置的澆口 24而抽吸的空氣的流量。由此，能夠判斷在某一“行”上是否產(chǎn)生樹脂殘留。
[0129]進一步，可設置與中間模10上設置的一個澆口 24對應的澆口抽吸機構(gòu)26。此時，在澆口抽吸機構(gòu)26設置有一個抽吸部27和一個抽吸通道28。使用澆口抽吸機構(gòu)26，依次測定對應于在中間模10上設置的所有的澆口 24而抽吸的空氣的流量。通過抽吸所有的澆口 24，能夠判斷在某一澆口 24中是否產(chǎn)生樹脂殘留。
[0130]根據(jù)本實施例，在使?jié)部诔槲鼨C構(gòu)26上設置的抽吸部27緊貼于中間模10上設置的澆口 24的開口 24b周圍的狀態(tài)下，使用抽吸機構(gòu)30從澆口 24抽吸大氣中的空氣。通過流量傳感器31測定已抽吸的空氣的總流量。能夠通過對測定出的空氣的總流量和在沒有樹脂殘留的正常的狀態(tài)下抽吸的空氣的總流量的測定值進行比較，來判斷是否產(chǎn)生樹脂殘苗O
[0131]另外，根據(jù)本實施例，作為檢測出樹脂殘留的方法，測定從大氣中抽吸的空氣的流量。預先設定成能夠通過抽吸機構(gòu)30來取得規(guī)定流量的測定值。即使從使用抽吸機構(gòu)30開始抽吸的時刻時間流逝，所抽吸的空氣的流量總是恒定，沒有對時間的依賴性。因此，無需嚴格監(jiān)視所抽吸空氣的流量，能夠容易判斷是否產(chǎn)生樹脂殘留。
[0132]另外，根據(jù)本實施例，通過流量傳感器31測定從澆口抽吸機構(gòu)26上設置的抽吸部27抽吸的空氣的流量。通過檢測出流量的變化，能夠判斷是否產(chǎn)生樹脂殘留。預先設定成在沒有樹脂殘留的正常狀態(tài)下能夠使用抽吸機構(gòu)30來取得規(guī)定流量的測定值。因此，能夠任意確定從每一個抽吸部27抽吸的空氣的流量。當因產(chǎn)生樹脂殘留而完全堵塞澆口 24時，無法從與該澆口對應的抽吸部27抽吸空氣。因此，從抽吸部27抽吸的空氣的總流量減少與其相應的量。由于可將從每一個抽吸部27抽吸的空氣的流量設定成檢測樹脂殘留的靈敏度，因此能夠高精度地判斷是否產(chǎn)生樹脂殘留。
[0133]另外，根據(jù)本發(fā)明，可與中間模10上設置的澆口 24的數(shù)量對應地沿橫向或縱向設置多個與澆口抽吸機構(gòu)26連接的流量傳感器31。因此，即使在中間模10上設置的澆口 24的數(shù)量非常多的情況下，也能夠?qū)拿恳粋€抽吸部27抽吸的空氣的流量設定成最佳的值。由于作為檢測出樹脂殘留的方法，利用從大氣中抽吸的空氣的流量，因此能夠根據(jù)產(chǎn)品將檢測出樹脂殘留的靈敏度設為最佳。
[0134]進一步，也可以沿澆口抽吸機構(gòu)26的橫向和縱向，與所有的“行”和“列”上設置的抽吸通道28對應地連接流量傳感器31。如此，也能夠通過測定所有橫向和縱向上設置的流量傳感器31的流量，來確定產(chǎn)生樹脂殘留的澆口 24。
[0135]另外，根據(jù)本實施例，可以與澆口抽吸機構(gòu)26上設置的各抽吸部27對應地分別設置獨立的抽吸通道28和流量傳感器31。如此，能夠通過在對應于所有的澆口 24而設置的流量傳感器31中是否有空氣流動，來直接確定產(chǎn)生樹脂殘留的澆口 24。
[0136]另外，根據(jù)本實施例，可以沿“行”或“列”設置的多個澆口 24為對象，設置澆口抽吸機構(gòu)26。使用該澆口抽吸機構(gòu)26，測定依次對應于在所有的“行”或“列”上設置的澆口24而抽吸的空氣的流量。由此，能夠確認在某一 “行”或“列”上是否產(chǎn)生樹脂殘留。
[0137]進一步，可設置與一個澆口 24對應的澆口抽吸機構(gòu)26。此時，使用一個抽吸部27，依次對應于在中間模10上設置的所有的澆口 24而抽吸的空氣的流量。能夠通過抽吸所有的澆口 24，來判斷在某一澆口 24中是否產(chǎn)生樹脂殘留。
[0138]另外，根據(jù)本實施例，使抽吸部27緊貼于澆口 24的開口 24b周圍，從而測定經(jīng)由澆口 24從大氣中抽吸的空氣的流量。由于抽吸大氣中的空氣，因此能夠以簡單的裝置結(jié)構(gòu)和簡單的檢測方法檢測出樹脂殘留。因此，能夠降低樹脂成型裝置I的費用。
[0139](實施例2)
[0140]參照圖7，對實施例2中的澆口抽吸機構(gòu)26的結(jié)構(gòu)進行說明。與實施例1的區(qū)別為在澆口抽吸機構(gòu)26中設置有支撐抽吸部27的彈性部件。如圖7所示，在澆口抽吸機構(gòu)26中設置有插入抽吸部27的凹部32。在凹部32內(nèi)插入有例如作為彈性部件的彈簧33等，并在該彈簧33上配置有抽吸部27。
[0141]除了由彈性部件形成的吸附盤27b之外，抽吸部27也被彈簧33彈性支撐。由此，能夠進一步提高吸附盤27b緊貼于澆口 24的開口 24b周圍(參照圖3的(b))的程度。在該情況下，在凹部32中設置彈簧33，以此彈性支撐抽吸部27。不限于此，也可以設定為在抽吸部主體27a的內(nèi)部嵌入作為彈性部件的彈簧的結(jié)構(gòu)。
[0142](實施例3)
[0143]參照圖8至圖12，關(guān)于在本發(fā)明所涉及的樹脂成型裝置I中使用澆口抽吸機構(gòu)26進行樹脂封裝的結(jié)構(gòu)和動作進行說明。
[0144]如圖8所示，在現(xiàn)有的運送機構(gòu)中增加本發(fā)明所涉及的澆口抽吸機構(gòu)26并一體化而構(gòu)成樹脂成型裝置I所具有的裝載器13。因此，裝載器13具備將安裝有芯片14的基板15配置在下模9的凹部19中的功能、將樹脂塊16供給到料筒18中的功能和為了抽吸大氣中的空氣以檢測出樹脂殘留而抽吸澆口 24的功能。圖8中示出了在裝載器13內(nèi)裝有澆口抽吸機構(gòu)26，從而裝載器13和澆口抽吸機構(gòu)26 —體化而成的結(jié)構(gòu)。不限于此，也可以通過分別構(gòu)成裝載器13和澆口抽吸機構(gòu)26來裝配。
[0145]對在樹脂成型裝置I中使用澆口抽吸機構(gòu)26進行樹脂封裝的動作進行說明。首先，對上模6、下模9和中間模10進行開模。接著，使裝載器13移動至中間模10與下模9之間的規(guī)定位置。
[0146]如圖9所示，通過使裝載器13向上移動，來使安裝在抽吸部27的前端的吸附盤27b緊貼于澆口 24的開口 24b周圍。接著，使用抽吸機構(gòu)30，在沒有樹脂殘留的狀態(tài)(正常狀態(tài))下預先設定的條件下，經(jīng)由澆口 24抽吸大氣中的空氣。通過流量傳感器31測定由抽吸機構(gòu)30抽吸的空氣的總流量。
[0147]在圖9中所測定出的空氣的總流量與在正常狀態(tài)下測定出的基準流量值不同的情況(少的情況)下，判斷為在任一個澆口 24中產(chǎn)生樹脂殘留。此時，暫且中止樹脂封裝工序。而且，從樹脂成型裝置I拆卸中間模10，清洗澆口 24。通過清洗，從澆口 24去除硬化樹脂的樹脂殘留。接著，將清洗后的中間模10安裝到樹脂成型裝置1，確認通過抽吸機構(gòu)30抽吸的空氣的總流量的測定值是否正常。如果總流量的測定值正常，則重新進行樹脂封裝工序。
[0148]如圖10所示，如果測定出的空氣的總流量與在正常狀態(tài)下測定出的基準流量值(基準流量信息)相同，則判斷為在澆口 24中沒有產(chǎn)生樹脂殘留。當判斷為沒有樹脂殘留的正常狀態(tài)時，將安裝有芯片14的基板15配置在下模9的凹部19中。接著，將樹脂塊16供給到料筒18。接著，使裝載器13從規(guī)定位置后退。接著，對上模6、下模9和中間模10進行合模。在合模之后，按壓樹脂塊16的同時加熱該樹脂塊16。通過加熱而使樹脂塊16熔融，從而生成流動性樹脂。接著，使用柱塞20按壓流動性樹脂。從料筒18依次經(jīng)由貫通孔
25、主流道21、橫澆道22和澆口 24，向型腔23注入被按壓的流動性樹脂。通過以規(guī)定時間加熱被注入到型腔23的流動性樹脂而形成硬化樹脂34。在該狀態(tài)下，芯片15被硬化樹脂34樹脂封裝。
[0149]如圖11所示，在中間模10和下模9合模的狀態(tài)下，使中間模10和下模9從上模6下降。由此，對由硬化樹脂34樹脂封裝的成型品35進行打澆口。通過打澆口，在主流道21、橫澆道22和澆口 24中形成的硬化樹脂作為不需要樹脂36而與成型品35分離。經(jīng)分離的不需要樹脂36殘留在上模6中。接著，使卸載器37移動至上模6與中間模10之間的規(guī)定位置。使用卸載器37從上模6取出不需要樹脂36。
[0150]如圖12所示，對中間模10和下模9進行開模。在該狀態(tài)下，對上模6、下模9和中間模10進行完全的開模。成型品35殘留在下模的凹部19中。接著，使卸載器37再次移動至中間模10與下模9之間的規(guī)定位置。而且，使用卸載器37取出成型品35。如此，完成樹脂封裝。
[0151]根據(jù)本實施例，在裝載器13中一體地構(gòu)成有澆口抽吸機構(gòu)26。因此，裝載器13具備運送安裝有芯片14的基板15和樹脂塊16的功能及為了檢測出樹脂殘留而抽吸澆口 24的功能。因此，在樹脂封裝工序中，能夠在即將進行樹脂封裝之前檢查是否產(chǎn)生樹脂殘留。由于在即將進行樹脂封裝之前檢查樹脂殘留，因此如果檢測出樹脂殘留，則能夠在該時刻停止生產(chǎn)。因此，能夠防止由樹脂殘留引起的成型不良。
[0152]另外，根據(jù)本實施例，使用與裝載器13 —體化的澆口抽吸機構(gòu)26，判斷是否產(chǎn)生樹脂殘留。使用抽吸機構(gòu)30從澆口 24抽吸大氣中的空氣。通過流量傳感器31測定抽吸后的空氣的總流量，并且和在沒有樹脂殘留的正常狀態(tài)下測定出的基準流量值進行比較。通過流量傳感器31測定出的空氣的總流量沒有時間依賴性，為恒定流量。即使從開始抽吸的時刻時間流逝，所測定的空氣的總流量也為恒定值且不會變動。因此，能夠容易判斷是否產(chǎn)生樹脂殘留。
[0153]另外，根據(jù)本實施例，預先在沒有樹脂殘留的正常狀態(tài)下，設定使用抽吸機構(gòu)30從每一個抽吸部27抽吸的空氣的流量值。因此，能夠?qū)拿恳粋€抽吸部27抽吸的空氣的流量設定為檢測出樹脂殘留的靈敏度。當產(chǎn)生樹脂殘留時，無法從該抽吸部27抽吸空氣，因此所測定的空氣的總流量減少與其相應的量。因此，在測定出的總流量少于預先設定的總流量的測定值的情況下，能夠判斷為產(chǎn)生樹脂殘留。另外，能夠根據(jù)減少的流量，推算產(chǎn)生樹脂殘留的澆口 24的數(shù)量。
[0154]另外，根據(jù)本實施例，使裝載器13上設置的抽吸部27緊貼于澆口 24的開口 24b周圍，并且測定從大氣中經(jīng)由澆口 24抽吸的空氣的流量。因此，能夠以簡單的裝置結(jié)構(gòu)和簡單的檢測方法檢測出樹脂殘留。因此，能夠降低樹脂成型裝置I的費用。
[0155]此外，在各實施例中，在中間模10的下表面?zhèn)仍O置有型腔23且在中間模10的上表面?zhèn)仍O置有澆口 24。不限于此，在中間模10的上表面?zhèn)仍O置有型腔23且在中間模20的下表面?zhèn)仍O置有澆口 24的情況下，也取得相同的效果。
[0156]另外，在實施例3中示出了將澆口抽吸機構(gòu)26裝配在樹脂成型裝置I的裝載器13上的情況。不限于此，可以將澆口抽吸機構(gòu)26獨立于裝載器13而設置于樹脂成型裝置I上。進而，也可以將澆口抽吸機構(gòu)26與樹脂成型裝置I分開而分別構(gòu)成。此時，就使用相同的中間模10的樹脂成型裝置組或使用相同的中間模10的成型模塊組來說，能夠使用澆口抽吸機構(gòu)26來檢測是否產(chǎn)生樹脂殘留。
[0157]在上述的各實施例中，對樹脂殘留的情況進行了說明，即，對殘留在澆口 24中的硬化樹脂完全堵塞澆口 24的狀態(tài)進行了說明。不限于此，在殘留在澆口 24中的硬化樹脂不完全堵塞澆口 24的情況，即，流動性樹脂在澆口 24中流動的空間的剖面面積變窄的情況下，也能夠適用本發(fā)明。
[0158]在各實施例中，使用抽吸機構(gòu)30，從澆口抽吸機構(gòu)26上設置的規(guī)定個數(shù)的抽吸部27抽吸大氣中的空氣。不限于此，也可以在上模6和中間模10合模的狀態(tài)下，從規(guī)定個數(shù)的抽吸部27，抽吸澆口 24的內(nèi)部存在的氣體。此時，由于在開始抽吸之后流量有過渡性的變化，因此可基于測定出的流量的變化形式來判斷是否產(chǎn)生樹脂殘留。此時，優(yōu)選在上模6與中間模10之間設置密封部件以使?jié)部?24的內(nèi)部完全成為密閉