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一種硅片承載裝置的制作方法

文檔序號(hào):4241735閱讀:280來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:一種硅片承載裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種用于承載硅片的中轉(zhuǎn)籃。
背景技術(shù)
在硅片生產(chǎn)的過(guò)程中,從硅片切割到分檢包括很多工序,如切割、脫膠、插片、清洗、分檢。硅片脫膠通常是采用在脫膠槽中加入乳酸,再進(jìn)行加熱,使膠水軟化,從而使得硅片與托板分離。通常情況下,硅片脫完膠后在粘膠面還留有一些絞絲,這些絞絲必須經(jīng)過(guò)手工的方法去除,才能進(jìn)行插片。目前國(guó)內(nèi)很多企業(yè)很少采用機(jī)械插片,大都是采用手工插片。由于硅片在清洗之前,表面很臟,如果脫離水面,硅片很容易產(chǎn)生黑斑或是其他不良現(xiàn)象,所以在這些生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,硅片都不能露出水面。另外,由于不同硅塊之間的少子壽命及電阻率等電學(xué)性能不同,所以在生產(chǎn)中,不同硅塊之間的硅片是不能混淆的。但目前插片, 是將很多硅片放在一個(gè)插片槽中進(jìn)行插片,硅片斜靠在槽內(nèi)壁,很多人在一起插片很容易造成硅片跌落在水中,引起碎片?,F(xiàn)有技術(shù)中也有關(guān)于硅片承載裝置的一些專利文獻(xiàn)報(bào)道,如公開號(hào)為CN 的中國(guó)專利報(bào)道了一種硅片承載器,該承載器主要用于在硅片清洗時(shí)盛裝硅片。
公開號(hào)為CN 2833883Y的中國(guó)專利報(bào)道了一種硅片籃,這種硅片籃也是用于硅片清洗時(shí)盛裝硅片,但裝載硅片的數(shù)量很多,每個(gè)籃子可高達(dá)100片。這些專利報(bào)道的硅片籃主要是用于硅片清洗環(huán)節(jié)中,與本實(shí)用新型提供的用于脫膠后集中放置硅片的承載裝置不同。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種硅片承載裝置,主要是用于硅片脫膠后的集中管理,同時(shí)也能防止硅片在搬運(yùn)的過(guò)程中有碎片或是混片的現(xiàn)象發(fā)生。本實(shí)用新型的技術(shù)方案為一種硅片承載裝置,用于硅片的放入和取出,其特征在于所述的承載裝置包括兩塊側(cè)板、一塊底板和一根拉桿,兩塊側(cè)板的底部分別與底板連接,兩塊側(cè)板的一側(cè)通過(guò)拉桿相連接?!N硅片承載裝置,其中所述的兩側(cè)板底部與底板垂直連接。一種硅片承載裝置,其中所述的兩側(cè)板底部與底板之間的夾角角度在91 135 度之間。一種硅片承載裝置,其中底板的長(zhǎng)度為50-500毫米,底板的寬度為125-200毫米,側(cè)板的高度為125-200毫米。一種硅片承載裝置,其中所述的所述的側(cè)板上設(shè)有第一空體,底板上設(shè)有第二空體;第一空體與第二空體貫通。由于脫膠后的硅片表面還粘有很多漿料,如果置于承載裝置中的硅片側(cè)部和底部無(wú)法接觸水,則會(huì)造成硅片出現(xiàn)黑斑、水印等不良現(xiàn)象。為了防止這種現(xiàn)象發(fā)生,硅片承載裝置的側(cè)板和底板可以設(shè)置成中空。[0012]一種硅片承載裝置,其中所述的硅片承載裝置采用耐腐蝕、耐高溫的材料制作, 該耐腐蝕、耐高溫的材料是聚四氟乙烯,聚偏氟乙烯,四氟乙烯-六氟丙烯共聚物中的任意一種。一種硅片承載裝置,其中所述的硅片承載裝置采用金屬或合金材料制作,該金屬或合金材料是鋁、不銹鋼中的任意一種。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)由于目前很多企業(yè)插片仍然是采用手工的方式,所以硅片脫完膠后無(wú)法及時(shí)進(jìn)行插片,隨著硅片的增多不僅容易造成碎片,還會(huì)使不同客戶的硅片出現(xiàn)混片的現(xiàn)象。通過(guò)本實(shí)用新型提供的這種硅片承載裝置,能夠?qū)崿F(xiàn)硅片的集中化放置,同時(shí)也能有效防止硅片在運(yùn)輸過(guò)程中產(chǎn)生碎片的現(xiàn)象。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本實(shí)用新型的使用狀態(tài)示意圖;附圖標(biāo)記側(cè)板1、底板2、拉桿3、硅片4、第一空體5、第二空體6。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1、一種硅片承載裝置,用于硅片4的放入和取出,其中所述的承載裝置包括兩塊側(cè)板1、一塊底板2和一根拉桿3,兩塊側(cè)板1的底部分別與底板2連接,兩塊側(cè)板1 的一側(cè)通過(guò)拉桿3相連接。實(shí)施例2、一種硅片承載裝置,其中余同實(shí)施例1。實(shí)施例3、一種硅片承載裝置,其中 91度。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例4、一種硅片承載裝置,其中 100度。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例5、一種硅片承載裝置,其中 110度。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例6、一種硅片承載裝置,其中 120度。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例7、一種硅片承載裝置,其中 130度。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例8、一種硅片承載裝置,其中 135度。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例9、一種硅片承載裝置,其中底板2的長(zhǎng)度為50毫米,底板2的寬度為125 毫米,側(cè)板1的高度為125毫米。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例10、一種硅片承載裝置,其中底板2的長(zhǎng)度為100毫米,底板2的寬度為 125毫米,側(cè)板1的高度為125毫米。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例11、一種硅片承載裝置,其中底板2的長(zhǎng)度為200毫米,底板2的寬度為 156毫米,側(cè)板1的高度為156毫米。其余同實(shí)施例1。
所述的兩側(cè)板1底部與底板2垂直連接。其 所述的兩側(cè)板1底部與底板2的夾角角度為 所述的兩側(cè)板1底部與底板2的夾角角度為 所述的兩側(cè)板1底部與底板2的夾角角度為 所述的兩側(cè)板1底部與底板2的夾角角度為 所述的兩側(cè)板1底部與底板2的夾角角度為 所述的兩側(cè)板1底部與底板2的夾角角度為[0029]實(shí)施例12、一種硅片承載裝置,其中底板2的長(zhǎng)度為500毫米,底板2的寬度為 156毫米,側(cè)板1的高度為200毫米。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例13、一種硅片承載裝置,其中底板2的長(zhǎng)度為500毫米,底板2的寬度為 200毫米,側(cè)板1的高度為200毫米。其余同實(shí)施例1。實(shí)施例14、一種硅片承載裝置,其中所述的側(cè)板1上設(shè)有第一空體5,底板2上設(shè)有第二空體6 ;第一空體5與第二空體6貫通。其余同實(shí)施例1-13中的任意一種實(shí)施例。實(shí)施例15、一種硅片承載裝置,其中所述的硅片承載裝置采用聚四氟乙烯材料制備。其余同實(shí)施例1-14中的任意一種實(shí)施例。實(shí)施例16、一種硅片承載裝置,其中所述的硅片承載裝置采用聚偏氟乙烯材料制備。其余同實(shí)施例1-14中的任意一種實(shí)施例。實(shí)施例17、一種硅片承載裝置,其中所述的硅片承載裝置采用四氟乙烯-六氟丙烯共聚物材料制備。其余同實(shí)施例1-14中的任意一種實(shí)施例。實(shí)施例18、一種硅片承載裝置,其中所述的硅片承載裝置采用鋁材料制備。其余同實(shí)施例1-14中的任意一種實(shí)施例。實(shí)施例19、一種硅片承載裝置,其中所述的硅片承載裝置采用不銹鋼材料制備。 其余同實(shí)施例1-14中的任意一種實(shí)施例。
權(quán)利要求1.一種硅片承載裝置,用于硅片(4)的放入和取出,其特征在于所述的承載裝置包括兩塊側(cè)板(1)、一塊底板(2)和一根拉桿(3),兩塊側(cè)板(1)的底部分別與底板(2)連接,兩塊側(cè)板(1)的一側(cè)通過(guò)拉桿(3)相連接。
2.如權(quán)利要求1所述的一種硅片承載裝置,其特征在于所述的兩側(cè)板(1)底部與底板 (2)垂直連接。
3.如權(quán)利要求1所述的一種硅片承載裝置,其特征在于所述的兩側(cè)板(1)底部與底板 (2)之間的夾角角度在91 135度之間。
4.如權(quán)利要求1所述的一種硅片承載裝置,其特征在于底板(2)的長(zhǎng)度為50-500毫米,底板(2)的寬度為125-200毫米,側(cè)板(1)的高度為125-200毫米。
5.如權(quán)利要求1所述的一種硅片承載裝置,其特征在于所述的側(cè)板(1)上設(shè)有第一空體(5),底板(2)上設(shè)有第二空體(6);第一空體(5)與第二空體(6)貫通。
6.如權(quán)利要求1所述的一種硅片承載裝置,其特征在于所述的硅片承載裝置采用耐腐蝕、耐高溫的材料制作,該耐腐蝕、耐高溫的材料是聚四氟乙烯,聚偏氟乙烯,四氟乙烯-六氟丙烯共聚物中的任意一種。
7.如權(quán)利要求1所述的一種硅片承載裝置,其特征在于所述的硅片承載裝置采用金屬或合金材料制作,該金屬或合金材料是鋁、不銹鋼中的任意一種。
專利摘要本實(shí)用新型涉及硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種用于承載硅片的中轉(zhuǎn)籃。該裝置的頂部和其中一個(gè)側(cè)壁呈開口,用于硅片的放入和取出。硅片承載裝置包括兩塊側(cè)板、一塊底板和一根拉桿,其中兩側(cè)板的底部分別與底板連接,兩側(cè)板的一端與拉桿相連接。通過(guò)本實(shí)用新型提供的硅片承載裝置,能夠?qū)⒚撃z后的硅片集中化管理,可有效避免硅片破片、混片的現(xiàn)象發(fā)生。
文檔編號(hào)B65D61/00GK202038590SQ20112013311
公開日2011年11月16日 申請(qǐng)日期2011年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月29日
發(fā)明者廖余華, 王詩(shī)合, 趙曄 申請(qǐng)人:江西賽維Ldk太陽(yáng)能高科技有限公司
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