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腔體支撐專用系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12337182閱讀:348來源:國知局



背景技術:
:半導體設備在運輸時,腔體需要保持水平和固定。這樣設備到達客戶端才能不改變腔體的狀態(tài),保證設備后續(xù)運行穩(wěn)定。針對要求腔體需要保持水平和固定,本發(fā)明應運而生。



技術實現(xiàn)要素:
:針對上述現(xiàn)有技術的不足,本發(fā)明提供了一種腔體支撐專用系統(tǒng)。

為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用的技術方案是:腔體支撐專用系統(tǒng),包括上支撐、下支撐、移動件、螺栓及墊片。移動件處于上支撐和下支撐之間,螺栓通過墊片與移動件連接。

本發(fā)明結構緊湊合理,由于采用上下支撐的方式,能夠使腔體與下方框架起到支撐的目的,滿足設備運輸時腔穩(wěn)定的新型結構。通過旋轉螺紋使上下支撐做垂直運動,能滿足腔體與下方框架起到支撐的目的,以滿足使用要求。

附圖說明:

圖1是本發(fā)明的結構示意圖。

具體實施方式:

下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清晰、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部 分實施例,而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。

如圖1所示:腔體支撐專用系統(tǒng),包括上支撐1、下支撐2、移動件3、螺栓4及墊片5。移動件3處于上支撐1和下支撐2之間,螺栓4通過墊片5與移動件3連接。上支撐1與腔體下表面接觸,下支撐2與框架上表面接觸。

使用時,需要設備在運輸途中保證腔體穩(wěn)定。先安裝上支撐1,然后安裝下支撐2。使上下支撐可以自如地安裝在腔體和下方框架之間,最后旋轉螺栓4使移動件3做軸向運動。這樣可以使上下支撐做徑向移動,分別支撐腔體和下方框架起到固定腔體的作用,可以保證設備在運輸途中腔體穩(wěn)定。

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