路42。
其次，顯示在于本實(shí)施例的上板2、第l中板6a、 6b、第2中板7a、 7b 及下板3的各詳細(xì)構(gòu)造，首先簡單說明關(guān)于蒸氣擴(kuò)散流路44及毛細(xì)管流路 42如下。圖3A表示上板2的上外面2a的構(gòu)造，圖3B表示上板2的下內(nèi)面 2b的構(gòu)造。又，圖4A表示下板3的下外面3a的構(gòu)造、圖4B表示下板3的 上內(nèi)面3b的構(gòu)造。圖5表示夾入上板2及下板3的第1中板6a、 6b的構(gòu)造， 圖6與第1中板6a、 6b同樣地，表示夾入上板2及下板3的第2中板7a、 7b的構(gòu)造。上板2,如圖3B所示，具有由厚度為例如500|am程度的大致正方形狀 所構(gòu)成的本體部21。于本體部21的下內(nèi)面2b，除了邊框狀的周邊部12，形 成有凹陷成沖各子狀的上板內(nèi)面溝部23。上板2,于借由上板內(nèi)面溝部23區(qū)隔 為格子狀的區(qū)域，分別設(shè)有前端部為平面狀的凸起柱24。
下板3，如圖4B所示，具有由厚度為例如500jam程度的大致正方形狀 所構(gòu)成的本體部ll。于本體部11的上內(nèi)面3b,除了邊框狀的周邊部12,形 成有凹陷成^f各子狀的上板內(nèi)面溝部14。下板3，于借由上板內(nèi)面溝部14區(qū)隔 為格子狀的區(qū)域，分別設(shè)有前端部為平面狀的凸起柱15。
又，如圖5所示的第1中板6a、 6b的本體部31，及如圖6所示的第2 中板7a、 7b的本體部32,由與上板2及下板3相同銅系金屬所構(gòu)成，厚度 為例如70-200 ium程度，形成為與下板3的本體部11相同的大致正方形狀。
在此，關(guān)于第l中板6a、 6b,由于是為相同尺寸及相同形狀，以下，僅 著眼于第l中板6a、 6b之中的第1中板6a說明。如圖5所示，于第1中板 6a的本體部31,形成有蒸氣擴(kuò)散流路用孔34，及毛細(xì)管形成區(qū)域36。毛細(xì) 管形成區(qū)域36,被冷卻裝置外圍區(qū)域33a,與鄰接的蒸氣擴(kuò)散流路用孔34間 的區(qū)域，由被冷卻裝置外圍區(qū)域33a以外的區(qū)域33b構(gòu)成。再者，被冷卻裝 置外圍區(qū)域33a，將本體部31層積于下板3的本體部11時(shí)與設(shè)于該下板3 的被冷卻裝置HE相對的區(qū)域。蒸氣擴(kuò)散流路用孔34,形成為帶狀，由被冷 卻裝置外圍區(qū)域33a包含四邊角以放射狀延伸地穿設(shè)。
于毛細(xì)管形成區(qū)域36,以第1圖案(后述)穿設(shè)有形成毛細(xì)管流路42(圖 2A及圖2B)的數(shù)個(gè)貫通孔37。實(shí)際上，于該毛細(xì)管形成區(qū)域36,具有格子狀 的分隔壁38，借由該分隔壁38區(qū)隔的各區(qū)域成為貫通孔37。
貫通孔37,如圖7所示，由四邊狀構(gòu)成，作為第1圖案，以既定間格規(guī) 則地配置，并且各四邊分別與本體部32的外周的外圍部12的四邊平行地配 置(圖5)。附帶地，該實(shí)施例的情形，貫通孔37的寬度可選定為例如280jum 程度，并且分隔壁38的寬度可選定為例如7Qjum程度。另一方面，圖6所示第2中板7a、 7b，以與第1中板6a、 6b相同尺寸 形成。再者，在此，以下，僅著眼于第2中板7a、 7b之中的第2中板7a說 明。第2中板7a，如圖6所示，雖與第1中板6a、 6b同樣地設(shè)有毛細(xì)管形 成區(qū)域36及蒸氣擴(kuò)散流路用孔34，但穿設(shè)于毛細(xì)管形成區(qū)域36的數(shù)個(gè)貫通 孔40，以與上述第1圖案不同的第2圖案(后述)穿設(shè)。于第2中板7a的毛 細(xì)管形成區(qū)域36，形成格子狀的分隔壁41，借由該分隔壁41區(qū)隔的各區(qū)域 成為貫通孔40。如圖7所示，該貫通孔40,由四邊狀構(gòu)成，作為第2圖案， 與第1圖案同樣地，以既定的間隔規(guī)則地配置，且各四邊分別與本體部32的 外圍部12的四邊平行地配置，且與第1中板6a的各貫通孔37僅偏移既定距 離配置。
在該實(shí)施例，例如將第1中板6a與第2中板7a定位層積時(shí)，第1中板 6a的貫通孔37，向第2中板7a的貫通孔40的一邊的邊的X方向，偏移邊的 2分之1，并且向與該一邊的X方向正交的其它的邊的Y方向，偏移邊的2分 之1地配置。借此，于第1中板6a的1個(gè)貫通孔37,與第2中板7a的相鄰 的4個(gè)貫通孔40重疊，可得4個(gè)毛細(xì)管流路42。借此，可于貫通孔37，形 成多數(shù)遠(yuǎn)小于各貫通孔37、 40,且區(qū)隔為細(xì)微表面積的小的毛細(xì)管流路42。
然而于熱管l，借由第2中板7a、 7b與第l中板6a、 6b依序交互層積， 如圖8所示，貫通孔37、 40偏移形成毛細(xì)管流路42，并且，蒸氣擴(kuò)散流路 用孔34互相重疊形成蒸氣擴(kuò)散流路44。又，該等蒸氣擴(kuò)散流路44及毛細(xì)管 流路42,經(jīng)由上板內(nèi)面溝部23及下板內(nèi)面溝部14連通(圖2A及圖2B)。
借此，于熱管1，如表示成為設(shè)置蒸氣擴(kuò)散流路44及毛細(xì)管流路42的 處的圖1的A-A，的側(cè)剖面圖的圖9A所示，由于在被冷卻裝置外圍區(qū)域33a 的各毛細(xì)管流路42內(nèi)一直存在著冷媒W，故各毛細(xì)管流路42內(nèi)的冷膜W將 由被冷卻裝置外圍區(qū)域33a的凸起部分傳導(dǎo)的熱迅速且確實(shí)地吸熱開始蒸 發(fā)，借由延伸至外圍部12的蒸氣擴(kuò)散流路44與上板內(nèi)面溝部23及下板內(nèi)面 溝部14將冷媒W擴(kuò)散。即，冷々某W，如表示第1中板6a的正面構(gòu)造的圖IO所示，以設(shè)于下板3 的被冷卻裝置HE為中心冷媒W沿著蒸氣擴(kuò)散流路44與上板內(nèi)面溝部23及下 板內(nèi)面溝部14放射狀均等擴(kuò)散而擴(kuò)散制外圍部12。
然后，于該熱管1，如表示成以毛細(xì)管流路42充滿之處的圖1的B-B， 的側(cè)剖面構(gòu)造的圖9B所示，于上板內(nèi)面溝部23及下板內(nèi)面溝部14、外圍部 12等放熱凝縮液化的冷媒W，由上板內(nèi)面溝部23及下板內(nèi)面溝部14進(jìn)入毛 細(xì)管流路42，通過該毛細(xì)管流路42等再度回到被冷卻裝置外圍區(qū)域33a。借 此，冷媒W,如表示第1中板6a的正面構(gòu)造的圖11所示，可通過放射狀配 置的區(qū)域33b的毛細(xì)管流路42由被冷卻裝置HE的外圍均等地冷卻該被冷卻 裝置HE。
其次，-說明再于本發(fā)明的冷卻部本體10的冷i 某注入孔4及空氣排出孔5 的外圍區(qū)域的構(gòu)造如下。再者，由于冷i某注入孔4與空氣排出孔5以相同構(gòu) 造而成，故為方便說明，以下僅著眼于冷媒注入孔4說明。
圖12A是表示形成于上板2的下內(nèi)面2b的冷媒注入孔4的附近區(qū)域之一 部分詳細(xì)構(gòu)造的正面圖，及在于正面圖C-C，部分的剖面圖。上板2的下內(nèi) 面2b，如包圍冷々某注入孔4地于該冷i某注入孔4的外圍區(qū)域j殳有形成為圓形 狀的上板補(bǔ)強(qiáng)部50。該上板補(bǔ)強(qiáng)部50，較上板內(nèi)面溝部23具有厚度，選定 為與設(shè)于上板內(nèi)面溝部23的凸起柱24及外圍部12的厚度相同厚度。
于該實(shí)施例的情形，冷媒注入孔4，于中心的圓柱狀的開口部4a的直徑 例如為500-1000 iam程度的細(xì)微孔，于內(nèi)周面形成排氣溝4b,再者，于該等 開口部4a及排氣溝4b上可安定地放置密封構(gòu)件8地形成凹部4c。
于該實(shí)施例的情形，排氣溝4b，如表示冷媒注入孔4的正面構(gòu)造的圖15A 所示，由4交開口部4a的直徑小的直徑的半圓狀構(gòu)成，于開口部4a的內(nèi)周面， 具有以等間隔配置4個(gè)的構(gòu)造。
圖12B及圖12D是表示形成于第1中板6a、 6b的中板補(bǔ)強(qiáng)部52的附近 區(qū)域之一部分詳細(xì)構(gòu)造的正面圖。該第1中板6a的中板補(bǔ)強(qiáng)部52,以原形狀與上板補(bǔ)強(qiáng)部50以相同形狀而成，形成于與該上板補(bǔ)強(qiáng)部50相對的位置。 于該實(shí)施例的情形，中板補(bǔ)強(qiáng)部52,由于形成于蒸氣擴(kuò)散流路用孔34， 一體 成形于分隔壁38，將該蒸氣擴(kuò)散流路用孔34的邊角部分區(qū)隔。又，該中板 補(bǔ)強(qiáng)部52，選定為與分隔壁38及外圍部12的厚度相同的厚度，于與上板2 的冷々某注入孔4的開口部4a相對的位置穿設(shè)冷媒用孔53。
圖12C及圖12E是表示形成于第2中板7a、 7b的具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部55 的附近區(qū)域之一部分祥細(xì)地構(gòu)成的正面圖。該第2中板7a、 7b的具有狹縫的 補(bǔ)強(qiáng)部55與分隔壁41 一體成形，形成有連通蒸氣擴(kuò)散流路用孔34的狹縫 56以外與第l中板6a、 6b的中板補(bǔ)強(qiáng)部52具有相同的構(gòu)造。冷媒用孔57, 穿設(shè)于與上板2的冷媒注入孔4的開口部4a相對的位置，具有連通狹縫56 的構(gòu)造。
實(shí)際上，具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部55,沿著蒸氣在于蒸氣擴(kuò)散流路用孔34的 擴(kuò)散的擴(kuò)散方向(此時(shí)，由第2中板7a、 7b的中心點(diǎn)向邊角部的方向)D形成 狹縫56，與蒸氣擴(kuò)散流路用孔34連通可使蒸氣擴(kuò)散至邊角。再者，該狹縫 56，例如形成為直線狀，其寬度選定為0. 3mm程度。
圖12F是表示形成于下板3的上內(nèi)面3b的下板補(bǔ)強(qiáng)部60的附近區(qū)域之 一部分詳細(xì)構(gòu)造的正面圖。于下板3的上內(nèi)面3b，在與中板補(bǔ)強(qiáng)部52及具 有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部55相對的區(qū)域，設(shè)有形成為圓形狀的下板補(bǔ)強(qiáng)部60。于該 下板補(bǔ)強(qiáng)部60，較下板內(nèi)面溝部14具有厚度，選定為與設(shè)于下板內(nèi)面溝部 14間的凸起柱15及外圍部12的厚度相同的厚度。于該下板補(bǔ)強(qiáng)部60，形成 有連通下才反內(nèi)面溝部14的狹縫對向溝61及中央凹部62。狹縫對向溝61，例 如寬度為300jam程度，與狹縫56相對地直線狀形成于下板補(bǔ)強(qiáng)部60。中央 凹部62,在與上板2的冷媒注入孔4的開口部4a相對的部分圓形狀形成。
在此，圖13是表示于下板3之上依序?qū)臃e第2中板7a、第1中板6a、 第2中板7b及第1中板6b后，進(jìn)一步于第1中板6b上層積上板2時(shí)的上板 補(bǔ)強(qiáng)部50、中^1補(bǔ)強(qiáng)部52、具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部55及下^1補(bǔ)強(qiáng)部60的詳細(xì)構(gòu)造的剖面圖。
于上板2的冷^某注入孔4的外圍區(qū)域下方，借由上板補(bǔ)強(qiáng)部50、中板補(bǔ) 強(qiáng)部52、具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部55及下板補(bǔ)強(qiáng)部60密著形成支柱構(gòu)造而可提升 機(jī)械強(qiáng)度。
又，由噴嘴70對冷媒注入孔4， 1滴1滴地高速(例如每秒1000滴)連續(xù) 滴下的冷媒粒子W1，通過上板2的開口部4a、第1中板6b的冷媒用孔53及 第2中板7b的冷:樣用孔57等，到達(dá)下板3的狹縫對向溝61及中央凹部62， 并且經(jīng)由各狹縫5 6到達(dá)冷卻部本體10的內(nèi)部空間10a (圖2 A)全域地構(gòu)成。
其次，說明關(guān)于熱管1的制造方法如下。圖14A-圖14E、圖16A及圖16B, 表示關(guān)于熱管1的制造方法的一例，如圖14A所示，首先于下板3上，依序 層積第2中板7a、第1中板6a、第2中板7b、第1中板6b及上板2。
于第l中板6a、 6b及第2中板7a、 7b，有上面凸出的接合用凸起72沿 著外圍部12形成為邊框狀。又，于下板3，有由本體部11的上內(nèi)面3b凸出 的接合用凸起73沿著外圍部12形成為邊框狀。
接著，將第2中板7a、第1中板6a、第2中板7b、第1中板6b及上板 2以最佳的位置重疊層積于下板3,將該等上板2與下板3，第1中板6a、 6b 及第2中板7a、 7b，以熔點(diǎn)以下的溫度加熱，并且加壓，經(jīng)由接合用凸起72、 73直接接合。
如此地上板2、下板3、第l中板6a、 6b及第2中板7a、 7b,如圖14B 所示，借由直接接合得到一體化的冷卻部本體10。此時(shí)，冷卻部本體IO,成 僅經(jīng)由形成于上板2的冷媒注入孔4及空氣排出孔5使內(nèi)部空間10a與外部 連通的狀態(tài)。
附帶地，于該等第l中板6a、 6b、第2中板7a、 7b及下板3，分別于與 被冷卻裝置HE相對的中央部分的四邊外周位置設(shè)有凸起74，不僅外圍部12， 于被冷卻裝置外圍區(qū)域33a的周圍位置等亦以凸起74直接結(jié)合以圖一體化。 在如此的冷卻部本體10,于被冷卻裝置外圍區(qū)域33a等亦設(shè)支柱構(gòu)造提升機(jī)械性強(qiáng)度，防止產(chǎn)生自備冷卻裝置HE的熱使冷媒熱膨脹而由大致中央部向外 膨脹的現(xiàn)象(以下，將此稱為爆米花現(xiàn)象)，破壞冷卻部本體10本身。
然后，于冷卻部本體10的內(nèi)部空間10a,借由使第1中板6a、 6b及第2 中板7a、 7b的各蒸氣擴(kuò)散流路用孔34重疊形成蒸氣擴(kuò)散流路44，且借由毛 細(xì)管形成區(qū)域36的重疊亦形成數(shù)個(gè)毛細(xì)管流路42，借此得到由蒸氣擴(kuò)散流 路44及毛細(xì)管流3各42所構(gòu)成的循環(huán)路徑(圖9A及圖9B)。
此時(shí)于冷媒注入孔4及空氣排出孔5的外圍區(qū)域下方，借由使上板補(bǔ)強(qiáng) 部50、中板補(bǔ)強(qiáng)部52、具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部55及下板補(bǔ)強(qiáng)部60密著可形成支 柱構(gòu)造。
接著，如依序表示熱管1的制造方法的圖14C,于冷卻部本體10的內(nèi)部 空間10a，冷媒W1 (例如水)使用噴嘴70由冷媒注入孔4于大氣壓下注入既定 量。此時(shí)，空氣排出孔5,成為冷媒供給時(shí)的空氣排出口，可使冷媒對內(nèi)部 空間10a的注入滑順。再者，冷J實(shí)例如為水的情形，封入量以相當(dāng)于等同貫 通孔37、 40的總體積為佳，為使熱管l的高壽命化，特別是沒有離子污染的 超純水為佳。又，此時(shí)，于空氣排出孔5抽真空，則可使冷i某的注入更佳圓 滑。
其次，例如將以球狀體形成的密封構(gòu)件8預(yù)先準(zhǔn)備既定數(shù)量，如依序表 示熱管1的制造方法的圖14D，于冷媒注入孔4及空氣排出孔5載置密封構(gòu) 件8。在此，冷媒注入孔4及空氣排出孔5，如圖15A所示，于開口部4a的 內(nèi)周面形成有數(shù)個(gè)排氣溝4b，故即使載置球狀體的密封構(gòu)件8,如圖15B所 示，借由排氣溝4b維持冷卻部本體10的內(nèi)部空間10a與外部連通知狀態(tài)， 而可進(jìn)4亍冷卻部本體10的內(nèi)部空間10a內(nèi)的排氣。
然后，如表示熱管1的制造方法的圖14E所示，以該狀態(tài)于常溫下通過 排氣溝4b進(jìn)行例如10分鐘程度，借由減壓的真空脫氣。于該步驟，借由經(jīng) 由排氣溝4b進(jìn)行真空脫氣，內(nèi)部空間10a內(nèi)的空氣通過排氣溝4b排出，與 該空氣一起由內(nèi)部空間10a去除有害成分，可減少脫氣。再者，圖14E中的箭頭表示脫氣(排氣)的方向。
之后，如依序表示熱管1的制造方法的圖16A,于常溫狀態(tài)，借由壓制
機(jī)75將密封構(gòu)件8由上加壓數(shù)分鐘使的低溫加壓變形。借由如此的低溫真空 加壓處理以密封構(gòu)件8將冷々某柱入孔4及空氣排出孔5預(yù)密封。此時(shí)冷^(某柱 入孔4及空氣排出孔5以密封構(gòu)件8封閉。
在此與冷i某柱入孔4及空氣排出孔5的外圍區(qū)域相對的部分，由于借由 使上板補(bǔ)強(qiáng)部50、中板補(bǔ)強(qiáng)部52、具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部55及下板補(bǔ)強(qiáng)部60密 著形成支柱構(gòu)造，故以壓制機(jī)75加壓密封構(gòu)件8時(shí)，將來自壓制機(jī)75的外 力以支柱構(gòu)造承受，不會(huì)使內(nèi)部空間10a壓潰地，借由壓制機(jī)75以必要的外 力確實(shí)地對密封構(gòu)件8加壓。
附帶地，以較常溫高的溫度加壓密封構(gòu)件8時(shí)，由于冷々某的蒸氣，例如 水蒸氣容易向外部泄漏而不佳。因此，作為進(jìn)行真空脫氣的溫度以25。C程度 的常溫為佳。
其次，當(dāng)?shù)蜏卣婵占訅禾幚斫Y(jié)束，則例如10分鐘程度，于高溫下使真空 度為例如O. 5KPa后，進(jìn)一步以壓制機(jī)75將密封構(gòu)件8由上加壓。借此，密 封構(gòu)件8高溫加壓變形，深深地侵入冷媒柱入孔4及空氣排出孔5內(nèi)成以密 封構(gòu)件8進(jìn)一步牢固地壓接的封閉狀態(tài)。
即，密封構(gòu)件8,主要借由加壓作塑性變形，并且輔助地(為副)借由加 熱塑性變性，可將包含排氣溝4b的冷i某柱入孔4及空氣排出孔5封閉。并且， 如圖15C及圖16B所示，球狀體的密封構(gòu)件8，借由塑性變形成惟冷媒柱入 孔4及空氣排出孔5的形狀，實(shí)質(zhì)上壓接于冷媒柱入孔4及空氣排出孔5成 密封栓，將冷卻部本體10的內(nèi)部空間10a密封。如此地結(jié)束以密封構(gòu)件8封 閉冷媒柱入孔4及空氣排出孔5,則進(jìn)行停止加溫、停止抽真空及解除以壓 制機(jī)的加壓，結(jié)束該加壓、加熱、抽真空處理。
再者，此時(shí)，密封構(gòu)件8的外表面，形成與冷卻部本體10的外表面成大 致同一平面上為佳。因?yàn)?，保持熱?的外表面的平坦性，借此使熱管本身與安裝于其的例如風(fēng)扇等冷卻器的密著性良好，而無阻礙地提高之間的熱傳 導(dǎo)性。
之后，冷卻部本體10的外表面為防銹等，鍍鎳。在此，假設(shè)使用以焊錫
所構(gòu)成的密封構(gòu)件封閉冷媒柱入孔4及空氣排出孔5時(shí)，由于會(huì)伴隨難以對 焊錫作良好的鍍鎳，故會(huì)產(chǎn)生無法在封閉冷媒柱入孔4及空氣排出孔5的部 分進(jìn)行良好的鍍鎳的不適。
對此，在本發(fā)明，由于使用與冷卻部本體IO相同的銅系金屬所構(gòu)成的密 封構(gòu)件8封閉冷媒柱入孔4及空氣排出孔5,故不會(huì)發(fā)生如此的不適，于封 閉冷媒柱入孔4及空氣排出孔5的部分亦可做良好的鍍鎳。
附帶地，根據(jù)如此的熱管1的制造方法(冷々某封入方法)，于真空下排列 數(shù)個(gè)熱管1，于各熱管1的冷媒柱入孔4及空氣排出孔5載置密封構(gòu)件8,對 于這些熱管1一起進(jìn)行排氣，或密封構(gòu)件8的加壓及加熱，使所有的密封構(gòu) 件8塑性變形可將冷媒一起密封。并且相較于對每個(gè)冷媒注入孔4個(gè)別進(jìn)行 先前的填隙作業(yè)或焊接、接著等麻煩的作業(yè)的密封方法，可提高熱管1的量 產(chǎn)性，又借由提高量產(chǎn)性亦可圖謀熱管1的低價(jià)化。
再者，于該熱管l，借由使內(nèi)部空間10a為減壓狀態(tài)(冷媒為水時(shí)，例如 0. 5KPa程度)，使冷媒的沸點(diǎn)降低，例如即使較50。C以下的常溫稍微高的溫 度(例如30°C-35'C程度)冷媒溶液變蒸氣。借此將熱管1形成為，即使以來 自被冷卻裝置HE的些微的熱仍可使冷媒的循環(huán)現(xiàn)象連續(xù)且容易反復(fù)。
在于以上的構(gòu)造，于熱管l，使用由銅系金屬所構(gòu)成的冷卻部本體IO與 同質(zhì)的可塑性金屬所構(gòu)成的密封構(gòu)件8，封閉冷媒注入孔4及空氣牌出孔5, 即使冷卻部本體10及密封構(gòu)件8接觸或暴露到冷媒，該冷卻部本體10及密 封構(gòu)件8并不會(huì)產(chǎn)生局部電池作用，結(jié)果，由于可防止因該局部電池作用的 腐蝕，故此部分可圖謀較先前更加長壽化。
又，作為冷卻部本體10及密封構(gòu)件8的材質(zhì)使用可塑性金屬時(shí)，由于其 熔點(diǎn)高，即使在200-30(TC程度的高溫仍可繼續(xù)確實(shí)地發(fā)揮密封效果。附帶地，作為密封構(gòu)件8使用焊錫時(shí)，由于焊錫含有有害物質(zhì)鉛，故以 鉛密封所需的管理等的成分，但本發(fā)明由于作為密封構(gòu)件8的材質(zhì)使用銅系 金屬，故無須該鉛的管理所需成本，此部分可圖謀降低成本。
又，由于銅系金屬熱傳導(dǎo)率高，可使熱擴(kuò)散性高，故可說冷卻部本體IO
以銅系金屬形成較佳，但將冷卻部本體10以銅系金屬形成時(shí)，為防銹等通常 會(huì)在該冷卻部本體10的外表面鍍鎳。在此將冷卻部本體10的冷媒注入孔4 以焊錫封閉時(shí)，于鍍鎳的前處理焊錫被侵蝕，于該焊錫表面形成密著性弱的 鍍敷膜，會(huì)產(chǎn)生使之后形成的鍍鎳膜與底層的密著性變?nèi)醯膯栴}。
對此，于本發(fā)明的熱管l，由于將冷卻部本體10以銅系金屬形成，又將 封閉冷媒注入孔4的密封構(gòu)件8以銅系金屬形成，故可對外周全部確實(shí)地實(shí) 施良好的鍍鎳。
又，于該熱管1，使球狀體的密封構(gòu)件8配合冷媒柱入孔4及空氣排出 孔5的形狀作塑形變形成密封栓，故密封構(gòu)件8不容易由熱管1的上外面凸 出，可防止因密封而有損熱管1的外面的平坦性，并且可^t是升對行動(dòng)電話或 小型機(jī)器的構(gòu)裝的自由度。
即，于該熱管1，例如CPU及發(fā)光二極管(LED)等需要放熱的電子零件等， 安裝于一邊，于另一邊側(cè)安裝風(fēng)扇或其它冷卻器(散熱器)時(shí)，由于密封構(gòu)件 8的外表面并不會(huì)由冷卻部本體10的外表面凸出，故可提升與電子零件或冷 卻器等的密著性，可使之間的熱傳導(dǎo)性良好，進(jìn)而可有效地將電子零件等所 產(chǎn)生的熱有效地散熱。
再者，于該熱管l，另外于冷媒柱入孔4及空氣排出孔5的開口部4a的 內(nèi)周面設(shè)置排氣溝4b。借此將成為密封栓的密封構(gòu)件8載置于冷媒柱入孔4 及空氣排出孔5上時(shí)，即使密封構(gòu)件8開始熔融而進(jìn)行些微的密封時(shí)，冷媒 柱入孔4及空氣排出孔5并不會(huì)被密封構(gòu)件8封閉，可確實(shí)地進(jìn)行由熱管1 的內(nèi)部空間10a排氣。
然后，于該熱管1,借由于真空下將密封構(gòu)件加壓，將冷媒注入孔4以該密封構(gòu)件8預(yù)密封后，進(jìn)一步對密封構(gòu)件8繼續(xù)加壓加熱，由可塑性金屬 構(gòu)成的密封構(gòu)件8塑形變形，配合排氣溝4b的形狀變形，故排氣溝4b亦可 借由密封構(gòu)件8確實(shí)地封閉，進(jìn)而可防止封入內(nèi)部空間10a的冷媒W的漏出。
又，于熱管1，在于對應(yīng)冷媒柱入孔4及空氣排出孔5的外圍區(qū)域的部 分，借由使上板補(bǔ)強(qiáng)部50、中板補(bǔ)強(qiáng)部52、具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部55及下板補(bǔ) 強(qiáng)部60密著形成支柱構(gòu)造，提升冷媒柱入孔4及空氣排出孔5的外圍區(qū)域的 機(jī)械強(qiáng)度，可防止內(nèi)部空間10a因由上板2的外力對密封構(gòu)件8施加的壓制 機(jī)75的外力而壓潰等于制造過程的破損，提升生產(chǎn)性，結(jié)果可堿低生產(chǎn)成本。 又，于制造后的使用過程，可防止內(nèi)部空間10a因由上板2或下板3施加的 各種外力而壓潰，可圖謀熱管1的長壽化。
特別是在該實(shí)施例的情形，為邊圖謀熱管1的小型化及薄型化，得到效 率良好的散熱效果，于內(nèi)部空間10形成有蒸氣擴(kuò)散流路44及毛細(xì)管流路42 作為循環(huán)路徑。然后，其中蒸氣擴(kuò)散流路44，為將熱擴(kuò)散到冷卻部本體10 的夕卜圍部12而有效地散熱，配置成由中心部延伸至離最遠(yuǎn)的四邊的邊角部。
另一方面，冷媒柱入孔4及空氣排出孔5，為使冷媒對熱管1內(nèi)部全體 的供給圓滑而容易進(jìn)行，將冷媒注入孔4配置于熱管1的一邊的邊角部，將 空氣排出孔5配置于與該一邊的邊角部于對角在線相對的另一邊的邊角部。 進(jìn)而，由于在成為中空構(gòu)造的蒸氣擴(kuò)散流路44上配置冷媒柱入孔4及空氣排 出孔5。因此若與冷媒柱入孔4及空氣排出孔5相對的區(qū)域維持中空構(gòu)造， 則對該等冷^;某柱入孔4及空氣排出孔5上載置密封構(gòu)件8進(jìn)行壓制，則將來 自壓制機(jī)75的外力僅以上板2承受，故有使該上板2破損之虞。
對此，本發(fā)明的熱管1,借由于與冷^某柱入孔4及空氣排出孔5的外圍 區(qū)域相對的蒸氣擴(kuò)散流路44內(nèi)，使上板補(bǔ)強(qiáng)部50、中板補(bǔ)強(qiáng)部52、具有狹 縫的補(bǔ)強(qiáng)部55及下板補(bǔ)強(qiáng)部60密著形成支柱構(gòu)造，承受來自該壓制機(jī)75的 外力，可防止上板2或下板3因該外力而破損使內(nèi)部空間10a壓潰。
又，在上板補(bǔ)強(qiáng)部50、中板補(bǔ)強(qiáng)部52、具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部55及下板補(bǔ)強(qiáng)部60,在對應(yīng)上板2的冷媒注入孔4的部分，分別形成有連通該冷媒注入 孔4的冷媒用孔5 3、 57,經(jīng)由冷媒注入孔4對內(nèi)部空間10a注入冷媒W時(shí)， 由該等冷媒用孔53、 57經(jīng)由狹縫56等將冷:樣到達(dá)冷卻部本體10的全體的每 個(gè)角落。
再者，此時(shí)，具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部55，借由沿著冷媒W擴(kuò)散蒸氣擴(kuò)散流路 44內(nèi)的擴(kuò)散方向D形成狹縫56,通過該狹縫56可將冷媒W引導(dǎo)至冷卻部本 體10的邊角部，使的擴(kuò)散到內(nèi)部空間10a的每個(gè)角落而可有效地進(jìn)行散熱。
以上，說明關(guān)于本發(fā)明的實(shí)施例，但本發(fā)明并非受限于實(shí)施例，可有種 種變形實(shí)施，亦可使用類似冷卻部本體10的可塑性金屬所構(gòu)成的密封構(gòu)件， 此時(shí)亦可得到與上述同樣的效果。
又，如圖17所示，例如使用噴墨噴頭80，將冷媒供給于冷卻部本體10 內(nèi)時(shí)，作為冷卻部本體IO，可使用不具有空氣排出孔。于該實(shí)施例省略內(nèi)部 空間l()a的循環(huán)路徑的形狀、構(gòu)造的圖示的說明。
具體而言，借由噴墨噴頭80使冷媒(例如純水)，成為例如以直徑50 ju m-300 jLim的極細(xì)微的冷媒粒子(水粒子)W2，將每秒約1000滴1滴1滴的連 續(xù)打入。如此則細(xì)微的粒子狀的冷媒粒子W2,將于一直在線規(guī)則地排列供給 于冷卻部本體10的內(nèi)部空間10a。此時(shí)，即使1滴1滴很微量，由于例如以 每秒約1000滴連續(xù)高速地打入，故冷^ 某供給效率極高。
如此地，使用噴墨噴嘴80時(shí)，可使冷媒為極細(xì)微的冷媒粒子W2,可1 滴1滴高速地打入而供給，故可省略上述以空氣排出孔進(jìn)行的真空抽耳又作業(yè)， 進(jìn)而可圖謀省略該作業(yè)的制造成本的降低。又，此時(shí)，例如l-5mg程度的極 少量的冷媒的充填量的控制，亦可借由對噴墨噴嘴的噴出數(shù)以數(shù)字控制的機(jī) 構(gòu)，可以1滴單位的精確度簡單且高速地充填。
圖18及圖19表示以其它實(shí)施例的具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部81、 85的平面圖， 與上述實(shí)施例的具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部55,狹縫56的形狀不同。如圖18所示， 具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部81,由以圓形狀構(gòu)成的冷卩槳用孔82的中心向具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部81的外周使狹縫83的寬度尺寸逐漸變寬地形成。又，如圖19所示， 具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部85,由以圓形狀構(gòu)成的冷4某用孔86的中心向具有狹縫的 補(bǔ)強(qiáng)部85的外周使狹縫87的寬度尺寸逐漸變窄地形成。以該等具有狹縫的 補(bǔ)強(qiáng)部81、 85，亦可得到與上述實(shí)施例的具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部55同樣的效果。 再者，狹縫56、 81、 85的寬度，亦可于每個(gè)中板不均勻。
又，在上述實(shí)施例，以于圓柱狀的開口部4a的內(nèi)周面設(shè)4個(gè)半圓狀的排 氣溝4a的狀態(tài)而成的冷媒柱入孔4及空氣排出孔5的情形敘述，但本發(fā)明并 非限定于此，亦可使用如表示冷卩!某注入孔或空氣排出孔的正面構(gòu)造的圖20A， 及表示側(cè)剖面構(gòu)造的圖20B所示，上端的徑大，越下面漸漸地變小，于下端 徑成最小的逆梯形圓錐狀的冷媒注入孔90a及空氣排出孔90b。如表示以密 封構(gòu)件8密封的樣子的圖20C所示，在此情形，球狀體的密封構(gòu)件8亦可配 合冷4某注入孔90a及空氣排出孔90b的形狀塑形變形成平坦?fàn)钋掖_實(shí)地將內(nèi) 部空間密封。
又，作為以其它的實(shí)施例的冷媒柱入孔及空氣排出孔，亦可使用如表示 冷媒注入孔或空氣排出孔的正面構(gòu)造的圖21A，及表示側(cè)剖面構(gòu)造的圖21B 所示，具有由大徑的短圓柱形狀構(gòu)成的上部92,及由小徑的短圓柱形所構(gòu)成 的下部93，上部92及下部93經(jīng)由段部94 一體成形的冷媒注入孔91a及空 氣排出孔91b。
在此情形，如表示以密封構(gòu)件8密封的樣子的圖21C，密封構(gòu)件8塑性 變形完全埋入下部93時(shí)，密封構(gòu)件8的殘余部分收于大徑的上部92，借此 可防止密封構(gòu)件8由熱管1的上外面凸出而成平坦?fàn)?。再者，于圖20A及圖 20B，與圖21A及圖21B所示的任何例，均可得與上述實(shí)施例同樣的效果。
權(quán)利要求
1. 一種熱管，其特征在于包括冷卻部本體，其由在內(nèi)部空間形成冷媒的循環(huán)路徑的金屬所構(gòu)成；冷媒注入孔，其形成于所述冷卻部本體，對所述內(nèi)部空間注入所述冷媒；以及密封構(gòu)件，其將所述冷媒封入所述內(nèi)部空間，封閉所述冷媒注入孔，所述密封構(gòu)件由與所述冷卻部本體同質(zhì)或類似的可塑性金屬所構(gòu)成。
2. —種熱管，其特征在于包括冷卻部本體，其借由設(shè)于上板及下板間的一個(gè)或數(shù)個(gè)中板，在內(nèi)部空間 形成冷媒的循環(huán)路徑；以及冷i某注入孔，其形成于所述冷卻部本體，對該冷卻部本體的內(nèi)部空間注 入所述冷媒，借由密封構(gòu)件封閉，所述中板，包括補(bǔ)強(qiáng)部，其形成于對應(yīng)所述冷i某注入孔的外圍區(qū)域的部分，具有既定 的厚度；及冷+某用孔，其形成于對應(yīng)所述冷纟某注入孔的部分。
3. —種熱管，其特征在于包括冷卻部本體，其由在內(nèi)部空間形成冷媒的循環(huán)路徑的金屬所構(gòu)成；及 冷i某注入孔，其形成于所述冷卻部本體，對所述內(nèi)部空間注入所述冷i某，借由密封構(gòu)件封閉， -使所述冷々某成《敬小粒子狀由所述冷i某注入孔對所述內(nèi)部空間注入。
4. 一種熱管，其特征在于包括冷卻部本體，其借由設(shè)于上板及下板間的1個(gè)或數(shù)個(gè)中板，在內(nèi)部空間 形成冷媒的循環(huán)路徑的金屬所構(gòu)成；冷i某注入孔，其形成于所述冷卻部本體，對該冷卻部本體的內(nèi)部空間注 入所述冷纟某；及密封構(gòu)件，其將所述冷^^某封入所述內(nèi)部空間，封閉所述冷^!某注入孔， 所述密封構(gòu)件由與所述冷卻部本體同質(zhì)或類似的可塑性金屬所構(gòu)成，所述中板，包括補(bǔ)強(qiáng)部，其形成于對應(yīng)所述冷々某注入孔的外圍區(qū)域的部分，具有既定 的厚度；及冷媒用孔，其形成于對應(yīng)所述冷媒注入孔的部分，使所述冷媒成微小 粒子狀由所述冷i某注入孔對所述內(nèi)部空間注入。
5. 如權(quán)利要求1至4中任一權(quán)利要求所述的熱管，其特征在于，其中封 閉所述冷々某注入孔的所述密封構(gòu)件沒有由所述冷卻部本體的表面凸出。
6. 如權(quán)利要求1至5中任一權(quán)利要求所述的熱管，其特征在于，其中所 述冷媒注入孔的內(nèi)周面形成有放氣溝，其直到以所述密封構(gòu)件將所述冷媒注 入孔完全封閉的狀態(tài)，保持外部與所述內(nèi)部空間連通的狀態(tài)，當(dāng)所述冷媒注 入孔呈完全封閉的狀態(tài)，則以所述密封構(gòu)件封閉。
7. 如權(quán)利要求2至4中任一權(quán)利要求所述的熱管，其特征在于，其中所 述循環(huán)路徑包括，冷媒成為蒸氣擴(kuò)散的蒸氣擴(kuò)散流路，對應(yīng)所述冷媒注入孔 的部分配置于所述蒸氣擴(kuò)散流路，在所述補(bǔ)強(qiáng)部，沿著所述冷媒在所述蒸氣 擴(kuò)散流路內(nèi)成為蒸氣擴(kuò)散的擴(kuò)散方向形成有狹縫。
8. —種熱管的制造方法，其特征在于包括由形成于金屬所構(gòu)成的冷卻部本體的冷媒注入孔，對形成有冷媒的循環(huán) 路徑的所述冷卻部本體的內(nèi)部空間注入所述冷4某的注入步驟；將由與所述冷卻部本體同質(zhì)或類似的可塑性金屬構(gòu)成的密封構(gòu)件，載置 于所述冷媒注入孔的載置步驟；及借由在真空下對所述密封構(gòu)件加壓，使該密封構(gòu)件將所述冷媒柱入孔封 閉的封閉步驟。
9. 一種熱管的制造方法，其特征在于包括由形成于冷卻部本體的冷媒注入孔，對形成有冷媒的循環(huán)路徑的所述冷卻部本體的內(nèi)部空間注入所述冷々某的注入步驟；對所述冷媒注入孔載置密封構(gòu)件的載置步驟；及借由在真空下對所述密封構(gòu)件加壓，使該密封構(gòu)件將所述冷^某柱入孔封 閉的封閉步驟，在所述注入步驟，使所述冷媒成為微小粒子狀由所述冷媒注入孔注入所 述內(nèi)部空間。
10. —種熱管的制造方法，其特征在于包括準(zhǔn)備借由設(shè)于上板及下板間的一個(gè)或數(shù)個(gè)中板，在內(nèi)部空間形成冷媒的 循環(huán)i 各徑，在所述中板，形成有對應(yīng)形成于所述上板或所述下板的冷J 某注入 孔的外圍區(qū)域的部分形成具有既定厚度的補(bǔ)強(qiáng)部，并且在對應(yīng)所述冷々某注入 孔的部分形成有冷媒用孔的冷卻部本體的準(zhǔn)備步驟；由所述冷J某注入孔對所述冷卻部本體的內(nèi)部空間注入所述冷d泉的注入步驟；對所述冷J 某注入孔載置密封構(gòu)件的載置步驟；及借由在真空下對所述密封構(gòu)件加壓，使該密封構(gòu)件將所述冷媒注入孔封 閉的封閉步驟。
11. 一種熱管的制造方法，其特征在于，包括準(zhǔn)備借由設(shè)于上板及下板間的一個(gè)或數(shù)個(gè)中板，在內(nèi)部空間形成冷媒的 循環(huán)路徑，在所述中板，形成有對應(yīng)形成于所述上板或所述下板的冷媒注入 孔的外圍區(qū)域的部分形成具有既定厚度的補(bǔ)強(qiáng)部，并且于對應(yīng)所述冷J 某注入 孔的部分形成有冷媒用孔的金屬所構(gòu)成的冷卻部本體的準(zhǔn)備步驟；由所述冷々某注入孔對所述冷卻部本體的內(nèi)部空間注入所述冷:樣的注入步驟；對所述冷i某注入孔載置由與所述冷卻部本體同質(zhì)或類似可塑性金屬構(gòu)成 的密封構(gòu)件的載置步驟；及借由在真空下對所述密封構(gòu)件加壓以該密封構(gòu)件將所述冷媒柱入孔封閉的封閉步驟；在所述注入步驟，使所述冷媒成為微小粒子狀由所述冷媒注入孔注入所 述內(nèi)部空間。
12. 如權(quán)利要求8至11中任一權(quán)利要求所述的熱管的制造方法，其特征 在于，其中所述密封步驟，直到以所述密封構(gòu)件完全封閉所述冷々某注入孔的間連通的狀態(tài)。
13. 如權(quán)利要求8至12中任一權(quán)利要求所述的熱管的制造方法，其特征 在于，其中所述密封步驟，借由在真空下對所述密封構(gòu)件加壓以該密封構(gòu)件 預(yù)密封所述冷媒注入孔后，借由持續(xù)對所述密封構(gòu)件加壓加熱，使該密封構(gòu) 件完全密封所述冷^ 某注入孔。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種熱管，該熱管(1)，于與冷媒注入孔(4)及空氣排出孔(5)的外圍區(qū)域?qū)ο虻恼魵鈹U(kuò)散流路(44)內(nèi)，上板補(bǔ)強(qiáng)部(50)、中板補(bǔ)強(qiáng)部(52)、具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部(55)及下板補(bǔ)強(qiáng)部(60)密著形成支柱構(gòu)造。借此于熱管(1)，將來自壓制機(jī)(75)的外力以上板補(bǔ)強(qiáng)部(50)、中板補(bǔ)強(qiáng)部(52)、具有狹縫的補(bǔ)強(qiáng)部(55)及下板補(bǔ)強(qiáng)部(60)所構(gòu)成的支柱構(gòu)造承受，可防止因該外力使上板(2)或下板(3)破損使內(nèi)部空間(10a)壓潰。本發(fā)明即使在高溫下仍可繼續(xù)確實(shí)地發(fā)揮密封效果，可圖謀較先前更加長壽化的熱管及其制造方法。又，以提供可以提升生產(chǎn)性，以圖謀更加低價(jià)化、長壽化的熱管為目的。
文檔編號F28D15/02GK101421577SQ20078001361
公開日2009年4月29日 申請日期2007年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月28日
發(fā)明者大澤健治, 小谷俊明, 有村秀一, 鶴田克也 申請人:渕上密克羅股份有限公司