專利名稱：一種氣動真空室傳送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及氣動元件與設(shè)備領(lǐng)域，尤其是涉及到一種氣動真空室傳送裝置。
背景技術(shù)：
真空室的傳送一般使用機械手，但機械手往往通過手動或電路控制，與真空室的連接復雜，容易損壞，而且也不易實現(xiàn)長距離的器件的傳送。

發(fā)明內(nèi)容本實用新型提供一種氣動真空室傳送裝置，包括真空室、傳動軸、氣動軸承、驅(qū)動磁性體、磁性架，其特征是真空室外面安裝有氣動軸承和驅(qū)動磁性體。其中，磁性架安裝于傳動軸上，驅(qū)動磁性體與氣動軸承相連接。本實用新型提供一種氣動真空室傳送裝置結(jié)構(gòu)簡單、傳動效率高、傳動距離長。傳動器件時，器件安防于磁性架上，氣動軸承推動驅(qū)動磁性體前進；驅(qū)動磁性體通過磁力耦合帶動磁性架前進。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、真空室、2、傳動軸、3、氣動軸承、4、驅(qū)動磁性體、5、磁性架
具體實施方式
以下結(jié)合附圖實施例對本實用新型作進一步詳細描述。圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，包括真空室1、傳動軸2、氣動軸承3、驅(qū)動磁性體 4、磁性架5。真空室1外面安裝有氣動軸承3和驅(qū)動磁性體4。其中，磁性架5安裝于傳動軸2上，驅(qū)動磁性體4與氣動軸承3相連接。本實用新型提供一種氣動真空室傳送裝置結(jié)構(gòu)簡單、傳動效率高、傳動距離長。傳動器件時，器件安防于磁性架5上，氣動軸承3推動驅(qū)動磁性體4前進；驅(qū)動磁性體4通過磁力耦合帶動磁性架5前進。以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本發(fā)明范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求1.一種氣動真空室傳送裝置，包括真空室、傳動軸、氣動軸承、驅(qū)動磁性體、磁性架，其特征在于所述的真空室外面安裝有氣動軸承和驅(qū)動磁性體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動真空室傳送裝置，其特征在于 所述的磁性架安裝于傳動軸上；所述的驅(qū)動磁性體與氣動軸承相連接。
專利摘要真空室的傳送一般使用機械手，但機械手往往通過手動或電路控制，與真空室的連接復雜，容易損壞，而且也不易實現(xiàn)長距離的器件的傳送。本實用新型提供一種氣動真空室傳送裝置，具有結(jié)構(gòu)簡單、傳動效率高、傳動距離長的優(yōu)點。傳動器件時，器件安防于磁性架上，氣動軸承推動驅(qū)動磁性體前進；驅(qū)動磁性體通過磁力耦合帶動磁性架前進。
文檔編號B65G54/02GK202265211SQ201120405239
公開日2012年6月6日 申請日期2011年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月14日
發(fā)明者林志娟 申請人:林志娟