技術(shù)編號：4291443
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種光刻板搬移裝置，包括平臺兩側(cè)的滑軌(1)，搬運(yùn)部件(2)，夾持部件(3)，搬運(yùn)部件(2)底部兩頭下端設(shè)有卡扣，滑軌(1)上設(shè)有卡槽，搬運(yùn)部件(2)能在滑軌(1)上前后移動。所述夾持部件(3)包括立柱(6)，夾持手臂(7)，所述立柱(6)上有導(dǎo)軌(4)，所述夾持手臂(7)可在導(dǎo)軌(4)上上下移動，搬運(yùn)部件(2)設(shè)有導(dǎo)軌(4)，搬運(yùn)手臂(5)，搬運(yùn)手臂(5)能在導(dǎo)軌(4)上上下移動。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)線光刻板在不同的存儲盒子之間非人工接觸并簡單...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。