層疊體的剝離裝置和剝離方法及電子器件的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及層疊體的剝離裝置和剝離方法及電子器件的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著顯示面板、太陽能電池、薄膜二次電池等電子器件的薄型化、輕型化，期望應(yīng)用于這些電子器件的玻璃板、樹脂板、金屬板等基板(第1基板)的薄板化。
[0003]然而，若基板的厚度變薄，則基板的處理性惡化，因此，難以在基板的表面形成電子器件用的功能層(薄膜晶體管(TFT:Thin Film Transistor)和濾色器(CF:ColorFilter))。
[0004]因此，提案有如下一種電子器件的制造方法:在基板的背面上粘貼玻璃制的加強(qiáng)板(第2基板)從而構(gòu)成利用加強(qiáng)板加強(qiáng)基板的層疊體，且在層疊體的狀態(tài)下在基板的表面形成功能層。在該制造方法中，基板的處理性提高，因此能夠在基板的表面良好地形成功能層。而且，加強(qiáng)板能夠在形成功能層后自基板剝離。
[0005]專利文獻(xiàn)1所公開的加強(qiáng)板的剝離方法，通過自位于矩形狀的層疊體的對角線上的兩個角部中的一個角部朝向另一個角部地使加強(qiáng)板或基板或者它們雙方向互相分開的方向撓性變形來進(jìn)行。此時，為了使剝離順利進(jìn)行，在層疊體的一個角部制作剝離開始部。剝離開始部是通過將剝離刀自層疊體的端面向基板和加強(qiáng)板之間的界面內(nèi)插入預(yù)定量而制作的。
[0006]專利文獻(xiàn)1的剝離裝置包括載物臺、撓性構(gòu)件、以及吸盤等，利用載物臺吸附并保持基板，利用撓性構(gòu)件吸附并保持加強(qiáng)板，利用吸盤使撓性構(gòu)件自一側(cè)朝向另一側(cè)撓性變形，由此將加強(qiáng)板從基板剝離。
[0007]撓性構(gòu)件包括橡膠制的安裝部(吸附部)、以及用于限定撓性構(gòu)件的彎曲剛性的限定部，安裝部的槽部與限定部的貫通孔連通，在連接于貫通孔的真空栗的吸引力的作用下，使加強(qiáng)板吸附并保持于安裝部。
[0008]專利文獻(xiàn)1:國際公開第2011/024689號

【發(fā)明內(nèi)容】

_9] 發(fā)明要解決的問題
[0010]在專利文獻(xiàn)1的剝離裝置中，在因使用而使橡膠制的安裝部劣化、或安裝部損傷的情況下，需以限定部為單位進(jìn)行更換，因而并不經(jīng)濟(jì)。在不更換限定部的情況下，需將安裝部從限定部上去除，并在限定部上設(shè)置新的安裝部，因而也存在該更換作業(yè)花費(fèi)工夫的問題。
[0011]本發(fā)明即是鑒于這樣的問題而做成的，其目的在于提供容易更換用于吸附并保持層疊體的基板的吸附部的、層疊體的剝離裝置和剝離方法及電子器件的制造方法。
[0012]用于解決問題的方案
[0013]為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的層疊體的剝離裝置為，對于以能夠剝離的方式粘貼第1基板和第2基板而成的層疊體，在上述第1基板與上述第2基板之間的界面沿著自一端側(cè)朝向另一端側(cè)的剝離行進(jìn)方向依次進(jìn)行剝離，其特征在于，該層疊體的剝離裝置包括:支承部，其支承上述層疊體的上述第1基板；剝離單元，其包含吸附部和板狀的第1撓性構(gòu)件，該吸附部以裝卸自如的方式設(shè)置于上述第1撓性構(gòu)件，用于吸附上述層疊體的上述第2基板；以及驅(qū)動部，其使上述剝離單元變形，以使上述層疊體的上述第2基板自一端側(cè)朝向另一端側(cè)依次撓曲變形。
[0014]為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的層疊體的剝離方法為，對于以能夠剝離的方式粘貼第1基板和第2基板而成的層疊體，在上述第1基板與上述第2基板之間的界面沿著自一端側(cè)朝向另一端側(cè)的剝離行進(jìn)方向依次進(jìn)行剝離，其特征在于，該層疊體的剝離方法包括:支承工序，利用支承部支承上述層疊體的上述第1基板；吸附工序，使用剝離單元，該剝離單元包含吸附部和板狀的第1撓性構(gòu)件，該吸附部以裝卸自如的方式設(shè)置于上述第1撓性構(gòu)件，用于吸附上述層疊體的上述第2基板，利用上述吸附部吸附上述層疊體的上述第2基板；以及剝離工序，利用驅(qū)動部使上述剝離單元變形，以使上述層疊體的上述第2基板自一端側(cè)朝向另一端側(cè)依次撓曲變形的方式從而在上述界面使上述層疊體的上述第2基板剝離。
[0015]為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的電子器件的制造方法包括:功能層形成工序，對于以能夠剝離的方式粘貼第1基板和第2基板而成的層疊體，在上述第1基板的暴露面上形成功能層；以及分離工序，從形成有上述功能層的上述第1基板分離上述第2基板，其特征在于，上述分離工序包括:支承工序，利用支承部支承上述層疊體的上述第1基板；吸附工序，使用剝離單元，該剝離單元包含吸附部和板狀的第1撓性構(gòu)件，該吸附部以裝卸自如的方式設(shè)置于上述第1撓性構(gòu)件，用于吸附上述層疊體的上述第2基板，利用上述吸附部吸附上述層疊體的上述第2基板；以及剝離工序，利用驅(qū)動部使上述剝離單元變形，以使上述層疊體的上述第2基板自一端側(cè)朝向另一端側(cè)依次撓曲變形，從而使上述第2基板從上述第1基板剝離。
[0016]根據(jù)本發(fā)明，將吸附部以裝卸自如的方式設(shè)于第1撓性構(gòu)件，因此，在更換吸附部時，將吸附部從第1撓性構(gòu)件取出，并將新的吸附部安裝在第1撓性構(gòu)件上。因而，吸附部的交換變得容易。另外，能夠縮短用于更換吸附部的非運(yùn)轉(zhuǎn)時間。
[0017]優(yōu)選的是，本發(fā)明的上述支承部與上述剝離單元為相同結(jié)構(gòu)。S卩，優(yōu)選的是，本發(fā)明在上述支承工序中使用與上述吸附工序中的上述剝離單元相同結(jié)構(gòu)的上述支承部來支承上述第1基板。
[0018]根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，使與剝離單元相同結(jié)構(gòu)的支承部吸附并保持第1基板，使剝離單元和支承部變形，以使第1基板和第2基板自一端側(cè)朝向另一端側(cè)依次撓曲變形，從而將第1基板與第2基板之間剝離。該情況下，使第1基板和第2基板同時彎曲，因此，相比于僅使一個基板彎曲的方式，能夠減小剝離力。
[0019]優(yōu)選的是，本發(fā)明的上述吸附部包括:板狀的第2撓性構(gòu)件，其一側(cè)面以裝卸自如的方式設(shè)置于上述第1撓性構(gòu)件；透氣性薄片，其設(shè)置于上述第2撓性構(gòu)件的另一側(cè)面，真空吸附上述第2基板的內(nèi)表面；以及密封框構(gòu)件，其以包圍上述透氣性薄片的方式設(shè)置于上述第2撓性構(gòu)件的上述另一側(cè)面，與上述第2基板的除上述內(nèi)表面以外的外周面相接觸。
[0020]根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在第2基板的內(nèi)表面被透氣性薄片真空吸附時，第2基板的外周面密合于密封框構(gòu)件，因此能夠使第2基板可靠地真空吸附于透氣性薄片。另外，由于為使透氣性薄片和密封框構(gòu)件支承于第2撓性構(gòu)件的另一側(cè)面的結(jié)構(gòu)，因此，能夠在剝離裝置外部將透氣性薄片和密封框構(gòu)件高精度地組裝于第2撓性構(gòu)件。而且，柔軟的透氣性薄片和密封框構(gòu)件被支承于剛性高于透氣性薄片和密封框構(gòu)件的第2撓性構(gòu)件，因此，能夠穩(wěn)定地發(fā)揮各自的功能。另外，還可以代替真空吸附，而利用靜電吸附或粘接，但為了能夠獲得較強(qiáng)的吸附力，優(yōu)選真空吸附。
[0021]優(yōu)選的是，本發(fā)明的上述吸附部以裝卸自如的方式隔著雙面粘接帶設(shè)置在上述第1撓性構(gòu)件上，上述雙面粘接帶的對上述吸附部的粘接力高于上述雙面粘接帶的對上述第1撓性構(gòu)件的粘接力。
[0022]根據(jù)上述這樣的結(jié)構(gòu)，在更換吸附部時，由于雙面粘接帶與吸附部一同被取出，因此，在雙面粘接帶的粘接力降低的情況下，能夠容易地更換新的吸附部。優(yōu)選使用一側(cè)具有強(qiáng)粘接面、另一側(cè)具有再剝離面的單面再剝離型雙面粘接帶，以使再剝離面與第1撓性構(gòu)件粘接且強(qiáng)粘接面與吸附部粘接的方式使用。
[0023]優(yōu)選的是，本發(fā)明的上述吸附部具有與上述層疊體的尺寸相對應(yīng)的多個尺寸的吸附部，根據(jù)上述層疊體的尺寸而選擇的一個吸附部以裝卸自如的方式安裝于上述第1撓性構(gòu)件。
[0024]根據(jù)上述的特征，準(zhǔn)備與層疊體的尺寸相對應(yīng)的多個尺寸的吸附部，在層疊體的尺寸變更時，選擇與該層疊體的尺寸相對應(yīng)的一個吸附部進(jìn)行更換。在隨著這樣的尺寸變更而更換吸附部時，也使吸附部的更換變得容易，另外，能夠縮短用于更換吸附部的非運(yùn)轉(zhuǎn)時間。
[0025]發(fā)明的效果
[0026]采用本發(fā)明的層疊體的剝離裝置和剝離方法及電子器件的制造方法，容易更換用于吸附并保持層疊體的基板的吸附部。
【附圖說明】
[0027]圖1是表示向電子器件的制造工序供給的層疊體的一例子的主要部位放大側(cè)視圖。
[0028]圖2是表示在LCD的制造工序的中途所制作的層疊體的一例子的主要部位放大側(cè)視圖。
[0029]圖3的㈧?圖3的(E)是表示利用剝離開始部制作裝置進(jìn)行的剝離開始部制作方法的說明圖。
[0030]圖4是利用剝離開始部制作方法制作了剝離開始部的層疊體的俯視圖。
[0031]圖5是表示實施方式的剝離裝置的結(jié)構(gòu)的