技術編號：4255657
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了一種AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其包括至少一個暫存設備，每個暫存設備內(nèi)具有至少兩個供放置硅片盒的暫存組件以及至少一個可容納暫存組件的預留空間，暫存組件包括供承載硅片盒的承載架，暫存設備內(nèi)還設有可使暫存組件位移至預留空間的位移裝置，位移裝置分別與暫存設備的框架以及承載架相連。本發(fā)明采用類似于“立體車庫”的技術方案，通過暫存設備內(nèi)部暫存組件的位移，可以自動移動至離輸送車最近的位置，節(jié)省輸送車在暫存區(qū)存取硅片盒的時間，從而提高了AMHS系統(tǒng)整體的效率。專利說...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。