所述澆口內(nèi)的氣體。
[0064]另外，本發(fā)明所涉及的樹脂成型方法具有如下的方式:
[0065]與多個所述澆口分別對應(yīng)地設(shè)置有多個所述型腔，
[0066]在抽吸存在于所述澆口內(nèi)的氣體的工序中，分別經(jīng)由多個所述抽吸部抽吸存在于多個澆口內(nèi)的氣體。
[0067]另外，本發(fā)明所涉及的樹脂成型方法具有如下的方式:
[0068]多個所述抽吸部為俯視觀察時由沿第一方向排列的m個抽吸部構(gòu)成的抽吸部列沿與所述第一方向交叉的第二方向排列η行而形成的mXn個抽吸部(m和η均為正整數(shù))，
[0069]在抽吸存在于所述澆口內(nèi)的氣體的工序中，在準(zhǔn)備抽吸通道后，經(jīng)由該抽吸通道一并抽吸存在于多個所述澆口內(nèi)的氣體，其中，所述抽吸通道與排列成η行的所述抽吸部列中的每一列對應(yīng)地設(shè)置為η個，且分別與構(gòu)成所述抽吸部列中的每一列的m個所述抽吸部中的每一個抽吸部連通，
[0070]在生成所述測定流量信息的工序中，在抽吸存在于所述澆口內(nèi)的氣體的工序中一并抽吸所述氣體時，在共同連接于η個所述抽吸通道的所述配管上的與η個所述抽吸通道相比更加靠近所述抽吸機(jī)構(gòu)的配管部位測定所述流量，從而生成所述測定流量信息。
[0071]另外，本發(fā)明所涉及的樹脂成型方法具有如下的方式:
[0072]多個所述抽吸部為俯視觀察時由沿第一方向排列的m個抽吸部構(gòu)成的抽吸部列沿與所述第一方向交叉的第二方向排列η行而形成的mXn個抽吸部，其中，m和η均為正整數(shù)，
[0073]在抽吸存在于所述澆口內(nèi)的氣體的工序中，在準(zhǔn)備抽吸通道后，分別經(jīng)由該抽吸通道，分別抽吸存在于與所述η行抽吸部列中的每一列所具有的所述m個抽吸部對應(yīng)的m個所述澆口內(nèi)的氣體，其中，所述抽吸通道與排列成η行的所述抽吸部列中的每一列對應(yīng)地設(shè)置為η個，且分別與構(gòu)成所述抽吸部列中的每一列的m個所述抽吸部連通，
[0074]在生成所述測定流量信息的工序中，通過分別測定與排列成η行的所述抽吸部列中的每一列對應(yīng)的所述配管中的所述流量而生成η個所述測定流量信息。
[0075]另外，本發(fā)明所涉及的樹脂成型方法具有如下的方式:
[0076]在使所述抽吸部的前端緊貼的工序中，使用彈性體支撐所述抽吸部。
[0077]另外，本發(fā)明所涉及的樹脂成型方法具有如下的方式:
[0078]進(jìn)一步包括:
[0079]準(zhǔn)備設(shè)置有所述抽吸部的運(yùn)送機(jī)構(gòu)的工序；
[0080]運(yùn)送用于成型所述成型品的材料并移交給所述成型模組的工序；以及
[0081]將所述成型品從所述成型模組取出的工序，
[0082]使用所述運(yùn)送機(jī)構(gòu)執(zhí)行所述移交工序和所述取出工序中的至少一個工序，
[0083]在所述移交工序或所述取出工序中，至少執(zhí)行使所述抽吸部的前端緊貼的工序、抽吸存在于所述澆口內(nèi)的氣體的工序和測定所述流量的工序。
[0084]根據(jù)本發(fā)明，在澆口抽吸機(jī)構(gòu)設(shè)置抽吸部和與抽吸部相連的抽吸通道，并通過配管連接抽吸通道和抽吸機(jī)構(gòu)。在配管具備流量測定機(jī)構(gòu)和進(jìn)行測定流量信息的判斷的判斷機(jī)構(gòu)。使?jié)部诔槲鼨C(jī)構(gòu)上設(shè)置的吸附部緊貼于連接到型腔的頂面的澆口的開口周圍，并使用抽吸機(jī)構(gòu)抽吸澆口內(nèi)存在的氣體。由此，能夠通過對抽吸并測定的測定流量信息和預(yù)先測定并存儲的基準(zhǔn)流量信息進(jìn)行比較來判斷在澆口中是否殘留有硬化樹脂。因此，能夠通過所謂測定抽吸后的氣體的流量這種簡單的裝置結(jié)構(gòu)及簡單的方法容易判斷是否產(chǎn)生殘留樹脂。
【附圖說明】
[0085]圖1是表示在本發(fā)明所涉及的樹脂成型裝置的實(shí)施例1中裝置的大致結(jié)構(gòu)的主視圖。
[0086]圖2是表示在圖1所示的樹脂成型裝置中的成型模結(jié)構(gòu)的示意性局部剖視圖。
[0087]圖3是表示在圖2所示的成型模中的中間模結(jié)構(gòu)的示意圖。圖3的(a)是俯視圖，圖3的(b)是從A-A線觀察的剖視圖。
[0088]圖4是表示在本發(fā)明所涉及的樹脂成型裝置的實(shí)施例1中對應(yīng)圖3所示澆口的澆口抽吸機(jī)構(gòu)的第一結(jié)構(gòu)的示意圖。圖4的(a)是俯視圖，圖4的(b)是從A-A線觀察的澆口抽吸機(jī)構(gòu)的剖視圖。
[0089]圖5是表示在圖4所示的澆口抽吸機(jī)構(gòu)中抽吸機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖5的(a)是表示設(shè)置有一個流量傳感器的抽吸機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)的示意圖，圖5的(b)是表示設(shè)置有多個流量傳感器的抽吸機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0090]圖6是表示使用圖4所示的澆口抽吸機(jī)構(gòu)檢測出中間模的澆口中的樹脂殘留狀態(tài)的示意性局部剖視圖。圖6的(a)是表示澆口抽吸機(jī)構(gòu)與中間模的澆口緊貼之前的狀態(tài)的示意性局部剖視圖，圖6的(b)是表示澆口抽吸機(jī)構(gòu)與中間模的澆口緊貼之后的狀態(tài)的示意性局部剖視圖。
[0091]圖7是表示在本發(fā)明所涉及的樹脂成型裝置的實(shí)施例2中對應(yīng)圖3所示澆口的澆口抽吸機(jī)構(gòu)的第二結(jié)構(gòu)的示意圖。圖7的(a)是俯視圖，圖7的(b)是從A-A線觀察的剖視圖。
[0092]圖8是表示在本發(fā)明所涉及的樹脂成型裝置的實(shí)施例3中一體化地構(gòu)成有澆口抽吸機(jī)構(gòu)的裝載器被配置在成型模的規(guī)定位置上的狀態(tài)的示意性局部剖視圖。
[0093]圖9是表示在本發(fā)明所涉及的樹脂成型裝置的實(shí)施例3中使用裝載器檢測出中間模的澆口中樹脂殘留狀態(tài)的示意性局部剖視圖。
[0094]圖10是表示在本發(fā)明所涉及的樹脂成型裝置的實(shí)施例3中生成有硬化樹脂狀態(tài)的示意性局部剖視圖。
[0095]圖11是表示在本發(fā)明所涉及的樹脂成型裝置的實(shí)施例3中使用卸載器取出通過打澆口來殘留的不需要樹脂的狀態(tài)的示意性局部剖視圖。
[0096]圖12是表示在本發(fā)明所涉及的樹脂成型裝置的實(shí)施例樹脂3中使用卸載器取出完成樹脂封裝的成型品的狀態(tài)的示意性局部剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0097]如圖4所示，在本發(fā)明的各實(shí)施例中，在澆口抽吸機(jī)構(gòu)26設(shè)置抽吸部27和與抽吸部27相連的抽吸通道28，并使之對應(yīng)連接到型腔23的頂面的澆口 24。將抽吸通道28通過配管29與抽吸機(jī)構(gòu)30連接。在配管29上設(shè)置用于測定抽吸后的空氣的流量的流量傳感器31。將收集由流量傳感器31測定的流量值并進(jìn)行數(shù)據(jù)處理的控制機(jī)構(gòu)CTL與流量傳感器31連接。使抽吸部27的前端緊貼于澆口 24的開口 24b周圍，并使用抽吸機(jī)構(gòu)30經(jīng)由澆口 24抽吸大氣中的空氣。通過對由流量傳感器31測定的流量值和預(yù)先存儲到控制機(jī)構(gòu)CTL的基準(zhǔn)流量值進(jìn)行比較，來判斷是否在澆口 24中產(chǎn)生樹脂殘留。
[0098](實(shí)施例1)
[0099]參照圖1至圖6，對本發(fā)明的樹脂成型裝置的實(shí)施例1進(jìn)行說明。本申請文件中的任一幅圖均為了易于理解而進(jìn)行適當(dāng)省略或夸張以示意性地繪制。對相同的結(jié)構(gòu)要素使用相同的附圖標(biāo)記，并適當(dāng)省略說明。
[0100]如圖1所示，在本實(shí)施例的樹脂成型裝置I中設(shè)置有底座2、設(shè)置于底座2上的四個角部的拉桿3和固定在拉桿3的上端部的固定盤4。在固定盤4的下表面設(shè)置有上模板5，在上模板5內(nèi)設(shè)置有樹脂成型用的上模6。可動盤7安裝在拉桿3上，并且相對于固定盤4能夠升降。在可動盤7的上表面，與上模板5相對地設(shè)置有下模板8，在下模板8內(nèi)設(shè)置有樹脂成型用的下模9。上模6和下模9相對地設(shè)置，并在上模6與下模9之間設(shè)置有中間模10。上模6、下模9和中間模10 —起構(gòu)成成型模。
[0101]驅(qū)動機(jī)構(gòu)11為使中間模10在上模6與下模9之間升降的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。例如，可通過由齒軌和小齒輪機(jī)構(gòu)構(gòu)成的驅(qū)動機(jī)構(gòu)11使中間模10升降。通過使用驅(qū)動機(jī)構(gòu)11使中間模11升降，從而在上模5與中間模11之間以及中間模10與下模9之間進(jìn)行局部合模和開模。中間模10的合模和開模并不僅限定于使用驅(qū)動機(jī)構(gòu)11的情況。也可以通過設(shè)置于上模板5和下模板8的夾鉗機(jī)構(gòu)，將中間模10固定在上模板7或下模板8上。
[0102]在上模板5和下模板8中內(nèi)裝有用于加熱上模6和下模9的加熱器(未圖示)。上模板5和上模6以及下模板8和下模9被加熱至170°C左右。上模6、下模9和中間模10構(gòu)成為能夠分別根據(jù)樹脂封裝的對象在樹脂成型裝置I內(nèi)簡單地更換。
[0103]合模機(jī)構(gòu)12是為了徹底進(jìn)行合模和開模而使可動盤7升降的機(jī)構(gòu)，例如，由肘節(jié)機(jī)構(gòu)和液壓缸等構(gòu)成。通過使用合模機(jī)構(gòu)12以使可動盤7升降，從而以上模6、下模9和中間模10為對象進(jìn)行合模和開模。在對上模6、下模9和中間模10開始進(jìn)行合?；蜷_模的時亥IJ，中間模10可以已經(jīng)與上模6或下模9合模，也可以是通過夾鉗機(jī)構(gòu)被固定在上模6或下模9的狀態(tài)。
[0104]此外，在實(shí)際的樹脂成型裝置I中，上模6和下模9 一般由被稱作模套架的外側(cè)部分、被稱作模套的內(nèi)側(cè)部分和設(shè)置有被稱作陰模的型腔部分構(gòu)成。在圖1中，省略關(guān)于這些結(jié)構(gòu)要素的圖示。
[0105]參照圖2，對本實(shí)施例的樹脂成型裝置I中的上模6、下模9和中間模10的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖2所示，上模6、下模9和中間模10處于開模后的狀態(tài)。裝載器13為將安裝有半導(dǎo)體芯片14的基板15和作為樹脂材料的樹脂塊16運(yùn)送至上模6與下模9之間的規(guī)定位置的運(yùn)送機(jī)構(gòu)。芯片14的端子和基板15的端子通過導(dǎo)線17電連接。此時，通過裝載器13同時運(yùn)送基板15和樹脂塊16。還可以分別運(yùn)送基板15和樹脂塊16。
[0106]在下模9設(shè)置有收容通過裝載器13供給的樹脂塊16的料筒18和將通過裝載器13供給的基板15配置的下模9的規(guī)定位置上的凹部19。在料筒18內(nèi)設(shè)置有按壓已收容的樹脂塊16的柱塞20。在上模6設(shè)置有樹脂塊16經(jīng)加熱而熔融后的流動性樹脂的通道一一主流道21和橫澆道22。
[0107]在中間模10設(shè)置有用于收容安裝于基板15上的芯片14且作為形成硬化樹脂的空間的型腔23和向型腔23供給流動性樹脂的澆口 24。另外，在中間模10設(shè)置有作為從料筒18向主流道21壓送流動性樹脂的樹脂通道的貫通孔25。在對上模6、下模9和中間模10進(jìn)行合模的狀態(tài)下，連通料筒18、貫通孔25、主流道21、橫澆道22、澆口 24和型腔23，向型腔23注入流動性樹脂。
[0108]參照圖3，對圖2所示的中間模10中的型腔23及澆口 24的結(jié)構(gòu)的一例進(jìn)行說明。如圖3的(a)所示，例如，型腔23和澆口 24沿橫向及縱向設(shè)置成格子狀(矩陣狀)。將沿橫向(X方向)的排列稱作“行”，沿縱向(Y方向)的排列稱作“列”。此時，在中間模10沿橫向(X方向)設(shè)置有四個型腔23和澆口 24，并且沿縱向(Y方向)設(shè)置有五個型腔23和澆口 24，總計設(shè)置有20個型腔23和澆口 24。可根據(jù)產(chǎn)品任意確定設(shè)置于中間模10的型腔23和澆口 24的數(shù)量。
[0109]如圖3的(b)所示，與各個型腔23對應(yīng)地在型腔23的頂面(圖中為上表面)中的規(guī)定的位置(例如，中央位置)連接有澆口 24的前端。澆口 24為筒狀的空間，被形成為圓錐狀的形狀。澆口 24被形成為與橫澆道22 (參照圖2)連接的一側(cè)的開口 24a的直徑較大，并且與型腔23連接的一側(cè)的開口 24b的直徑較小。如此，通過使與型腔23連接的一側(cè)的澆口較細(xì)，從而能夠容易對型腔23內(nèi)成型的成型品進(jìn)行打澆口。然而，在通過使與型腔23連接的一側(cè)的澆口較細(xì)來進(jìn)行打澆口時，容易產(chǎn)生因形成于澆口前端部的硬化樹脂被折斷而該硬化樹脂作為樹脂殘留而殘留在澆口中的弊病。
[0110]參照圖4，對檢測出在圖3的(a)所示的澆口 24中是否產(chǎn)生樹脂殘留的澆口抽吸機(jī)構(gòu)26的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖4的(a)所示，在澆口抽