53]首先，切割特定尺寸的ΙΤ0-ΡΕΤ，用專用洗滌劑和無(wú)塵布對(duì)ΙΤ0-ΡΕΤ基片進(jìn)行搓洗，以去除基片上的各種油污物，然后依次放入復(fù)合生物酶液，去離子水、丙酮、乙醇中，各超聲15min ;然后，用高純氮?dú)獯蹈搔│?-ΡΕΤ，使乙醇蒸發(fā)，然后放入預(yù)處理腔中，持續(xù)通入高純氧氣，用等離子體轟擊基片5min ；
[0054]所述復(fù)合生物酶的成分為:堿性蛋白酶0.5g/L,纖維素酶1.3g/L，多酚氧化酶0.06g/L，其余為去離子水；
[0055]2.多孔結(jié)構(gòu)YSZ制備
[0056]a)稱取適量的Ni (N03)2.6H20和去離子水放入燒杯中充分溶解，在磁力攪拌的作用下用分液漏斗緩慢滴入氨水，使之充分反應(yīng)，滴定完畢后90°C水浴lh得到懸濁液，經(jīng)離心機(jī)分離得到沉淀物，然后放入箱式爐中300°C保溫5h即可得到黑色的N1粉末；
[0057]b)稱取YSZ和N1粉末，按質(zhì)量比4:1放入球磨機(jī)中，再加入一定量的分散劑和乙醇，使之充分混合，得到Y(jié)SZ漿料；
[0058]c)將YSZ漿料采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)涂覆在導(dǎo)電塑料ΙΤ0-ΡΕΤ表面，厚度為2.5 μπι，放入烘干箱中烘干；
[0059]3.有機(jī)薄膜蒸鍍
[0060]a)把待蒸發(fā)的有機(jī)材料(Alq3、CuPc)放入相應(yīng)的蒸發(fā)舟中，并用掩膜擋住；
[0061 ] b)把烘干后的導(dǎo)電塑料基片從預(yù)處理腔傳送到有機(jī)腔，將基片置于有機(jī)腔內(nèi)的樣品托上，對(duì)準(zhǔn)有機(jī)束源；
[0062]c)對(duì)有機(jī)腔進(jìn)行抽真空，當(dāng)真空達(dá)到所需數(shù)值時(shí)，調(diào)節(jié)蒸發(fā)爐溫控儀，增加蒸發(fā)溫度，對(duì)材料進(jìn)行加熱，條件合適后，依次蒸鍍有機(jī)材料Alq3、CuPc，控制蒸鍍速率與時(shí)間，使之厚度分別為5 μηι、2 μπι ;
[0063]4.絲網(wǎng)狀金屬陰極制備
[0064]當(dāng)各種有機(jī)薄膜蒸鍍完畢后，將基片取出，覆蓋絲網(wǎng)狀電極掩模版，隨后將基片送入金屬蒸鍍室，抽真空使氣壓保持在1.5 X 10 3，進(jìn)行金屬電極的蒸鍍，調(diào)節(jié)電流，使Cr: Α1的蒸鍍比例為7:3，得到厚度為3.5 μπι的Cr:Al電極；
[0065]器件測(cè)試數(shù)據(jù):
[0066]器件制作完成后，使用探測(cè)器件發(fā)光亮度的亮度計(jì)探測(cè)器件發(fā)光亮度，使用半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試器件電流-電壓特性。經(jīng)檢測(cè)，該器件對(duì)N02等氣體具有氣敏響應(yīng)特性，該氣體能夠增大器件的發(fā)光亮度；工作電壓為20V時(shí)，發(fā)光亮度為16cd/m2，隨N02等含氮?dú)怏w濃度增加，發(fā)光亮度增加。最低檢測(cè)量0.lppm N02濃度下，發(fā)光亮度為18cd/m2，30ppm NO 2濃度下，發(fā)光亮度為35cd/m2，50ppm勵(lì)2濃度下，發(fā)光亮度為58cd/m2，lOOppm勵(lì)2濃度下，發(fā)光亮度為162cd/m2，150ppm勵(lì)2濃度下，發(fā)光亮度為188cd/m2。
[0067]實(shí)施例2:
[0068]—種真空包裝機(jī)，在真空包裝機(jī)機(jī)殼的外部安裝氣體檢測(cè)模塊，該氣體檢測(cè)模塊由如下方法制作而成:
[0069]具體流程為:導(dǎo)電塑料ΙΤ0-ΡΕΤ表面清洗及處理一基片置于真空腔一真空蒸鍍有機(jī)層一蒸鍍金屬電極一封裝或測(cè)試。
[0070]L導(dǎo)電塑料ΙΤ0-ΡΕΤ清洗
[0071]首先，切割特定尺寸的ΙΤ0-ΡΕΤ，用專用洗滌劑和無(wú)塵布對(duì)ΙΤ0-ΡΕΤ基片進(jìn)行搓洗，以去除基片上的各種油污物，然后依次放入去離子水、丙酮、乙醇中，各超聲15min;然后，用高純氮?dú)獯蹈搔│?-ΡΕΤ，使乙醇蒸發(fā)，然后放入預(yù)處理腔中，持續(xù)通入高純氧氣，用等離子體轟擊基片5min ；
[0072]2.多孔結(jié)構(gòu)YSZ制備
[0073]a)稱取適量的Ni (N03)2.6H20和去離子水放入燒杯中充分溶解，在磁力攪拌的作用下用分液漏斗緩慢滴入氨水，使之充分反應(yīng)，滴定完畢后80°C水浴lh得到懸濁液，經(jīng)離心機(jī)分離得到沉淀物，然后放入箱式爐中300°C保溫5h即可得到黑色的N1粉末；
[0074]b)稱取YSZ和N1粉末，按質(zhì)量比3:1放入球磨機(jī)中，再加入一定量的分散劑和乙醇，使之充分混合，得到Y(jié)SZ漿料；
[0075]c)將YSZ漿料采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)涂覆在導(dǎo)電塑料ΙΤ0-ΡΕΤ表面，厚度為2 μπι，放入烘干箱中烘干；
[0076]3.有機(jī)薄膜蒸鍍
[0077]a)把待蒸發(fā)的有機(jī)材料(Alq3、CuPc)放入相應(yīng)的蒸發(fā)舟中，并用掩膜擋?。?br>[0078]b)把烘干后的導(dǎo)電塑料基片從預(yù)處理腔傳送到有機(jī)腔，將基片置于有機(jī)腔內(nèi)的樣品托上，對(duì)準(zhǔn)有機(jī)束源；
[0079]c)對(duì)有機(jī)腔進(jìn)行抽真空，當(dāng)真空達(dá)到所需數(shù)值時(shí)，調(diào)節(jié)蒸發(fā)爐溫控儀，增加蒸發(fā)溫度，對(duì)材料進(jìn)行加熱，條件合適后，依次蒸鍍有機(jī)材料Alq3、CuPc，控制蒸鍍速率與時(shí)間，使之厚度分別為5 μηι、2 μπι ;
[0080]4.絲網(wǎng)狀金屬陰極制備
[0081]當(dāng)各種有機(jī)薄膜蒸鍍完畢后，將基片取出，覆蓋絲網(wǎng)狀電極掩模版，隨后將基片送入金屬蒸鍍室，抽真空使氣壓保持在1.5 X 10 3，進(jìn)行金屬電極的蒸鍍，調(diào)節(jié)電流，使Cr: Α1的蒸鍍比例為8:1，得到厚度為3 μπι的Cr:Al電極；
[0082]器件測(cè)試數(shù)據(jù):
[0083]器件制作完成后，使用探測(cè)器件發(fā)光亮度的亮度計(jì)探測(cè)器件發(fā)光亮度，使用半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試器件電流-電壓特性。經(jīng)檢測(cè)，該器件對(duì)N02等氣體具有氣敏響應(yīng)特性，該氣體能夠增大器件的發(fā)光亮度；工作電壓為20V時(shí)，發(fā)光亮度為16cd/m2，隨N02等含氮?dú)怏w濃度增加，發(fā)光亮度增加。最低檢測(cè)量lppmN02濃度下，發(fā)光亮度為18cd/m2，50ppm NO 2濃度下，發(fā)光亮度為31cd/m2，150ppm勵(lì)2濃度下，發(fā)光亮度為54cd/m2。
[0084]實(shí)施例3:
[0085]—種真空包裝機(jī)，在真空包裝機(jī)機(jī)殼的外部安裝氣體檢測(cè)模塊，該氣體檢測(cè)模塊由如下方法制作而成:
[0086]具體流程為:導(dǎo)電塑料ΙΤ0-ΡΕΤ表面清洗及處理一基片置于真空腔一真空蒸鍍有機(jī)層一蒸鍍金屬電極一封裝或測(cè)試。
[0087]L導(dǎo)電塑料ΙΤ0-ΡΕΤ清洗
[0088]首先，切割特定尺寸的ΙΤ0-ΡΕΤ，用專用洗滌劑和無(wú)塵布對(duì)ΙΤ0-ΡΕΤ基片進(jìn)行搓洗，以去除基片上的各種油污物，然后依次放入復(fù)合生物酶液，去離子水、丙酮、乙醇中，各超聲15min ;然后，用高純氮?dú)獯蹈搔│?-ΡΕΤ，使乙醇蒸發(fā)，然后放入預(yù)處理腔中，持續(xù)通入高純氧氣，用等離子體轟擊基片5min ；
[0089]所述復(fù)合生物酶的成分為:堿性蛋白酶0.2g/L,纖維素酶1.3g/L，多酚氧化酶0.05g/L，其余為去離子水；
[0090]所述三種酶的酶活均為5000u/g。
[0091]2.多孔結(jié)構(gòu)YSZ制備
[0092]a)稱取適量的Ni (N03)2.6H20和去離子水放入燒杯中充分溶解，在磁力攪拌的作用下用分液漏斗緩慢滴入氨水，使之充分反應(yīng)，滴定完畢后80°C水浴lh得到懸濁液，經(jīng)離心機(jī)分離得到沉淀物，然后放入箱式爐中300°C保溫5h即可得到黑色的N1粉末；
[0093]b)稱取YSZ和N1粉末，按質(zhì)量比5:1放入球磨機(jī)中，再加入一定量的分散劑和乙醇，使之充分混合，得到Y(jié)SZ漿料；
[0094]c)將YSZ漿料采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)涂覆在導(dǎo)電塑料ΙΤ0-ΡΕΤ表面，厚度為2 μπι，放入烘干箱中烘干；
[0095]3.有機(jī)薄膜蒸鍍
[0096]a)把待蒸發(fā)的有機(jī)材料(Alq3、CuPc)放入相應(yīng)的蒸發(fā)舟中，并用掩膜擋??；
[0097]b)把烘干后的導(dǎo)電塑料基片從預(yù)處理腔傳送到有機(jī)腔，將基片置于有機(jī)腔內(nèi)的樣品托上，對(duì)準(zhǔn)有機(jī)束源；
[0098]c)對(duì)有機(jī)腔進(jìn)行抽真空，當(dāng)真空達(dá)到所需數(shù)值時(shí)，調(diào)節(jié)蒸發(fā)爐溫控儀，增加蒸發(fā)溫度，對(duì)材料進(jìn)行加熱，條件合適后，依次蒸鍍有機(jī)材料Alq3、CuPc，控制蒸鍍速率與時(shí)間，使之厚度分別為8 μηι、2 μπι ;
[0099]4.絲網(wǎng)狀金屬陰極制備
[0100]當(dāng)各種有機(jī)薄膜蒸鍍完畢后，將基片取出，覆蓋絲網(wǎng)狀電極掩模版，隨后將基片送入金屬蒸鍍室，抽真空使氣壓保持在1.5 X 10 3，進(jìn)行金屬電極的蒸鍍，調(diào)節(jié)電流，使Cr: Α1的蒸鍍比例為8:1，得到厚度為3 μπι的Cr:Al電極；
[0101]器件測(cè)試數(shù)據(jù):
[0102]器件制作完成后，使用探測(cè)器件發(fā)光亮度的亮度計(jì)探測(cè)器件發(fā)光亮度，使用半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試器件電流-電壓特性。經(jīng)檢測(cè)，該器件對(duì)N02等氣體具有氣敏響應(yīng)特性，該氣體能夠增大器件的發(fā)光亮度；工作電壓為20V時(shí)，發(fā)光亮度為16cd/m2，隨N02等含氮?dú)怏w濃度增加，發(fā)光亮度增加。最低檢測(cè)量0.lppm N02濃度下，發(fā)光亮度為18cd/m2，30ppm NO 2濃度下，發(fā)光亮度為35cd/m2，50ppm勵(lì)2濃度下，發(fā)光亮度為58cd/m2，lOOppm NO2濃度下，發(fā)光亮度為168cd/m2，150ppm勵(lì)2濃度下，發(fā)光亮度為198cd/m2。
[0103]實(shí)施例4:
[0104]—種真空包裝機(jī)，在真空包裝機(jī)機(jī)殼的外部安裝氣體檢測(cè)模塊，該氣體檢測(cè)模塊由如下方法制作而成:
[0105]具體流程為:導(dǎo)電塑料ΙΤ0-ΡΕΤ表面清洗及處理一基片置于真空腔一真空蒸鍍有機(jī)層一蒸鍍金屬電極一封裝或測(cè)試。
[0106]1.導(dǎo)電塑料ΙΤ0-ΡΕΤ清洗
[0107]首先，切割特定尺寸的ΙΤ0-ΡΕΤ，用專用洗滌劑和無(wú)塵布對(duì)ΙΤ0-ΡΕΤ基片進(jìn)行搓洗，以去除基片上的各種油