Amhs暫存區(qū)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其包括至少一個暫存設(shè)備，每個暫存設(shè)備內(nèi)具有至少兩個供放置硅片盒的暫存組件以及至少一個可容納暫存組件的預(yù)留空間，暫存組件包括供承載硅片盒的承載架，暫存設(shè)備內(nèi)還設(shè)有可使暫存組件位移至預(yù)留空間的位移裝置，位移裝置分別與暫存設(shè)備的框架以及承載架相連。本發(fā)明采用類似于“立體車庫”的技術(shù)方案，通過暫存設(shè)備內(nèi)部暫存組件的位移，可以自動移動至離輸送車最近的位置，節(jié)省輸送車在暫存區(qū)存取硅片盒的時間，從而提高了AMHS系統(tǒng)整體的效率。
【專利說明】AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路物料輸送設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種自動化物料傳 輸系統(tǒng)的暫存區(qū)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,300mm娃片已經(jīng)逐步取代200mm娃片成為主流,每盒裝載 硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送， 不僅會降低效率，還存在搬運人員人身傷害的可能。同時，半導(dǎo)體制造對于廠房的利用率 以及生產(chǎn)周期的要求越來越嚴苛，自動化物料傳輸系統(tǒng)(Automated Material Handling Systems,簡稱AMHS)作為連接各個制造模塊之間輸送娃片的紐帶的重要性也日益凸顯出 來。
[0003]現(xiàn)有的AMHS系統(tǒng)均采用懸掛于天花板上的多條軌道結(jié)構(gòu)與軌道上行駛的OHT輸 送車，往返于各個機臺之間(tool to tool輸送模式),或往返于機臺與暫存區(qū)Stocker之間 (走道間系統(tǒng)interbay與走道內(nèi)系統(tǒng)intrabay)。如圖1所示的采用走道間、走道內(nèi)的輸送 系統(tǒng)，機臺走道每一邊的每一臺機臺10安裝有娃片盒堆疊部20 (load port), OHT輸送車 70 (overhead hoist transport)能抓起堆疊部20上的娃片盒30,并通過軌道結(jié)構(gòu)60傳 送至另一臺機臺10的堆疊部20上。這種硅片盒30在同一走道內(nèi)的輸送過程稱為走道內(nèi) 系統(tǒng)110,而娃片盒30在不同走道之間的輸送過程則稱為走道間系統(tǒng)100。走道內(nèi)系統(tǒng)110 的輸送使用OHT輸送車70，走道間系統(tǒng)100的輸送則是先將硅片盒30以輸送車70移至?xí)?存區(qū)50中暫時儲存，等到需要用到此硅片盒30時，再同樣以輸送車70搬送到指定機臺10 處。
[0004]同時，現(xiàn)有較先進的暫存區(qū)是通過多層次暫存空間來存放硅片盒，其與輸送車對 硅片盒的傳遞不外乎兩種。第一種，暫存區(qū)自帶升降抓取裝置，可實現(xiàn)硅片盒在暫存區(qū)頂部 的存取位置與暫存區(qū)內(nèi)部任一暫存空間的位移，但是，這樣的升降抓取裝置需要在暫存區(qū) 內(nèi)獨立設(shè)置，且成本較高，每次也只能移動一個硅片盒，一定程度上，降低了搬送效率。第二 種，暫存區(qū)內(nèi)不具有升降裝置，硅片盒放置在一個確定的暫存空間內(nèi)，通過輸送車的升降裝 置，對準并存取該確定位置暫存空間的硅片盒，但是，每次都需要通過輸送車的升降裝置來 存取硅片盒，輸送車在暫存區(qū)停留的時間就會延長，大大影響了系統(tǒng)的搬送效率。
[0005]因此，如何在暫存區(qū)內(nèi)實現(xiàn)各個位置硅片盒的移動，來節(jié)省輸送車在暫存區(qū)存取 硅片盒的時間，提高AMHS系統(tǒng)整體的效率，同時又能節(jié)約成本，是技術(shù)人員需要解決的技 術(shù)問題之一。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于彌補上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種新的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)。
[0007]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其包括至少一個暫存設(shè)備， 其布設(shè)于AMHS系統(tǒng)機臺矩陣中間的暫存區(qū)，每個該暫存設(shè)備內(nèi)具有至少兩個供放置硅片盒的暫存組件以及至少一個可容納暫存組件的預(yù)留空間，該暫存組件包括供承載硅片盒的 承載架，該暫存設(shè)備內(nèi)還設(shè)有可使暫存組件位移至預(yù)留空間的位移裝置，該位移裝置分別 與暫存設(shè)備的框架以及承載架相連。
[0008]進一步地，該暫存設(shè)備的頂部具有供硅片盒出入的開口，每個該暫存組件均可通 過位移裝置移動至該開口位置。
[0009]進一步地，該暫存組件內(nèi)還設(shè)有升降機構(gòu)，用以升降該承載架。
[0010]進一步地，該暫存設(shè)備的正面具有至少一個開口，每個暫存組件均可通過位移裝 置移動至該開口位置。
[0011]進一步地，該暫存組件內(nèi)還設(shè)有伸縮機構(gòu)，用以將該承載架伸出或回縮于暫存設(shè) 備。
[0012]進一步地，該暫存設(shè)備具有一個使所有暫存組件移動的位移裝置，或每個該暫存 組件都設(shè)有一個位移裝置。
[0013]進一步地，該位移裝置包括使暫存組件上下移動的升降裝置以及使暫存組件左右 移動的平移裝置。
[0014]進一步地，該暫存設(shè)備中呈陣列狀排布所有暫存組件與預(yù)留空間。
[0015]進一步地，該暫存設(shè)備中預(yù)留空間與暫存組件的個數(shù)比至少為1:5。
[0016]進一步地，該暫存設(shè)備中由暫存組件空間和預(yù)留空間組成的空間陣列，其橫向和 縱向個數(shù)相同。
[0017]本發(fā)明采用類似于“立體車庫”的技術(shù)方案，提供一種新的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其在 暫存設(shè)備內(nèi)設(shè)置多個暫存硅片盒的暫存組件以及至少一個預(yù)留空間，通過暫存設(shè)備內(nèi)部暫 存組件的位移，可以自動移動至離輸送車最近的位置，節(jié)省輸送車在暫存區(qū)存取硅片盒的 時間，從而提高了 AMHS系統(tǒng)整體的效率；同時，不需要在暫存設(shè)備以外獨立增設(shè)抓取裝置， 節(jié)約了成本；本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，適于工業(yè)化。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]為能更清楚理解本發(fā)明的目的、特點和優(yōu)點，以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明的較佳實 施例進行詳細描述，其中:
[0019]圖1是現(xiàn)有AMHS系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2是本發(fā)明第一實施例的暫存設(shè)備正面示意圖；
[0021]圖3是本發(fā)明第二實施例的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)平面示意圖。
【具體實施方式】
[0022]第一實施例
[0023]請參閱圖2，本實施例的AMHS暫存區(qū)包括數(shù)個布設(shè)于機臺矩陣中間的第一暫存設(shè) 備I，第一暫存設(shè)備I內(nèi)具有呈2 X 3陣列狀排布的六個空間，其中五個空間被供放置硅片盒 的第一暫存組件12占據(jù)，一個空間被第一預(yù)留空間13占據(jù)，該第一預(yù)留空間13可容納一 個第一暫存組件12。
[0024]每個第一暫存組件12均包括供承載硅片盒的承載架121，位移裝置(未圖示)安裝 在暫存設(shè)備內(nèi)，其包括固定在暫存設(shè)備框架上的縱向滑軌、橫向滑軌和液壓泵，暫存組件的承載架121通過數(shù)個連接桿固定在縱向滑軌和橫向滑軌之上，縱向滑軌、連接桿與液壓泵 構(gòu)成了升降裝置，而橫向滑軌、連接桿與液壓泵構(gòu)成了平移裝置。通過這樣的設(shè)置，即可實 現(xiàn)第一暫存組件12的上、下、左、右四個方向的移動。
[0025]圖2所示位置即是第一暫存設(shè)備I的正面，可見，本實施例中第一暫存設(shè)備I的正 面具有六個開口，即每個空間都具有開口。在每個第一暫存組件12內(nèi)還設(shè)有伸縮機構(gòu)(未 圖示)，用以將承載架121伸出或回縮于暫存設(shè)備，便于輸送車拾取。本實施例中伸縮機構(gòu) 可包括但不僅限于現(xiàn)有的滑軌、滑輪、連接桿、液壓泵等部件；本實施例的位移裝置同樣不 僅限于上述記載的現(xiàn)有部件。
[0026]實際操作過程中，當輸送車需要搬送第一暫存設(shè)備I內(nèi)陣列下部的硅片盒時，位 移裝置通過將暫存組件占據(jù)相鄰預(yù)留空間，來給其他暫存組件騰出位移空間，從而將所需 硅片盒所在暫存組件移動至離輸送車最近的那一個空間，例如頂部的空間，以節(jié)省輸送車 拾取硅片盒的時間。暫存組件的這一位移過程類似于“立體車庫”中車位架的變換。
[0027]第二實施例
[0028]請參閱圖3 (為俯視圖)，本實施例的AMHS暫存區(qū)20包括三個布設(shè)于機臺矩陣中 間的暫存設(shè)備，即第二暫存設(shè)備2、第三暫存設(shè)備3以及第四暫存設(shè)備4，每個暫存設(shè)備內(nèi)具 有呈2X2X2正方體陣列狀排布的八個空間。其中，六個空間被供放置硅片盒的暫存組件 占據(jù)，兩個空間被預(yù)留空間占據(jù)。以第二暫存設(shè)備2為例，六個空間被供放置硅片盒的第二 暫存組件21占據(jù)，兩個空間被第二預(yù)留空間22占據(jù)，每個第二預(yù)留空間22均可容納一個 第二暫存組件21。
[0029]每個第二暫存組件21均包括供承載硅片盒的托盤211，位移裝置(未圖示)安裝 在暫存設(shè)備內(nèi)，其包括固定在暫存設(shè)備框架上的縱向滑軌、橫向滑軌、前后滑軌和液壓泵， 暫存組件的托盤211通過數(shù)個連接桿固定在縱向滑軌、橫向滑軌和前后滑軌之上，縱向滑 軌、連接桿與液壓泵構(gòu)成了升降裝置，橫向滑軌、連接桿與液壓泵構(gòu)成了平移裝置，而前后 滑軌、連接桿與液壓泵構(gòu)成了伸縮裝置。通過這樣的設(shè)置，即可實現(xiàn)第二暫存組件21的上、 下、左、右、前、后六個方向的移動。
[0030]圖3所示位置即是暫存設(shè)備的俯視圖，可見，本實施例中第二暫存設(shè)備2的頂部具 有四個開口，即每個空間都具有開口。在每個第二暫存組件21內(nèi)還設(shè)有升降機構(gòu)(未圖示)， 用以升降托盤211，便于輸送車拾取。本實施例中升降機構(gòu)可包括但不僅限于滑軌、X形升 降機、液壓泵等現(xiàn)有部件；本實施例的位移裝置同樣不僅限于上述記載的現(xiàn)有部件。
[0031]實際操作過程中，當輸送車需要搬送第二暫存設(shè)備2內(nèi)陣列下部的硅片盒時，位 移裝置通過將暫存組件占據(jù)相鄰預(yù)留空間，來給下部暫存組件騰出位移空間，從而將所需 硅片盒所在暫存組件移動至?xí)捍嬖O(shè)備的上層(頂部)離輸送車最近的空間，節(jié)省輸送車拾取 硅片盒的時間。暫存組件的這一位移過程類似于“立體車庫”中車位架的變換。
[0032]通過對上述實施例的變形，可以根據(jù)需要增加暫存設(shè)備內(nèi)暫存組件和預(yù)留空間的 數(shù)量，若要增加暫存設(shè)備的容量，可以增加暫存組件的數(shù)量；若要提高暫存組件的機動性， 更快速地將某個暫存組件移動到指定位置，則可以增加預(yù)留空間的數(shù)量，也可以改變暫存 組件和預(yù)留空間的排布方式，一般情況下，縱向和橫向上空間的數(shù)量越接近，并留有足夠的 預(yù)留空間，暫存設(shè)備內(nèi)暫存組件的移動效率就越高。
【權(quán)利要求】
1.一種AMHS暫存區(qū)系統(tǒng),其特征在于,其包括至少一個暫存設(shè)備,其布設(shè)于AMHS系統(tǒng) 機臺矩陣中間的暫存區(qū)，每個該暫存設(shè)備內(nèi)具有至少兩個供放置硅片盒的暫存組件以及至 少一個可容納暫存組件的預(yù)留空間，該暫存組件包括供承載硅片盒的承載架，該暫存設(shè)備 內(nèi)還設(shè)有可使暫存組件位移至預(yù)留空間的位移裝置，該位移裝置分別與暫存設(shè)備的框架以 及承載架相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該暫存設(shè)備的頂部具有供硅 片盒出入的開口，每個該暫存組件均可通過位移裝置移動至該開口位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該暫存組件內(nèi)還設(shè)有升降機 構(gòu)，用以升降該承載架。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該暫存設(shè)備的正面具有至少 一個開口，每個暫存組件均可通過位移裝置移動至該開口位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該暫存組件內(nèi)還設(shè)有伸縮機 構(gòu)，用以將該承載架伸出或回縮于暫存設(shè)備。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該暫存設(shè)備具有一個使所有 暫存組件移動的位移裝置，或每個該暫存組件都設(shè)有一個位移裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該位移裝置包括使暫存組件 上下移動的升降裝置以及使暫存組件左右移動的平移裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該暫存設(shè)備中呈 陣列狀排布所有暫存組件與預(yù)留空間。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該暫存設(shè)備中預(yù)留空間與暫 存組件的個數(shù)比至少為1:5。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于:該暫存設(shè)備中由暫存組件 空間和預(yù)留空間組成的空間陣列，其橫向和縱向個數(shù)相同。
【文檔編號】B65G47/04GK103600992SQ201310552162
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年11月8日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月8日
【發(fā)明者】計軍 申請人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司