本發(fā)明涉及一種非接觸振動(dòng)抑制裝置以及一種利用非接觸振動(dòng)抑制裝置處理物體的方法，更具體地，涉及一種能夠利用由超聲振動(dòng)誘導(dǎo)的排斥力抑制振動(dòng)的非接觸振動(dòng)抑制裝置以及利用此非接觸振動(dòng)抑制裝置處理物體的方法。

背景技術(shù)：
在處理物體的操作(例如，切割物體、拋光物體、使物體成形、在物體上印刷或者涂覆物體)中，更具體地，在薄片處理操作中，物體由于多種原因而振動(dòng)，諸如機(jī)械振動(dòng)。在一些情況下，物體通過共振不期望地振動(dòng)。物體的這樣振動(dòng)不僅產(chǎn)生噪音而且變成使若干類型的處理精度下降和退化的因素。這樣的振動(dòng)不僅還對(duì)處理物體的操作造成不利影響，而且對(duì)檢查物體、測(cè)量物體、控制物體或傳輸物體的操作的精度造成不利影響。圖1和圖2示意性地示出本領(lǐng)域的機(jī)械振動(dòng)抑制裝置。為了解決這些問題，如圖1和圖2所示，在本領(lǐng)域中，利用機(jī)械輥211和212抑制振動(dòng)。然而，當(dāng)物體由脆性材料形成或者由對(duì)雜質(zhì)敏感或表面易受劃痕的侵害的材料形成時(shí)，物體趨向于被機(jī)械接觸損害。因此，對(duì)于這樣的材料而言，需要避免機(jī)械接觸。圖3和圖4示意性地示出本領(lǐng)域的非接觸振動(dòng)抑制裝置。如圖3和圖4所示，提供一種利用由高壓空氣供應(yīng)器213和214供應(yīng)的流動(dòng)的流體(高壓空氣)以非接觸的方式抑制振動(dòng)的方法(韓國(guó)專利申請(qǐng)公開號(hào)10-2003-0053390，名稱為“用于在持續(xù)的鋼生產(chǎn)線中以非接觸的方式抑制鋼片的振動(dòng)的裝置(DEVICEFORSUPPRESSINGVIBRATIONOFSTEELSHEETINNON-CONTACTMANNERINCONTINUOUSSTEELMAKINGLINE)”)。然而，根據(jù)此方法，極難僅利用空氣的流速均勻地調(diào)節(jié)物體的高度，并且使物體保持在非接觸狀態(tài)的力是非常弱的。因此，當(dāng)物體處于不穩(wěn)定的狀態(tài)(例如，抖動(dòng))時(shí)，物體趨向于接觸裝置(韓國(guó)專利申請(qǐng)公開號(hào)10-2011-0095191，名稱為“非接觸跳動(dòng)機(jī)理(NON-CONTACTDANCERMECHANISM)”)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
技術(shù)問題本發(fā)明的各方面提供一種以穩(wěn)固的非接觸狀態(tài)來(lái)維持物體并且在沒有機(jī)械接觸的情況下通過將均勻的壓力施加到物體上來(lái)抑制處理物體的操作所發(fā)生的振動(dòng)的裝置。技術(shù)方案在本發(fā)明的一方面中，提供一種非接觸振動(dòng)抑制裝置，所述非接觸振動(dòng)抑制裝置包括第一超聲振動(dòng)器和第二超聲振動(dòng)器，第一超聲振動(dòng)器和第二超聲振動(dòng)器彼此分隔開且彼此面對(duì)，使得物體可以設(shè)置在它們之間。第一超聲振動(dòng)器和第二超聲振動(dòng)器通過產(chǎn)生超聲振動(dòng)并將由超聲振動(dòng)誘導(dǎo)的排斥力施加到物體上來(lái)以非接觸的方式使物體保持在它們之間，從而抑制物體的振動(dòng)。在本發(fā)明的另一方面中，提供一種處理物體的方法，所述方法包括：利用上面描述的非接觸振動(dòng)抑制裝置抑制物體的振動(dòng)；處理被振動(dòng)抑制的物體。技術(shù)效果根據(jù)上面闡述的本發(fā)明，在防止物體被機(jī)械接觸損害的同時(shí)通過抑制物體的振動(dòng)，能夠可靠地執(zhí)行包括處理、檢查、測(cè)量、控制或傳輸?shù)牟僮?。附圖說(shuō)明圖1和圖2示意性地示出本領(lǐng)域的機(jī)械振動(dòng)抑制裝置；圖3和圖4示意性地示出本領(lǐng)域的非接觸振動(dòng)抑制裝置；圖5至圖7示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第一示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置；圖8和圖9示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第二示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置；圖10示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第三示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置；圖11示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第四示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置；圖12和圖13示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第五示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置；圖14示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第六示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置；圖15示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第七示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置；圖16和圖17示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第八示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置；圖18示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第九示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置；圖19示出超聲振動(dòng)器的拐角結(jié)構(gòu)的示例。具體實(shí)施方式在下文中，參照附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例。本發(fā)明涉及一種非接觸振動(dòng)抑制裝置，該非接觸振動(dòng)抑制裝置能夠抑制對(duì)包括處理(例如，切割、拋光、成形、印刷或涂覆)、檢查、測(cè)量、控制或者傳輸?shù)奈矬w執(zhí)行的操作而發(fā)生的振動(dòng)。具體地，非接觸振動(dòng)抑制裝置可在持續(xù)處理薄玻璃幅材(thinglassweb)的操作中用于抑制振動(dòng)。由此生產(chǎn)的薄玻璃幅材或薄玻璃片可用在諸如顯示器、電子材料(例如，光電管、觸摸傳感器或晶片)、建筑和家用電器的各種領(lǐng)域中。物體可以是薄材料、幅材或片。物體典型地可以是脆性材料，例如，玻璃。然而，本發(fā)明不局限于此，但是物體可由各種各樣的其它材料制成。圖5至圖7示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第一示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置200。如圖5至圖7所示，非接觸振動(dòng)抑制裝置200包括用于以非接觸的方式保持(hold)薄物體O的第一超聲振動(dòng)器221和第二超聲振動(dòng)器222、用于產(chǎn)生超聲波的超聲波產(chǎn)生器231和232、用于吸收超聲振動(dòng)器221和222的振動(dòng)的減振器241和242、固定超聲振動(dòng)器221和222的支架251和252、用于調(diào)節(jié)超聲振動(dòng)器221與超聲振動(dòng)器222之間的距離的高度調(diào)節(jié)單元261和262以及用于保護(hù)裝置的內(nèi)部免受外部影響的蓋271。非接觸振動(dòng)抑制裝置200還包括用于控制第一超聲振動(dòng)器221的振動(dòng)條件和第二超聲振動(dòng)器222的振動(dòng)條件的控制單元。控制單元電氣地控制振動(dòng)條件，從而控制施加到物體O的每個(gè)表面的排斥力。典型地，在操作期間傳輸物體O，非接觸振動(dòng)抑制裝置200設(shè)置在傳輸物體O所沿的路徑上，使得非接觸振動(dòng)抑制裝置200抑制正在被傳輸?shù)奈矬wO的振動(dòng)或者在靜止?fàn)顟B(tài)中正在被處理的物體的振動(dòng)。第一超聲振動(dòng)器221和第二超聲振動(dòng)器222彼此分隔開并彼此面對(duì)，使得物體O可設(shè)置在它們之間。超聲振動(dòng)器221和222呈平面板或圓弧的形狀，并可產(chǎn)生超聲振動(dòng)以將保持力(壓力)施加到物體O上，使得在不被機(jī)械接觸損害的情況下可以以一致的高度可靠地保持物體(韓國(guó)專利申請(qǐng)公開號(hào)10-2010-0057530)。第一超聲振動(dòng)器221和第二超聲振動(dòng)器222通過產(chǎn)生超聲振動(dòng)并將由超聲振動(dòng)誘導(dǎo)的高壓空氣層的排斥力施加到物體O上來(lái)以非接觸的方式使物體O保持在它們之間，從而抑制物體O的振動(dòng)。具體地，超聲振動(dòng)器221和222通過利用超聲振動(dòng)周期性地壓縮空氣來(lái)產(chǎn)生力，以將物體O可靠地推離超聲振動(dòng)器221和222的相對(duì)的表面，使得物體O不與超聲振動(dòng)器221和222接觸。超聲振動(dòng)器221和222豎直地(或側(cè)向地)布置以產(chǎn)生保持力，從而以非接觸的方式保持物體O。根據(jù)本發(fā)明，空氣排斥力保持恒定，從而能夠應(yīng)對(duì)將另外地發(fā)生在本領(lǐng)域的非接觸振動(dòng)抑制裝置中的不穩(wěn)定狀態(tài)(振動(dòng)或抖動(dòng))的問題。針對(duì)例如處理、檢查、測(cè)量、控制和傳輸?shù)木龋墙佑|振動(dòng)抑制裝置200保護(hù)物體O免于傳播的振動(dòng)的影響。如圖7所示，非接觸振動(dòng)抑制裝置200可抑制在一個(gè)方向上振動(dòng)的傳播。圖8和圖9示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第二示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置200。如圖8和圖9所示，非接觸振動(dòng)抑制裝置200可保護(hù)物體O免于振動(dòng)干擾的影響。圖10示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第三示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置200。如圖10所示，非接觸振動(dòng)抑制裝置200可抑制在相反方向上振動(dòng)的傳播。圖11示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第四示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置200。第一超聲振動(dòng)器221與第二超聲振動(dòng)器222之間延伸的空間可以沿它們的長(zhǎng)度是直的，或者如圖11所示可以是彎曲的。圖12和圖13示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第五示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置200。如圖12和圖13所示，在沿豎直方向(沿向上或向下的方向)持續(xù)傳輸薄物體O的操作中，能夠抑制振動(dòng)從底部傳遞到頂部。圖14示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第六示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置200。如圖14所示，在改變薄物體O的傳輸方向的持續(xù)幅材操作(continuousweboperation)中，非接觸振動(dòng)抑制裝置200可通過保持幅材的彎曲部分來(lái)引導(dǎo)幅材的轉(zhuǎn)向，并使振動(dòng)隔離。圖15示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第七示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置200。如圖15所示，為了向上或向下移動(dòng)超聲振動(dòng)器221和222，非接觸振動(dòng)抑制裝置200可使用汽缸281。圖16和圖17示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第八示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置200。如圖16和圖17所示，在持續(xù)的水平傳輸期間，振動(dòng)發(fā)生在切割(修整，trimming)并隨后擠壓薄物體O的幅材的邊緣部分的操作中，非接觸振動(dòng)抑制裝置200可抑制振動(dòng)傳播到物體O的主體。為此，非接觸振動(dòng)抑制裝置200通過將由超聲振動(dòng)誘導(dǎo)的排斥力施加到修整部分T來(lái)抑制修整部分T的振動(dòng)。圖18示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的第九示例性實(shí)施例的非接觸振動(dòng)抑制裝置200。如圖18所示，為了抑制物體O的作為正在被切割的長(zhǎng)度上相鄰的切割部分的兩個(gè)相鄰的部分的振動(dòng)，非接觸振動(dòng)抑制裝置200可以通過將由超聲振動(dòng)誘導(dǎo)的排斥力施加這兩個(gè)相鄰的部分上而用在利用切割單元500沿寬度切割物體O的操作中。圖19示出超聲振動(dòng)器221和222的拐角結(jié)構(gòu)的示例。薄物體O可碰撞到超聲振動(dòng)器221和222的拐角，自身出現(xiàn)破壞或損壞。因此，超聲振動(dòng)器221和222的拐角部分以斜面的方式被倒角或者被機(jī)器加工成圓形，使得拐角部分比第一超聲振動(dòng)器和第二超聲振動(dòng)器的其它部分更遠(yuǎn)離物體O，以使物體O的破壞或損害最小化。