空間。
[0159]在各實(shí)施例中說(shuō)明了一種使用傳遞模塑的樹脂成型裝置，所述樹脂成型裝置對(duì)基板15上安裝的芯片14進(jìn)行樹脂封裝。樹脂封裝對(duì)象可以是IC、LED和晶體管等半導(dǎo)體芯片，還可以是無(wú)源元件。當(dāng)對(duì)安裝于引線框、印刷基板和陶瓷基板等基板上的一個(gè)或多個(gè)電子部件進(jìn)行樹脂封裝時(shí)，可適用本發(fā)明。
[0160]不限于對(duì)電子部件進(jìn)行樹脂封裝的情況，在通過(guò)樹脂成型來(lái)制造透鏡、導(dǎo)光板、反射件(反射器)、光學(xué)模塊等光學(xué)部件和其他通常的樹脂產(chǎn)品的情況下，可適用本發(fā)明。
[0161]不限于使用三個(gè)成型模的樹脂成型裝置，使用兩個(gè)成型模的樹脂成型裝置也為本發(fā)明的對(duì)象。此時(shí)，上模和下模中的任一個(gè)模相當(dāng)于圖2所示的中間模10。
[0162]進(jìn)一步，不限于傳遞模塑，可以對(duì)進(jìn)行注塑成型的樹脂成型裝置適用本發(fā)明。所謂“注塑成型”這一術(shù)語(yǔ)意味著“在加壓下從加熱氣缸經(jīng)過(guò)直澆道(橫澆道、澆口)向封閉的金屬模的型腔中注入材料來(lái)進(jìn)行成型的工序”(參照J(rèn)ISK6900)。
[0163]本發(fā)明并不限定于上述的各實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，可按照需要，任意并且適當(dāng)組合而進(jìn)行變更，或選擇性地采用。
[0164]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0165]I樹脂成型裝置
[0166]2 底座
[0167]3 拉桿
[0168]4固定盤
[0169]5上模板
[0170]6上模(成型模組)
[0171]7可動(dòng)盤
[0172]8下模板
[0173]9下模(第二成型模、成型模組)
[0174]10中間模(第一成型模、成型模組)
[0175]11驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(合模機(jī)構(gòu))
[0176]12合模機(jī)構(gòu)
[0177]13裝載器(運(yùn)送機(jī)構(gòu))
[0178]14芯片
[0179]15基板
[0180]16樹脂塊
[0181]17 引線
[0182]18料筒
[0183]19 凹部
[0184]20柱塞
[0185]21主流道
[0186]22橫澆道
[0187]23型腔
[0188]24澆口
[0189]24a 開口
[0190]24b 開口
[0191]25貫通孔
[0192]26澆口抽吸機(jī)構(gòu)
[0193]27抽吸部
[0194]27a抽吸部主體(抽吸部)
[0195]27b吸附盤(抽吸部)
[0196]28抽吸通道
[0197]29配管
[0198]30抽吸機(jī)構(gòu)
[0199]31流量傳感器(流量測(cè)定機(jī)構(gòu))
[0200]32 凹部
[0201]33彈簧(彈性體)
[0202]34硬化樹脂
[0203]35成型品
[0204]36不需要樹脂
[0205]37卸載器(運(yùn)送機(jī)構(gòu))
[0206]CTL判斷機(jī)構(gòu)
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種樹脂成型裝置，具備: 第一成型模； 第二成型模，與所述第一成型模相對(duì)設(shè)置； 型腔，設(shè)置于所述第一成型模中的與所述第二成型模相對(duì)的部位，所注入的流動(dòng)性樹脂在所述型腔內(nèi)硬化而形成硬化樹脂； 澆口，設(shè)置于所述第一成型模且與所述型腔的頂面連接；以及 合模機(jī)構(gòu)，對(duì)至少具有所述第一成型模和所述第二成型模的成型模組進(jìn)行合模， 所述樹脂成型裝置成型具有所述硬化樹脂的成型品，其特征在于，具備: 澆口抽吸機(jī)構(gòu)，以與所述型腔重合的方式配置在所述第一成型模與所述第二成型模之間； 抽吸部，設(shè)置于所述澆口抽吸機(jī)構(gòu)； 抽吸通道，設(shè)置于所述澆口抽吸機(jī)構(gòu)并與所述抽吸部相連； 配管，連接到所述抽吸通道； 抽吸機(jī)構(gòu)，連接到所述配管； 流量測(cè)定機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述配管，用于生成與通過(guò)所述配管的氣體的流量相應(yīng)的測(cè)定流量信息；以及 判斷機(jī)構(gòu)，基于從所述流量測(cè)定機(jī)構(gòu)接收的所述測(cè)定流量信息計(jì)算出所述流量，并且基于該流量進(jìn)行規(guī)定的判斷， 在所述抽吸部的前端與所述澆口的開口周圍的所述第一成型模的型面緊貼，并且由所述抽吸機(jī)構(gòu)抽吸存在于所述澆口內(nèi)的所述氣體的狀態(tài)下，所述流量測(cè)定機(jī)構(gòu)生成測(cè)定流量信息， 所述規(guī)定的判斷為，通過(guò)對(duì)在所述硬化樹脂未殘留在所述澆口中的狀態(tài)下預(yù)先測(cè)定并存儲(chǔ)的所述氣體的基準(zhǔn)流量信息和所述測(cè)定流量信息進(jìn)行比較，來(lái)判斷在所述澆口中是否殘留有所述硬化樹脂。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹脂成型裝置，其特征在于， 設(shè)置有多個(gè)所述澆口， 與多個(gè)所述澆口分別對(duì)應(yīng)地設(shè)置有多個(gè)所述抽吸部。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的樹脂成型裝置，其特征在于， 與多個(gè)所述澆口分別對(duì)應(yīng)地設(shè)置有多個(gè)所述型腔。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的樹脂成型裝置，其特征在于，多個(gè)所述抽吸部為俯視觀察時(shí)由沿第一方向排列的m個(gè)抽吸部構(gòu)成的抽吸部列沿與所述第一方向交叉的第二方向排列η行而形成的mXn個(gè)抽吸部，其中，m和η均為正整數(shù)，所述澆口抽吸機(jī)構(gòu)具有與排列成η行的所述抽吸部列中的每一列對(duì)應(yīng)的η個(gè)所述抽吸通道，每一個(gè)所述抽吸通道分別與構(gòu)成所述抽吸部列中的每一列的m個(gè)所述抽吸部連通，η個(gè)所述抽吸通道分別連接到共用的所述配管上的、從所述流量測(cè)定機(jī)構(gòu)觀察時(shí)位于所述抽吸機(jī)構(gòu)的相反側(cè)的配管部位。5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的樹脂成型裝置，其特征在于， 具備連接到所述抽吸機(jī)構(gòu)的η條所述配管， 多個(gè)所述抽吸部為俯視觀察時(shí)由沿第一方向排列的m個(gè)抽吸部構(gòu)成的抽吸部列沿與所述第一方向交叉的第二方向排列η行而形成的mXn個(gè)抽吸部，其中，m和η均為正整數(shù)，所述澆口抽吸機(jī)構(gòu)具有與排列成η行的所述抽吸部列中的每一列對(duì)應(yīng)的η個(gè)所述抽吸通道，每一個(gè)所述抽吸通道分別與構(gòu)成所述抽吸部列中的每一列的m個(gè)所述抽吸部連通，η個(gè)所述抽吸通道分別與η條所述配管連接。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹脂成型裝置，其特征在于， 進(jìn)一步具備分別支撐所述抽吸部的彈性體。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹脂成型裝置，其特征在于， 進(jìn)一步具備運(yùn)送機(jī)構(gòu)，所述運(yùn)送機(jī)構(gòu)進(jìn)行運(yùn)送用于成型所述成型品的材料并移交給所述成型模組的動(dòng)作和將所述成型品從所述成型模組取出的動(dòng)作中的至少一個(gè)動(dòng)作， 所述澆口抽吸機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述運(yùn)送機(jī)構(gòu)。8.一種樹脂成型方法，包括: 準(zhǔn)備至少具有第一成型模和第二成型模的成型模組的工序，所述第一成型模具有供流動(dòng)性樹脂硬化而形成硬化樹脂的型腔，所述第二成型模與所述第一成型模的所述型腔形成部位相對(duì)設(shè)置； 對(duì)所述成型模組進(jìn)行合模的工序； 經(jīng)由設(shè)置于所述第一成型模且與所述型腔的頂面連接的澆口向所述型腔注入所述流動(dòng)性樹脂的工序； 通過(guò)使所述流動(dòng)性樹脂硬化而形成所述硬化樹脂的工序； 對(duì)所述成型模組進(jìn)行開模的工序；以及 將具有所述硬化樹脂的成型品從所述成型模組取出的工序， 所述樹脂成型方法的特征在于，包括: 在準(zhǔn)備抽吸部后，使該抽吸部的前端緊貼于所述澆口的開口周圍的所述第一成型模的型面上的工序； 在準(zhǔn)備抽吸機(jī)構(gòu)后，在所述硬化樹脂未殘留在所述澆口中的狀態(tài)下，使用所述抽吸機(jī)構(gòu)且經(jīng)由所述抽吸部抽吸存在于所述澆口內(nèi)的氣體的同時(shí)，將通過(guò)與所述抽吸部相連的配管的所述氣體的流量作為基準(zhǔn)流量來(lái)預(yù)先測(cè)定的工序； 基于所述基準(zhǔn)流量生成基準(zhǔn)流量信息，并存儲(chǔ)所生成的基準(zhǔn)流量信息的工序； 使用所述抽吸機(jī)構(gòu)且經(jīng)由所述抽吸部抽吸存在于所述澆口內(nèi)的氣體的同時(shí)，測(cè)定通過(guò)所述配管的所述氣體的流量的工序； 基于所述流量生成測(cè)定流量信息的工序；以及 通過(guò)對(duì)所述基準(zhǔn)流量信息和所述測(cè)定流量信息進(jìn)行比較，來(lái)判斷在所述澆口中是否殘留有所述硬化樹脂的工序。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的樹脂成型方法，其特征在于， 分別設(shè)置有多個(gè)所述澆口和對(duì)應(yīng)該澆口的所述抽吸部， 在使所述抽吸部的前端緊貼的工序中，使多個(gè)所述抽吸部的前端分別緊貼于多個(gè)所述澆口的開口周圍的所述第一成型模的型面上， 在抽吸存在于所述澆口內(nèi)的氣體的工序中，分別經(jīng)由多個(gè)所述抽吸部來(lái)抽吸存在于多個(gè)所述澆口內(nèi)的氣體。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的樹脂成型方法，其特征在于， 與多個(gè)所述澆口分別對(duì)應(yīng)地設(shè)置有多個(gè)所述型腔， 在抽吸存在于所述澆口內(nèi)的氣體的工序中，分別經(jīng)由多個(gè)所述抽吸部抽吸存在于多個(gè)所述澆口內(nèi)的氣體。11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的樹脂成型方法，其特征在于， 多個(gè)所述抽吸部為俯視觀察時(shí)由沿第一方向排列的m個(gè)抽吸部構(gòu)成的抽吸部列沿與所述第一方向交叉的第二方向排列η行而形成的mXn個(gè)抽吸部，其中，m和η均為正整數(shù)， 在抽吸存在于所述澆口內(nèi)的氣體的工序中，在準(zhǔn)備抽吸通道后，經(jīng)由該抽吸通道一并抽吸存在于多個(gè)所述澆口內(nèi)的氣體，其中，所述抽吸通道與排列成η行的所述抽吸部列中的每一列對(duì)應(yīng)地設(shè)置為η個(gè)，且分別與構(gòu)成所述抽吸部列中的每一列的m個(gè)所述抽吸部連通， 在生成所述測(cè)定流量信息的工序中，在抽吸存在于所述澆口內(nèi)的氣體的工序中一并抽吸所述氣體時(shí)，在共同連接于η個(gè)所述抽吸通道的所述配管上的與η個(gè)所述抽吸通道相比更加靠近所述抽吸機(jī)構(gòu)的配管部位測(cè)定所述流量，從而生成所述測(cè)定流量信息。12.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的樹脂成型方法，其特征在于， 多個(gè)所述抽吸部為俯視觀察時(shí)由沿第一方向排列的m個(gè)抽吸部構(gòu)成的抽吸部列沿與所述第一方向交叉的第二方向排列η行而形成的mXn個(gè)抽吸部，其中，m和η均為正整數(shù)， 在抽吸存在于所述澆口內(nèi)的氣體的工序中，在準(zhǔn)備抽吸通道后，分別經(jīng)由該抽吸通道，分別抽吸存在于與所述η行抽吸部列中的每一列所具有的所述m個(gè)抽吸部對(duì)應(yīng)的m個(gè)所述澆口內(nèi)的氣體，其中，所述抽吸通道與排列成η行的所述抽吸部列中的每一列對(duì)應(yīng)地設(shè)置為η個(gè)，且分別與構(gòu)成所述抽吸部列中每一列的m個(gè)所述抽吸部連通， 在生成所述測(cè)定流量信息的工序中，通過(guò)分別測(cè)定與排列成η行的所述抽吸部列中的每一列對(duì)應(yīng)的所述配管中的所述流量而生成η個(gè)所述測(cè)定流量信息。13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的樹脂成型方法，其特征在于， 在使所述抽吸部的前端緊貼的工序中，使用彈性體支撐所述抽吸部。14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的樹脂成型方法，其特征在于， 進(jìn)一步包括: 準(zhǔn)備設(shè)置有所述抽吸部的運(yùn)送機(jī)構(gòu)的工序； 運(yùn)送用于成型所述成型品的材料并移交給所述成型模組的工序；以及 將所述成型品從所述成型模組取出的工序， 使用所述運(yùn)送機(jī)構(gòu)執(zhí)行所述移交工序和所述取出工序中的至少一個(gè)工序， 在所述移交工序或所述取出工序中，至少執(zhí)行使所述抽吸部的前端緊貼的工序、抽吸存在于所述澆口內(nèi)的氣體的工序和測(cè)定所述流量的工序。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種樹脂成型裝置及樹脂成型方法。通過(guò)簡(jiǎn)單的裝置結(jié)構(gòu)和簡(jiǎn)單的方法來(lái)判斷在澆口中是否產(chǎn)生樹脂殘留。與連接到型腔的頂面的澆口對(duì)應(yīng)地，在澆口抽吸機(jī)構(gòu)設(shè)置有抽吸部和與抽吸部相連的抽吸通道。抽吸通道通過(guò)配管與抽吸機(jī)構(gòu)連接。在配管上設(shè)置有測(cè)定所抽吸空氣的流量的流量傳感器。收集所測(cè)定出的流量值并進(jìn)行數(shù)據(jù)處理的控制機(jī)構(gòu)與流量傳感器連接。使吸附部緊貼于澆口的開口周圍，并使用抽吸機(jī)構(gòu)經(jīng)由澆口抽吸大氣中的空氣。通過(guò)對(duì)由流量傳感器測(cè)定出的流量值和預(yù)先存儲(chǔ)在控制機(jī)構(gòu)中的基準(zhǔn)流量值進(jìn)行比較，來(lái)判斷在澆口中是否產(chǎn)生樹脂殘留。
【IPC分類】H01L21/56, B29C45/76
【公開號(hào)】CN104943111
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510113380
【發(fā)明人】尾張弘樹, 竹內(nèi)慎
【申請(qǐng)人】東和株式會(huì)社
【公開日】2015年9月30日
【申請(qǐng)日】2015年3月16日