本申請發(fā)明涉及真空裝置的技術(shù)領(lǐng)域，特別地涉及將搭載了處理對象物體的搭載裝置搬出搬入真空槽內(nèi)部的技術(shù)。

背景技術(shù)：

圖23的符號101示出了現(xiàn)有技術(shù)的真空處理裝置。

該真空處理裝置101具有真空槽108，引導(dǎo)軌道115固定于真空槽108的頂板，且行駛軌道148固定于真空槽108的底板面上。

真空處理裝置101真空處理的處理對象物體130多個配置在搭載裝置132。在搭載裝置132的底面設(shè)有行駛車輪135，在上部設(shè)有引導(dǎo)車輪103。搭載裝置132以通過引導(dǎo)車輪103沿引導(dǎo)軌道115移動而被引導(dǎo)移動方向，且通過行駛車輪135在行駛軌道148上移動的方式構(gòu)成。

多臺搭載裝置132在真空槽108的內(nèi)部配置在行駛軌道148上，通過蓋裝置109來密閉真空槽108的開口，對真空槽108的內(nèi)部進行真空排氣，且對處理對象130進行真空處理。

若真空處理結(jié)束，則如圖24、圖25所示，使蓋裝置109移動而打開開口，通過連接用引導(dǎo)軌道114連接真空槽108內(nèi)的引導(dǎo)軌道115、以及真空槽108外部的引導(dǎo)軌道113，通過引導(dǎo)軌道113～115來引導(dǎo)移動方向且使搭載裝置132在行駛軌道148上移動，并從真空槽108的開口搬出。

此時，使在真空槽108的開口附近設(shè)置的升降機構(gòu)142上升，使搭載裝置132載于升降機構(gòu)142，若使升降機構(gòu)142下降，則搭載裝置132的行駛車輪135與底板面105接觸。在真空槽108的外部，通過引導(dǎo)軌道113引導(dǎo)移動方向，且使搭載裝置132在行駛軌道138上或底板上行駛。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：WO2009/060805號公報；

專利文獻2：日本特開2002-147023號公報；

專利文獻3：日本特開2001-39667號公報。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

在上述現(xiàn)有技術(shù)中，由于設(shè)置行駛軌道138、148和引導(dǎo)軌道113～115二者，故裝置復(fù)雜。

另外，由于需要升降機構(gòu)142，故成本高，為了使底板面105上的搭載裝置132移動，需要大的力，為了使搭載裝置乘降，需要大的空間。

本發(fā)明提供能夠使用小面積的場所將搭載裝置搬出搬入真空槽內(nèi)的技術(shù)。

另外，在利用蓋裝置開閉真空槽時，防止搭載裝置從行駛軌道脫落，或者變得無法移動的情況。

用于解決問題的方案

為了解決上述問題，本發(fā)明的真空處理裝置具有：真空槽，其在側(cè)面具有搬出搬入用開口；搭載裝置，其搭載在所述真空槽內(nèi)處理的處理對象物體；以及軌道裝置，其水平地配置，且懸吊所述搭載裝置，所述軌道裝置具有：槽內(nèi)部，其為配置在所述真空槽內(nèi)部的部分；槽外部，其為配置在所述真空槽外部的部分；以及連接部，其配置在所述槽內(nèi)部的一端與所述槽外部的一端之間并以能夠旋轉(zhuǎn)移動的方式構(gòu)成，所述連接部在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，所述連接部的狀態(tài)以能夠在將所述槽外部和所述槽內(nèi)部連接的連接狀態(tài)、以及所述槽外部與所述槽內(nèi)部之間分離且在所述槽內(nèi)部與所述槽外部之間形成蓋用間隙的分離狀態(tài)之間切換的方式構(gòu)成，在所述連接部處于所述分離狀態(tài)時，所述搬出搬入用開口以能夠由配置在所述蓋用間隙的蓋裝置密閉的方式構(gòu)成，在所述槽內(nèi)部和所述槽外部以及所述連接部，分別設(shè)有引導(dǎo)所述搭載裝置的移動方向的引導(dǎo)部、以及載置在所述搭載裝置的上部設(shè)置的行駛部所具有的懸吊車輪以懸吊所述搭載裝置的軌道部，若在所述引導(dǎo)部和所述行駛部之中，用一者夾著另一者，則使得所述搭載裝置在通過所述引導(dǎo)部被引導(dǎo)移動方向的狀態(tài)下，所述懸吊車輪在所述軌道部上旋轉(zhuǎn)，所述搭載裝置能夠沿所述引導(dǎo)部移動，在通過所述蓋裝置密閉且被真空排氣的所述真空槽的內(nèi)部，懸吊于所述槽內(nèi)部的所述搭載裝置所搭載的所述處理對象物體受到真空處理的真空裝置，所述槽外部具有所述引導(dǎo)部直線狀地延伸的直線部、以及所述引導(dǎo)部彎曲的彎曲部，通過使所述搭載裝置在能夠沿水平方向移動的搭載車設(shè)置的能夠上下移動的升降部上并使所述升降部上升，利用所述搭載車來支撐所述升降部上的所述搭載裝置和搭載于所述搭載裝置的所述處理對象物體的重量，在利用所述直線部的所述引導(dǎo)部、以及重量由所述搭載車支撐的所述搭載裝置的所述行駛部中的任一者夾著另一者的狀態(tài)下，使重量由所述搭載車支撐的所述搭載裝置的所述懸吊車輪從所述直線部的與連接于所述彎曲部的部分為相反側(cè)的端部開始移動到所述直線部的所述軌道部上。

本發(fā)明是在通過使所述搭載車在沿所述直線部的所述引導(dǎo)部的一定方向上直線移動來使所述搭載裝置在所述一定方向上直線移動之后，使所述升降部下降并將所述升降部上的所述搭載裝置懸吊于所述直線部的所述軌道部，使所述搭載裝置從所述升降部間隔開的真空處理裝置。

本發(fā)明是在使所述搭載裝置從所述升降部間隔開之后，若沿所述一定方向移動所述升降部，則所述升降部向所述搭載裝置的正下方的外側(cè)移動的真空處理裝置。

本發(fā)明是若懸吊于所述直線部的所述軌道部的所述搭載裝置的所述懸吊車輪在從所述直線部的所述軌道部上開始在所述彎曲部的所述軌道部上和處于連接狀態(tài)的所述連接部的所述軌道部上滾動移動之后，到達所述槽內(nèi)部的所述軌道部上，則位于所述真空槽外部的所述搭載裝置被搬入所述真空槽的內(nèi)部的真空處理裝置。

本發(fā)明是在所述直線部的所述軌道部的與連接于所述彎曲部的部分為相反側(cè)的端部，設(shè)有防止懸吊于所述直線部的所述搭載裝置脫落的止動部件的真空處理裝置。

本發(fā)明是在所述軌道裝置，設(shè)有槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置和槽外側(cè)脫落防止裝置的真空處理裝置，所述槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置在所述連接部為所述分離狀態(tài)時，與懸吊于所述槽內(nèi)部的所述搭載裝置的所述行駛部接觸以防止所述搭載裝置從所述槽內(nèi)部脫落到所述蓋用間隙，所述槽外側(cè)脫落防止裝置與懸吊于所述槽外部的所述搭載裝置的所述行駛部接觸以防止所述搭載裝置從所述槽外部脫落到所述蓋用間隙。

本發(fā)明是在所述連接部和所述槽外部中的任一者設(shè)有凸部，在另一者設(shè)有凹部，在所述連接部處于所述連接狀態(tài)時，所述凸部和所述凹部嵌合以維持所述連接狀態(tài)，在所述連接部從所述連接狀態(tài)變更為所述分離狀態(tài)時，所述凸部和所述凹部的嵌合解除，所述連接部變得能夠旋轉(zhuǎn)的真空處理裝置。

本發(fā)明的真空處理除了真空干燥之外，包含真空燒成、真空退火、真空表面處理等多種真空處理。

另外，處理對象物體除了食品之外，包含半導(dǎo)體、玻璃基板、機械部件等多種材質(zhì)、形狀的物品。

發(fā)明效果

能夠使用小面積的場所將搭載裝置從真空槽內(nèi)搬出搬入。

在使連接軌道旋轉(zhuǎn)以在槽內(nèi)部與槽外部的軌道之間形成間隙時，脫落防止機構(gòu)工作，搭載裝置不會從軌道裝置脫落。

附圖說明

圖1是用于說明本發(fā)明的真空處理裝置的真空槽正視圖(1)；

圖2是用于說明本發(fā)明的真空處理裝置的真空槽正視圖(2)；

圖3是用于說明本發(fā)明的真空處理裝置的真空槽正視圖(3)；

圖4是用于說明本發(fā)明的真空處理裝置的真空槽正視圖(4)；

圖5是用于說明本發(fā)明的真空處理裝置的真空槽正視圖(5)；

圖6是用于說明本發(fā)明的真空處理裝置的真空槽正視圖(6)；

圖7是用于說明本發(fā)明的真空處理裝置的真空槽內(nèi)部側(cè)視圖(1)；

圖8是用于說明本發(fā)明的真空處理裝置的真空槽內(nèi)部側(cè)視圖(2)；

圖9是用于說明本發(fā)明的真空處理裝置的平面圖(1)；

圖10是用于說明本發(fā)明的真空處理裝置的平面圖(2)；

圖11是用于說明本發(fā)明的真空處理裝置的平面圖(3)；

圖12是用于說明本發(fā)明的真空處理裝置的平面圖(4)；

圖13是用于說明本發(fā)明的真空處理裝置的平面圖(5)；

圖14是用于說明本發(fā)明的真空處理裝置的平面圖(6)；

圖15是用于說明通過槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置被防止下落的搭載裝置的圖；

圖16是用于說明真空槽內(nèi)部的內(nèi)部平面圖(1)；

圖17是用于說明真空槽內(nèi)部的內(nèi)部平面圖(2)；

圖18是用于說明真空槽內(nèi)部的內(nèi)部平面圖(3)；

圖19中，(a)是用于說明連接狀態(tài)的連接部的平面圖，(b)是用于說明分離狀態(tài)的連接部的平面圖；

圖20中，(a)是用于說明行駛部的連接部的正視圖，(b)是其平面圖，(c)是軌道裝置的截面圖，(d)是用于說明行駛部的行駛的正視圖，(e)是其平面圖；

圖21(a)、(b)是用于說明槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置的動作的圖；

圖22是用于說明排列裝置的圖；

圖23是用于說明現(xiàn)有技術(shù)的圖(1)；

圖24是用于說明現(xiàn)有技術(shù)的圖(2)；

圖25是用于說明現(xiàn)有技術(shù)的圖(3)。

具體實施方式

圖1示出本發(fā)明的真空處理裝置2。

真空處理裝置2具有真空槽8，在真空槽8的側(cè)面，設(shè)有用于將處理對象物體搬出搬入真空槽8內(nèi)部的搬出搬入用開口7。符號9是封閉搬出搬入用開口7以密閉真空槽8內(nèi)部的蓋裝置，若使真空排氣裝置29工作，對用蓋裝置9密閉的真空槽8的內(nèi)部真空排氣，則能夠使真空槽8的內(nèi)部為真空氣氛。在此，處理對象物體是載于托盤的食品，在真空槽8的內(nèi)部受到真空干燥(冷凍干燥)的處理。

圖1是將蓋裝置9打開的狀態(tài)，該狀態(tài)的平面圖示于圖9。

在配置有真空槽8的潔凈室的底板面5，形成有如圖7所示的凹狀部，真空槽8和蓋裝置9配置在凹狀部，以不在潔凈室的底板面5形成因真空槽8的底面引起的凸部。

在真空槽8的頂板，從真空槽8的外部到內(nèi)部，設(shè)有細長的軌道裝置10。

參照圖9，軌道裝置10具有配置在真空槽8外部的細長的槽外部16、以及配置在真空槽8內(nèi)部的細長的槽內(nèi)部15。槽外部16固定于潔凈室的頂板，槽內(nèi)部15固定于真空槽8的頂板。

槽內(nèi)部15和槽外部16間隔開而配置。另外，軌道裝置10具有連接部14，以槽內(nèi)部15和槽外部16之間能夠通過連接部14而連接的方式構(gòu)成。在圖9中是連接的。

圖2的符號是懸吊于軌道裝置10的搭載裝置。在圖2中，搭載裝置30未被懸吊，而是載于搭載車40，并被移動至真空槽8附近的狀態(tài)。圖10是該狀態(tài)的平面圖。

搭載裝置30具有框體31、以及在框體31底面設(shè)置的多個搭載車輪35。

搭載車40具有本體21、以及固定于本體21框體的底盤22，在本體21的內(nèi)部設(shè)有行駛用的馬達等驅(qū)動裝置。

本體21位于底盤22的一端，在本體21的底面和底盤22的本體附近的位置，安裝有兩個以上的后輪26。在底盤22的與本體21相反的一側(cè)，安裝有兩個以上的前輪25。

若將各前輪25和各后輪26載于潔凈室的底板面5上，使本體21內(nèi)部的驅(qū)動裝置工作以使后輪26旋轉(zhuǎn)，則搭載車40在潔凈室的底板面5上行駛。

各前輪25在鉛垂且相互平行的平面內(nèi)分別旋轉(zhuǎn)，各后輪26也在鉛垂且相互平行的平面內(nèi)分別旋轉(zhuǎn)。

各前輪25所旋轉(zhuǎn)的平面相對于底盤22固定。

在本體21設(shè)有操作裝置55。后輪26能夠通過操作裝置55在相互平行的狀態(tài)下變更相對于底盤22的朝向，前輪25在搭載車40直線前進時朝向行進方向，前輪25的朝向相對于底盤22固定。操縱者6操作操作裝置55來變更后輪26相對于底盤22的朝向，能夠變更搭載車40行駛的朝向。

在通過操作裝置55使前輪25所旋轉(zhuǎn)的平面和后輪26所旋轉(zhuǎn)的平面平行的情況下，底盤22直線移動，若使前輪25所旋轉(zhuǎn)的平面和后輪26所旋轉(zhuǎn)的平面不平行，則底盤22的移動方向拐彎。

在本體21的內(nèi)部，設(shè)有馬達等構(gòu)成的升降裝置，在該升降裝置中，板狀的升降部23相對于底盤22平行地安裝于底盤22的上部。

若將前輪25和后輪26載于底板面5上，則底盤22和升降部23變得水平，若升降裝置工作，則升降部23能夠維持水平狀態(tài)且在底盤22上沿上下方向移動。

框體31的底面與搭載車輪35相比位于上部，升降部23和底盤22的寬度比搭載車輪35的間隔短。

若在搭載車輪35接觸在潔凈室的底板面5上的搭載裝置30的框體31的底面和底板面5之間，插入底盤22和升降部23，并使升降裝置工作，以使升降部23上升，則搭載裝置30的框體31的底面與升降部23的表面接觸，搭載裝置30載于升降部23上。

此時，搭載車輪35從升降部23露出，若進一步使升降部23上升，則搭載車輪35與底板面5間隔開。

在該狀態(tài)下，搭載裝置30的框體31的底面載于升降部23。若使升降裝置工作，則載于升降部23的搭載裝置30能夠隨著升降部23的上下移動而向上方向和向下方向移動。

在搭載裝置30配置有進行真空處理的多個處理對象物體33，在搭載裝置30載于升降部23上的狀態(tài)下，搭載裝置30的重量和配置在搭載裝置30的處理對象物體33的重量由搭載車40的前輪25和后輪26支撐。

搭載裝置30的框體31在上部設(shè)有行駛部32。

將行駛部32的正視圖示于圖20(a)，并將平面圖示于同圖(b)。

行駛部32具有固定于框體31頂板部分的底板44，在底板44上，兩片安裝板41a、41b相互間隔開并平行地固定于底板44上，在兩片安裝板41a、41b的相互相向的側(cè)面，分別設(shè)有懸吊車輪42a、42b。在此，在一個安裝板41a和另一個安裝板41b，懸吊車輪42a、42b每兩個設(shè)置，一個安裝板41a的懸吊車輪42a和另一個安裝板41b的懸吊車輪42b配置在相互相向的位置。各懸吊車輪42a、42b的大小相同。

軌道裝置10的槽外部16、連接部14、以及槽內(nèi)部15為截面H型的金屬制軌道，如圖20(c)所示，分別具有為細長的平板狀且相互平行的安裝部46和軌道部47、以及為細長板狀，上端固定于安裝部46的寬度方向中央位置，且下端固定于軌道部47的寬度方向中央位置并鉛垂地配置的引導(dǎo)部48。在軌道裝置10中，安裝部46直接或是間接地固定于真空槽8的頂板、潔凈室的頂板。

在懸吊車輪42a、42b與底板44之間，設(shè)有間隙49，如后所述，在將軌道部47和引導(dǎo)部48分別插入間隙49和相互相向的兩個懸吊車輪42a、42b之間之后，若使行駛部32下降，則如圖20(d)所示，各懸吊車輪42a、42b載于軌道部47上。同圖(e)是同圖(d)的狀態(tài)的平面圖。軌道部47為平面狀，且水平。

各懸吊車輪42a、42b所旋轉(zhuǎn)的平面是鉛垂的，如圖20(d)、(e)那樣，引導(dǎo)部48直線狀地延伸的情況下，各懸吊車輪42a、42b所旋轉(zhuǎn)的平面與引導(dǎo)部48所位于的平面平行，在引導(dǎo)部48在鉛垂的狀態(tài)下彎曲的情況下，各懸吊車輪42a、42b所旋轉(zhuǎn)的平面沿引導(dǎo)部48的彎曲回旋，在任一情況下，行駛部32和設(shè)有行駛部32的搭載裝置30都能夠沿引導(dǎo)部48移動。

在圖2、圖10的狀態(tài)下，搭載裝置30載于搭載車40，首先，說明將搭載車40上的搭載裝置30懸吊于軌道裝置10的順序。

如圖9～14所示，槽外部16具備引導(dǎo)部48直線狀地延伸的直線部12、以及在引導(dǎo)部48鉛垂且軌道部47水平的狀態(tài)下，在水平面內(nèi)彎曲的彎曲部13。

直線部12的與連接于彎曲部的部分為相反側(cè)的端部開放，該直線部12的開放的部分能夠插入間隙49。

在直線部12的開放的部分附近，在軌道部47上，設(shè)有從軌道部47的表面突出的止動部件90。設(shè)有止動部件90的軌道部47的表面為懸吊車輪42a、42b所接觸的表面。

首先，使升降裝置工作，使升降部23上升，直到升降部23上的搭載裝置30的懸吊車輪42a、42b的下端變?yōu)楸戎箘硬考?0的上端高的位置。

在直線部12的開放的一端，安裝有安裝棒11，多個引導(dǎo)裝置19₁～19₃(在此為3個)朝向下方鉛垂地設(shè)置于安裝棒11。

各引導(dǎo)裝置19₁～19₃為細長的形狀，且以位于直線部12的引導(dǎo)部48所位于的平面內(nèi)的方式排列為直線狀。

從圖2、圖10所示的狀態(tài)開始，操縱者6使搭載有搭載裝置30的搭載車40的本體21及后輪26在最前，并使前輪25在最后，使該搭載車40行駛。

此時，操縱者6觀察引導(dǎo)裝置19₁～19₃和移動中的行駛部32的位置關(guān)系，對操作裝置55進行操作來修正搭載車40的移動方向，以使引導(dǎo)裝置19₁～19₃位于相向的懸吊車輪42a、42b之間。

各引導(dǎo)裝置19₁～19₃的寬度比懸吊車輪42a、42b之間的寬度窄，位于中心的引導(dǎo)裝置19₁～19₃能夠通過懸吊車輪42a、42b之間。圖3、圖11示出一個引導(dǎo)裝置19₂通過懸吊車輪42a、42b之間的狀態(tài)。

在引導(dǎo)裝置19₁～19₃由“繩子”、能夠彎折地安裝的“棒”等構(gòu)成，引導(dǎo)裝置19₁～19₃不能夠通過懸吊車輪42a、42b之間并與行駛部32沖突的情況下，引導(dǎo)裝置19₁～19₃彎折或彎曲，搭載車40在引導(dǎo)裝置19₁～19₃不妨礙行駛部32的行駛的情況下行駛。

在引導(dǎo)裝置19₁～19₃和行駛部32沖突的情況下，在到達下個引導(dǎo)裝置19₂、19₃、軌道裝置10的端部之前，修正搭載車40的移動方向，使下個引導(dǎo)裝置19₂、19₃、軌道裝置10的端部的引導(dǎo)部48依次通過相向的懸吊車輪42a、42b之間即可。

若通過操縱者6來控制搭載車40的移動方向以使多個引導(dǎo)裝置19₁～19₃依次通過相向的懸吊車輪42a、42b之間，且使搭載車40在底板面5上行駛，則搭載車40的移動方向與直線部12的引導(dǎo)部48延伸的方向平行，使直線部12的引導(dǎo)部48延長的平面位于相向的懸吊車輪42a、42b之間，并與行駛部32交叉。

在該狀態(tài)下，搭載車40的前輪25所旋轉(zhuǎn)的平面與后輪26所旋轉(zhuǎn)的平面平行，若使后輪26旋轉(zhuǎn)并使本體21及后輪26在最前以使搭載車40移動，則各懸吊車輪42a、42b通過止動部件90的上方，直線部12的引導(dǎo)部48插入相向的懸吊車輪42a、42b之間，變?yōu)橐龑?dǎo)部48被行駛部32夾著的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，懸吊車輪42a、42b位于露出的軌道部47之上。

在直線部12設(shè)有多個排列裝置17₁～17₃(在此為3臺)，通過排列裝置17₁～17₃，以直線部12的引導(dǎo)部48位于相向的懸吊車輪42a、42b的正中的方式移動搭載車40。

在此，如圖22所示，排列裝置17₁～17₃具有板狀的兩片排列部件37a、37b，若在行駛部32通過排列部件37a、37b之間時，行駛部32與排列部件37a、37b中的任一者接觸，則從所接觸的排列部件37a、37b受到朝向排列部件37a、37b的中央方向的力，搭載車40朝中央方向移動。

排列部件37a、37b的間隔按行駛部32通過的順序逐漸地變窄，通過利用各排列裝置17₁～17₃沿與直線部12的引導(dǎo)部48垂直的方向移動搭載車40，使直線部12的引導(dǎo)部48位于相互相向的兩個懸吊車輪42a、42b的中央。

然后，在使其通過最后的排列裝置17₃，接著使搭載裝置30直線移動之后，如圖4、圖12所示，在懸吊車輪42a、42b位于直線部12的軌道部47之上時，使升降部23下降，使懸吊車輪42a、42b載于直線部12的軌道部47上。

然后，若使升降部23進一步下降，則如圖5所示，升降部23從搭載裝置30的框體31間隔開。此時，懸吊于軌道裝置10直線部12的搭載裝置30的搭載車輪35的下端位于底板面5的上方，搭載車輪35與底板面5不接觸。

因而，該搭載裝置30的包含處理對象物體33的重量的重量通過直線部12而被懸吊支撐，搭載裝置30成為懸吊于軌道裝置10的狀態(tài)。

因為搭載車40與搭載裝置30不接觸，能夠在不使搭載裝置30移動的情況下使搭載車40移動，所以，若使搭載車40沿與在使直線部12的引導(dǎo)部48位于懸吊車輪42a、42b之間且使搭載裝置30直線移動時相同的方向移動，則搭載裝置30靜止，且如圖6、圖13所示，本體21與搭載裝置30之間的距離變大。

在圖6、圖13中，使搭載車40移動，直到升降部23和底盤22移動到搭載裝置30的框體31的正下方位置的外側(cè)。

直線部12通過彎曲部13和連接部14而連接于槽內(nèi)部15。彎曲部13的彎曲為四分之一圓，連接部14和槽內(nèi)部15為直線狀，且以成為直線的方式連接。連接于彎曲部13一端的直線部12和連接于另一端的連接部14以向相互直角的方向延伸的方式配置。

槽內(nèi)部15以延伸方向與搬出搬入用開口7成為直角的方式配置在真空槽8的內(nèi)部，因而，在使升降部23和底盤22從搭載裝置30的框體31的正下方位置移動到外側(cè)時，由于搭載車40與搬出搬入用開口7平行地移動，故搭載車40不會進入真空槽8內(nèi)部。

直線部12、彎曲部13、連接部14、以及槽內(nèi)部15的軌道部47位于相同的高度。

關(guān)于搭載裝置30，引導(dǎo)部48由行駛部32夾著，若通過行駛部32夾著各部12～16的引導(dǎo)部48且對搭載裝置30施加力以使懸吊車輪42a、42b在各部12～16的軌道部47上旋轉(zhuǎn)，則搭載裝置30按照直線部12、彎曲部13、連接部14、以及槽內(nèi)部15的順序沿軌道裝置10移動，因而搭載裝置30沿引導(dǎo)部48移動。雖然此時，引導(dǎo)部48位于行駛部32之中，但還可以以行駛部位于引導(dǎo)部之中的方式構(gòu)成。

在此，當(dāng)操縱者6通過人力推壓或牽引搭載裝置30以使懸吊車輪42a、42b旋轉(zhuǎn)，且使搭載裝置30沿軌道裝置10移動，搭載裝置30在彎曲部13行駛時，按照彎曲部13的彎曲形狀移動，在通過連接部14之后，如圖14所示，在懸吊于槽內(nèi)部15的狀態(tài)下，移動到真空槽8的內(nèi)部。在真空槽8的內(nèi)部，搭載車輪35不與真空槽8的底板面接觸。

如以上說明的那樣，若將多個搭載裝置30分別載于搭載車40，并一臺一臺地懸吊于軌道裝置10，并搬入真空槽8內(nèi)部，則如圖7、圖16所示，能夠?qū)⒍鄠€懸吊于槽內(nèi)部15的搭載裝置30配置在真空槽8內(nèi)部。

圖7、圖16是在真空槽8的內(nèi)部懸吊有既定個數(shù)的搭載裝置30的狀態(tài)，為了關(guān)閉蓋裝置9以通過真空排氣裝置29對真空槽8內(nèi)部進行真空排氣，首先，使連接部14旋轉(zhuǎn)，以在搬出搬入用開口7前的位置如圖17所示地形成用于定位蓋裝置9的蓋用間隙38。蓋用間隙38位于槽內(nèi)部15與槽外部16之間，且位于貫穿搬出搬入用開口的部位。

將連接部14及其周圍部分以放大的平面圖示于圖19(a)、(b)。

連接部14以能夠水平旋轉(zhuǎn)的方式安裝于在槽外部16鉛垂地設(shè)置的旋轉(zhuǎn)軸64，同圖(a)是通過連接部14連接了槽外部16和槽內(nèi)部15的狀態(tài)，在該連接狀態(tài)下，懸吊的搭載裝置30能夠在槽外部16與槽內(nèi)部15之間通過連接部14而移動。

連接部14能夠?qū)⑿D(zhuǎn)軸64作為中心沿順時針方向和逆時針方向二者旋轉(zhuǎn)。在此，處于連接狀態(tài)的連接部14從上方看沿逆時針方向旋轉(zhuǎn)，為在槽內(nèi)部15與槽外部16之間形成蓋用間隙38的分離狀態(tài)。圖19(b)示出處于分離狀態(tài)的連接部14。

此外，為了使連接部14能夠旋轉(zhuǎn)，使得，為連接部14和槽外部16所接觸的接觸面、以及連接部14和槽內(nèi)部15所接觸的接觸面之間的距離的，連接部14的長度越在逆時針的行進方向的位置則越大。

在連接部14為連接狀態(tài)時，蓋裝置9配置在搬出搬入用開口7的左側(cè)、右側(cè)、上側(cè)中的任一者，真空槽8的內(nèi)部為通過搬出搬入用開口7而開放的狀態(tài)。

若連接部14變?yōu)榉蛛x狀態(tài)且如圖17所示，在槽外部16與槽內(nèi)部15之間形成蓋用間隙38，則蓋裝置9能夠位于蓋用間隙38，因而若如此移動蓋裝置9，則如圖8、圖18所示，蓋裝置9位于搬出搬入用開口7的正面，若蓋裝置9緊貼于真空槽8，則真空槽8由蓋裝置9密閉。

若在真空槽8被密閉的狀態(tài)下使真空排氣裝置29工作，則能夠?qū)φ婵詹?的內(nèi)部進行真空排氣。

此外，由于連接部14安裝于在槽外部16設(shè)置的旋轉(zhuǎn)軸64，故在連接部14處于分離狀態(tài)且真空槽8由蓋裝置9封閉的情況下，連接部14位于真空槽8的外部。

圖19的(b)所示的槽外側(cè)脫落防止裝置61設(shè)于連接部14。

在連接部14處于連接狀態(tài)時，槽外側(cè)脫落防止裝置61位于軌道裝置10的側(cè)面，在懸吊于軌道裝置10的搭載裝置30移動時，槽外側(cè)脫落防止裝置61不與搭載裝置30接觸，但在分離狀態(tài)下，槽外側(cè)脫落防止裝置61通過連接部14的旋轉(zhuǎn)而移動，以位于槽外部16的設(shè)有旋轉(zhuǎn)軸64的端部附近。

在連接部14處于分離狀態(tài)時，槽外側(cè)脫落防止裝置61位于能夠與懸吊于槽外部16的搭載裝置30的行駛部32接觸的場所，在所懸吊的搭載裝置30朝槽外部16的與連接部14連接的端部移動的情況下，在行駛部32從槽外部16的端部落下之前，槽外側(cè)脫落防止裝置61與行駛部32接觸，在落下之前停止行駛部32在軌道部47上的行駛，以防止落下。

另外，在連接部14之中的為連接于槽內(nèi)部15的部分的帽部69的端部，設(shè)有推壓部件54，在槽內(nèi)部15的連接于連接部14的位置，設(shè)有槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置51。

將與圖19(a)、(b)對應(yīng)的，槽內(nèi)部15的截面的正視圖示于圖21(a)、(b)。

在槽內(nèi)部15的安裝部46，設(shè)有安裝裝置52，槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置51以能夠旋轉(zhuǎn)的方式安裝于在安裝裝置52水平地設(shè)置的旋轉(zhuǎn)軸53。

推壓部件54以連接部14處于連接狀態(tài)時，位于推壓槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置51的場所的方式配置，被推壓的槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置51位于槽內(nèi)部15的軌道部47的外側(cè)，懸吊車輪42a、42b在軌道部47上旋轉(zhuǎn)，使得對懸吊于軌道裝置10的搭載裝置30在槽內(nèi)部15與連接部15之間移動沒有障礙。

在連接部14從連接狀態(tài)過渡到分離狀態(tài)時，若連接部14旋轉(zhuǎn)，則推壓部件54向從槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置51間隔開的方向移動，若推壓部件54與槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置51變得不接觸，則槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置51位于槽內(nèi)部15的軌道部47之上，位于與懸吊于槽內(nèi)部15的搭載裝置30接觸的場所。

在懸吊于槽內(nèi)部15的搭載裝置30移動，槽內(nèi)部15的與連接部14連接的端部落下到蓋用間隙38之前，槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置51與該搭載裝置30的行駛部32接觸，使搭載裝置30的在槽內(nèi)部15上的行駛停止，以防止落下。圖15表示槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置51與懸吊車輪42a、42b接觸而被防止了下落的搭載裝置30。

在連接部14旋轉(zhuǎn)以從分離狀態(tài)過渡至連接狀態(tài)時，推壓部件54向接近槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置51的方向移動，推壓部件54抵接于槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置51，若進一步移動，則推壓部件54推壓槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置51。

通過推壓，槽內(nèi)側(cè)脫落防止裝置51旋轉(zhuǎn)，并被從槽內(nèi)部15的軌道部47上去除，對在軌道部47上行駛的懸吊車輪42a、42b的移動的障礙得到消除。

此外，卡止部件70固定于槽外部16，在卡止部件70和連接部14中的任一者設(shè)有凹部65，在另一者設(shè)有凸部66。凸部66在安裝于凸部本體68的狀態(tài)下設(shè)于卡止部件70和連接部14中的任一者，若通過配置在凸部本體68內(nèi)的彈簧，凸部66受到推壓，則凸部66向凸部本體68的內(nèi)部方向移動并被掩埋。凸部本體68和帽部69通過中繼部60而相互固定，中繼部60安裝于旋轉(zhuǎn)軸64。

凹部65設(shè)于平坦的平面上，在連接部14從分離狀態(tài)變?yōu)檫B接狀態(tài)時，通過連接部14的旋轉(zhuǎn)而從凸部本體68突出的凸部66由設(shè)有凹部65的平面推壓，并掩埋在凸部本體68內(nèi)。然后在連接部14在將槽外部16和槽內(nèi)部15連接的位置處靜止而變?yōu)檫B接狀態(tài)時，掩埋的凸部66和凹部65相向，相向的部分非平面，在凹部65處，凸部66變得不被推壓，因而凸部66恢復(fù)至從凸部本體68突出的位置，其結(jié)果，凸部66與凹部65嵌合。

在凸部66和凹部65嵌合的狀態(tài)下，連接部14不旋轉(zhuǎn)，維持連接狀態(tài)。

此外，圖19(a)、(b)的符號67a、67b是用于使連接部14旋轉(zhuǎn)的繩子，且所延伸的方向通過輥71而被改變。操縱者6通過在與連接部14間隔開的場所處操作該繩子來使連接部14旋轉(zhuǎn)，能夠在連接狀態(tài)與分離狀態(tài)之間切換連接部14的狀態(tài)。

若為了將連接部14從連接狀態(tài)變更為分離狀態(tài)而拉繩子67a，則凸部66被拉入凸部本體68的內(nèi)部，凸部66與凹部65的嵌合解除，利用通過繩子67a施加于連接部14的牽引力，連接部14旋轉(zhuǎn)，并從連接狀態(tài)變更為分離狀態(tài)。拉繩子67a來從分離狀態(tài)向連接狀態(tài)變更。

此外，雖然連接部14使槽外部16的彎曲部13與槽內(nèi)部15連接，但還可以在彎曲部13和連接部14之間設(shè)置直線部，并將直線部和槽內(nèi)部15連接。在該情況下，以能夠旋轉(zhuǎn)的方式安裝連接部14的旋轉(zhuǎn)軸設(shè)于直線部。

若真空槽8中的搭載于搭載裝置30的處理對象物體33的真空處理開始、并結(jié)束，則從真空槽8的內(nèi)部取出搭載裝置30。例如，在處理對象物體33為食品(及裝載食品的托盤)的情況下，冷阱(未圖示)連接于真空槽8，在基于冷阱的為真空干燥的真空處理之后，從真空槽8取出搭載裝置30。

在取出時，首先使真空槽8的內(nèi)部為大氣壓并打開蓋裝置9，在使蓋裝置9從蓋用間隙38移動之后，使連接部14旋轉(zhuǎn)，以將連接部14從分離狀態(tài)變更為連接狀態(tài)。在變?yōu)檫B接狀態(tài)時，凸部66和凹部65嵌合以維持連接狀態(tài)。施加使位于真空槽8內(nèi)部的近前，距搬出搬入用開口7最近的搭載裝置30在懸吊的狀態(tài)下從真空槽8的內(nèi)部移動到外部的力，以使其按槽內(nèi)部15、連接部14、槽外部16的順序移動。在此，使搭載裝置30在到達槽外部16的直線部12時停止。

搭載車40使前輪25朝向直線部12和彎曲部13連接的部分，并使后輪26及本體21朝向其相反側(cè)，預(yù)先配置在直線部12的正下方，或?qū)⒅本€部12的引導(dǎo)部48延長的線或面的正下方位置。

使升降部23下降至比懸吊于軌道裝置10(在此為直線部12)的搭載裝置30的框體31的底面低的位置，使搭載車40向所懸吊的搭載裝置30所在的方向移動，在將升降部23和底盤22的前輪25側(cè)的部分插入懸吊于直線部12的搭載裝置30的框體31的底面與底板面5之間之后，使升降部23上升，將懸吊的搭載裝置30載于升降部23，將搭載裝置30從軌道裝置10移載至搭載車40。

搭載于升降部23的搭載裝置30以懸吊車輪42a、42b的下端變得比止動部件90的上端高的方式上升，若使搭載車40朝向直線部12的開放端部方向，沿直線部12所延伸的方向移動，則從搭載裝置30的相向的懸吊車輪42a、42b之間、以及兩片安裝板41a、41b之間拔去引導(dǎo)部48。

接著，若使升降部23下降，將搭載車輪35載于底板面5上，并進一步使升降部23下降以使升降部23從框體31的底面間隔開，并使搭載車40向后輪26所在的方向移動，則能夠使搭載車40從載于底板面5上的搭載裝置30分離。

雖然在上述例子中，通過行駛部32，夾著引導(dǎo)部48使搭載裝置30沿引導(dǎo)部48移動，但也可以變更行駛部和引導(dǎo)部的構(gòu)成，以利用引導(dǎo)部夾著行駛部，搭載裝置沿引導(dǎo)部移動的方式構(gòu)成。

符號說明

8 真空槽

9 蓋裝置

10 軌道裝置

12 直線部

13 彎曲部

14 連接部

15 槽內(nèi)部

16 槽外部

17₁～17₃ 排列裝置

30 搭載裝置

33 處理對象物體

40 搭載車

23 升降部

46 安裝部

47 軌道部

48 引導(dǎo)部

65 凹部

66 凸部。