技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開(kāi)了具有多孔玻璃結(jié)構(gòu)的粉末樣品容器，其特征在于：包括管狀腔體一和管狀腔體二，管狀腔體一的口徑為r1，管狀腔體一的口徑為r2，其中r2＞r1；管狀腔體一和管狀腔體二均為一端開(kāi)口且另一端封閉的管狀結(jié)構(gòu)，封閉端均為多孔玻璃結(jié)構(gòu)；管狀腔體一的開(kāi)口端從管狀腔體二的開(kāi)口端伸入到管狀墻體二內(nèi)，套接形成嚴(yán)密扣合結(jié)構(gòu)；該結(jié)構(gòu)的容器可以盛放不同粒徑大小的固體粉末樣品，放置于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的腔室內(nèi)，例如PECVD、ALD設(shè)備中進(jìn)行粉末的包覆、制備核殼材料。通過(guò)腔體內(nèi)部抽排和進(jìn)氣的氣體流動(dòng)，致使粉末在該容器中循環(huán)運(yùn)動(dòng)、充分分散，從而增加外層包覆材料制備的均勻性。

技術(shù)研發(fā)人員：李愿杰;廖亞琴;張中偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)東方電氣集團(tuán)有限公司
文檔號(hào)碼：201621308236
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.01
技術(shù)公布日：2017.07.18