一種光刻板搬移裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種光刻板搬移裝置，包括平臺兩側(cè)的滑軌(1)，搬運部件(2)，夾持部件(3)，搬運部件(2)底部兩頭下端設(shè)有卡扣，滑軌(1)上設(shè)有卡槽，搬運部件(2)能在滑軌(1)上前后移動。所述夾持部件(3)包括立柱(6)，夾持手臂(7)，所述立柱(6)上有導(dǎo)軌(4)，所述夾持手臂(7)可在導(dǎo)軌(4)上上下移動，搬運部件(2)設(shè)有導(dǎo)軌(4)，搬運手臂(5)，搬運手臂(5)能在導(dǎo)軌(4)上上下移動。本發(fā)明實現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)線光刻板在不同的存儲盒子之間非人工接觸并簡單快速轉(zhuǎn)換移動，減少了灰塵，人的手指觸摸帶來的污損，同時更加精確與高效。
【專利說明】一種光刻板搬移裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體行業(yè)，尤其涉及一種搬移光刻板使用的搬運裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體行業(yè)中，光刻板從制版廠家發(fā)貨，使用的是運輸專用的儲存盒，到晶圓廠后就要轉(zhuǎn)移到光刻機可承載使用的專用存儲盒，有時，晶圓廠的光刻板轉(zhuǎn)移會采用人工接觸用手去拿放，而這種接觸式，一方面有很大的掉落風(fēng)險，另一方面會引入較多的接觸沾污。而在半導(dǎo)體制造工藝中，每一個環(huán)節(jié)對環(huán)境、器具的清潔干凈度都有很高的要求，即使是一丁點的沾污都會對產(chǎn)品的質(zhì)量產(chǎn)生重要的影響，因此每一個細節(jié)的控制都非常重要，其中光刻板表面的清潔干凈程度尤其重要。光刻板搬移時需要實現(xiàn)非人工接觸，簡單、快捷且可靠，無人工風(fēng)險，也杜絕了沾污源引入。同時不同廠家，不同光刻機型號，存儲盒的大小，形狀，高低也不相同。夾持時需要作調(diào)整，同時放入光刻機的存儲盒時位置角度也要做好調(diào)整，需要更加精確的放入。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服光刻板的搬運過程中的潔凈度，準(zhǔn)確性，搬運效率，穩(wěn)定性不夠的問題，本發(fā)明提供了一種光刻板搬移裝置。
[0004]一種光刻板搬移裝置，包括平臺兩側(cè)的滑軌I，搬運部件2，夾持部件3，搬運部件2底部兩頭下端設(shè)有卡扣，滑軌I上設(shè)有卡槽，搬運部件2能在滑軌I上前后移動。所述夾持部件3包括立柱6，夾持手臂7，所述立柱6上有導(dǎo)軌4，所述夾持手臂7可在導(dǎo)軌4上上下移動，搬運部件2設(shè)有導(dǎo)軌4，搬運手臂5，搬運手臂5能在導(dǎo)軌4上上下移動。
[0005]優(yōu)選地，所述搬運部件2包括豎直板8，基座9，所述基座9設(shè)置在搬運部件2的底端，所述基座9包括主軸10，主軸電機，橫板11，所述橫板11中部設(shè)有軸套12，所述主軸10穿過軸套12與豎直板8傳動連接，所述主軸電機上方連接豎直方向的主軸10，主軸電機帶動主軸10轉(zhuǎn)動，所述橫板11兩頭下端設(shè)有卡扣，滑軌I上設(shè)有卡槽，卡槽與卡扣能卡接配合實現(xiàn)搬運部件2的先后移動。
[0006]優(yōu)選地，所述基座9包括圓盤13，主軸10穿過軸套12與圓盤傳動連接，所述圓盤13與豎直板8固定連接。
[0007]優(yōu)選地，所述搬運手臂5套有防滑墊，防滑墊為橡膠材料。
[0008]進一步優(yōu)選地，所述夾持手臂7具有彎曲的夾具14和驅(qū)動機構(gòu)，所述夾具14由驅(qū)動機構(gòu)控制可以控制夾緊和松開，所述驅(qū)動機構(gòu)由控制器控制。
[0009]更進一步，所述夾具14至少為四個。
[0010]非限制性的，所述夾具14兩兩相對分布。
[0011]優(yōu)選地，所述夾具14的頭部具有凸墊15，所述凸墊15的下部為圓柱形，凸墊15的上部為圓弧面。
[0012]進一步，所述夾具14的頭部具有壓力傳感器。
[0013]更進一步，搬運部件2包括兩豎桿17，橫桿16，搬運手臂5，所述搬運手臂5套在橫桿16的前端。
[0014]優(yōu)選地，所述搬運部件2包括兩豎桿17，橫桿16，搬運手臂5，升降機構(gòu)19、支撐桿18，所述豎桿17底端有卡扣，滑軌I上有卡槽，豎桿17能在滑軌I上前后移動，兩豎桿17之間用連接板連接，所述豎桿17上設(shè)有導(dǎo)軌4，所述兩個支撐桿18與導(dǎo)軌連接，能在導(dǎo)軌4上同步運動，所述支撐桿18與橫桿16固定連接，升降機構(gòu)19位于支撐桿18前端，所述升降機構(gòu)19能控制橫桿16前端在豎直面內(nèi)的升降。所述搬運手臂5卡合在橫桿16上，可沿著橫桿16前后移動。
[0015]優(yōu)選地，支撐桿18與豎桿17成90°，支撐桿18—端有接頭20，接頭20有兩擋板擋板中間固定一橫軸21，所述橫桿16穿過橫軸21，所述接頭20能固定橫桿16防止前后滑動同時可以使得橫桿16繞接頭20的橫軸21轉(zhuǎn)動，所述橫軸21與兩豎桿17在水平面內(nèi)連線方向平行。
[0016]優(yōu)選地，所述支撐桿18為三角形，三角形的一條邊上兩個角可以通過卡扣卡槽機構(gòu)在豎桿17的導(dǎo)軌4上滑動，所述這條邊的兩個角中上方一個角固定連接接頭20，所述接頭20有兩擋板，擋板中間固定一橫軸21，所述橫桿16穿過橫軸21，所述橫軸21與兩豎桿17在水平面內(nèi)連線方向平行，所述三角形的另一個角固定連接升降機構(gòu)19。
[0017]非限制性的，所述橫桿16為光滑的。所述橫桿16前后兩端有擋板。
[0018]優(yōu)選地，所述橫桿16前后兩端有防撞護墊22，所述防撞護墊為三層，最外層為有彈性的橡膠護墊，中間層為減震彈簧，最內(nèi)層為鋼制防護板。
[0019]更為優(yōu)選地，所述兩橫桿16的外側(cè)可固定擋板，所述擋板為互相垂直的兩塊板拼接而成或者是一塊圓弧形的擋板。
[0020]進一步，所述兩橫桿16之間由一根或者兩根連接桿連接，兩橫桿16之間其他部分為鏤空結(jié)構(gòu)。
[0021]更進一步，所述夾具14內(nèi)側(cè)設(shè)有放置光刻板的凸墊15，所述夾具14由韌性材料制成，可與光刻板過盈配合，所述韌性材料為聚氨酯、聚四氟乙烯、聚乙烯、酚醛樹脂中一種。
[0022]有益效果:
[0023]1.實現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)線光刻板在不同的存儲盒子之間非人工接觸并簡單快速轉(zhuǎn)換移動，減少了灰塵，人的手指觸摸帶來的污損。
[0024]2.本發(fā)明組合了搬運系統(tǒng)和夾持系統(tǒng)兩種分系統(tǒng)，分別實現(xiàn)在橫向及縱向的光刻板搬移需求，這樣在更換不同的存儲盒時，可以更廣泛的兼容不同樣式的盒子取放的要求。
[0025]3.加入升降機構(gòu)，以及利用光刻板自身重力作用在橫杠上滑移，節(jié)省能耗，同時大幅度提高搬運效率。
[0026]4.凸墊以及其圓弧形的設(shè)計，不僅加強了夾持的穩(wěn)定性同時，又減小灰塵的吸附。
[0027]5.夾持部件的立柱位置固定，使得放入光刻機的存儲盒位置更加精確，減少由于搬運部件的移動帶來的位置偏差。
[0028]6.夾持手臂設(shè)有壓力傳感器同時能夠可控控制張開和夾緊的程度，能適用不同尺寸的光刻板的取放，適用性更強。
[0029]7.替換能360°旋轉(zhuǎn)的基座，從而解決了由轉(zhuǎn)動機構(gòu)因為旋轉(zhuǎn)而導(dǎo)致的搬運速度偏慢的問題，通過直線型的運輸提高搬運效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0030]圖1是一種光刻板搬移裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖2是基座的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖3是結(jié)合圓盤的搬運部件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖4是夾具的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖5是光刻板搬移裝置另一種實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖6是光刻板搬移裝置另一種實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖7是支撐桿、豎桿、橫桿、接頭的連接示意圖；
[0037]圖8是具有三角形支撐桿的光刻板搬移裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0038]以下結(jié)合附圖和實施例，對本發(fā)明進行進一步詳細說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0039]本發(fā)明的另一種實施方式中，提供了一種光刻板搬移裝置，如圖1、圖2、圖3，圖4所示，包括平臺兩側(cè)的滑軌I，搬運部件2，夾持部件3，搬運部件2底部2兩頭下端設(shè)有卡扣，滑軌I上設(shè)有卡槽，搬運部件2能在滑軌I上前后移動，搬運部件2設(shè)有導(dǎo)軌4，搬運手臂5，搬運手臂5能在導(dǎo)軌4上上下移動。所述夾持部件3包括立柱6，夾持手臂7，所述立柱6上有導(dǎo)軌4，所述夾持手臂7可在導(dǎo)軌4上上下移動。
[0040]平臺兩側(cè)有滑軌1，供搬運部件2前后移動，搬運部件2，此基底在滑軌I上可移動。搬運部件2有2個搬運手臂5，為端持裝置，用于托起光刻板，實現(xiàn)橫向前后移動光刻板，同時此手臂可在搬運部件2主體上的軌道上進行上下滑動，驅(qū)動方式可采用人工機械式絲桿驅(qū)動，亦可采用電動馬達驅(qū)動。
[0041]此裝置的后部為夾持部件3，兩個夾持手臂7具有夾住光刻板的終端設(shè)計，實現(xiàn)夾住光刻板，在縱向進行上下移動光刻板，同樣夾持手臂7可在立柱6上進行上下移動，驅(qū)動方式可采用人工機械式絲桿驅(qū)動，亦可采用電動馬達驅(qū)動。立柱6的位置固定，將光刻板放入光刻機的存儲盒23時，
[0042]所述搬運部件2包括豎直板8，基座9，所述基座9設(shè)置在搬運部件2的底端，所述基座9包括主軸10，主軸電機，橫板11，所述橫板11中部設(shè)有軸套12，所述主軸10穿過軸套12與豎直板8傳動連接，主軸10能帶動豎直板8轉(zhuǎn)動，所述主軸電機上方連接豎直方向的主軸10，主軸電機帶動主軸10轉(zhuǎn)動，所述橫板11兩頭下端設(shè)有卡扣，滑軌I上設(shè)有卡槽，卡槽與卡扣能卡接配合實現(xiàn)先后移動。所述搬運部件2能繞自身360°旋轉(zhuǎn)。
[0043]所述橫板11通過傳動機構(gòu)帶動搬運部件2在滑軌I上前后水平移動。
[0044]所述傳動機構(gòu)為齒條傳動機構(gòu)，絲杠傳動機構(gòu)，傳送帶傳動機構(gòu)中一種。
[0045]豎直板8包括搬運手臂5，導(dǎo)軌4，搬運手臂5可以在導(dǎo)軌4上上下移動。
[0046]所述搬運手臂5套有防滑墊，防滑墊優(yōu)選為橡膠材料。
[0047]所述夾持部件3包括立柱6，夾持手臂7，所述立柱6上有導(dǎo)軌4，所述加
[0048]持手臂可在導(dǎo)軌4上上下移動。
[0049]優(yōu)選地，所述基座9包括圓盤13，主軸10穿過軸套12與圓盤傳動連接，所
[0050]述圓盤13與豎直板8固定連接，主軸10帶動圓盤13轉(zhuǎn)動，圓盤13帶動豎
[0051]直板8轉(zhuǎn)動，將原先主軸10的點接觸帶動豎直板8轉(zhuǎn)動變?yōu)閳A盤13的線接
[0052]觸轉(zhuǎn)動，使得轉(zhuǎn)動更加平穩(wěn)，減小誤差。
[0053]所述夾持手臂7具有彎曲的夾具14和驅(qū)動機構(gòu)，所述夾具14由驅(qū)動機構(gòu)控制可以控制夾緊和松開，所述驅(qū)動機構(gòu)由控制器控制。
[0054]優(yōu)選地，所述夾具14至少為四個。
[0055]優(yōu)選地，所述夾具14兩兩相對分布。夾具14數(shù)量越多分布越對稱，夾持更牢固不容易滑落。
[0056]優(yōu)選地，所述夾具14的頭部具有凸墊15，所述凸墊15的下部為圓柱形，凸墊15的上部為圓弧面。沒有棱角的設(shè)計使得凸墊15不容易沾灰。
[0057]優(yōu)選地，所述夾具14的頭部具有壓力傳感器，當(dāng)所有夾具14夾緊光刻板時即所有壓力傳感器都有信號顯示加緊時，控制器才控制搬運手臂5沿著滑軌I移動，使得夾持手臂7與搬運手臂5分離。
[0058]一般的使用過程舉例如下:首先需要橫向搬移的光刻板放在工作臺前段的滑軌I之間，調(diào)整搬運手臂5的位置，滑動搬運部件2，使用搬運手臂5伸入光刻板無效的邊緣部分，將光刻板橫向取出；然后旋轉(zhuǎn)搬運部件5主體，再沿著滑軌向后移動，將搬運手臂5與夾持手臂7對接，加持手臂7從邊緣夾持住光刻板，當(dāng)夾具14的所有部分都夾持住了光刻板，則夾持手臂7沿導(dǎo)軌4下降，準(zhǔn)確的將光刻板慢慢放置到存儲盒23中，反之，逆順序亦可完成操作，實現(xiàn)非人工接觸的轉(zhuǎn)移。
[0059]本發(fā)明的另一種實施方式中，提供了一種光刻板搬移裝置，所述光刻板搬移裝置在搬運過程中沒有轉(zhuǎn)動，僅僅進行橫向和縱向的移動，減少了轉(zhuǎn)動帶來的誤差，提高了手臂對接的精確性。
[0060]如圖5所示，一種光刻板搬移裝置，包括平臺兩側(cè)的滑軌I，搬運部件2，夾持部件3，所述夾持部件3包括立柱6，夾持手臂7，所述立柱6上有導(dǎo)軌4，所述夾持手臂7可在導(dǎo)軌4上上下移動。
[0061]搬運部件2包括兩豎桿17，橫桿16，搬運手臂5，所述豎桿17底端有卡扣，滑軌I上有卡槽，豎桿17能在滑軌I上前后移動，兩豎桿17之間用連接板連接，所述豎桿17上設(shè)有導(dǎo)軌4，所述橫桿16能在導(dǎo)軌4上同步運動，所述搬運手臂5套在橫桿16的前端，并通過齒條傳動機構(gòu)能夠在橫桿16上前后移動。
[0062]使用時，將搬運部件2在滑軌I上前后移動，并上下調(diào)整搬運手臂5位置，使用手臂伸入光刻板無效的邊緣部分，將光刻板橫向取出；然后在將搬運部件2在滑軌I上前后移動，通過橫桿16上的齒條傳動機構(gòu)將將搬運手臂5沿著橫桿16從前端移動到后端，然后搬運部件2的搬運手臂與夾持手臂7對接，夾持手臂7從邊緣夾持住光刻板，然后沿導(dǎo)軌4下降，慢慢放置到存儲盒23中，反之，逆順序亦可完成操作，實現(xiàn)非人工接觸的轉(zhuǎn)移。
[0063]本發(fā)明的另一種實施方式中，提供了一種光刻板搬移裝置，所述光刻板搬移裝置通過升降機構(gòu)19控制橫桿16兩端的高低起落，使得光刻板在重力作用下自由滑落到較低的一端，有時候，因為機器結(jié)構(gòu)的緣故制板廠的存儲箱不得不與光刻機存儲箱擺放距離有點遠，這時通過上述兩種實施方式的搬移裝置搬運時間長，效率低，這時采用本實施方式，搬運速度可明顯提高，特別是距離越大時效率越高。
[0064]如圖6，圖7所示，一種光刻板搬移裝置，包括平臺兩側(cè)的滑軌I，搬運部件2，夾持部件3，搬運部件2底部2兩頭下端設(shè)有卡扣，滑軌I上設(shè)有卡槽，搬運部件2能在滑軌I上前后移動，搬運部件2設(shè)有導(dǎo)軌4，搬運手臂5，搬運手臂5能在導(dǎo)軌4上上下移動。所述夾持部件3包括立柱6，夾持手臂7，所述立柱6上有導(dǎo)軌4，所述夾持手臂7可在導(dǎo)軌4上上下移動。
[0065]所述搬運部件2包括兩豎桿17，橫桿16，搬運手臂5，升降機構(gòu)19、支撐桿18。所述豎桿17底端有卡扣，滑軌I上有卡槽，豎桿17能在滑軌I上前后移動，兩豎桿17之間用連接板連接，所述豎桿17上設(shè)有導(dǎo)軌4，所述兩個支撐桿18與導(dǎo)軌連接，能在導(dǎo)軌4上同步運動，所述支撐桿18與橫桿16固定連接，升降機構(gòu)19位于支撐桿18前端，所述升降機構(gòu)19能控制橫桿16前端在豎直面內(nèi)的升降。所述搬運手臂5卡合在橫桿16上，可沿著橫桿16前后移動。
[0066]支撐桿18與豎桿17成90°，支撐桿18—端有接頭20，接頭20有兩擋板，擋板中間固定一橫軸21，所述橫桿16穿過橫軸21，所述接頭20能固定橫桿16防止前后滑動同時可以使得橫桿16繞接頭20的橫軸21轉(zhuǎn)動，所述橫軸21與兩豎桿17在水平面內(nèi)連線方向平行。
[0067]所述支撐桿18為三角形，三角形的一條邊上兩個角可以通過卡扣卡槽機構(gòu)在豎桿17的導(dǎo)軌4上滑動，所述這條邊的兩個角中上方一個角固定連接接頭20，所述接頭20有兩擋板擋板中間固定一橫軸21，所述橫桿16穿過橫軸21，所述接頭20能固定橫桿16防止前后滑動同時可以使得橫桿16繞接頭20的橫軸21轉(zhuǎn)動，所述橫軸21與兩豎桿17在水平面內(nèi)連線方向平行。所述三角形的另一個角固定連接升降機構(gòu)19。所述三角形的支撐桿18更穩(wěn)固，托載光刻板不容易滑落。
[0068]所述橫桿16與水平面最大角度為30°。
[0069]所述升降機構(gòu)19為液壓升降機構(gòu)19、絲杠升降機構(gòu)19、電動升降機構(gòu)19中一種。
[0070]所述電動升降機構(gòu)19包括伸縮柱，可逆電機，伸縮柱一端與可逆電機連接，另一端與橫桿16連接，可逆電機與單片機連接，單片機控制可逆電機正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)來控制伸縮柱的伸長和縮短，同時配合橫桿16繞橫軸21在豎直面內(nèi)轉(zhuǎn)動，進而控制橫桿16的一端的上升和下降。
[0071]所述橫桿16為光滑的。所述橫桿16前后兩端有擋板，防止光刻板滑落。
[0072]將搬運部件2在滑軌I上前后移動，并上下調(diào)整搬運手臂5位置，使用手臂伸入光刻板無效的邊緣部分，將光刻板橫向取出；然后在將搬運部件2在滑軌I上前后移動，通過升降機構(gòu)19上升，橫桿16前端高后端低，在重力作用下將搬運手臂5以及光刻板沿著橫桿16從前端移動到后端，然后搬運部件2的搬運手臂與夾持手臂7對接，夾持手臂7從邊緣夾持住光刻板，然后沿導(dǎo)軌4下降，慢慢放置到存儲盒23中，反之，逆順序亦可完成操作，實現(xiàn)非人工接觸的轉(zhuǎn)移。
[0073]所述橫桿16前后兩端有防撞護墊22，所述防撞護墊為三層，最外層為有彈性的橡膠護墊，中間層為減震彈簧，最內(nèi)層為鋼制防護板起到固定位置作用阻止搬運手臂5滑落。
[0074]所述兩橫桿16的外側(cè)可固定擋板，所述擋板為互相垂直的兩塊板拼接而成或者是一塊圓弧形的擋板。
[0075]所述兩橫桿16之間由一根或者兩根連接桿連接，兩橫桿16之間其他部分為鏤空結(jié)構(gòu)。這樣不僅可以減小重量同時還可以減少灰塵的吸附。
[0076]所述夾具14內(nèi)側(cè)設(shè)有放置光刻板的凸墊15，其中，所述夾具14由韌性材料制成，可與光刻板過盈配合，所述韌性材料為聚氨酯、聚四氟乙烯、聚乙烯、酚醛樹脂中一種。
[0077]所述凸墊15的下部為圓柱形，上部為圓弧面，所述凸墊15形狀為圓弧形設(shè)計沒有棱角，減少了灰塵的吸附，有利于保持光刻板的潔凈。凸墊15可以牢固固定光刻板，起到防滑和夾持作用。
[0078]本發(fā)明中橫桿16在導(dǎo)軌4中上下移動和夾持手臂7在導(dǎo)軌4上上下移動，實現(xiàn)方式有多種，可以使用齒條傳動機構(gòu)，絲杠傳動機構(gòu)，帶傳動機構(gòu)進行傳動。
[0079]上述說明示出并描述了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，如前所述，應(yīng)當(dāng)理解本發(fā)明并非局限于本文所披露的形式，不應(yīng)看作是對其他實施例的排除，而可用于各種其他組合、修改和環(huán)境，并能夠在本文所述發(fā)明構(gòu)想范圍內(nèi)，通過上述教導(dǎo)或相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)或知識進行改動。而本領(lǐng)域人員所進行的改動和變化不脫離本發(fā)明的精神和范圍，則都應(yīng)在本發(fā)明所附權(quán)利要求的保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種光刻板搬移裝置，包括平臺兩側(cè)的滑軌(I)，搬運部件(2)，夾持部件(3)，其特征在于:搬運部件(2)底部兩頭下端設(shè)有卡扣，滑軌(I)上設(shè)有卡槽，搬運部件(2)能在滑軌(I)上前后移動；所述夾持部件(3)包括立柱￠)，夾持手臂(7)，所述立柱(6)上有導(dǎo)軌(4)，所述夾持手臂(7)可在導(dǎo)軌(4)上上下移，搬運部件(2)設(shè)有導(dǎo)軌(4)，搬運手臂(5)，搬運手臂(5)能在導(dǎo)軌(4)上上下移動。
2.如權(quán)利要求1所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，所述搬運部件(2)包括豎直板(8)，基座(9)，所述基座(9)設(shè)置在搬運部件⑵的底端，所述基座(9)包括主軸(10)，主軸電機，橫板(11)，所述橫板(11)中部設(shè)有軸套(12)，所述主軸(10)穿過軸套(12)與豎直板(8)傳動連接，所述主軸電機上方連接豎直方向的主軸(10)，主軸電機帶動主軸(10)轉(zhuǎn)動，所述橫板(11)兩頭下端設(shè)有卡扣，滑軌(I)上設(shè)有卡槽，卡槽與卡扣能卡接配合實現(xiàn)搬運部件(2)的先后移動。
3.如權(quán)利要求2所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，所述基座(9)包括圓盤(13)，主軸(10)穿過軸套(12)與圓盤傳動連接，所述圓盤(13)與豎直板⑶固定連接。
4.如權(quán)利要求1-3任意一項所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，所述搬運手臂(5)套有防滑墊，防滑墊為橡膠材料。
5.如權(quán)利要求4所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，所述夾持手臂(7)具有彎曲的夾具(14)和驅(qū)動機構(gòu)，所述夾具(14)由驅(qū)動機構(gòu)控制可以控制夾緊和松開，所述驅(qū)動機構(gòu)由控制器控制。
6.如權(quán)利要求5所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，所述夾具(14)至少為四個。
7.如權(quán)利要求5所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，所述夾具(14)為四個，兩兩相對分布O
8.如權(quán)利要求5所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，所述夾具(14)的頭部具有凸墊(15)，所述凸墊(15)的下部為圓柱形，凸墊(15)的上部為圓弧面。
9.如權(quán)利要求5所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，所述夾具(14)的頭部具有壓力傳感器。
10.如權(quán)利要求1所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，搬運部件(2)包括兩豎桿(17)，橫桿(16)，搬運手臂(5)，所述搬運手臂(5)套在橫桿(16)的前端。
11.如權(quán)利要求1所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，所述搬運部件(2)包括兩豎桿(17)，橫桿(16)，搬運手臂(5)，升降機構(gòu)(19)、支撐桿(18)，所述豎桿(17)底端有卡扣，滑軌⑴上有卡槽，豎桿(17)能在滑軌⑴上前后移動，兩豎桿(17)之間用連接板連接，所述豎桿(17)上設(shè)有導(dǎo)軌(4)，所述兩個支撐桿(18)與導(dǎo)軌連接，能在導(dǎo)軌(4)上同步運動，所述支撐桿(18)與橫桿(16)固定連接，升降機構(gòu)(19)位于支撐桿(18)前端，所述升降機構(gòu)(19)能控制橫桿(16)前端在豎直面內(nèi)的升降，所述搬運手臂(5)卡合在橫桿(16)上，可沿著橫桿(16)前后移動。
12.如權(quán)利要求11所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，支撐桿(18)與豎桿(17)成90°，支撐桿(18) —端有接頭(20)，接頭(20)有兩擋板，擋板中間固定一橫軸(21)，所述橫桿(16)穿過橫軸(21)，所述接頭(20)能固定橫桿(16)防止前后滑動同時可以使得橫桿(16)繞接頭(20)的橫軸(21)轉(zhuǎn)動，所述橫軸(21)與兩豎桿(17)在水平面內(nèi)連線方向平行。
13.如權(quán)利要求11所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，所述支撐桿(18)為三角形，三角形的一條邊上兩個角可以通過卡扣卡槽機構(gòu)在豎桿(17)的導(dǎo)軌(4)上滑動，所述這條邊的兩個角中上方一個角固定連接接頭(20)，所述接頭(20)有兩擋板擋板中間固定一橫軸(21)，所述橫桿(16)穿過橫軸(21)，所述橫軸(21)與兩豎桿(17)在水平面內(nèi)連線方向平行，所述三角形的另一個角固定連接升降機構(gòu)(19)。
14.如權(quán)利要求10或11所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，所述橫桿(16)為光滑的。所述橫桿(16)前后兩端有擋板。
15.如權(quán)利要求10或11所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，所述橫桿(16)前后兩端有防撞護墊(22)，所述防撞護墊為三層，最外層為有彈性的橡膠護墊，中間層為減震彈簧，最內(nèi)層為鋼制防護板。
16.如權(quán)利要求11所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，所述兩橫桿(16)的外側(cè)可固定擋板，所述擋板為互相垂直的兩塊板拼接而成或者是一塊圓弧形的擋板。
17.如權(quán)利要求10或11所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，所述兩橫桿(16)之間由一根或者兩根連接桿連接，兩橫桿(16)之間其他部分為鏤空結(jié)構(gòu)。
18.如權(quán)利要求5所述的光刻板搬移裝置，其特征在于，所述夾具(14)內(nèi)側(cè)設(shè)有放置光刻板的凸墊(15)，所述夾持部由韌性材料制成，可與光刻板過盈配合，所述韌性材料為聚氨酯、聚四氟乙烯、聚乙烯、酚醛樹脂中一種。
【文檔編號】B65G47/74GK104495357SQ201410766555
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年12月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月12日
【發(fā)明者】丁萬春 申請人:南通富士通微電子股份有限公司